簡(jiǎn)析led芯片倒裝工藝原理以及發(fā)展趨勢(shì)

1、簡(jiǎn)析led芯片倒裝工藝原理以及發(fā)展趨勢(shì)2013-08-18 00:03:00 ofweek半導(dǎo)體照明網(wǎng) 導(dǎo)讀: 倒裝晶片之所以被稱(chēng)為“倒裝”是相對(duì)于傳統(tǒng)的金屬線(xiàn)鍵合連接方式（wire bonding）與植球后的工藝而言 的。傳統(tǒng)的通過(guò)金屬線(xiàn)鍵合與基板連接的晶片電氣面朝上，而倒裝晶片的電氣面朝下，相當(dāng)于將前者翻轉(zhuǎn)過(guò)來(lái)， 故稱(chēng)其為“倒裝晶片”。 o led芯片倒裝晶片mocvd ofweek半導(dǎo)體照明網(wǎng)訊 倒裝晶片所需具備的條件：基材材是硅； 電氣面及焊凸在元件下表面； 組裝在基板后需要做底部填充。倒裝晶片的定義：其實(shí)倒裝晶片之所以被稱(chēng)為“倒裝”是相對(duì)于傳統(tǒng)的金屬線(xiàn)鍵合連接方式（wire bond

2、ing）與植球后的工藝而言 的。傳統(tǒng)的通過(guò)金屬線(xiàn)鍵合與基板連接的晶片電氣面朝上，而倒裝晶片的電氣面朝下，相當(dāng)于將前者翻轉(zhuǎn)過(guò)來(lái)， 故稱(chēng)其為“倒裝晶片”。倒裝芯片的實(shí)質(zhì)是在傳統(tǒng)工藝的基礎(chǔ)上，將芯片的發(fā)光區(qū)與電極區(qū)不設(shè)計(jì)在同一個(gè)平面這時(shí)則由電極區(qū)面朝向燈杯底部進(jìn)行貼裝，可以省掉焊線(xiàn)這一工序，但是對(duì)固晶這段工藝的精度要求較高，一般很難達(dá)到較高的良率。倒裝芯片與與傳統(tǒng)工藝相比所具備的優(yōu)勢(shì)：通過(guò)mocvd技術(shù)在蘭寶石襯底上生長(zhǎng)gan基led結(jié)構(gòu)層，由p/n結(jié)髮光區(qū)發(fā)出的光透過(guò)上面的p型區(qū)射出。由于p型gan傳導(dǎo)性能不佳，為獲得良好的電流擴(kuò)展，需要通過(guò)蒸鍍技術(shù)在p區(qū)表面形成一層ni-au組成的金屬電極層。p

3、區(qū)引線(xiàn)通過(guò)該層金屬薄膜引出。為獲得好的電流擴(kuò)展，ni-au金屬電極層就不能太薄。為此，器件的發(fā)光效率就會(huì)受到很大影響，通常要同時(shí)兼顧電流擴(kuò)展與出光效率二個(gè)因素。但無(wú)論在什麼情況下，金屬薄膜的存在，總會(huì)使透光性能變差。此外，引線(xiàn)焊點(diǎn)的存在也使器件的出光效率受到影響。采用gan led倒裝芯片的結(jié)構(gòu)可以從根本上消除上面的問(wèn)題。倒裝led芯片技術(shù)行業(yè)應(yīng)用分析：近年，世界各國(guó)如歐洲各國(guó)、美國(guó)、日本、韓國(guó)和中國(guó)等皆有l(wèi)ed照明相關(guān)項(xiàng)目推行。其中，以我國(guó)所推廣的“十城萬(wàn)盞”計(jì)劃最為矚目。路燈是城市照明不可缺少的一部分，傳統(tǒng)路燈通常采用高壓鈉燈或金鹵燈，這兩種光源最大的特點(diǎn)是發(fā)光的電弧管尺寸小，可以產(chǎn)生很大

4、的光輸出，并且具有很高的光效。但這類(lèi)光源應(yīng)用在道路燈具中，只有約40%的光直接通過(guò)玻璃罩到達(dá)路面，60%的光通過(guò)燈具反射器反射后再?gòu)臒艟咧猩涑?。因此目前傳統(tǒng)燈具基本存在兩個(gè)不足，一是燈具直接照射的方向上照度很高，在次干道可達(dá)到50lx以上，這一區(qū)域?qū)倜黠@的過(guò)度照明， 而兩個(gè)燈具的光照交叉處的照度僅為燈下中心位置的照度的20%-40%，光分布均勻度低；二是此類(lèi)燈具的反射器效率一般僅為50%-60%，因此在反射過(guò)程中有大量的光損失，所以傳統(tǒng)高壓鈉燈或金鹵燈路燈總體效率在70-80%，均勻度低，且有照度的過(guò)度浪費(fèi)。另外，高壓鈉燈和金鹵燈使用壽命通常小于6000小時(shí)，且顯色指數(shù)小于30；led有著高效

