淺析電子廠房二次配制程排氣系統(tǒng)施工要點

1、淺析電子廠房二次配制程排氣系統(tǒng)施工要點決項目技術總結*公司*本項目是為杯市光電第6代LTPS （OXIDE - LCD/AMOLE顯示面板生產(chǎn)線項目提供符 合相關要求的二次工藝制程排氣系統(tǒng)，即從機臺端至主系統(tǒng)Take off點之間Hookup排氣配管施工。本專業(yè)（通風專業(yè)）所負責的是1號建筑一、二層的二次配排 風系統(tǒng)，主要系統(tǒng)有：工藝一般排風系統(tǒng)（GEX、酸廢氣排風系統(tǒng)（SEX、堿廢氣排風系統(tǒng)（AEX）、有機廢氣排風系統(tǒng)（VEX/SOX）、Stripper排風系統(tǒng)（STX）、 CVD粉塵排風系統(tǒng)（CVD）、工藝補風系統(tǒng)（OA） o由于二次配施工是直接與各種設備打 交 道，施工質量是與后續(xù)廠房生

2、產(chǎn)產(chǎn)品的效率和質量直接相關，所以施工過程中質 量和節(jié)點的把 控為二次配施工重中之重。（）、材料規(guī)戈U二次配施工中沒有具體提前設計好的施工圖紙，只有設備Layout平 面圖以及設備UM需求表，前期提量基本都是按點位提量，存在一定的經(jīng)驗值。由于特氟龍 風管、不銹鋼風管均不允許現(xiàn)場開口，鍍鋅風管不允許現(xiàn)場制作三通，二次配排風所有的主 材，比如直管、彎頭、三通、測試口短管、特氣偵測口短管等部件均是由生產(chǎn)廠家制作好后 發(fā)至現(xiàn)場，這樣，前期材料的統(tǒng)計提量就是個很大的挑戰(zhàn)。既然是經(jīng)驗提量，思路往往就會受到以往項目的干擾，比如重慶京東方L10層 上方空間較 大，二次配主管基本已緊貼L10層頂棚，到對應機臺點位

3、處加三通便可走支管與設備端相連， 這樣考慮每個點位4個彎頭已經(jīng)足夠，而*項目L10層空間很有限，很多時候系統(tǒng)包主管 上有母線，母線上有蓋板，蓋板上偶爾會有消防管，二次配主管從上面過不去只能向下翻 彎，由此便會至少增加兩個彎頭，同時還會增加排液點，且*項目還有更令人頭疼就是* 孔，不像京東方的井格梁布局使得配管更加方便，有時候會出現(xiàn)這樣的情況：設備接口沒有正 對高架地板，高架地板開口沒有正對*孔，這樣配管基本都是一路彎曲到設備接口的，所以每 個點彎頭的數(shù)量會至少增加3至5個。針對不同項目而言，還需要具體問題具體分析，務必需要仔細勘察現(xiàn)場，項目前期的整體 規(guī)劃和布局很重要，尤其對于本項目這種情況，

4、一開始就進入項目高峰 期，材料的供應直接影 響節(jié)點保證，所以材料是二次配成敗的重點把控對象，也是 保證機臺Turn on節(jié)點的關鍵所 在。（二）負載規(guī)戈I在二次配施工之前，負載規(guī)劃是非常重要的一步，雖然主系統(tǒng)圖紙 己經(jīng)設計出每個機臺所使用Take off點，但是還是會出現(xiàn)以下幾種情況：1、實際會勘UM和原設計UM需求量不符合，由于UM表的變更，可能會導致后 續(xù)機 臺運行流量不夠。2、原設計的機臺Take off點被擋住，無法使用。3、實際Movein機臺數(shù)量多于原計劃，即原設計中沒有設計新機臺的UM需求，需重新為該機臺規(guī)劃Take off點位。以上三種情況均可能會導致Submain主管的負載不

