iso10110系列標(biāo)準(zhǔn)

1、iso10110簡(jiǎn)介 iso10110系列標(biāo)準(zhǔn)包含內(nèi)容 oiso10110-1：概述 oiso10110-2：光學(xué)材料缺陷應(yīng)力雙折射 oiso10110-3：光學(xué)材料缺陷氣泡與雜質(zhì) oiso10110-4：光學(xué)材料缺陷非均勻性與條紋 oiso10110-5：面形偏差 oiso10110-6：中心偏差 oiso10110-7：表面缺陷偏差 oiso10110-8：表面微觀輪廓 oiso10110-9：表面處理和鍍膜 oiso10110-10：元件技術(shù)要求的格式 oiso10110-11：非公差數(shù)據(jù) oiso10110-12：非球面 oiso10110-13：激光輻射破壞閾值 o表面缺陷的標(biāo)注方法

2、表面缺陷的標(biāo)注方法： n一般表面缺陷用5/na表示，編號(hào)“5”是表面缺陷的代碼， 允許缺陷程度用na。n為允許最大缺陷的數(shù)量，a 為最大 允許缺陷面積的平方根。 n鍍膜污點(diǎn)（可以從一般表面缺陷中分出）用c na表示，c 是鍍膜污點(diǎn)的代碼。 n長(zhǎng)劃痕（與鍍膜污點(diǎn)相似，可以從一般表面缺陷中分出）用l na表示，l是長(zhǎng)劃痕的代碼。n”是允許長(zhǎng)劃痕的數(shù)量，a” 說(shuō)明了劃痕的最大允許寬度。 n崩邊用e a”表示，e是邊緣崩邊的代號(hào)，a”表示元件表面的 邊緣延伸的最大崩邊量 o注意：鍍膜污點(diǎn)和長(zhǎng)劃痕如果圖紙未專門給出， 則所有缺陷都必須計(jì)算到一般缺陷中。 iso10110-7表面缺陷偏差 iso10110

3、-7表面缺陷偏差 5/30.63,c 21.6;l 20.01;e 1.0 5/表面缺陷的數(shù)字代碼 3缺陷允許的個(gè)數(shù) 0.63表面缺陷的尺寸等級(jí)數(shù) c表示鍍膜污點(diǎn) 2鍍膜污點(diǎn)的允許數(shù)量 1.6鍍膜污點(diǎn)的尺寸等級(jí)數(shù) l表示長(zhǎng)劃痕 2長(zhǎng)劃痕的允許數(shù)量 0.01長(zhǎng)劃痕的尺寸等級(jí)數(shù) e表示崩邊 1.0崩邊深度的等級(jí)數(shù) 對(duì)于劃痕: a為 對(duì)于點(diǎn)子:a為r 如:要求5/30.063 缺陷全部為點(diǎn)子時(shí)允許最大尺寸點(diǎn)子為r=0.063/ =0.063/1.77=0.036 則點(diǎn)子直徑為0.072 我們實(shí)際作業(yè)中可以讓 =2則點(diǎn)子直徑直接為0.063 如果缺陷是劃痕假如我們觀察到的劃痕寬度為0.04，則允許的長(zhǎng)

4、度 為l=(0.0630.063)/0.04=0.0992mm 如果我們觀察到劃痕長(zhǎng)度為0.5mm,則允許劃痕寬度為 ( 0.0630.063)/0.5=0.0079mm 寬長(zhǎng) iso10110-7表面缺陷偏差 iso10110-7表面缺陷偏差 換算：換算系指較大級(jí)數(shù)的表面缺陷允許用若干 個(gè)較小級(jí)數(shù) 的表面缺陷來(lái)代替，其面積之和不超過(guò)原 級(jí)數(shù)的表面 缺陷面積。（注意換算后結(jié)果應(yīng)化為整數(shù)） 表面缺陷級(jí)數(shù)與缺陷個(gè)數(shù)換算系數(shù)表 iso10110-7表面缺陷偏差 缺陷換算系數(shù) 12.56.316 級(jí) 數(shù) a 0.006 0.0100.006 0.0160.0100.006 0.0250.0160.01

