福建靶材生產(chǎn)建設(shè)項目可行性研究報告

1、泓域咨詢/福建靶材生產(chǎn)建設(shè)項目可行性研究報告福建靶材生產(chǎn)建設(shè)項目可行性研究報告MACRO 泓域咨詢 報告說明超大規(guī)模集成電路制造過程中要反復(fù)用到的濺射（Sputtering）工藝屬于物理氣相沉積（PVD）技術(shù)的一種，是制備電子薄膜材料的主要技術(shù)之一，它利用離子源產(chǎn)生的離子，在高真空中經(jīng)過加速聚集，而形成高速度能的離子束流，轟擊固體表面，離子和固體表面原子發(fā)生動能交換，使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料，稱為濺射靶材。該靶材項目計劃總投資17132.95萬元，其中：固定資產(chǎn)投資12559.39萬元，占項目總投資的73.31%；流動資金4573.56萬

2、元，占項目總投資的26.69%。達產(chǎn)年營業(yè)收入33768.00萬元，總成本費用25554.45萬元，稅金及附加336.74萬元，利潤總額8213.55萬元，利稅總額9683.19萬元，稅后凈利潤6160.16萬元，達產(chǎn)年納稅總額3523.03萬元；達產(chǎn)年投資利潤率47.94%，投資利稅率56.52%，投資回報率35.96%，全部投資回收期4.28年，提供就業(yè)職位617個。靶材是濺射薄膜制備的源頭材料，又稱濺射靶材。是制備晶圓、面板、太陽能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。第一章 項目概論一、項目概況（一）項目名稱及背景福建靶材生產(chǎn)建設(shè)項目靶材材料的技術(shù)發(fā)展趨勢與下游應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的薄膜技術(shù)發(fā)展趨勢息息相

3、關(guān)，隨著應(yīng)用產(chǎn)業(yè)在薄膜產(chǎn)品或元件上的技術(shù)改進，靶材技術(shù)也應(yīng)隨之變化。鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應(yīng)。例如：蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜、鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。濺射靶材是利用物理氣相沉積技術(shù)制備電子薄膜材料的被轟擊材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、太陽能電池、平板顯示、信息存儲等領(lǐng)域

4、，其中半導(dǎo)芯片用濺射靶材技術(shù)要求最高，具有規(guī)?；a(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量也相對較少，主要分布在美國、日本等國家和地區(qū)。（二）項目選址xx高新區(qū)福建省，簡稱閩，是中華人民共和國省級行政區(qū)。省會福州，位于中國東南沿海，東北與浙江省毗鄰，西北與江西省接界，西南與廣東省相連，東南隔臺灣海峽與臺灣省相望，陸地總面積12.14萬平方千米。地勢西北高，東南低，呈依山傍海態(tài)勢，境內(nèi)山地、丘陵面積約占全省總面積的90%；地跨閩江、晉江、九龍江、汀江四大水系，屬亞熱帶海洋性季風氣候。2019年10月，入選國家數(shù)字經(jīng)濟創(chuàng)新發(fā)展試驗區(qū)。截至2019年底，福建省下轄福州、廈門、泉州、漳州、莆田、龍巖、三明、南平、寧德9個地級

5、市，共有12個縣級市，44個縣，29個市轄區(qū)。常住人口3973萬人，地區(qū)生產(chǎn)總值達42395.00億元，增長7.6%。人均地區(qū)生產(chǎn)總值107139元，比上年增長6.7%。對周圍環(huán)境不應(yīng)產(chǎn)生污染或?qū)χ車h(huán)境污染不超過國家有關(guān)法律和現(xiàn)行標準的允許范圍，不會引起當?shù)鼐用竦牟粷M，不會造成不良的社會影響。（三）項目用地規(guī)模項目總用地面積50198.42平方米（折合約75.26畝）。（四）項目用地控制指標該工程規(guī)劃建筑系數(shù)66.46%，建筑容積率1.07，建設(shè)區(qū)域綠化覆蓋率5.53%，固定資產(chǎn)投資強度166.88萬元/畝。（五）土建工程指標項目凈用地面積50198.42平方米，建筑物基底占地面積33361

6、.87平方米，總建筑面積53712.31平方米，其中：規(guī)劃建設(shè)主體工程39038.72平方米，項目規(guī)劃綠化面積2970.01平方米。（六）設(shè)備選型方案項目計劃購置設(shè)備共計153臺（套），設(shè)備購置費4026.79萬元。（七）節(jié)能分析1、項目年用電量896816.05千瓦時，折合110.22噸標準煤。2、項目年總用水量16110.55立方米，折合1.38噸標準煤。3、“福建靶材生產(chǎn)建設(shè)項目投資建設(shè)項目”，年用電量896816.05千瓦時，年總用水量16110.55立方米，項目年綜合總耗能量（當量值）111.60噸標準煤/年。達產(chǎn)年綜合節(jié)能量27.90噸標準煤/年，項目總節(jié)能率29.01%，能源利用

7、效果良好。（八）環(huán)境保護項目符合xx高新區(qū)發(fā)展規(guī)劃，符合xx高新區(qū)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整規(guī)劃和國家的產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策；對產(chǎn)生的各類污染物都采取了切實可行的治理措施，嚴格控制在國家規(guī)定的排放標準內(nèi)，項目建設(shè)不會對區(qū)域生態(tài)環(huán)境產(chǎn)生明顯的影響。（九）項目總投資及資金構(gòu)成項目預(yù)計總投資17132.95萬元，其中：固定資產(chǎn)投資12559.39萬元，占項目總投資的73.31%；流動資金4573.56萬元，占項目總投資的26.69%。（十）資金籌措該項目現(xiàn)階段投資均由企業(yè)自籌。（十一）項目預(yù)期經(jīng)濟效益規(guī)劃目標預(yù)期達產(chǎn)年營業(yè)收入33768.00萬元，總成本費用25554.45萬元，稅金及附加336.74萬元，利潤總額821

8、3.55萬元，利稅總額9683.19萬元，稅后凈利潤6160.16萬元，達產(chǎn)年納稅總額3523.03萬元；達產(chǎn)年投資利潤率47.94%，投資利稅率56.52%，投資回報率35.96%，全部投資回收期4.28年，提供就業(yè)職位617個。（十二）進度規(guī)劃本期工程項目建設(shè)期限規(guī)劃12個月。項目承辦單位要在技術(shù)準備、人員配備、施工機械、材料供應(yīng)等方面給予充分保證。對于難以預(yù)見的因素導(dǎo)致施工進度趕不上計劃要求時及時研究，項目建設(shè)單位要認真制定和安排趕工計劃并及時付諸實施。二、項目評價1、本期工程項目符合國家產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策和規(guī)劃要求，符合xx高新區(qū)及xx高新區(qū)靶材行業(yè)布局和結(jié)構(gòu)調(diào)整政策；項目的建設(shè)對促進xx高