5、、節(jié)能、壽命長(zhǎng)(5萬(wàn)小時(shí))、環(huán)保、顯色指數(shù)高(75)等顯著優(yōu)點(diǎn)，如何有效的將led應(yīng)用在道路照明上成為了led及路燈廠家現(xiàn)時(shí)最熱門(mén)的話(huà)題。一般而言，根據(jù)路燈的使用環(huán)境對(duì)led的光學(xué)設(shè)計(jì)、壽命保障、防塵和防水能力、散熱處理、光效等方面均有嚴(yán)格的要求。作為led路燈的核心，led芯片的制造技術(shù)和對(duì)應(yīng)的封裝技術(shù)共同決定了led未來(lái)在照明領(lǐng)域的應(yīng)用前景。 1) led芯片的發(fā)光效率提升led芯片發(fā)光效率的提高決定著未來(lái)led路燈的節(jié)能能力，隨著外延生長(zhǎng)技術(shù)和多量子阱結(jié)構(gòu)的發(fā)展，外延片的內(nèi)量子效率已有很大提高。要如何滿(mǎn)足路燈使用的標(biāo)準(zhǔn)，很大程度上取決于如何從芯片中用最少的功率提取最多的光，簡(jiǎn)單而言，就是

6、降低驅(qū)動(dòng)電壓，提高光強(qiáng)。傳統(tǒng)正裝結(jié)構(gòu)的led芯片，一般需要在p-gan上鍍一層半透明的導(dǎo)電層使電流分布更均勻，而這一導(dǎo)電層會(huì)對(duì)led發(fā)出的光產(chǎn)生部分吸收，而且p電極會(huì)遮擋住部分光，這就限制了led芯片的出光效率。而采用倒裝結(jié)構(gòu)的led芯片，不但可以同時(shí)避開(kāi)p電極上導(dǎo)電層吸收光和電極墊遮光的問(wèn)題，還可以通過(guò)在p-gan表面設(shè)置低歐姆接觸的反光層來(lái)將往下的光線(xiàn)引導(dǎo)向上，這樣可同時(shí)降低驅(qū)動(dòng)電壓及提高光強(qiáng)。(見(jiàn)圖1)另一方面，圖形化藍(lán)寶石襯底(pss)技術(shù)和芯片表面粗糙化技術(shù)同樣可以增大led芯片的出光效率50%以上。pss結(jié)構(gòu)主要是為了減少光子在器件內(nèi)全反射而增加出光效率，而芯片表面粗糙化技術(shù)可以減

7、少光線(xiàn)從芯片內(nèi)部發(fā)射到芯片外部時(shí)在界面處發(fā)生反射的光線(xiàn)損失。目前，led芯片采用倒裝結(jié)構(gòu)和圖形化技術(shù)，1w功率芯片白光封裝后，5000k色溫下，光效最高達(dá)到134lm/w。2) led芯片的壽命和可靠性芯片的結(jié)溫和散熱散熱問(wèn)題是功率型白光led需重點(diǎn)解決的技術(shù)難題，散熱效果的優(yōu)劣直接關(guān)系到路燈的壽命和節(jié)能效果。led是靠電子在能帶間躍遷產(chǎn)生光的，其光譜中不含有紅外部分，所以led的熱量不能靠輻射散發(fā)。如果led芯片中的熱量不能及時(shí)散發(fā)出去，會(huì)加速器件的老化。一旦led的溫度超過(guò)最高臨界溫度(跟據(jù)不同外延及工藝，芯片溫度大概為150)，往往會(huì)造成led永久性失效。有效地解決led芯片的散熱問(wèn)題，

8、對(duì)提高led路燈的可靠性和壽命具有重要作用。要做到這一點(diǎn)，最直接的方法莫過(guò)于提供一條良好的導(dǎo)熱通道讓熱量從結(jié)往外散出。在芯片的級(jí)別上，與傳統(tǒng)正裝結(jié)構(gòu)以藍(lán)寶石襯底作為散熱通道相比，垂直及倒裝焊芯片結(jié)構(gòu)有著較佳的散熱能力。垂直結(jié)構(gòu)芯片直接采用銅合金作為襯底，有效地提高了芯片的散熱能力。倒裝焊(flip-chip)技術(shù)通過(guò)共晶焊將led芯片倒裝到具有更高導(dǎo)熱率的硅襯底上(導(dǎo)熱系數(shù)約120w/mk，傳統(tǒng)正裝芯片藍(lán)寶石導(dǎo)熱系數(shù)約20w/mk)，芯片與襯底間的金凸點(diǎn)和硅襯底同時(shí)提高了led芯片的散熱能力，保障led的熱量能夠快速?gòu)男酒袑?dǎo)出。芯片的esd保護(hù)另外，抗靜電釋放(esd)能力是影響led芯片可