5、00.006 0.0400.0250.0160.010 0.0630.0400.0250.016 0.100.0630.0400.025 0.160.100.0630.040 0.250.160.100.063 0.400.250.160.10 0.630.400.250.16 1.00.630.400.25 1.61.00.630.40 2.51.61.00.63 4.02.51.61.0 iso10110-7表面缺陷偏差 指標(biāo)要求5/30.063 。也就是要求級(jí)數(shù)為0.063（缺 陷面積的平方根為0.063）的缺陷3個(gè)。 全部換算：若用換算系數(shù)1，則31=3，允許3個(gè)表面 缺陷，它們的級(jí)數(shù)

6、a=0.063。若用換算系數(shù)2.5，則 32.5=7.5，取整數(shù)為7，允許7個(gè)表面缺陷，從表中可 查出相應(yīng)級(jí)數(shù)a=0.04。即可換算為級(jí)數(shù)a=0.04的7個(gè)表 面缺陷。 部分換算：如將其中一個(gè)表面缺陷進(jìn)行換算，面其余兩 個(gè)缺陷保留原級(jí)數(shù)。若用換算系數(shù)6.3，則16.3=6.3， 取整數(shù)為6，允許6個(gè)表面缺陷，從表中可查出相應(yīng)級(jí)數(shù) a=0.025。即可換算為級(jí)數(shù)a=0.025的6個(gè)表面缺陷和級(jí) 數(shù)為a=0.063的2個(gè)表面缺陷。 o 密集: 密集的表面缺陷是不允許的。密集就是發(fā)現(xiàn)任意 5% 的測(cè)試區(qū)域有超過(guò)20%的允許的缺陷存在。如果 總的表面缺陷數(shù)是小于10， 有2個(gè)或更多的表面缺陷 落在5%

7、的分區(qū)內(nèi)，則稱為密集缺陷。 iso10110-7表面缺陷偏差 產(chǎn)品單面為直徑為20mm的園 則在任意直徑為1mm的園不 允許 o 不計(jì)算:當(dāng)決定允許表面缺陷的數(shù)量時(shí)，不應(yīng)計(jì)算 等級(jí)為 0.16a或更小的缺陷. 有長(zhǎng)劃痕要求時(shí)，劃 痕寬度小于0.3 a” 的不應(yīng)計(jì)算. iso10110-7表面缺陷偏差 如指標(biāo)要求5/30.063 則不應(yīng)計(jì)算等級(jí)為 0.160.063=0.010或 比0.010級(jí)數(shù)更小的缺陷。 缺陷換算系數(shù) 12.56.316 級(jí) 數(shù) a 0.006 0.0100.006 0.0160.0100.006 0.0250.0160.0100.006 0.0400.0250.0160.

8、010 0.0630.0400.0250.016 面形偏差 面形精度:光學(xué)表面幾何形狀的準(zhǔn)確程度 面形偏差是光學(xué)零件的被檢測(cè)光學(xué)表面與參考表面的偏差. 參考表面可以是樣板,也可以是干涉參考表面，或者其他 有足夠精度的測(cè)量裝置。 光學(xué)零件的面形精度可以通過(guò)垂直位置觀察到的干涉條紋的數(shù) 量、形狀、顏色及其變化來(lái)確定。 光學(xué)零件的拋光質(zhì)量包括:光學(xué)表面疵病和表面幾何形狀 面形偏差 光學(xué)樣板檢驗(yàn)原理： 當(dāng)光學(xué)零件的被檢表面和樣板的工作表面 （參考表面）相接觸時(shí)，由于兩者的面形不 一致，產(chǎn)生一定的空氣隙，當(dāng)波長(zhǎng)為的光 射到空氣隙上，便形成等厚干涉條紋。從等 厚干涉知道，相鄰兩亮條紋之間的空氣隙厚 度差近