9、新區(qū)靶材產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)、技術(shù)結(jié)構(gòu)、組織結(jié)構(gòu)、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整優(yōu)化有著積極的推動意義。2、xxx（集團）有限公司為適應(yīng)國內(nèi)外市場需求，擬建“福建靶材生產(chǎn)建設(shè)項目”，本期工程項目的建設(shè)能夠有力促進xx高新區(qū)經(jīng)濟發(fā)展，為社會提供就業(yè)職位617個，達產(chǎn)年納稅總額3523.03萬元，可以促進xx高新區(qū)區(qū)域經(jīng)濟的繁榮發(fā)展和社會穩(wěn)定，為地方財政收入做出積極的貢獻。3、項目達產(chǎn)年投資利潤率47.94%，投資利稅率56.52%，全部投資回報率35.96%，全部投資回收期4.28年，固定資產(chǎn)投資回收期4.28年（含建設(shè)期），項目具有較強的盈利能力和抗風險能力。加強對“專精特新”中小企業(yè)的培育和支持，引導(dǎo)中小企業(yè)專注核心業(yè)

10、務(wù)，提高專業(yè)化生產(chǎn)、服務(wù)和協(xié)作配套的能力，為大企業(yè)、大項目和產(chǎn)業(yè)鏈提供零部件、元器件、配套產(chǎn)品和配套服務(wù)，走“專精特新”發(fā)展之路，發(fā)展一批專業(yè)化“小巨人”企業(yè)，不斷提高專業(yè)化“小巨人”企業(yè)的數(shù)量和比重，有助于帶動和促進中小企業(yè)走專業(yè)化發(fā)展之路，提高中小企業(yè)的整體素質(zhì)和發(fā)展水平，增強核心競爭力。鼓勵民營企業(yè)參與智能制造工程，圍繞離散型智能制造、流程型智能制造、網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造、大規(guī)模個性化定制、遠程運維服務(wù)等新模式開展應(yīng)用，建設(shè)一批數(shù)字化車間和智能工廠，引導(dǎo)產(chǎn)業(yè)智能升級。支持民營企業(yè)開展智能制造綜合標準化工作，建設(shè)一批試驗驗證平臺，開展標準試驗驗證。加快傳統(tǒng)行業(yè)民營企業(yè)生產(chǎn)設(shè)備的智能化改造，提高精準

11、制造、敏捷制造能力。堅持市場主導(dǎo)與政府引導(dǎo)相結(jié)合，提質(zhì)增效與發(fā)展速度相結(jié)合，盤活存量與擴大增量相結(jié)合，技術(shù)改造與技術(shù)創(chuàng)新相結(jié)合，整體推進與重點發(fā)展相結(jié)合，經(jīng)濟效益與社會效益相結(jié)合，工業(yè)化和信息化融合發(fā)展。三、主要經(jīng)濟指標主要經(jīng)濟指標一覽表序號項目單位指標備注1占地面積平方米50198.4275.26畝1.1容積率1.071.2建筑系數(shù)66.46%1.3投資強度萬元/畝166.881.4基底面積平方米33361.871.5總建筑面積平方米53712.311.6綠化面積平方米2970.01綠化率5.53%2總投資萬元17132.952.1固定資產(chǎn)投資萬元12559.392.1.1土建工程投資萬元3

12、769.602.1.1.1土建工程投資占比萬元22.00%2.1.2設(shè)備投資萬元4026.792.1.2.1設(shè)備投資占比23.50%2.1.3其它投資萬元4763.002.1.3.1其它投資占比27.80%2.1.4固定資產(chǎn)投資占比73.31%2.2流動資金萬元4573.562.2.1流動資金占比26.69%3收入萬元33768.004總成本萬元25554.455利潤總額萬元8213.556凈利潤萬元6160.167所得稅萬元1.078增值稅萬元1132.909稅金及附加萬元336.7410納稅總額萬元3523.0311利稅總額萬元9683.1912投資利潤率47.94%13投資利稅率56.5

13、2%14投資回報率35.96%15回收期年4.2816設(shè)備數(shù)量臺（套）15317年用電量千瓦時896816.0518年用水量立方米16110.5519總能耗噸標準煤111.6020節(jié)能率29.01%21節(jié)能量噸標準煤27.9022員工數(shù)量人617 第二章 項目建設(shè)單位說明一、項目承辦單位基本情況（一）公司名稱xxx實業(yè)發(fā)展公司（二）公司簡介公司一直秉承“堅持原創(chuàng)，追求領(lǐng)先”的經(jīng)營理念，不斷創(chuàng)造令客戶驚喜的產(chǎn)品和服務(wù)。企業(yè)“以客戶為中心”的服務(wù)理念，基于特征對用戶群進行劃分，從而有針對性地打造滿足不同用戶群多樣化用能需求的客戶服務(wù)體系。公司具備完整的產(chǎn)品自主研制、開發(fā)、設(shè)計、制造、銷售、管理及售

14、后服務(wù)體系，依托于強大的技術(shù)、人才、設(shè)施領(lǐng)先優(yōu)勢，專注于相關(guān)行業(yè)產(chǎn)品的研發(fā)和制造，不斷追求產(chǎn)品的領(lǐng)先適用，采取以直銷為主、代理為輔的營銷模式，對質(zhì)量管理傾注了強大的精力、人力和財力，聘請具有專項管理經(jīng)驗的高級工程師負責質(zhì)量管理工作，同時，注重研制、開發(fā)、設(shè)計、制造、銷售、管理及售后服務(wù)全方位人才培養(yǎng)；為確保做好售后服務(wù)，還在國內(nèi)主要用戶地區(qū)成立多個產(chǎn)品服務(wù)中心，以此輻射全國所有用戶，深受各地用戶好評。公司生產(chǎn)運營過程中，始終堅持以效益為中心，突出業(yè)績導(dǎo)向，全面推行內(nèi)部市場化運作模式，不斷健全完善全面預(yù)算管理體系及考評機制，把全面預(yù)算管理貫穿于生產(chǎn)經(jīng)營活動的各個環(huán)節(jié)。通過強化預(yù)算執(zhí)行過程管控和績

15、效考核，對生產(chǎn)經(jīng)營過程實施全方位精細化管理，有效控制了產(chǎn)品生產(chǎn)成本；著力推進生產(chǎn)控制自動化與經(jīng)營管理信息化的深度融合，提高了生產(chǎn)和管理效率，優(yōu)化了員工配置，降低了人力資源成本；堅持問題導(dǎo)向，不斷優(yōu)化工藝技術(shù)指標，強化技術(shù)攻關(guān)，積極推廣應(yīng)用新技術(shù)、新工藝、新材料、新裝備，原料轉(zhuǎn)化率穩(wěn)步提高，降低了原料成本及能源消耗，產(chǎn)品成本優(yōu)勢明顯。為了確保研發(fā)團隊的穩(wěn)定性，提升技術(shù)創(chuàng)新能力，公司在研發(fā)投入、技術(shù)人員激勵等方面實施了多項行之有效的措施。公司自成立以來，一直奉行“誠信創(chuàng)新、科學(xué)高效、持續(xù)改進、顧客滿意”的質(zhì)量方針，將產(chǎn)品的質(zhì)量控制貫穿研發(fā)、采購、生產(chǎn)、倉儲、銷售、服務(wù)等整個流程中。公司依靠先進的生