5、足，在這條主管的 Take off 點的使用率越來越高的情況下，后續(xù)所接機臺可能會因為流量不夠而Down機。舉例1 ： 1號酸排氣主系統(tǒng)所接設備為TCISC100/TCISC200/TCISC300,每臺用 量60cmm如卜表：由上表便可清晰看出該Submain主管共23個Take off點，接三臺設備。Submain設計量為300cmm機臺需求量180cmm使用負載比為60%由上表還可知，此Submain還有120cmmB勺富余量，假如此區(qū)域后續(xù)還有設備 Move in ,在滿足富余量的前提下，此主管上依然可以繼續(xù)接設備。舉例2： 18號酸排氣主系統(tǒng)所接設備為TCCVD320/TCCD030

6、0/TCCVD420/TCCDO,400合計用量245.6cmm,如下表：由上表可清晰看出該Submain主管共12個Take off點，接四臺設備。Submain設計量為234cmm機臺需求量245.5cmm,使用負載比為105%由上表還可知，此Submain B經(jīng)超出原設計負載，那么先查看其相鄰Submain負載用量是否有富余。17號Submain酸排氣負載如下：由此可知，17號用量為76%仍有富余54cmm且該系統(tǒng)Take off點也有富余，所以原18 號系統(tǒng)上可以把其中一個機臺（比如TCCD0300的Take off點改至17號主系統(tǒng)上，如此，17號和18號主系統(tǒng)均不會超負載，也滿足了

7、機臺負載需求。同時，為更加直觀勺清楚每條Submain主系統(tǒng)所連接哪些設備，繪制主系統(tǒng)軸 測PID圖 也是貫穿二次配施工勺主要工作，這樣對后期設備調試也很有幫助。主系統(tǒng)軸測PID圖可以非 常清晰勺知道每條主系統(tǒng)所連勺具體設備，在主系統(tǒng)屋面風機和設備運行出現(xiàn)問題時候，可以 清楚知道可能會受到影響的涉及該Subma in的其他設備。如下圖：一般排氣系統(tǒng)軸測PID圖所以，二次配前期對機臺負載進行整體規(guī)劃非常有必 要，機臺Move in分期進行，同一條主系統(tǒng)會同時有Light on Phasel Phase2、Phase3的設備，如若不 提前做整體 規(guī)劃，Light on和Phasel的設備應該會很容

8、易滿足負載，但是隨著Submain所接的設備越來越多，Phase2尤其是Phase3的設備很可能會超岀原設計 負載，在本項目雖然Phase3的設備不在包內(nèi)，但是設計人員早期是有把 Phase3的 設備規(guī)劃至主系統(tǒng)內(nèi)的，所以甲方也要求我們考慮Phase3的設備需求。（三）、圖纟氏以及成本規(guī)戈IJ由于二次配沒有設計給出的具體施工平面圖紙，且二次配涉及的專業(yè)系統(tǒng)不 少，PCW/PV/Exhaust/Chemical/CDA/Drain/特氣管道等，雖說管路尺寸都不大，但是個別機臺管路復雜，如CVDDR丫等大機臺，也會常遇到管道被擋的情況，此 時圖紙整體空間管理規(guī)劃則尤為重要，施工前出圖紙，每種管道在

9、自己該在的位置上，不但 美觀且不影響其他管路走向，同時，如若管路過長和彎頭過多會使得壓力損失過大，對后期設 備運行不利。從成本上分析，二次配不像潔凈包,二次配按點位按實結算,每個點有規(guī)定的標準長度,點的計算以實際點數(shù)計算，結合實際米數(shù)除以標準米數(shù)。點的實際長度L1除以報價標準米數(shù)L, 即L1/L二N。N小于2,計算為1個點；N大于2,且小于3計為2個點；以此類推。比如規(guī)定 每20米一個點位，即這個點做到了 OvLV40則 結算為一個點，做到40 Lv60結算成兩個點，所以按照這種計算方法即使做到39米還是會結算為一個點，如此便會虧損19米。標準長度規(guī)定如下：如上述包定義內(nèi)點位計算方法實在是比較