9、似為/2，即通常所說(shuō)的一個(gè)干涉條 紋（光圈）相當(dāng)于空氣隙厚度變化為/2。 因此光圈數(shù)為n部位所對(duì)應(yīng)的空氣隙厚度變 化為n* /2。 面形偏差 因?yàn)榍拾霃狡畹姆较虿煌?，樣板與被檢表面的接觸部位也不同，由此 而產(chǎn)生的光圈分為兩在類。 低光圈：表示樣板與被檢表面在邊緣部位接觸.對(duì)于凸球面,則表示曲率半 徑大于樣板;對(duì)于凹球面,則表示曲率半徑小于樣板,對(duì)于平面,則表示平面 變?yōu)榘记蛎? 高光圈:表示樣板與被檢表面在中間部位接觸.對(duì)于凸球面,則表示曲率半徑 小于樣板;對(duì)于凹球面,則表示曲率半徑大于樣板,對(duì)于平面,則表示平面變 為凸球面 面形偏差 高低光圈的判斷高低光圈的判斷1 1.周邊加壓法： 低光

10、圈： 當(dāng)空氣隙減小時(shí)，條紋從 邊緣向中心移動(dòng)。 邊緣先有光圈 高光圈：當(dāng)空氣隙減小時(shí)，條紋從中 心向邊緣移動(dòng)。 中心先有光圈 面形偏差 高低光圈的判斷高低光圈的判斷2 2.色序法 當(dāng)光圈數(shù)n1時(shí)，白光照明。 低光圈：從中心到邊緣光圈的顔色序列為“藍(lán)、紅、黃” 高光圈：從中心到邊緣光圈的顔色序列為“黃、紅、藍(lán)” 注意觀察紅條紋前面是藍(lán)還是黃 高光圈 面形偏差 高低光圈的判斷高低光圈的判斷3 2.一側(cè)加壓法 當(dāng)光圈數(shù)n1。 低光圈：條紋彎曲的凹向背著 加壓點(diǎn)a。 高光圈：條紋彎曲的凹向朝著 加壓點(diǎn)a。 面形偏差 光圈數(shù)光圈數(shù)n與光源波長(zhǎng)與光源波長(zhǎng)的關(guān)系的關(guān)系 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定光圈數(shù)n0的參考波長(zhǎng) 0

11、=546.1nm,生產(chǎn)中若采用其他波 長(zhǎng)的單色光檢驗(yàn),得到非標(biāo)準(zhǔn)光圈數(shù)n，,則標(biāo)準(zhǔn)光圈數(shù)n0和非標(biāo)準(zhǔn)光 圈n的關(guān)系如下： 0 0 n n 此式即為光圈數(shù)n與光源波長(zhǎng)的關(guān)系。 面形偏差 局部偏差的判斷局部偏差的判斷1: 當(dāng)一側(cè)加壓時(shí): 中心低: 條紋中心部位的彎曲凹向背著加壓點(diǎn)a. 中心高:條紋中心部位的彎曲凹向朝著加壓點(diǎn)a. 面形偏差 局部偏差的判斷局部偏差的判斷2: 當(dāng)一側(cè)加壓時(shí): 塌邊: 條紋邊緣部位塌向加壓點(diǎn)a. 翹邊: 條紋邊緣部位翹離加壓點(diǎn)a. 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)面形偏差包括 三項(xiàng),標(biāo)注為: n ,1n, 2n n為光圈數(shù), 1n為象 散偏差, 2n為局部偏 差 面形偏差 iso10110-5

12、面形偏差標(biāo)注為如下所示的 三種形式之一： 3/a (b/c)， 或3/a(b/c) rmsx d （此處x代表字母t、i或 a）， 或3/- rmsx d （此處x代表字母t、i或a）。 式中編號(hào)“3”是面形偏差的代碼。 a為弧矢差,b為不規(guī)則度,c為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度 rmst均方根總偏差,rmsi均方根不規(guī)則度 rmsa 均方根不對(duì)稱性 當(dāng)檢測(cè)區(qū)域比全部有效通光面小時(shí)，檢測(cè)區(qū)域的直徑 需要添加到公差標(biāo)注中，如下所示： 3/a (b1c), rmsx d (全部 ) 短劃線(-)表示沒(méi)有明確給出該項(xiàng)偏差的要求 如3/-(1/0.5) 面形偏差 a為弧矢差：是被測(cè)光學(xué)表面的曲率半徑與參考表面曲率