16、產(chǎn)、檢測設(shè)備和品質(zhì)管理系統(tǒng)，確保了品質(zhì)的穩(wěn)定性，贏得了客戶的肯定。二、公司經(jīng)濟效益分析上一年度，xxx（集團）有限公司實現(xiàn)營業(yè)收入31449.15萬元，同比增長24.27%（6141.12萬元）。其中，主營業(yè)業(yè)務(wù)靶材生產(chǎn)及銷售收入為25907.50萬元，占營業(yè)總收入的82.38%。上年度營收情況一覽表序號項目第一季度第二季度第三季度第四季度合計1營業(yè)收入6604.328805.768176.787862.2931449.152主營業(yè)務(wù)收入5440.577254.106735.956476.8825907.502.1靶材(A)1795.392393.852222.862137.378549.48

17、2.2靶材(B)1251.331668.441549.271489.685958.732.3靶材(C)924.901233.201145.111101.074404.282.4靶材(D)652.87870.49808.31777.233108.902.5靶材(E)435.25580.33538.88518.152072.602.6靶材(F)272.03362.71336.80323.841295.382.7靶材(.)108.81145.08134.72129.54518.153其他業(yè)務(wù)收入1163.751551.661440.831385.415541.65根據(jù)初步統(tǒng)計測算，公司實現(xiàn)利潤總額8

18、454.08萬元，較去年同期相比增長2093.67萬元，增長率32.92%；實現(xiàn)凈利潤6340.56萬元，較去年同期相比增長1257.58萬元，增長率24.74%。上年度主要經(jīng)濟指標項目單位指標完成營業(yè)收入萬元31449.15完成主營業(yè)務(wù)收入萬元25907.50主營業(yè)務(wù)收入占比82.38%營業(yè)收入增長率（同比）24.27%營業(yè)收入增長量（同比）萬元6141.12利潤總額萬元8454.08利潤總額增長率32.92%利潤總額增長量萬元2093.67凈利潤萬元6340.56凈利潤增長率24.74%凈利潤增長量萬元1257.58投資利潤率52.73%投資回報率39.55%財務(wù)內(nèi)部收益率28.06%企業(yè)

19、總資產(chǎn)萬元39300.45流動資產(chǎn)總額占比萬元27.62%流動資產(chǎn)總額萬元10852.85資產(chǎn)負債率30.17% 第三章 項目背景研究分析一、靶材項目背景分析靶材材料的技術(shù)發(fā)展趨勢與下游應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的薄膜技術(shù)發(fā)展趨勢息息相關(guān)，隨著應(yīng)用產(chǎn)業(yè)在薄膜產(chǎn)品或元件上的技術(shù)改進，靶材技術(shù)也應(yīng)隨之變化。鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應(yīng)。例如：蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜、鋁膜等。

20、更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。各種類型的濺射薄膜材料在半導(dǎo)體集成電路(VLSI)、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等方面都得到了廣泛的應(yīng)用。20世紀90年代以來，濺射靶材及濺射技術(shù)的同步發(fā)展，極大地滿足了各種新型電子元器件發(fā)展的需求。例如，在半導(dǎo)體集成電路制造過程中，以電阻率較低的銅導(dǎo)體薄膜代替鋁膜布線：在平面顯示器產(chǎn)業(yè)中，各種顯示技術(shù)(如LCD、PDP、OLED及FED等)的同步發(fā)展，有的已經(jīng)用于電腦及計算機的顯示器制造;在信息存儲產(chǎn)業(yè)中，磁性存儲器的存儲容量不斷增加，新的磁光記錄材料不斷推陳出新這些都對所需濺射靶材的質(zhì)

21、量提出了越來越高的要求，需求數(shù)量也逐年增加。日本。就美國而言.約有50家中小規(guī)模的靶材制造商及經(jīng)銷商，其中最大的公司員工大約有幾百人。不過為了能更接近使用者，以便提供更完善的售后服務(wù)，全球主要靶材制造商通常會在客戶所在地設(shè)立分公司。近段時間，亞洲的一些國家和地區(qū)，如臺灣.韓國和新加坡，就建立了越來越多制造薄膜元件或產(chǎn)品的工廠，如IC、液晶顯示器及光碟制造廠。對靶材廠商而言，這是相當重要的新興市場。中國靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展也是與日俱增，不斷的擴大自己的規(guī)模和生產(chǎn)技術(shù)，國內(nèi)一線生產(chǎn)制造靶材的品牌已經(jīng)達到國外最頂尖的技術(shù)水平。2010年，日本三菱公司就在中國臺灣地區(qū)建立了光碟塒靶材的生產(chǎn)基地，可以滿足臺灣5

22、0%的靶材需要。BCC(BusinessCommunicationsCompany，商業(yè)咨詢公司)最新的統(tǒng)計報告指出，全球靶材市場將以8.8%的年平均增長率(AAGR)在今后的5年內(nèi)持續(xù)增長，估計銷售額將從1999年的7.2億美元增加到2004年的11億美元。靶材是一種具有高附加價值的特種電子材料，主要使用在微電子，顯示器，存儲器以及光學(xué)鍍膜等產(chǎn)業(yè)上，用以濺射用于尖端技術(shù)的各種薄膜材料。BCC的報告顯示：全球的上述產(chǎn)業(yè)在1999年使用了2.88百萬公斤靶材。換算為面積，則濺射了363百萬平方米的薄膜。而若以單位靶材來計算，全球在1999年則大約使用了37400單位的靶材。這里所要指出的是，隨著

23、應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的不同，靶材的形狀與大小也有所差異，其直徑從15Gm到3m都有，而上述的統(tǒng)計資料，則是平均化后的結(jié)果。在所有應(yīng)用產(chǎn)業(yè)中，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對靶材濺射薄膜的品質(zhì)要求是最苛刻的。如今12英寸(300衄口)的硅晶片已制造出來.而互連線的寬度卻在減小。硅片制造商對靶材的要求是大尺寸、高純度、低偏析和細晶粒，這就要求所制造的靶材具有更好的微觀結(jié)構(gòu)。靶材的結(jié)晶粒子直徑和均勻性已被認為是影響薄膜沉積率的關(guān)鍵因素。另外，薄膜的純度與靶材的純度關(guān)系極大，過去99.995%(4N5)純度的銅靶，或許能夠滿足半導(dǎo)體廠商0.35pm工藝的需求，但是卻無法滿足如今0.25um的工藝要求，而未米的0.18um藝甚至0.1

24、3m工藝，所需要的靶材純度將要求達到5甚至6N以上。平面顯示器(FPD)這些年來大幅沖擊以陰極射線管(CRT)為主的電腦顯示器及電視機市場，亦將帶動ITO靶材的技術(shù)與市場需求。如今的iTO靶材有兩種.一種是采用納米狀態(tài)的氧化銦和氧化錫粉混合后燒結(jié)，一種是采用銦錫合金靶材。銦錫合金靶材可以采用直流反應(yīng)濺射制造ITO薄膜，但是靶表面會氧化而影響濺射率，并且不易得到大尺寸的臺金靶材。如今一般采取第一種方法生產(chǎn)ITO靶材，利用LIRF反應(yīng)濺射鍍膜.靶材具有沉積速度快.且能精確控制膜厚，電導(dǎo)率高，薄膜的一致性好，與基板的附著力強等優(yōu)點l。但是靶材制作困難，這是因為氧化銦和氧化錫不容易燒結(jié)在一起。一般采用

