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廠務系統(tǒng)概述,一、廠務系統(tǒng)功能,目錄,三、廠務系統(tǒng)流程,二、廠務系統(tǒng)使用材質,一、廠務系統(tǒng)功能,1.1水系統(tǒng)在制程中的功能,1.2氣體系統(tǒng)在制程中的功能,1.3化學系統(tǒng)在制程中的功能,1.4真空系統(tǒng)在制程中的功能,1.5排氣/排水系統(tǒng)在制程中的功能,二、廠務系統(tǒng)使用材質,2.1水系統(tǒng)使用材質,2.2氣體系統(tǒng)使用材質,2.3化學系統(tǒng)使用材質,2.4真空系統(tǒng)使用材質,2.5排氣系統(tǒng)使用材質,2.6排水系統(tǒng)使用材質,三、廠務系統(tǒng)流程,3.1制程冷卻水系統(tǒng)簡略流程,3.2冰水系統(tǒng)簡略流程,3.3純水系統(tǒng)簡略流程,3.4自來水/回收水系統(tǒng)簡略流程,3.5CDA/GN2/PN2系統(tǒng)簡略流程,3.6其他大宗氣體/特氣系統(tǒng)簡略流程,3.7高真空/排氣系統(tǒng)簡略流程,3.8真空系統(tǒng)簡略流程,3.9化學系統(tǒng)簡略流程,3.10廢水收集系統(tǒng)簡略流程,3.11廢水處理系統(tǒng)簡略流程,WasteWaterTreatment,英文縮寫對照,

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