13、半徑之差。此指標(biāo) 對(duì)應(yīng)zygo設(shè)備測(cè)試中的sag。 b為不規(guī)則度:是標(biāo)稱球面（檢測(cè)面）偏離球面的量度。此指標(biāo)對(duì)應(yīng)zygo設(shè) 備測(cè)試中的irr。 c為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度：表面是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的，但卻不是想要的形狀，即存在 旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度。此指標(biāo)對(duì)應(yīng)zygo設(shè)備測(cè)試中的rsi。 rmst均方根總偏差：為被測(cè)光學(xué)表面與標(biāo)稱理論球面之間的均方根偏差。 rmsi均方根不規(guī)則度：被測(cè)光學(xué)表面與擬合球面之間的均方根偏差。 rmsa均方根不對(duì)稱性：為被測(cè)光學(xué)表面與擬合非球面之間的均方根偏差。 光圈數(shù)n:被檢光學(xué)表面的曲率半徑對(duì)于參考光學(xué)表面曲率半徑的偏差稱半徑偏 差,此偏差所對(duì)應(yīng)的光圈數(shù)用n表示. 象散偏差1n :

14、 被檢光學(xué)表面與參考光學(xué)表面在二個(gè)相互垂直方向上產(chǎn)生的光 圈數(shù)不等所對(duì)應(yīng)的偏差.此偏差所對(duì)應(yīng)的光圈數(shù)用1n表示. 局部偏差2n :被檢光學(xué)表面與參考光學(xué)表面在任一方向上產(chǎn)生的干涉條紋的 局部不規(guī)則度稱局部偏差.此偏差所對(duì)應(yīng)的光圈數(shù)用2n表示 面形偏差 光圈數(shù)n的計(jì)算 當(dāng)光圈數(shù)n1時(shí) 以有效檢驗(yàn)范圍內(nèi)直徑方向 最多條紋數(shù)的一半來(lái)度量. 面形偏差 光圈數(shù)n的計(jì)算 當(dāng)光圈數(shù)n1時(shí) 單色光照明時(shí),以通過(guò)直徑方向上 干涉條紋的彎曲量h相對(duì)條紋的間 距h的比值來(lái)度量 n=h/h=ad/ae 面形偏差 象散偏差的度量 象散偏差光圈數(shù)1n是以兩個(gè)垂直方 向上光圈數(shù)n的最大代數(shù)差的絕對(duì)值來(lái) 度量. 橢圓形象散光

15、圈數(shù):被檢表面在x-x 和y-y方向上的光圈數(shù)nx和ny不等, 偏差方向相同.nx=-2,ny=-3, 則1n=nx-ny=1 馬鞍形象散光圈數(shù):被檢表面在x-x 和y-y方向上的光圈數(shù)nx和ny不等, 偏差方向相反.nx=-1,ny=+2, 則1n=nx-ny=3 面形偏差 n1的象散光圈 面形偏差 局部偏差的度量 局部偏差光圈數(shù)2n以局部不規(guī)則干涉條紋對(duì)理想平滑干涉條紋 的偏離量（e）與相鄰條紋間距（h）的比值來(lái)度量 h e n 2 面形偏差 如果中心和邊緣都有 局部偏差的取大值。 iso10110-5弧矢差a計(jì)算 橢圓形條紋弧矢差 = (3+1）/2=2 2 mm 雙曲線形條紋弧矢差 =

16、（2.5-1.5）/2=0.5 2 mm iso10110-5面形偏差 iso10110-5 面形偏差 弧矢差a計(jì)算 需要樣板從兩個(gè)方向進(jìn)行 兩次的條紋觀察. 如果兩次在兩種情況下， 條紋都向條紋曲率中心移 動(dòng)或都遠(yuǎn)離條紋曲率中心 移動(dòng)，則弧矢差大于不規(guī) 則性. 如果兩次中其一組條紋向 條紋曲率中心移動(dòng)而其他 條紋圖遠(yuǎn)離條紋曲率中心 移動(dòng)，那么不規(guī)則性大于 弧矢差 弧矢差 2 mm 弧矢差 2 mm iso10110-5面形偏差 不規(guī)則度b計(jì)算 橢圓形條紋不規(guī)則度 = m-m =(3-1）=2 雙曲線形條紋不規(guī)則度 =m+m (2.5+1.5）=4 iso10110-5 面形偏差 不規(guī)則度b計(jì)