25、ZrO2、Bi2O3、CeO等作為燒結(jié)添加劑，能夠獲得密度為理論值的93%98%的靶材，這種方式形成的ITO薄膜的性能與添加劑的關(guān)系極大。在儲存技術(shù)方面，高密度、大容量硬盤的發(fā)展，需要大量的巨磁阻薄膜材料，CoFCu多層復(fù)合膜是如今應(yīng)用廣泛的巨磁阻薄膜結(jié)構(gòu)。磁光盤需要的TbFeCo合金靶材還在進一步發(fā)展，用它制造的磁光盤具有存儲容量大，壽命長，可反復(fù)無接觸擦寫的特點。如今開發(fā)出來的磁光盤，具有TbFeCo/Ta和TbFeCo/Al的層復(fù)合膜結(jié)構(gòu)，TbFeCo/AI結(jié)構(gòu)的Kerr旋轉(zhuǎn)角達到58，而TbFeCofFa則可以接近0.8。經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn)，低磁導(dǎo)率的靶材高交流局部放電電壓l抗電強度?；阪N

26、銻碲化物的相變存儲器(PCM)顯示出顯著的商業(yè)化潛力,是NOR型閃存和部分DRAM市場的一項替代性存儲器技術(shù)，不過,在實現(xiàn)更快速地按比例縮小的道路上存在的挑戰(zhàn)之一,便是缺乏能夠生產(chǎn)可進一步調(diào)低復(fù)位電流的完全密閉單元。降低復(fù)位電流可降低存儲器的耗電量,延長電池壽命和提高數(shù)據(jù)帶寬,這對于當前以數(shù)據(jù)為中心的、高度便攜式的消費設(shè)備來說都是很重要的特征。二、靶材項目建設(shè)必要性分析濺射靶材是利用物理氣相沉積技術(shù)制備電子薄膜材料的被轟擊材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、太陽能電池、平板顯示、信息存儲等領(lǐng)域，其中半導(dǎo)芯片用濺射靶材技術(shù)要求最高，具有規(guī)?；a(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量也相對較少，主要分布在美國、日本等國家和地區(qū)

27、。中國濺射靶材行業(yè)起步較晚，目前仍然屬于一個較新的行業(yè)，受益于國家戰(zhàn)略的支持，已經(jīng)開始出現(xiàn)少量專業(yè)從事高純?yōu)R射靶材研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)(如江豐電子，有研新材等)，并成功開發(fā)出一批高端應(yīng)用領(lǐng)域的濺射靶材，為高純?yōu)R射靶材大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化提供了良好的研發(fā)基礎(chǔ)和市場化條件。靶材全球市場預(yù)計16-19復(fù)合增速13%。2016年全球濺射靶材市場容量達113.6億美元，相比于2015年的94.8億美元增長20%。預(yù)測2016-2019年均復(fù)合增長率達13%，到2019年全球高純?yōu)R射靶材市場規(guī)模將超過163億美元。2016年全球靶材市場的下游結(jié)構(gòu)中，半導(dǎo)體占比10%、平板顯示占34%、太陽能電池占21%、記錄媒體占2

28、9%，靶材性能要求依次降低。市場集中度高，日、美占據(jù)80%高端靶材市場。濺射靶材由于其高技術(shù)、高投資、高客戶壁壘，具有規(guī)?；a(chǎn)能力企業(yè)較少，以霍尼韋爾、日礦金屬、東曹、普萊克斯等為代表的靶材龍頭企業(yè)2017年占據(jù)全球約80%靶材市場。美、日等跨國企業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈較為完整，囊括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應(yīng)用各個環(huán)節(jié)，主導(dǎo)高端的半導(dǎo)體靶材市場；韓國、新加坡及中國臺灣地區(qū)擅長磁記錄及光學(xué)薄膜領(lǐng)域，原料多從國外進口；中國靶材產(chǎn)業(yè)正處于起步階段，逐步切入以原料以進口為主的全球主流半導(dǎo)體、顯示、光伏等龍頭企業(yè)客戶。預(yù)計2018-2020年國內(nèi)顯示靶材需求增速維持20-25%增速。中國大陸從上世紀80年

29、代開始進入液晶顯示領(lǐng)域，在政府政策導(dǎo)向和產(chǎn)業(yè)扶植下，我國大陸液晶顯示產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，成為平板顯示行業(yè)發(fā)展速度最快的地區(qū)。2016年中國平板顯示器件產(chǎn)業(yè)整體規(guī)模達到1500億元，同比增長25.99%；2012-2016年國內(nèi)平板顯示增速基本保持在25%以上。此外考慮到國內(nèi)LCD國產(chǎn)替代進程加速、再加上OLED滲透率有望快速提升，預(yù)計2018-2020年國內(nèi)平板顯示產(chǎn)業(yè)增速將至少維持在20-25%；對應(yīng)到國內(nèi)顯示靶材的需求也將相應(yīng)增加。靶材應(yīng)用的戰(zhàn)略高地17-20年全球半導(dǎo)體增速有望超預(yù)期，17年國內(nèi)半導(dǎo)體增速24.81%。半導(dǎo)體靶材性能要求位居各類應(yīng)用之首。半導(dǎo)體行業(yè)所需濺射靶材主要用于晶圓制造材

30、料和封裝測試材料。芯片制造對濺射靶材純度要求很高，通常需達99.9995%（5N5）甚至99.9999%（6N）以上。2017全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)超預(yù)期增速21.62%，從下游需求結(jié)構(gòu)看，17年增長主要源于半導(dǎo)體的主要應(yīng)用是集成電路中的存儲器，增速達到61.49%，增量來源于人工智能、大數(shù)據(jù)、汽車電子等領(lǐng)域?qū)Ω咝阅苄酒枨罂焖偬嵘?。?5年開始國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)維持20%左右增速，漸成常態(tài)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)從臺灣向國內(nèi)轉(zhuǎn)移的趨勢比較確定，國內(nèi)政策、資金、稅收等各方面也在扶持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。國家集成電路產(chǎn)業(yè)基金第一期規(guī)模1,387億元。，至少帶動省市地方基金共4,651億元，拉動國內(nèi)企業(yè)內(nèi)生增長和海外并購。未來第二

31、期基金計劃啟動，也將持續(xù)拉動國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)增長。2011-2016全球半導(dǎo)體用靶材年復(fù)合增長率3.17%，預(yù)計2018-2020國內(nèi)半導(dǎo)體靶材需求增速在20%左右。國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)全球半導(dǎo)體用濺射靶材銷售額從2011年的10.1億美元到2016年為11.7億美元，年均復(fù)合增長率為3.17%，其中晶圓制造用濺射靶材年均復(fù)合增長率為2.07%，封裝測試用濺射靶材年均復(fù)合增長率為4.65%。2016年我國集成電路用濺射靶材市場規(guī)模約14億元，年增速達20%。供給端，隨著國產(chǎn)濺射靶材技術(shù)成熟，尤其是國產(chǎn)濺射靶材具備一定性價比優(yōu)勢，并且符合濺射靶材國產(chǎn)化的政策導(dǎo)向；需求端，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向國內(nèi)