9、靠性的另一因素。藍(lán)寶石襯底的藍(lán)色芯片其正負(fù)電極均位于芯片上面，間距很??；對(duì)于ingan/algan/gan 雙異質(zhì)結(jié)，ingan 活化簿層厚度僅幾十納米，對(duì)靜電的承受能力有限，很容易被靜電擊穿，使器件失效。為了防止靜電對(duì)led芯片的損害，一方面可以采用將生產(chǎn)設(shè)備接地和隔離人體靜電等生產(chǎn)管理方法，另一方面可以在led芯片中加入齊納保護(hù)電路。在應(yīng)用到路燈領(lǐng)域中，傳統(tǒng)芯片結(jié)構(gòu)esdhbm最高約為2000v，通常需要在封裝過(guò)程中通過(guò)金線(xiàn)并聯(lián)一顆齊納芯片以提高esd防護(hù)能力，不僅增加封裝成本和工藝難度，可靠性也有較大的風(fēng)險(xiǎn)。通過(guò)在硅襯底內(nèi)部集成齊納保護(hù)電路的方法，可以大大提高led芯片的抗靜電釋放能力(

10、esdhbm=40008000v)，同時(shí)節(jié)約封裝成本，簡(jiǎn)化封裝工藝，并提高產(chǎn)品可靠性。3)實(shí)例介紹倒裝芯片的穩(wěn)定性led路燈通常為60-200w左右，目前主要采取兩種方式來(lái)實(shí)現(xiàn)，一種是通過(guò)“多顆芯片金線(xiàn)串并聯(lián)的模組”和“多顆led通過(guò)pcb串并聯(lián)”的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高瓦數(shù)。無(wú)論哪種實(shí)現(xiàn)方式，均要求在封裝過(guò)程中通過(guò)焊線(xiàn)(wire-bonding)的方式實(shí)現(xiàn)芯片與支架的電路連接，而焊接過(guò)程中瓷嘴對(duì)led的芯片的沖擊是導(dǎo)致led漏電、虛焊等主要原因，傳統(tǒng)正裝和垂直結(jié)構(gòu)led，電極位于芯片的發(fā)光表面，因此焊線(xiàn)過(guò)程中瓷嘴的正面沖擊極易造成發(fā)光區(qū)和電極金屬層等的損傷，在led芯片采取倒裝結(jié)構(gòu)中，電極位于硅基板上

11、，焊線(xiàn)過(guò)程中不對(duì)芯片進(jìn)行沖擊，極大地提高封裝可靠性和生產(chǎn)良率。 1、led芯片的封裝要求作為led路燈的核心器件，led芯片的性能需要通過(guò)led封裝工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)光效、壽命、穩(wěn)定性、光學(xué)設(shè)計(jì)、散熱等能力的提升。由于芯片結(jié)構(gòu)的不同，對(duì)應(yīng)的封裝工藝也有較大的差異。光效提升正裝結(jié)構(gòu)和垂直結(jié)構(gòu)的芯片是gan與熒光粉和硅膠接觸，而倒裝結(jié)構(gòu)中是藍(lán)寶石(sapphire)與熒光粉和硅膠接觸。gan的折射率約為2.4，藍(lán)寶石折射率為1.8，熒光粉折射率為1.7，硅膠折射率通常為1.4-1.5。藍(lán)寶石/(硅膠+熒光粉)和gan/(硅膠+熒光粉)的全反射臨界角分別為51.1-70.8和36.7-45.1，在封裝結(jié)構(gòu)中

12、由藍(lán)寶石表面射出的光經(jīng)由硅膠和熒光粉界面層的全反射臨界角更大，光線(xiàn)全反射損失大大降低。同時(shí)，芯片結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)不同，導(dǎo)致電流密度和電壓的不同，對(duì)led的光效有明顯的影響。如傳統(tǒng)的正裝芯片通常電壓在3.5v以上，而倒裝結(jié)構(gòu)芯片，由于電極結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，電流分布更均勻，使led芯片的電壓大幅度降低至2.8v-3.0v，因此，在同樣光通量的情況，倒裝芯片的光效比正裝芯片光效約高16-25%左右?？煽啃蕴嵘齦ed的可靠性由led芯片、熒光粉、硅膠、支架、金線(xiàn)等材料共同決定，其中l(wèi)ed芯片產(chǎn)生的熱量如不能快速導(dǎo)出，將直接影響led芯片的結(jié)溫和熒光粉、硅膠的可靠性。目前熒光粉根據(jù)體系不同，耐高溫能力也有較大的差別