17、算 需要樣板從兩個(gè)方向進(jìn)行 兩次的條紋觀察. 如果兩次在兩種情況下， 條紋都向條紋曲率中心移 動(dòng)或都遠(yuǎn)離條紋曲率中心 移動(dòng)，則弧矢差大于不規(guī) 則性. 如果兩次中其一組條紋向 條紋曲率中心移動(dòng)而其他 條紋圖遠(yuǎn)離條紋曲率中心 移動(dòng)，那么不規(guī)則性大于 弧矢差 不規(guī)則度 = m-m 不規(guī)則度 =m+m iso10110-5面形偏差 s h c 旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度c計(jì)算 等于通過(guò)直徑方向上干涉條紋的偏 差量與條紋距之比 iso10110-8表面微觀輪廓 表面微觀輪廓鏡面質(zhì)量有三種描述方式： 1.均方根表面粗糙度rq 2.表面上存在的微小缺陷的密度 3.功率譜密度（psd）特性 iso10110-8表面微觀

18、輪廓 粗磨表面粗糙度的表達(dá)方式如圖所示 圖中g(shù)表示未經(jīng)拋光的表面。圖中 rq的單位為um。圖中例子所示指 標(biāo)要求為rq=2um，取樣長(zhǎng)度為 5mm。 圖中p是微小缺陷要求參見(jiàn)下表的微小 缺陷的拋光等級(jí)說(shuō)明。圖中例子的指 標(biāo)要求為在10mm掃描范圍內(nèi)的微小缺陷 數(shù)量16，在0.002mm到1mm的取樣長(zhǎng)度 內(nèi)rq需要0.002m。 拋光表面（包括鍍膜面）粗糙度的表達(dá)方式如圖 iso10110-8表面微觀輪廓 微小缺陷的拋光等級(jí)說(shuō)明 拋光等級(jí)名稱對(duì)應(yīng)10mm取樣范圍內(nèi)所允許 的微小缺陷數(shù)量n p不需要對(duì)微小缺陷進(jìn)行量化， 只要保證是拋光面 p1 80n400 p2 16n80 p3 3n16 p4

19、 n3 微小缺陷：鏡面上的較小的且無(wú)規(guī)律（一般尺寸小于1m）的缺陷 一般情況下，在經(jīng)過(guò)不完全拋光后會(huì)由于不當(dāng)?shù)牟僮骱臀廴疚锒诒砻嫔蠚埩粝?細(xì)微的凹陷部分，稱之為微小缺陷。微小缺陷都需要密切注意，因?yàn)閷⒖赡軙?huì)引 起較大的光束散射。該種缺陷被認(rèn)為是相當(dāng)均勻地分布在表面上的。 iso10110-8表面微觀輪廓 psd特性規(guī)范說(shuō)明：psd特性是在單位長(zhǎng)度的倒數(shù) 基礎(chǔ)上所測(cè)量出來(lái)的表面粗糙度的頻率譜線 b fa/ c f d 1000 1 1000 1 psd=注意 這理a 是常數(shù)，單位是m3b；f 是表面粗糙度的空間頻率（單位 是m1）；b 是空間頻率對(duì)應(yīng)的功率；對(duì)于大部分實(shí)際表面來(lái)說(shuō)， 1b3。d是被測(cè)樣品的取樣長(zhǎng)度，c是測(cè)量?jī)x器在其表面上所能 夠測(cè)量出的最短的橫向距離（c和d單位都是mm） 條條 款款 描描 述述 材材 料料材料的型號(hào)、名稱和鑒定（論證）號(hào)材料的型號(hào)、名稱和鑒定（論證）號(hào) n n 適當(dāng)?shù)恼凵渎屎桶⒇悢?shù)（和公差精度），參考適當(dāng)?shù)恼凵渎屎桶⒇悢?shù)（和公差精度），參考iso 7944iso 7944