32、轉(zhuǎn)移的趨勢已基本確立，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)崛起將推動國內(nèi)半導(dǎo)體靶材需求的提升。預(yù)計2018-2020年我國濺射靶材的市場規(guī)模有望持續(xù)擴大，復(fù)合增速將維持在2016年20%左右增速水平。2011-2016全球太陽能用靶材增速保持20%以上。太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展給太陽能電池用濺射靶材市場帶來了可觀的成長空間，2016年全球太陽能電池用濺射靶材市場規(guī)模23.4億美元，在全球靶材市場中占比約21%。2011-2016年全球太陽能靶材規(guī)模增速一直保持在20%以上。國內(nèi)靶材需求和供給反差懸殊，國產(chǎn)替代進程加速。2015國內(nèi)靶材需求全球占比近25%，年速約20%；但國內(nèi)靶材企業(yè)市場份額不到2%，供需比例反差明

33、顯。隨著國內(nèi)濺射靶材技術(shù)的成熟和高純鋁生產(chǎn)技術(shù)的提高，我國靶材生產(chǎn)成本優(yōu)勢明顯，靶材原料之一高純鋁的國內(nèi)進出口量差距也在逐步縮小。隨著2019年國家進口靶材免稅期結(jié)束，國內(nèi)靶材企業(yè)優(yōu)勢更加突出。預(yù)計2018-2020年國內(nèi)靶材需求將維持20%以上高速增長，市場份額有望進一步擴大。 第四章 市場分析、調(diào)研一、靶材行業(yè)分析超大規(guī)模集成電路制造過程中要反復(fù)用到的濺射（Sputtering）工藝屬于物理氣相沉積（PVD）技術(shù)的一種，是制備電子薄膜材料的主要技術(shù)之一，它利用離子源產(chǎn)生的離子，在高真空中經(jīng)過加速聚集，而形成高速度能的離子束流，轟擊固體表面，離子和固體表面原子發(fā)生動能交換，使固體表面的原子離

34、開固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料，稱為濺射靶材。一般來說，濺射靶材主要由靶坯、背板等部分構(gòu)成，其中，靶坯是高速離子束流轟擊的目標材料，屬于濺射靶材的核心部分，在濺射鍍膜過程中，靶坯被離子撞擊后，其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上制成電子薄膜；由于高純度金屬強度較低，而濺射靶材需要安裝在專用的機臺內(nèi)完成濺射過程，機臺內(nèi)部為高電壓、高真空環(huán)境，因此，超高純金屬的濺射靶坯需要與背板通過不同的焊接工藝進行接合，背板起到主要起到固定濺射靶材的作用，且需要具備良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能。在濺射靶材應(yīng)用領(lǐng)域中，半導(dǎo)體芯片對濺射靶材的金屬材料純度、內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)等方面都設(shè)定了極其苛刻

35、的標準，需要掌握生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵技術(shù)并經(jīng)過長期實踐才能制成符合工藝要求的產(chǎn)品，因此，半導(dǎo)體芯片對濺射靶材的要求是最高的，價格也最為昂貴；相較于半導(dǎo)體芯片，平面顯示器、太陽能電池對于濺射靶材的純度和技術(shù)要求略低一籌，但隨著靶材尺寸的增大，對濺射靶材的焊接結(jié)合率、平整度等指標提出了更高的要求。此外，濺射靶材需要安裝在濺射機臺內(nèi)完成濺射過程，濺射機臺專用性強，對濺射靶材的形狀、尺寸和精度也設(shè)定了諸多限制。高純度乃至超高純度的金屬材料是生產(chǎn)高純?yōu)R射靶材的基礎(chǔ)，以半導(dǎo)體芯片用濺射靶材為例，若濺射靶材雜質(zhì)含量過高，則形成的薄膜無法達到使用所要求的電性能，并且在濺射過程中易在晶圓上形成微粒，導(dǎo)致電路短路或損

36、壞，嚴重影響薄膜的性能。通常情況下，高純金屬提純分為化學(xué)提純和物理提純，為了獲得更高純度的金屬材料，最大限度地去除雜質(zhì)，需要將化學(xué)提純和物理提純結(jié)合使用。在將金屬提純到相當高的純度后，往往還需配比其他金屬元素才能投入使用，在這個過程中，需要經(jīng)過熔煉、合金化和鑄造等步驟：通過精煉高純金屬，去除氧氣、氮氣等多余氣體；再加入少量合金元素，使其與高純金屬充分結(jié)合并均勻分布；最后將其鑄造成沒有缺陷的錠材，滿足生產(chǎn)加工過程中對金屬成份、尺寸大小的要求。濺射靶材制造環(huán)節(jié)首先需要根據(jù)下游應(yīng)用領(lǐng)域的性能需求進行工藝設(shè)計，然后進行反復(fù)的塑性變形、熱處理，需要精確地控制晶粒、晶向等關(guān)鍵指標，再經(jīng)過焊接、機械加工、清

37、洗干燥、真空包裝等工序。濺射靶材制造所涉及的工序精細且繁多，工序流程管理及制造工藝水平將直接影響到濺射靶材的質(zhì)量和良品率。濺射鍍膜是指物體被離子撞擊時，被濺射飛散出，因被濺射飛散的物體附著于目標基板上而制成薄膜的過程，濺射靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。此環(huán)節(jié)是在濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈條中對生產(chǎn)設(shè)備及技術(shù)工藝要求最高的環(huán)節(jié)，濺射薄膜的品質(zhì)對下游產(chǎn)品的質(zhì)量具有重要影響。在濺射鍍膜過程中，濺射靶材需要安裝在機臺中完成濺射反應(yīng)，濺射機臺專用性強、精密度高，市場長期被美國、日本跨國集團壟斷，主要設(shè)備提供商包括AMAT（美國）、ULVAC（日本）、ANELVA（日本）、Varian（美國）等行業(yè)內(nèi)知名企業(yè)。

38、終端應(yīng)用是針對各類市場需求利用封裝好的元器件制成面向最終用戶的產(chǎn)品，包括汽車電子、智能手機、平板電腦、家用電器等終端消費電子產(chǎn)品。通常情況下，在半導(dǎo)體靶材濺射鍍膜后，需要將鍍膜硅片切割并進行芯片封裝。封裝是指將電路用導(dǎo)線連接到外部接頭處，以便與其他器件連接的工序，不僅能夠起到保護芯片的作用，還將芯片與外界隔離，防止空氣中的雜質(zhì)對芯片電路造成腐蝕而損害導(dǎo)電性能。此外，終端應(yīng)用也包括制備太陽能電池、光學(xué)鍍膜、工具改性、高檔裝飾用品等，此環(huán)節(jié)技術(shù)面較寬，呈現(xiàn)多樣化特征。全球范圍內(nèi)，濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)參與企業(yè)數(shù)量基本呈金字塔型分布，高純?yōu)R射靶材制造環(huán)節(jié)技術(shù)門檻高、設(shè)備投資大，具有規(guī)?；a(chǎn)能力的企業(yè)