10、令人頭疼的，這種計算方式 說明了并不是所有的點位做的越長越好，這個長度是有限度的。Take off點管徑均為300, 設備接口管徑一般小于Take off點管徑，那么對于一拖多（即一個Take off點帶 多個設備接 點）的情況，怎么去合理分配Take off點到Tee的長度和Tee到POU的長度很重要。需要考慮的是，對于Take off點距離設備比較近和Take off點數(shù)量有富余的情況下，多 做這種點位原則上是有利的，但是考慮到底選擇一拖幾的問題值得推敲，此外二次配主管和支 管的長度怎么分配也值得考慮，才能夠實現(xiàn)最終利益最大化。對于Take off點距離設備比較遠 的情況下，這種點位如若不

11、提前規(guī)劃好，虧損可能性非常大，需考慮問題同上，若真的虧損要 實現(xiàn)虧損最小。由此可見，圖紙的深化設計和成本控制不可分割，合理的管路規(guī)劃會降低施工成本以及施工難度，所有的技術和設計最終都應該回歸到成本和利潤上。(四)質量管扌空 二次配施工作為電子廠房施工的最后一道工序，是直接與機臺設備對 接，其施工質量將直接影響廠房后續(xù)顯示面板生產(chǎn)良品率，如若由于二次配施工質量導致設備 正常運行而Down機，其損失將不可預估。二次配施工質量的管控主要從以下幾個方面把握：1 、材料進場檢驗所有材料進場前均需先和質量相關人員進行自檢，而后經(jīng)業(yè)主以及第三 方質量人員進行檢驗，合格后方可進場，不符合潔凈室規(guī)范以及損壞嚴重

12、材料均不得使用，并 立即退場。2 、施工前指導每個班組施工機臺前，需向該班組長指明Take off點使用情況，并找到該機臺所有需要 施工的點位和點位具體接續(xù)名稱(SEX/GES/VEX/AEX/CVD/OA/STX,)對于需要區(qū)分干濕排的點位必須標示并告知清楚，如有特殊要求的機臺也需要提前告知，以免后 續(xù)的二次施工。3 、施工中檢查本項目每個點包含Duct、彎頭、三通、風閥、風壓表、特氣偵測口、支架以及末端盲板的安裝，需要考慮的類項比較多，由于機臺調試期間不允許停機，更換 其中任何一 項都比較困難，為避免二次施工，施工過程中的檢查很重要，做到亡羊 補牢。4 、Turn on前檢查二次配每個機臺

13、的Turn on都是很重要的節(jié)點，所以做Turn on前的最后檢 查很有必 要，檢查管路連接的完整性，負壓表安裝的正確性，螺栓的緊固性，支架的安裝以及加固情況 等，這些都是影響機臺Turn on的因素，Turn on前是必須一項項排查的。5 、調試中檢查每個機臺Turn on后設備方都有為期不短的調試時間，調試時候機臺的運行 是極不穩(wěn)定 的，較容易出現(xiàn)的問題有：清洗機的漏水問題，水經(jīng)常倒灌入排氣管內(nèi)；壓力表超量程問 題，前期由于Submain所掛的設備少，負壓比較大，導致管內(nèi)負壓 已超出負壓表量程，由此 可能會造成負壓表的損壞；軟管破損問題，由于機臺接口形式的限制，一些機臺必須使用軟管 連接，軟管硬度是遠不如硬管的，有破損風險。以上問題多出現(xiàn)在機臺試運行調試階段和正 式運行階段，所以在試運行階段若發(fā)現(xiàn)并及時解決相關問題，不斷優(yōu)化方案，則在后續(xù)正式生 產(chǎn)階段風險便會大大降