廢氣排放管理辦法

1、.廢氣排放管理辦法2012-03-10發(fā)布2012-03-20實(shí)施.廢氣排放管理辦法文件類別： 作業(yè)類文件/動(dòng)力系統(tǒng)管控文件初始編制者/日期： 胡家偉/2009.11.30文件修訂者/日期： 胡家偉/2012.03.10文件審批記錄：部門/職位姓名副總裁基建動(dòng)力部總監(jiān)ESH部經(jīng)理文件修改履歷：版本號(hào)Rev更改內(nèi)容/描述Description of Changes發(fā)布日期Release dateA/0文件新編2009.11.301目的與范圍使PM人員，設(shè)備運(yùn)行工程師，系統(tǒng)工程師熟悉廢氣排放流程，了解廢氣異常排放處理辦法，預(yù)防及減輕廢氣系統(tǒng)管理不當(dāng)及人為疏忽造成的對(duì)當(dāng)?shù)卮髿猸h(huán)境的影響，確保處理后之

2、制程廢氣達(dá)到國(guó)家市政廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)安全排放。2規(guī)范性引用文件2.1中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)3職責(zé)3.1相關(guān)部門因按照此辦法規(guī)定的管理標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格執(zhí)行；3.2動(dòng)力設(shè)備部相關(guān)工程師應(yīng)嚴(yán)格管控生產(chǎn)廢氣達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)排放；4術(shù)語(yǔ)和定義無5管理內(nèi)容與治理措施方法5.1 廢氣污染源分析廢氣處理系統(tǒng)所處理排放的廢氣主要來源于：生產(chǎn)工藝過程包括擴(kuò)散前清洗（制絨）、去硅片氧化物（磷硅玻璃）、刻蝕等使用氫氟酸、鹽酸、硝酸、四氟化碳等化學(xué)試劑揮發(fā)產(chǎn)生的酸性、含氟廢氣；清洗、擴(kuò)散、PEVCD等工序產(chǎn)生有機(jī)溶劑廢氣和少量工藝尾氣。5.2 廢氣處理系統(tǒng)根據(jù)廢氣性質(zhì)，將廢氣處理系統(tǒng)分為一般性廢氣（廢熱）排風(fēng)系統(tǒng)

3、、酸性廢氣處理系統(tǒng)、工藝尾氣處理系統(tǒng)和有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，新增加異丙醇回收裝置，各系統(tǒng)考慮了將來達(dá)規(guī)模的生產(chǎn)要求，放大了處理系統(tǒng)的能力，風(fēng)機(jī)采用變頻式風(fēng)機(jī)，可根據(jù)需要變化排風(fēng)量。5.2.1 一般廢氣（廢熱）排風(fēng)系統(tǒng)該系統(tǒng)排放一般的廢氣和高溫排風(fēng)，不需經(jīng)處理而直接排放。5.2.2 酸性廢氣處理系統(tǒng)酸性廢氣主要來源于工藝流程中使用各種酸液對(duì)硅片的腐蝕、清洗過程、擴(kuò)散及等離子刻蝕產(chǎn)生的廢氣，主要污染物為氟化物、硝酸、HCl、Cl2等；擬設(shè)置1套酸性廢氣處理裝置進(jìn)行處理。酸性廢氣處理系統(tǒng)主要由廢氣洗滌塔、通風(fēng)機(jī)、排氣管和加藥系統(tǒng)等組成。廢氣先由排氣管道輸入廢氣洗滌塔，吸收液為氫氧化鈉溶液，堿液經(jīng)回圈噴灑

4、而下，利用氫氧化鈉溶液作吸收液凈化酸霧廢氣，吸收效率為93%98%。5.2.2.1酸性廢氣塔結(jié)構(gòu)原理：5.2.2.2酸性廢氣處理流程：5.3 工藝尾氣、堿性廢氣處理系統(tǒng)工藝尾氣、堿性廢氣主要來源于：PEVCD工藝過程中使用氨氣、硅烷等過程，堿性廢氣的主要成分為氨、工藝尾氣中含有微量硅烷等。采用HWR型生產(chǎn)工藝廢氣燃燒加噴淋的處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。5.3.1 工藝尾氣、堿性廢氣處理設(shè)備結(jié)構(gòu)：5.3.2 工藝尾氣、堿性廢氣處理流程圖：5.4 有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣主要來源于絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)過程中產(chǎn)生的有機(jī)氣體，主要成份為異丙醇等有機(jī)物。設(shè)置活性炭纖維吸附處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。采取的活性炭纖維吸附處理系統(tǒng)對(duì)

