全面推行鍍膜TPM管理

1、 作成: 林華 2006年4月18日上部分全面推行鍍膜tpm管理總經(jīng)理方針:做人、做事、經(jīng)典qcd。一、日本的全員生產(chǎn)維護(hù)（tpm） 在日本得到推廣的全員維護(hù)tpm，是在生產(chǎn)維護(hù)（pm）的基礎(chǔ)上，加上全員性（t）所形成的（1971年），中島清一稱之為日本的設(shè)備綜合工程學(xué)。到1982年，日本實(shí)行tpm的企業(yè)占22.8%tpm的意義（5條） 1、以把設(shè)備效率提到最高（綜合效率）為目標(biāo)； 2、設(shè)立以設(shè)備一生為對象的pm總系統(tǒng)； 3、涉及到設(shè)備的計(jì)劃、使用、保養(yǎng)等所有部門； 4、從企業(yè)最高領(lǐng)導(dǎo)到第一線員工全都參加； 5、加強(qiáng)生產(chǎn)維修思想教育，開展pm小組活動，推廣tpm。tpm 的特征是“三全” 利用

2、最少的資金、精干人員、高效的設(shè)備、最少的材料和最優(yōu)的方法（5m），來達(dá)到產(chǎn)量高、質(zhì)量好、成本低、按期交貨、作業(yè)環(huán)境良好、沒有公害、生產(chǎn)安全、操作人員勞動情緒飽滿和守紀(jì)律。 不但考慮設(shè)備的后期管理,也要考慮前期管理,設(shè)計(jì)階段就要全面考慮可靠性、維修性和無維修設(shè)計(jì)。 不僅是維修部門，凡與設(shè)備有關(guān)的規(guī)劃、設(shè)計(jì)、維護(hù)和使用部門，從領(lǐng)導(dǎo)到員工都要全員參加。二、大型鍍膜機(jī)管理的特殊規(guī)定 1、大型鍍膜機(jī)設(shè)備是反映裝備技術(shù)水平的又一個重要標(biāo)志,必須合理使用,妥善維護(hù),嚴(yán)格管理，所之經(jīng)常處于良好技術(shù)狀態(tài)。 2、大型鍍膜機(jī)設(shè)備為之公司主要管理設(shè)備，公司領(lǐng)導(dǎo)直接過問管理，如維修和變動均需報(bào)批。 3、大型鍍膜機(jī)設(shè)備實(shí)

3、行四定：定使用人，定檢修人，定規(guī)程制度和定備件。 4、大型鍍膜機(jī)設(shè)備的卡片和檔案單獨(dú)管理，隨時記錄發(fā)生的情況，準(zhǔn)確掌握運(yùn)行數(shù)據(jù)，做好記錄為維護(hù)提供數(shù)據(jù)和資料。 5、大型鍍膜機(jī)設(shè)備發(fā)生事故，馬上通知領(lǐng)導(dǎo)和設(shè)備課報(bào)公司，同時，由領(lǐng)導(dǎo)主持召開現(xiàn)場分析會，查明原因，制定修復(fù)措施，將處理情況報(bào)公司。 大型鍍膜機(jī)設(shè)備的改裝，應(yīng)經(jīng)領(lǐng)導(dǎo)批準(zhǔn)，并報(bào)公司備案。三、維護(hù)、保養(yǎng)和修理的基本定義1、維護(hù)：較小勞動量、較設(shè)備維修工程包括了維護(hù)、保養(yǎng)和修理。普通的技術(shù)要求、較經(jīng)常的活動、并由設(shè)備使用人來完成；2、保養(yǎng)：較大勞動量、較高技術(shù)要求、要更換簡單零件或元器件、定期性活動，且需要維修人員參與來完成；3、修理：是產(chǎn)品品

4、質(zhì)降低，為使產(chǎn)品恢復(fù)到能完成規(guī)定功能而進(jìn)行的維修，保持設(shè)備的良好技術(shù)狀態(tài)。四、 日常維護(hù)活動 日常維護(hù)活動是有計(jì)劃地控制設(shè)備技術(shù)狀態(tài)的廣泛基礎(chǔ)。正確的使用和經(jīng)常性的高質(zhì)量維護(hù)，是保證設(shè)備預(yù)期的無故障工作的必要條件，因?yàn)樵O(shè)備設(shè)計(jì)的無故障工作時間或使用壽命（設(shè)備工作能力達(dá)到允許的極限狀態(tài)之前的實(shí)際工作時間），是以按規(guī)定條件（環(huán)境、工作方法、工作規(guī)范、經(jīng)常維護(hù)等）使用維護(hù)為前提的。而定期進(jìn)行的維修活動（檢查、保養(yǎng)和監(jiān)測）能有計(jì)劃地開展，也是以設(shè)備的正確使用和經(jīng)常維護(hù)為依托的。五、日常維護(hù)基本條件 1、設(shè)備操作員應(yīng)在開機(jī)前檢查設(shè)備，確認(rèn)無異狀后，對日常潤滑點(diǎn)進(jìn)行潤滑，然后才能使用機(jī)器。 2、按規(guī)定作日

