空氣泄漏測(cè)試方法與儀器

1、泄漏檢測(cè)方法氣泡法：在密閉的工件腔體內(nèi)通入一定壓力的氣體，將工件沉放入水中（或者其它液體中），觀察是否有氣泡溢出?；蛘咴诠ぜ砻嫱糠试硭^察是否有氣泡產(chǎn)生。（落后，污染產(chǎn)品，效率低下，無(wú)法自動(dòng)化）壓力降法：在密閉的工件腔體內(nèi)通入一定壓力的氣體，靜止一段時(shí)間，再次檢測(cè)氣體的壓力，觀察壓力是否有降低，根據(jù)壓力的變化來(lái)判斷是否有泄漏。（落后，效率極其低下，靈敏度最低）壓力差法：原理與壓力降法類似，但方法更好。在密閉的工件腔體內(nèi)通入一定壓力的氣體，同時(shí)在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)罐體內(nèi)通入同樣壓力的氣體，靜止一段時(shí)間，觀察標(biāo)準(zhǔn)罐 體內(nèi)的壓力與工件內(nèi)的壓力差。這個(gè)比壓力降法的精度要高，它可以排除環(huán)境溫度變 化帶來(lái)的壓力

2、偏差。但市面上現(xiàn)有的壓差表分辨率只有1001001000pa1000pa（靈敏度有所提高，效率也不高）。也有公司開(kāi)發(fā)的傳感器或泄漏測(cè)試儀能識(shí)別0.01Pa0.01Pa 的壓力變化，也能精密測(cè)量泄漏體積，從而對(duì)泄漏程度有一個(gè)量化數(shù)據(jù)。方法好，效率高。微流量測(cè)試法：與上面壓差法類似，當(dāng)有 0.01Pa0.01Pa 的壓差時(shí)，就能驅(qū)使空氣流動(dòng)， 導(dǎo)致傳感器的熱場(chǎng)變化，從而能在幾毫秒內(nèi)準(zhǔn)確測(cè)試出微泄漏的量。分辨率最小能探 測(cè)到 0.10.1 SCCMSCCM （ StandardStandard CubicCubic CentimeterCentimeter perper Minute:Minute:

3、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下立方厘米 / /分鐘）。方法好，效率高。泄漏收集法：適合閥類產(chǎn)品，一側(cè)（腔體）加壓，另一側(cè)（腔體）收集泄漏氣體且盡可能減小腔體體積，以增加單位泄漏量下的壓力的變化速度。其它方法如負(fù)壓或 背壓法也是與此法類似。壓力差法及微流量測(cè)試法都可與泄漏收集法配合同時(shí)使用，效果更好，效率更高。在產(chǎn)能要求不高時(shí)，通過(guò)延長(zhǎng)收集時(shí)間，能達(dá)到質(zhì)譜儀的探測(cè)能力。超聲波探測(cè)法：原理是泄漏點(diǎn)會(huì)產(chǎn)生超聲波，使用超聲波探測(cè)儀即可找出泄漏點(diǎn)。這個(gè)僅適用于尋找氣體管路泄漏點(diǎn)的檢測(cè)。（精度很差，最小只能探測(cè)到3 3 公斤壓力下 100um100um 孔徑的泄漏，這時(shí)的泄漏速度有 100000100000 立方毫米/ /

4、秒以上）鹵素氣體檢漏法：將一定壓力的鹵素氣體通入密閉的工件腔體中，在工件外部用 鹵素探測(cè)儀檢測(cè)是否有鹵素氣體泄漏。 （精度尚可，能探測(cè)到的最小泄漏速度大約為 10201020 立方毫米/ /秒，效率一般，要在所有表面掃描探測(cè)， ）氫氦氣檢漏法：原理與鹵素氣體檢漏法類似，不同的是使用分子量更小，運(yùn)動(dòng)速 度更快的氫氦氣體，所以靈敏度更高。在2020 C標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下，水分子的運(yùn)動(dòng)速率約1 12m/s2m/s （米/ /秒），氧氣分子運(yùn)動(dòng)速率約 460m/s460m/s，氫氦分子運(yùn)動(dòng)速率約 1600m/s1600m/s。 將一定壓力的氦氣，通入密閉的工件腔體中，然后使用氦質(zhì)譜儀檢測(cè)工件的腔體周圍是否有

5、氫氦元素泄漏，這個(gè)是目前高精度檢漏所用的方法，比起前面幾個(gè)方法來(lái)說(shuō)， 靈敏度提高了很多，當(dāng)然，成本也很高。（靈敏度最高，在真空模式下，每秒泄漏超 過(guò) 1 1 億個(gè)氣體分子時(shí)，就能探測(cè)到，在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下約5 5 立方微米/秒，或 1010人-1313立方米* *帕/ /秒，若在大氣模式下，靈敏度減少4 4 個(gè)數(shù)量級(jí)，約 0.050.05 立方毫米/ /秒。不僅設(shè)備昂貴，而且需要消耗昂貴的氦氣，要配置真空泵等，使用時(shí)要在所有表面掃描 探測(cè)）有沒(méi)有探測(cè)靈敏度接近氫氦氣檢漏法的，而價(jià)格低廉，使用更高效便捷的方法或 儀器？ XL-500AXL-500A 型泄漏測(cè)試儀的靈敏度能接近質(zhì)譜儀，在產(chǎn)能要求不高時(shí)，通過(guò)延長(zhǎng) 收集時(shí)間或泄漏時(shí)間，能達(dá)到質(zhì)譜儀的探測(cè)能力。總體而言，只有壓力差法，微流量測(cè)試法，泄漏收集法，這幾種方法好，性價(jià)比、效率高，也比較容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。對(duì)于密封要求極高的產(chǎn)品，且產(chǎn)能也要求很高時(shí)，可以選用質(zhì)譜儀測(cè)試泄漏。如何