13、，通常熒光粉在100-120以上開(kāi)始有衰減，因此如何降低led芯片表面的溫度成為提高led可靠性的關(guān)鍵因素。垂直結(jié)構(gòu)芯片能夠通過(guò)金屬襯底將熱量快速導(dǎo)出至支架中，芯片表面溫度較低，正裝芯片熱量通過(guò)藍(lán)寶石導(dǎo)出至支架中，由于藍(lán)寶石導(dǎo)熱率較低(約20w/mk)，熱量無(wú)法快速導(dǎo)出，逐漸累積，對(duì)熒光粉的可靠性影響較大。倒裝結(jié)構(gòu)的芯片的熱量絕大部分向下通過(guò)金凸點(diǎn)快速導(dǎo)入至硅基板(導(dǎo)熱率約120w/mk)中，再由硅基板導(dǎo)入支架中，而向上由于藍(lán)寶石導(dǎo)熱率低，只有小部分熱量積累在藍(lán)寶石中，實(shí)現(xiàn)熱(向下導(dǎo)出)和光的分離(向上射出)設(shè)計(jì)，同時(shí)藍(lán)寶石的表面溫度較低，可以延長(zhǎng)熒光粉的老化周期，大大提高led的可靠性和壽命

14、。同時(shí)，由于倒裝結(jié)構(gòu)的良好散熱設(shè)計(jì)，倒裝1w芯片可以具有更好的l-i線(xiàn)性關(guān)系(見(jiàn)圖3)和飽和電流容忍能力及大電流承受能力。倒裝1w功率芯片可支持長(zhǎng)期室溫780ma大電流老化。 2、1w功率芯片安裝的路燈實(shí)例分析照明效果led倒裝芯片以其低電壓(3.0v以下)、高光效(100-110lm/w)、高穩(wěn)定性而逐漸被國(guó)內(nèi)大多數(shù)燈具廠家應(yīng)用于路燈照明中?，F(xiàn)以一客戶(hù)用倒裝芯片安裝的路燈為例對(duì)高壓鈉燈和led路燈進(jìn)行對(duì)比分析。港前大道在改造前采用400w(頂燈)+150w(腰燈)高壓鈉燈路燈，每桿日耗電量為6.6度，改造后采用180w(頂燈)+60w(腰燈) led路燈，每桿日耗電量為3.1度，道路照明質(zhì)量

15、完全達(dá)到城市道路照明標(biāo)準(zhǔn)cjj-45-2006的要求，節(jié)能53%。采用德國(guó)lm-1009道路專(zhuān)用窄視角亮度計(jì)，按道路照明亮度測(cè)量方法(測(cè)量?jī)x器位于距離起始被測(cè)點(diǎn)60米處，儀器高度1.2米，沿車(chē)道中心線(xiàn)測(cè)量?jī)蔁魲U間亮度最高和最低處，逐點(diǎn)測(cè)量)，改造前該路面最大照度為42lx，最小照度為8lx，平均照度30lx，均勻度0.3；改造后該路面最大照度為23lx，最小照度為12lx，平均照度18lx，均勻度0.75。由于led光源的顯色性在70以上，亮度分布均勻，對(duì)目標(biāo)的辨別能力遠(yuǎn)好于顯色指數(shù)為23的高壓鈉燈，在道路照明的條件下(中間視覺(jué))，適當(dāng)降低白光led的照度要求(降低1/3)，可以達(dá)到與高壓鈉燈同等的照明效果。此次在港前大道更換使用led路燈后，路面總體均勻度、縱向均勻度、橫向均勻度均達(dá)到了0.70以上，取得很好的照明效果。未來(lái)led的芯片發(fā)展方向目前高功率的led路燈主要通過(guò)“多顆芯片金線(xiàn)串并聯(lián)”和“多顆led通過(guò)pcb串并聯(lián)”的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)。前者由于芯片之間需要進(jìn)行光電參數(shù)的匹配，且多顆金線(xiàn)串并聯(lián)封裝的工藝不可靠性和低封裝良率，一直未被廣泛使用。而后者則需要對(duì)多顆led進(jìn)行嚴(yán)格的光電參數(shù)匹配，且光學(xué)設(shè)計(jì)困難。