39、數(shù)量相對較少，主要分布在美國、日本等國家和地區(qū)，其中，部分企業(yè)同時開展金屬提純業(yè)務(wù)，將產(chǎn)業(yè)鏈延伸到上游領(lǐng)域；部分企業(yè)只擁有濺射靶材生產(chǎn)能力，高純度金屬需要上游企業(yè)供應(yīng)。濺射靶材最高端的應(yīng)用是在超大規(guī)模集成電路芯片制造領(lǐng)域，這個領(lǐng)域只有美國和日本的少數(shù)公司（日礦金屬、霍尼韋爾、東曹、普萊克斯等）從事相關(guān)業(yè)務(wù)，是一個被跨國公司壟斷的行業(yè)。作為濺射靶材客戶端的濺射鍍膜環(huán)節(jié)具有規(guī)?；a(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量相對較多，但質(zhì)量參差不齊，美國、歐洲、日本、韓國等知名企業(yè)居于技術(shù)領(lǐng)先地位，品牌知名度高、市場影響力大，通常會將產(chǎn)業(yè)鏈擴展至下游應(yīng)用領(lǐng)域，利用技術(shù)先導(dǎo)優(yōu)勢和高端品牌迅速占領(lǐng)終端消費市場，如IBM、飛利浦、

40、東芝、三星等。終端應(yīng)用環(huán)節(jié)是整個產(chǎn)業(yè)鏈中規(guī)模最大的領(lǐng)域，其產(chǎn)品的開發(fā)與生產(chǎn)分散在各個行業(yè)領(lǐng)域，同時，此環(huán)節(jié)具有突出的勞動密集性特點，參與企業(yè)數(shù)量最多，機器設(shè)備投資一般，主要分布在日本、中國臺灣和中國大陸等，并逐漸將生產(chǎn)工廠向人力成本低的國家和地區(qū)轉(zhuǎn)移。濺射靶材產(chǎn)業(yè)分布具有一定的區(qū)域性特征，美國、日本跨國集團產(chǎn)業(yè)鏈完整，囊括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應(yīng)用各個環(huán)節(jié)，具備規(guī)?；a(chǎn)能力，在掌握先進技術(shù)以后實施壟斷和封鎖，主導(dǎo)著技術(shù)革新和產(chǎn)業(yè)發(fā)展；韓國、新加坡及中國臺灣地區(qū)在磁記錄及光學(xué)薄膜領(lǐng)域有所特長。另外由于上述地區(qū)芯片及液晶面板產(chǎn)業(yè)發(fā)展較早，促使服務(wù)分工明確，可以為產(chǎn)業(yè)鏈下游的品牌企業(yè)提

41、供如焊接、清洗、包裝等專業(yè)代工服務(wù)，將上游基礎(chǔ)材料和下游終端應(yīng)用對接，起到承上啟下的作用，并在一定程度上推動上游濺射靶材的產(chǎn)品開發(fā)和市場擴展。但是上述地區(qū)的靶材服務(wù)廠商缺少核心技術(shù)及裝備，不能夠在金屬的提純、組織的控制等核心技術(shù)領(lǐng)域形成競爭力濺射靶材的材料即靶坯依然依賴美國和日本的進口。超高純金屬材料及濺射靶材在我國還屬于較新的行業(yè)，以芯片制造廠商、液晶面板制造企業(yè)為代表的下游濺射鍍膜和終端用戶正在加大力度擴展產(chǎn)能。從全球來看，芯片及液晶面板行業(yè)制造向中國大陸轉(zhuǎn)移趨勢愈演愈烈，中國正在迎來這一領(lǐng)域的投資高峰。為此高端濺射靶材的應(yīng)用市場需求正在快速增長。由于濺射鍍膜工藝起源于國外，所需要的濺射靶

42、材產(chǎn)品性能要求高、專業(yè)應(yīng)用性強，因此，長期以來全球濺射靶材研制和生產(chǎn)主要集中在美國、日本少數(shù)幾家公司，產(chǎn)業(yè)集中度相當高。以霍尼韋爾（美國）、日礦金屬（日本）、東曹（日本）等跨國集團為代表的濺射靶材生產(chǎn)商較早涉足該領(lǐng)域，經(jīng)過幾十年的技術(shù)積淀，憑借其雄厚的技術(shù)力量、精細的生產(chǎn)控制和過硬的產(chǎn)品質(zhì)量居于全球濺射靶材市場的主導(dǎo)地位，占據(jù)絕大部分市場份額。這些企業(yè)在掌握濺射靶材生產(chǎn)的核心技術(shù)以后，實施極其嚴格的保密措施，限制技術(shù)擴散，同時不斷進行橫向擴張和垂直整合，將業(yè)務(wù)觸角積極擴展到濺射鍍膜的各個應(yīng)用領(lǐng)域，牢牢把握著全球濺射靶材市場的主動權(quán)，并引領(lǐng)著全球濺射靶材行業(yè)的技術(shù)進步。受到發(fā)展歷史和技術(shù)限制的影

43、響，濺射靶材行業(yè)在我國起步較晚，目前仍然屬于一個較新的行業(yè)。與國際知名企業(yè)生產(chǎn)的濺射靶材相比，我國濺射靶材研發(fā)生產(chǎn)技術(shù)還存在一定差距，市場影響力相對有限，尤其在半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、太陽能電池等領(lǐng)域，全球高純?yōu)R射靶材市場依然被美國、日本的濺射靶材生產(chǎn)廠商所控制或壟斷。隨著濺射靶材朝著更高純度、更大尺寸的方向發(fā)展，我國濺射靶材生產(chǎn)企業(yè)只有不斷進行研發(fā)創(chuàng)新，具備較強的產(chǎn)品開發(fā)能力，研制出適用不同應(yīng)用領(lǐng)域的濺射靶材產(chǎn)品，才能在全球濺射靶材市場中占得一席之地。半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、太陽能電池等下游工業(yè)對產(chǎn)品的品質(zhì)和穩(wěn)定性等方面有較高的要求，為了嚴格控制產(chǎn)品質(zhì)量，下游客戶尤其是全球知名廠商在選擇供應(yīng)

44、商時，供應(yīng)商資格認證壁壘較高，且認證周期較長。我國高純?yōu)R射靶材企業(yè)要進入國際市場，首先要通過部分國際組織和行業(yè)協(xié)會為高純?yōu)R射靶材設(shè)置的行業(yè)性質(zhì)量管理體系標準，例如，應(yīng)用于汽車電子的半導(dǎo)體廠商普遍要求上游濺射靶材供應(yīng)商能夠通過ISO/TS16949質(zhì)量管理體系認證，應(yīng)用于電器設(shè)備的濺射靶材生產(chǎn)商需要滿足歐盟制定的RoHS強制性標準；其次，半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、太陽能電池等下游知名客戶均建立了十分完善的客戶認證體系，在高純?yōu)R射靶材供應(yīng)商滿足行業(yè)性質(zhì)量管理體系認證的基礎(chǔ)上，下游客戶往往還會根據(jù)自身的質(zhì)量管理要求再對供應(yīng)商進行合格供應(yīng)商認證。認證過程主要包括技術(shù)評審、產(chǎn)品報價、樣品檢測、小批量試用、

