工廠化學(xué)試劑安全手冊.doc

設(shè)為首頁關(guān)于本站加入收藏|首頁|化驗室設(shè)計|下載|儀器圖片|化驗室論壇|分析方法|化驗室管理|化驗室安全| 分析工培訓(xùn)|網(wǎng)址大權(quán)|求職招聘|留言版化學(xué)試劑的安全使用 在使用化學(xué)試劑之前，必須對其安全性能有一個全面的了解，這樣，在使用時，才能有針對性地采取一些安全防范措施，以避免由于使用不當(dāng)造成對實驗人員和實驗設(shè)備的危害。 一、化學(xué)試劑的安全性能分類： 1.易燃易爆化學(xué)試劑 一般閃點25 極易揮發(fā)的液體 遇明火即可燃燒，閃點越低越易燃燒 乙醚、汽油、苯、乙酸乙酯，閃點-4 2.有毒化學(xué)試劑 一般的化學(xué)試劑對人體都有毒害，使用時應(yīng)避免大量吸入，使用后要及時洗手，吸入少量即中毒的試劑，稱為劇毒化學(xué)試劑。LD50生物實驗中至死量在50mg/kg以下。 氰化鉀、氰化鈉等氰化物，砷化物（As2O5）。半導(dǎo)體生產(chǎn)中不慎會引起砷中毒、硫酸、二甲酯等。 3.腐蝕性化學(xué)試劑 任何化學(xué)試劑碰到皮膚、粘膜、眼睛、呼吸器官時都要及時清洗，特別是接觸腐蝕性極強的化學(xué)試劑，如各種酸和堿：H2SO4、HCL、HNO3、NaOH、KOH。 4.強氧化性化學(xué)試劑 強氧化性化學(xué)試劑都是過氧化物或是含有強氧化能力的含氧酸及其鹽如高氯酸及其鹽，高錳酸及其鹽，重鉻酸及其鹽（重鉻酸鉀），五氧化二磷等。強氧化性化學(xué)試劑在適當(dāng)條件下可放出氧發(fā)生爆炸，使用此類物質(zhì)時，環(huán)境溫度不能高于30，通風(fēng)要良好。 5.放射性化學(xué)試劑（略）。 二、本公司常用化學(xué)試劑的使用和安全防護 1.為什么要使用化學(xué)試劑？哪些工序使用？ ( 1 )晶片表面清洗： 目的：去除晶片表面的各種沾污 沾污類型：分子型沾污；離子型沾污；原子型沾污 分子型沾污：是天然的和人造的酯類，樹脂和油類等有機物，其分子雜質(zhì)常借助微弱的靜電引 力與晶片表面相結(jié)合，由于它們不溶于水，使晶片表面成為疏水性，它妨礙了用去離子水除去表面吸附的離子和金屬雜質(zhì)。因此必須首先除去。使用汽油（甲苯）、丙酮、無水乙醇。 離子型沾污：晶片表面由于物理吸附或化學(xué)吸附的關(guān)系，吸附各類離子，引起表面漏電，使器件工作性能不穩(wěn)定及變壞。一般用去離子水清洗即可?；瘜W(xué)吸附的用酸類清洗。 原子型沾污：晶片存放于空氣中或由于某種腐蝕處理后，表面上沾污了重金屬離子或粒子，它們和晶片原子相互作用（氧化、還原）而形成金屬原子，嚴(yán)重影響器件表面電導(dǎo)和其它性能。通常用強氧化劑使之氧化而溶解之。雙氧水即是一種強氧化劑，酸性雙氧水（3液）能溶解如Mg鎂、Ni鎳、W鎢、Nb鈮、Pb鉛等重金屬原子，堿性雙氧水（1清洗液）可溶解Cu銅、Ag銀、Ni鎳等金屬原子。 總的來講，清洗所用的化學(xué)試劑有：汽油、硫酸、雙氧水、氫氧化鈉溶液、丙酮、無水乙醇，有的還用HF（如陳老師他們）、HCl、NH4OH等。 （2）光刻： 刻圖：主要依賴抗蝕劑一種高分子聚合物 顯影液配制：NaOH顯影、洗版 圖形轉(zhuǎn)換：磷酸、丙酮（大量用）、無水乙醇 洗液：硫酸、高錳酸鉀 腐蝕Cr：高氯酸 將來干法腐蝕要用到如下化學(xué)物品： 腐蝕SiO2：CF4、CF4H2、C2F6、C3F8（氟里昂）、CHF3、（三氟甲烷） 腐蝕AlAlSi：CCl4、CCl4Cl2、SiCl4、BCl3、 AlCu：BCl3Cl 2 （3）鍍膜： 處理靶材，清洗鎢桿，需用到磷酸、NaOH、丙酮、無水乙醇等。 （4）后道： 溶解紅膠：乙二醇獨丁醚、三氯甲烷 粘片：紅膠（過渡用，易于返工取片） 吸聲：綠膠 粘片：703白膠（常用） 成品噴漆：三防漆 工藝試驗：聚酰胺、聚酰亞胺 2、幾種化學(xué)物品的使用注意事項： （1）BP212正性光致抗蝕劑 該產(chǎn)品屬易燃品（感光中心基因中含有硝基化合物、氨基化合物、重氮化合物），對皮膚和粘膜有刺激作用。使用時應(yīng)戴防護目鏡和防護手套，并注意通風(fēng)，防止濺入眼中，防止直接與皮膚接觸或吸入溶劑蒸氣，萬一與眼或皮膚接觸，立即用大量水沖洗患處至少15分鐘。 （2）丙酮、無水乙醇 均屬易燃品，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱，皆能引起燃燒爆炸。使用時不能用電爐加熱，也不能搖晃容器（以本人為例警告）。若眼睛接觸，用清水沖洗。誤食，飲足量溫水，催吐，就醫(yī)。若引起失火，滅火需用抗溶性泡沫干粉、CO2、砂土。 （3）硫酸 是強酸，也是強氧化劑，對有機物作用劇烈，有腐蝕性，有毒，對皮膚、粘膜、眼、呼吸器官均有強烈的刺激、灼燒作用。 我們清洗工序幾乎每天都要用硫酸和雙氧水配制清洗液，配制時有強烈反應(yīng)（沸騰），故使用時千萬要注意人生防護及實驗室安全。另外，配制洗液（用于泡燒杯及滴瓶等），要用硫酸和重鉻酸鉀（均屬強氧化劑），當(dāng)硫酸倒入重鉻酸鉀溶液中時，反應(yīng)很強烈，有一定的危險性，配制時，一定要格外小心。遠(yuǎn)離明火和熱源，通風(fēng)要良好，穿防護圍裙、袖套、戴眼罩，必要的防護措施，公司應(yīng)給予保證。 若酸濺到皮膚上，要用稀堿液（或肥皂）清洗。稀釋時，決不能將水往硫酸里倒（水比硫酸比重小，易濺出來），而應(yīng)緩慢地將硫酸往水里倒。一旦發(fā)生事故，千萬要鎮(zhèn)靜。 （4）二甲苯、氫氟酸（HF） 二甲苯：是一種無色透明，具有芳香氣味的揮發(fā)性液體，工業(yè)上主要用于制藥、染料、涂料、塑料等。作為溶劑或稀釋劑用于油漆、噴漆等。它引起的急性中毒主要表現(xiàn)為：短時間內(nèi)吸入高濃度后，出現(xiàn)頭痛、頭暈、無力和四肢麻木等，嚴(yán)重時出現(xiàn)昏迷、抽搐。 前不久，大興縣龐各莊鎮(zhèn)一工廠曾發(fā)生二甲苯儲存罐發(fā)生爆炸。有的說是工人抽煙造成的，有人說是摩擦靜電造成起火。 氫氟酸（HF）：是一種傷害性嚴(yán)重的化學(xué)品。接觸患處，引起紅腫、疼痛，擴散很快，若不慎弄到皮膚上，要先用大量的水沖洗，然后立即上指定的職業(yè)病醫(yī)院就醫(yī)。 我們以前配制SiO2腐蝕液時常用到它，現(xiàn)陳老師他們清洗工序也用它。 使用時戴好防護手套、戴口罩，在通風(fēng)柜內(nèi)小心操作。 （5）氯及含氯化合物 將來采用干法腐蝕時，必須要氯氣。氯氣的毒性很大，帶有窒息性，對嗓子有傷害，對設(shè)備（如真空系統(tǒng)機械泵）也有一定的損傷。千萬要注意通風(fēng)、排氣，加強自我防護。 （6）其它常用化學(xué)品 如NaOH（強堿、強腐蝕性、易燃、易燒傷皮膚）、H3PO4（弱酸、易燃）就不詳細(xì)講了。? 在此提醒大家，在取用化學(xué)物品時，要輕拿輕放，防止撞擊、拖拉和傾倒（前兩天有同志就未注意這點），用完后一定要將瓶蓋擰緊，以免漏氣或再拿時滑落，拿瓶的方法要正確（尤其是很大的大瓶，如硫酸瓶），要戴防護手套。? 上面講了化學(xué)試劑的種種危害，是為了提醒大家一定要從思想上重視，時刻注意安全，但決不要形成恐懼心理，畏首畏尾什么也不敢動了。只要我們認(rèn)認(rèn)真真按操作規(guī)程去做，是不會有什么問題的。幾十年來我和各種化學(xué)試劑打交道不少，現(xiàn)在不也很好嗎？ 3、化學(xué)物品的存放和保管 （1）存于專用場地、專用室柜、專人管理 （2）根據(jù)物品種類、性質(zhì)、設(shè)置相應(yīng)的通風(fēng)、防爆、泄壓、報警、滅火、防曬、調(diào)溫、清除靜電等安全措施。