5、VOC的處理效果能達(dá)到90%以上，滿足中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)的要求。5.4.1有機(jī)廢氣系統(tǒng)處理流程揮發(fā)性有機(jī)化合物廢氣經(jīng)過活性炭吸附塔，由內(nèi)部活性炭過濾器吸附，處理后由風(fēng)機(jī)抽引經(jīng)煙囪排至大氣環(huán)境。5.4.2 活性炭吸附塔結(jié)構(gòu)原理： 5.4.3 有機(jī)廢氣處理流程圖： 5.5 工藝尾氣排放分析5.5.1 工藝廢氣來源在電池芯片的加工過程中，工藝尾氣主要來自擴(kuò)散、PECVD、干法刻蝕等工序，尾氣中含有微量硅烷等。應(yīng)用工藝特殊氣體的典型生產(chǎn)工藝為：600(1)擴(kuò)散：擴(kuò)散是在硅片表面摻入純雜質(zhì)原子的過程。工藝生產(chǎn)過程中分為沉積源和驅(qū)趕兩步，其化學(xué)反應(yīng)為：5 POCl3 3 PCl5

6、 + P2O5：5P2O5 + 5 Si = 5SiO2 + 4P(2)化學(xué)氣相沉積（PECVD）：PECVD是在硅片上沉積氧化硅、氮化硅和多晶硅等半導(dǎo)體器件材料，在300900的溫度下通過化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生以上物質(zhì)的過程，其化學(xué)反應(yīng)為：SiH4 + O2 SiO2 + 2H2OSiH4 + N2O SixO2 + N2 + H2SiH4 + NH3 Si3N4 + H2在上述生產(chǎn)工藝中，使用硅烷等多種特殊氣體，絕大多數(shù)特殊氣體參與了反應(yīng)，所排放的尾氣中的主要成份為HCl、HF等。5.5.2 工藝尾氣處理措施1、對(duì)氣源柜、注入機(jī)反應(yīng)室、有毒氣體間、腐蝕性氣體間、氫氟酸配送間、酸液配送間的排風(fēng)接入酸性

7、廢氣洗滌系統(tǒng)進(jìn)行處理后排放。2、對(duì)于在硅片PECVD生產(chǎn)工序中產(chǎn)生的工藝廢氣，本項(xiàng)目擬采用HWR型生產(chǎn)工藝廢氣燃燒加噴淋的處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。處理后產(chǎn)生的尾氣由風(fēng)機(jī)經(jīng)排氣筒高于地面18米排放。5.5.3 廢氣排放統(tǒng)計(jì)酸性/堿性廢氣、有機(jī)廢氣中主要污染物處理及排放情況見表3.1-6。從表中可見，經(jīng)采取上述處理措施后，酸性廢氣、有機(jī)溶劑廢氣各排氣筒主要污染物指標(biāo)均能達(dá)到大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)GB 16297-1996中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(第二時(shí)段)；堿性廢氣各排氣筒的氨也能達(dá)到惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)GB 14554-93的要求。表3.16 工藝廢氣主要污染物處理及排放情況廢氣種類排放參數(shù)污染物名 稱處理前處理后評(píng)

8、價(jià)標(biāo)準(zhǔn)達(dá)標(biāo) 情況高度(m)排氣總量(m3/h)排放速率(kg/h)排放濃度(mg/m3)排放速率(kg/h)排放濃度(mg/m3)排放速率(kg/h)排放濃度(mg/m3)酸性廢氣1845000氟化物1.801200.0906.00.439達(dá)標(biāo)HCl0.4630.70.0231.530.26100達(dá)標(biāo)NOx0.1147.60.00570.380.77240達(dá)標(biāo)堿性廢氣189400NH30.0618.80.0030.9420達(dá)標(biāo)有機(jī)廢氣1812000VOC(主要異是丙醇)0.3863.30.0386.3排放速率90%達(dá)標(biāo)注：1. 除氨執(zhí)行惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)GB 14554-93外，其余均執(zhí)行大氣

9、污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)GB 16297-1996中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(第二時(shí)段)。2. 氮氧化物以NO2計(jì)，氟化物以F計(jì)。5.6 關(guān)于無組織排放5.6.1 無組織排放是指排氣筒高度小于15m或不通過排氣筒的廢氣排放。5.6.2 潔凈車間有較高的顆粒潔凈等級(jí)要求，因此車間內(nèi)各股廢氣量均為有組織排放，基本沒有無組織排放的廢氣。5.7 權(quán)責(zé)區(qū)分5.7.1 對(duì)于廢氣排放的各相關(guān)單位及工程師，應(yīng)該擔(dān)當(dāng)各自系統(tǒng)制程，設(shè)備清洗等產(chǎn)生廢氣的管制，要安全有效的排放廢氣。動(dòng)力工程部負(fù)責(zé)廢氣收集，廢氣處理，廢氣排放，廢氣系統(tǒng)設(shè)備，儀表的保養(yǎng)維護(hù)，確保系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)，保證處理完后廢氣達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。5.7.2 EHS部門負(fù)責(zé)監(jiān)督。5.