45、批量生產(chǎn)等幾個階段，認證過程相當苛刻，從新產(chǎn)品開發(fā)到實現(xiàn)大批量供貨，整個過程一般需要2-3年時間。為了降低供應(yīng)商開發(fā)與維護成本，保證產(chǎn)品質(zhì)量的持續(xù)性，濺射靶材供應(yīng)商在通過下游客戶的資格認證后，下游客戶會與濺射靶材供應(yīng)商保持長期穩(wěn)定的合作關(guān)系，不會輕易更換供應(yīng)商，并在技術(shù)合作、供貨份額等方面向優(yōu)質(zhì)供應(yīng)商傾斜。近年來，受益于國家從戰(zhàn)略高度持續(xù)地支持電子材料行業(yè)的發(fā)展及應(yīng)用推廣，我國國內(nèi)開始出現(xiàn)不少專業(yè)從事高純?yōu)R射靶材研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)，并成功開發(fā)出一批能適應(yīng)高端應(yīng)用領(lǐng)域的濺射靶材，為高純?yōu)R射靶材大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化提供了良好的研發(fā)基礎(chǔ)和市場化條件。通過將濺射靶材研發(fā)成果產(chǎn)業(yè)化，積極參與濺射靶材的國際化市場競

46、爭，我國濺射靶材生產(chǎn)企業(yè)在技術(shù)和市場方面都取得了長足的進步，改變了高純?yōu)R射靶材長期依賴進口的不利局面。目前，包括長沙鑫康在內(nèi)的一些國內(nèi)企業(yè)已經(jīng)掌握了高純?yōu)R射靶材生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)，積累了較為豐富的產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗，擁有了一定的市場知名度，獲得了全球知名客戶的認可。二、靶材市場分析預(yù)測靶材是濺射薄膜制備的源頭材料，又稱濺射靶材。是制備晶圓、面板、太陽能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。高純度濺射靶材主要應(yīng)用于電子元器件制造的物理氣相沉積（PhysicalVaporDeposition，PVD）工藝。PVD鍍膜目前主要有三種形式，分別是濺射鍍膜、蒸發(fā)鍍膜以及離子鍍膜。為推動國內(nèi)靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展，增強產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力和國際

47、競爭力，帶動傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)改造和產(chǎn)品升級換代，我國制定了一系列靶材行業(yè)相關(guān)支持政策。靶材行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應(yīng)用等環(huán)節(jié)。其中，靶材制造和濺射鍍膜環(huán)節(jié)是整個靶材產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。靶材產(chǎn)業(yè)下游包括半導(dǎo)體、光伏電池、平板顯示器等等，其中，半導(dǎo)體芯片行業(yè)用的金屬靶材，主要種類包括：銅、鉭、鋁、鈦、鈷和鎢等高純靶材，以及鎳鉑、鎢鈦等合金類的靶材。銅靶和鉭靶通常配合起來使用。靶材主要應(yīng)用在平板顯示、記錄媒體、光伏電池、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。其中，在靶材應(yīng)用領(lǐng)域中，半導(dǎo)體芯片對靶材的金屬材料純度、內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)等方面都設(shè)定了極其苛刻的標準，需要掌握生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵技術(shù)并經(jīng)過長期實踐才能制成

48、符合工藝要求的產(chǎn)品。因此，半導(dǎo)體芯片對靶材的要求是最高的，價格也最為昂貴。半導(dǎo)體芯片行業(yè)是金屬濺射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一，也是對靶材的成分、組織和性能要求最高的領(lǐng)域。目前晶圓的制造正朝著更小的制程方向發(fā)展，銅導(dǎo)線工藝的應(yīng)用量在逐步增大，因此，銅和鉭靶材的需求將有望持續(xù)增長。鋁靶和鈦靶通常配合起來使用。目前，在汽車電子芯片等需要110nm以上技術(shù)節(jié)點來保證其穩(wěn)定性和抗干擾性的領(lǐng)域，仍需大量使用鋁、鈦靶材。目前，全球的靶材制造行業(yè)，特別是高純度的靶材市場，呈現(xiàn)寡頭壟斷格局，主要由幾家美日大企業(yè)把持，如日本的三井礦業(yè)、日礦金屬、日本東曹、住友化學(xué)、日本愛發(fā)科，以及美國霍尼韋爾、普萊克斯等。日礦金屬是

49、全球最大的靶材供應(yīng)商，靶材銷售額約占全球市場的30%，霍尼韋爾在并購JohnsonMattey、整合高純鋁、鈦等原材料生產(chǎn)廠后，占到全球市約20%的份額，此外，東曹和普萊克斯分別占20%和10%。目前，國內(nèi)靶材廠商主要聚焦在低端產(chǎn)品領(lǐng)域，在半導(dǎo)體、平板顯示器和太陽能電池等市場還無法與國際巨頭全面競爭。但是，依靠國內(nèi)的巨大市場潛力和利好的產(chǎn)業(yè)政策，以及產(chǎn)品價格優(yōu)勢，它們已經(jīng)在國內(nèi)市場占有一定的市場份額，并逐步在個別細分領(lǐng)域搶占了部分國際大廠的市場空間。近年來，我國政府制定了一系列產(chǎn)業(yè)政策，如863計劃、02專項基金等來加速濺射靶材供應(yīng)的本土化進程，推動國產(chǎn)靶材在多個應(yīng)用領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)從無到有的跨越。這

50、些都從國家戰(zhàn)略高度扶植并推動著濺射靶材產(chǎn)業(yè)的發(fā)展壯大。 第五章 投資建設(shè)方案一、產(chǎn)品規(guī)劃項目主要產(chǎn)品為靶材，根據(jù)市場情況，預(yù)計年產(chǎn)值33768.00萬元。項目產(chǎn)品的市場需求是投資項目存在和發(fā)展的基礎(chǔ)，市場需要量是根據(jù)分析項目產(chǎn)品市場容量、產(chǎn)品產(chǎn)量及其技術(shù)發(fā)展來進行預(yù)測；目前，我國各行業(yè)及各個領(lǐng)域?qū)椖慨a(chǎn)品需求量很大，由于此類產(chǎn)品具有市場需求多樣化、升級換代快的特點，所以項目產(chǎn)品的生產(chǎn)量滿足不了市場要求，每年還需大量從外埠調(diào)入或國外進口，商品市場需求高于產(chǎn)品制造發(fā)展速度，因此，項目產(chǎn)品具有廣闊的潛在市場。堅持把項目產(chǎn)品需求市場作為創(chuàng)業(yè)工作的出發(fā)點和落腳點，根據(jù)市場的變化合理調(diào)整產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，真正做到