10、8 廢氣排放管理5.8.1 廢氣收集系統(tǒng)，處理系統(tǒng)相關(guān)設(shè)備，儀表，管件由動(dòng)力工程師及維修人員根據(jù)廢氣系統(tǒng)PM OI進(jìn)行定期保養(yǎng)維護(hù)，并記錄各時(shí)期自主檢查表，確保系統(tǒng)正常運(yùn)行。5.8.2 對(duì)于廢氣排放使用之風(fēng)機(jī)，動(dòng)力工程部應(yīng)做定期的檢修工作。5.8.3 對(duì)于排放出的廢氣環(huán)保局會(huì)隨時(shí)抽測(cè)，我們會(huì)針對(duì)不符合排放標(biāo)準(zhǔn)的廢氣做相應(yīng)的改進(jìn)措施。 5.8.4 定期委外監(jiān)測(cè)5.8.4.1 監(jiān)測(cè)項(xiàng)目：氟化物、硫酸霧、氮氧化物、氯化氫、有機(jī)化合物。5.8.4.2 監(jiān)測(cè)位置：酸/堿排氣類型目前均有排放口，每年取樣并作記錄5.8.5 處理設(shè)備參數(shù)設(shè)定5.8.5.1 酸性排氣洗滌塔的洗滌水PH值為8.0115.8.5.

11、2 堿性排氣洗滌塔的洗滌水PH值為3.06.05.8.6廢氣系統(tǒng)異常情況分析與對(duì)策5.8.6.1主要分為以下異常情況：生產(chǎn)設(shè)備異常造成廢氣排放，致使排放濃度增高；機(jī)臺(tái)正常廢氣排放，但處理后未能達(dá)標(biāo)。5.8.6.2 機(jī)臺(tái)異常造成廢氣排放5.8.6.3 從所有生產(chǎn)設(shè)備使用氣體的情況來看，就鋼瓶?jī)?nèi)儲(chǔ)存氣體量都不大，Exhaust都能滿足抽風(fēng)排氣的需求，即生產(chǎn)設(shè)備端異常氣體泄漏，主要有氣體泄漏為酸、堿性氣體，會(huì)被抽到酸、堿性洗滌塔，分別用NaOH和HCl溶液循環(huán)洗滌去除有害類氣體，如果因?yàn)楫惓U氣排放濃度增大，則可以通過調(diào)節(jié)洗滌塔內(nèi)水的PH值（對(duì)于酸塔提高PH設(shè)定值，對(duì)于堿塔降低PH設(shè)定值），來提高洗

12、滌塔的處理效率。5.9非正常工況廢氣排放處理辦法5.9.1 在車間開工時(shí)，首先運(yùn)行所有的廢氣處理裝置、除害裝置和廢水處理站，然后再開啟車間的工藝流程，使在生產(chǎn)中所使用的各類化學(xué)品所產(chǎn)生的廢氣都能得到處理、廢水也能排到廢水處理站。5.9.2 車間停工時(shí)，所有的廢氣處理裝置、除害裝置和廢水處理站繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，待工藝中的廢氣和廢水沒有排出之后才逐臺(tái)關(guān)閉。這樣，車間在開、停車時(shí)排出污染物均得到有效處理，經(jīng)排氣筒排出的污染物濃度和正常生產(chǎn)時(shí)基本一致。5.9.3 廢氣處理系統(tǒng)和排風(fēng)機(jī)均設(shè)有保安電源，系統(tǒng)設(shè)有備用風(fēng)機(jī)（N+1配置）。當(dāng)廢氣處理設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，工藝生產(chǎn)過程排放的廢氣將未經(jīng)處理直接排入大氣，造成非正

13、常排放。故障一般能在2小時(shí)內(nèi)修復(fù)。5.9.4 排風(fēng)系統(tǒng)均設(shè)有安全保護(hù)電源和報(bào)警系統(tǒng)，設(shè)備定期檢修保養(yǎng)，基本上能保證無故障運(yùn)行。5.9.5 日常運(yùn)行中，若出現(xiàn)故障，檢修人員可立即到現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行維修，一般操作在30分鐘內(nèi)基本上可以完成，預(yù)計(jì)最長(zhǎng)不會(huì)超過60分鐘。5.9.6 廢氣處理系統(tǒng)出現(xiàn)故障，一般采取以下措施：5.9.6.1 如果全廠停電，停止生產(chǎn)，無污染物產(chǎn)生。5.9.6.2 為確保安全，風(fēng)機(jī)仍然繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)（采用UPS）。5.9.6.3 風(fēng)機(jī)出現(xiàn)故障時(shí)，備用風(fēng)機(jī)立即啟動(dòng)。6 相關(guān)記錄：6.1 Q/ZTIS Z02020302-01 廢氣異常排放記錄表7 管理流程圖：無8 附錄8.1附錄A：一般酸堿廢氣異常排放處理流程附錄A：一般酸堿廢氣異常排放處理流程一般酸堿廢氣排放不符合標(biāo)準(zhǔn) 檢查加藥系統(tǒng)是否正常檢