51、市場需要什么產(chǎn)品就生產(chǎn)什么產(chǎn)品，市場的熱點在哪里，創(chuàng)新工作的著眼點就放在哪里；針對市場需求變化合理確定項目產(chǎn)品生產(chǎn)方案，增加產(chǎn)品高附加值，能夠滿足人們對項目產(chǎn)品的需求。二、建設(shè)規(guī)模（一）用地規(guī)模該項目總征地面積50198.42平方米（折合約75.26畝），其中：凈用地面積50198.42平方米（紅線范圍折合約75.26畝）。項目規(guī)劃總建筑面積53712.31平方米，其中：規(guī)劃建設(shè)主體工程39038.72平方米，計容建筑面積53712.31平方米；預(yù)計建筑工程投資3769.60萬元。（二）設(shè)備購置項目計劃購置設(shè)備共計153臺（套），設(shè)備購置費4026.79萬元。（三）產(chǎn)能規(guī)模項目計劃總投資171

52、32.95萬元；預(yù)計年實現(xiàn)營業(yè)收入33768.00萬元。 第六章 項目選址方案一、項目選址該項目選址位于xx高新區(qū)。園區(qū)深入貫徹落實黨中央、國務(wù)院和省委、省政府的決策部署，牢固樹立和自覺踐行創(chuàng)新、協(xié)調(diào)、綠色、開放、共享五大發(fā)展理念，堅持問題導(dǎo)向、底線思維，推進供給側(cè)結(jié)構(gòu)性改革，厚植優(yōu)勢、補齊短板，著力破除制約民間投資發(fā)展的體制機制障礙，提升行政服務(wù)效能，改善投資環(huán)境，強化要素保障，不斷提升民營經(jīng)濟對需求變化的適應(yīng)性和靈活性，推動經(jīng)濟發(fā)展向高中速、高中端轉(zhuǎn)型，為高水平全面建成小康社會奠定堅實基礎(chǔ)。區(qū)內(nèi)地勢平坦，交通便利，建區(qū)幾年來，區(qū)內(nèi)基礎(chǔ)設(shè)施完善、配套，形成了高標準的街路網(wǎng)，中心基礎(chǔ)設(shè)施已完成

53、“七通一平”（上水、下水、電、氣、熱、通訊、路通、地勢平），是業(yè)主投資辦廠的理想場所。園區(qū)不斷完善產(chǎn)業(yè)園區(qū)環(huán)保設(shè)施。優(yōu)化產(chǎn)業(yè)園區(qū)垃圾處理、污水處理等專項規(guī)劃，推進產(chǎn)業(yè)園區(qū)環(huán)保基礎(chǔ)設(shè)施一體化建設(shè)。實施產(chǎn)業(yè)園區(qū)污水集中治理、廢氣專項治理、固廢綜合利用三大專項行動，入園企業(yè)符合產(chǎn)業(yè)園區(qū)產(chǎn)業(yè)政策和規(guī)劃要求，各項目環(huán)評執(zhí)行率及三同時執(zhí)行率達到100%，產(chǎn)業(yè)園區(qū)各類污染物實現(xiàn)達標排放，污水處理率達到95%以上，處理達標率100%；工業(yè)固體廢物處置利用率達到85%以上，水泥、鋼鐵等重點企業(yè)二氧化硫、氮氧化物均滿足達標排放和總量控制要求。福建省，簡稱閩，是中華人民共和國省級行政區(qū)。省會福州，位于中國東南沿海，

54、東北與浙江省毗鄰，西北與江西省接界，西南與廣東省相連，東南隔臺灣海峽與臺灣省相望，陸地總面積12.14萬平方千米。地勢西北高，東南低，呈依山傍海態(tài)勢，境內(nèi)山地、丘陵面積約占全省總面積的90%；地跨閩江、晉江、九龍江、汀江四大水系，屬亞熱帶海洋性季風氣候。2019年10月，入選國家數(shù)字經(jīng)濟創(chuàng)新發(fā)展試驗區(qū)。截至2019年底，福建省下轄福州、廈門、泉州、漳州、莆田、龍巖、三明、南平、寧德9個地級市，共有12個縣級市，44個縣，29個市轄區(qū)。常住人口3973萬人，地區(qū)生產(chǎn)總值達42395.00億元，增長7.6%。人均地區(qū)生產(chǎn)總值107139元，比上年增長6.7%。對周圍環(huán)境不應(yīng)產(chǎn)生污染或?qū)χ車h(huán)境污染

55、不超過國家有關(guān)法律和現(xiàn)行標準的允許范圍，不會引起當?shù)鼐用竦牟粷M，不會造成不良的社會影響。企業(yè)管理經(jīng)驗豐富。項目承辦單位是以相關(guān)行業(yè)為主營業(yè)務(wù)的民營企業(yè)，擁有一大批高素質(zhì)的生產(chǎn)技術(shù)、科研開發(fā)、工程管理和企業(yè)管理人才，其項目產(chǎn)品制造技術(shù)和銷售市場已較為成熟，在生產(chǎn)制造的精細化管理方面、質(zhì)量控制方面均具有豐富的經(jīng)驗，具有管理優(yōu)勢；在項目產(chǎn)品的生產(chǎn)和工程建設(shè)方面積累了豐富的經(jīng)驗，為投資項目的順利實施提供了管理上的有力保障。項目建設(shè)所選區(qū)域交通運輸條件十分便利，擁有集公路、鐵路、航空于一體的現(xiàn)代化交通運輸網(wǎng)絡(luò)，物流運輸方便快捷，為投資項目原料進貨、產(chǎn)品銷售和對外交流等提供了多條便捷通道，對于項目實現(xiàn)既定

56、目標十分有利。完善的國內(nèi)銷售網(wǎng)絡(luò)，項目承辦單位經(jīng)過多年來的經(jīng)營，不僅有長期穩(wěn)定客戶和潛在客戶，而且有非常完善的銷售體系；企業(yè)的銷售激勵制度大大提高了員工的工作積極性，再加上平時公司領(lǐng)導(dǎo)對員工的感情投資，使銷售員工對公司有很強的向心力；正是具備穩(wěn)定有激情的銷售團隊，才保證了企業(yè)的銷售政策很好的貫徹執(zhí)行下去，也使企業(yè)的銷售業(yè)績有很大的提高；企業(yè)的銷售團隊將在有項目產(chǎn)品銷售市場的區(qū)域，根據(jù)當?shù)貙嶋H情況，銷售適合當?shù)丶庸て髽I(yè)需要的項目產(chǎn)品。二、用地控制指標根據(jù)測算，投資項目固定資產(chǎn)投資強度完全符合國土資源部發(fā)布的工業(yè)項目建設(shè)用地控制指標（國土資發(fā)【2008】24號）中規(guī)定的產(chǎn)品制造行業(yè)固定資產(chǎn)投資強度1259.00萬元/公頃的規(guī)定；同時，滿足項目建設(shè)地確定的“固定資產(chǎn)投資強度4500.00萬元/公頃”的具體要求。三、地總體要求本期工程項目建設(shè)規(guī)劃建筑系數(shù)66.46%，建筑容積率1.07，建設(shè)區(qū)域綠化覆蓋率5.53%，固定資產(chǎn)投資強度166.88萬元/畝。