5、常點(diǎn)檢的，應(yīng)作好記錄。對發(fā)現(xiàn)的故障隱患，除記錄外，應(yīng)通知維修人員修理。 3、按操作規(guī)程正確使用機(jī)器，運(yùn)行中注意觀察機(jī)器狀態(tài)，發(fā)生故障應(yīng)立即停機(jī)檢查和處理，不能排除故障通知維修人員處理。 4、操作人員在班未15-20分鐘，周末2小時，節(jié)假日前4小時清掃檫拭機(jī)器，整理工作現(xiàn)場達(dá)到日常維護(hù)要求。六、日常維護(hù)活動內(nèi)容（3項(xiàng)） 1、點(diǎn)檢： 由設(shè)備使用人和維修工根據(jù)規(guī)定的間隔期按日常點(diǎn)檢表的要求逐日進(jìn)行；點(diǎn)檢項(xiàng)目通常是利用人的感官和簡易手段就能檢查的。各企業(yè)應(yīng)根據(jù)本企業(yè)生產(chǎn)和設(shè)備特點(diǎn)，確定需進(jìn)行點(diǎn)檢的主要生產(chǎn)設(shè)備和各設(shè)備的點(diǎn)檢項(xiàng)目，有重點(diǎn)地進(jìn)行點(diǎn)檢。點(diǎn)檢有助于設(shè)備使用人熟悉設(shè)備的結(jié)構(gòu)和性能，有利于設(shè)備的合

6、理使用，還能及早發(fā)現(xiàn)故障征兆，避免非計(jì)劃停機(jī)造成的損失。 2、設(shè)備運(yùn)行中的觀察 設(shè)備運(yùn)行應(yīng)嚴(yán)格遵守安全操作規(guī)程，在運(yùn)行中應(yīng)注意觀察設(shè)備狀態(tài)，一旦發(fā)現(xiàn)異常應(yīng) 立即檢查和處理，不能解決的應(yīng)及時通知維修人員。對異常情況應(yīng)做好記錄。 3、班未和周末維護(hù) 設(shè)備和附件，以及工作場地，在每班和每周末下班前，應(yīng)該認(rèn)真清理、擦拭、潤滑和打掃。 七、日常維護(hù)、保養(yǎng)做法（8條） 1、機(jī)器周圍隨時清理整潔干凈，地板上不可有油污、水或掉落地上的物料產(chǎn)品， 2、機(jī)器表面檫拭清潔機(jī)器是否保養(yǎng)得好，第一個看到的就是機(jī)器表面是否經(jīng)常保持干凈，工具是否依規(guī)定擺放，機(jī)器表面是否擺放不該擺放的物品。 3、加油潤滑，機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)中靠潤滑油

7、或冷卻油來潤滑或冷卻。潤滑油或冷卻油種類很多,需依照規(guī)定添加,并經(jīng)常檢查系統(tǒng)(油路)是否暢通。 4、機(jī)器緊固件，機(jī)器操作過程中，有否異聲或震動情況，緊固件（螺帽等）經(jīng)常性檢查上緊。 5、皮帶松動，傳動皮帶是否松動或呈劣化應(yīng)更換。 6、制動開關(guān)，所有的制動開關(guān)是否正常。 7、安全裝置，機(jī)器安全裝置是否完整。 8、放氣排水，氣動機(jī)器 每日定時排水，下班時放氣。 八、定期、周期維護(hù)（真空室內(nèi)）a1300光馳鍍膜周期性計(jì)劃保養(yǎng)保養(yǎng)項(xiàng)目保養(yǎng)內(nèi)容擔(dān)當(dāng)督導(dǎo)更換時間預(yù)定時間檢查更換擴(kuò)散泵*（雙）擴(kuò)散泵油(日本）5000s更換林 華曹建寧2006年1月25日2006年5月1日真空室內(nèi)真空室和高閥區(qū)清檫、更換林

8、華曹建寧2006年1月25日2006年5月1日鍍膜機(jī)冷卻管冷阱和擴(kuò)散冷套沖洗林 華曹建寧2006年1月25日2006年5月1日電子槍柜電子板灰塵清掃和維護(hù)曹建寧林 華2006年1月25日2006年5月1日鍍膜機(jī)電路檢查鍍膜機(jī)電路維護(hù)曹建寧林 華2006年1月25日2006年5月1日羅茨泵、機(jī)械泵清洗、更換真空油3000s林 華曹建寧2006年1月25日2006年5月1日a1300光馳鍍膜日常維護(hù)計(jì)劃保養(yǎng)保養(yǎng)項(xiàng)目保養(yǎng)內(nèi)容擔(dān)當(dāng)督導(dǎo)更換時間預(yù)定領(lǐng)班檢查電子槍電子槍坩鍋清檫施延超林 華每罩一次每罩電子槍電子槍燈絲更換閆濤曹建寧50s-70s每二罩檢查一次真空室護(hù)板更換施延超林 華50s-70s更換后檢

9、查晶振探頭晶振探頭和旋轉(zhuǎn)清檫、維護(hù)閆濤曹建寧100s更換后檢查電子槍電子槍擋板施延超林 華每罩一次每罩晶振探頭晶振片更換閆濤曹建寧層數(shù)而定更換后檢查維護(hù)參數(shù)請看“鍍膜機(jī)內(nèi)部清潔維護(hù)指導(dǎo)書”鍍膜機(jī)設(shè)備保養(yǎng)指導(dǎo)書一、電子槍日常維護(hù)： 、順序：從上到下，從左至右；2、使用工具1：銅絲刷、毛刷、三角刮刀、一字或十字起、單面刀片、吸塵器、金相砂紙。3、目的：把坩堝、鉬舟內(nèi)膜料蒸發(fā)后濺在四周的殘留物清掃干凈，以免下一次蒸鍍時將殘留物蒸發(fā)到基底表面，造成鏡片損傷與報(bào)廢。4、開機(jī)員更換鏡片時徹底打掃一次，時間為10分鐘；5、各零部件不允許噴砂，用金相砂紙打磨。6、對已變形、滑牙等螺絲、螺帽應(yīng)及時更換。7、燈絲

10、變形、或由燈絲原因引起蒸發(fā)速率、功率不穩(wěn)定時，應(yīng)及時更換。8、在進(jìn)行日常更換燈絲作業(yè)時，應(yīng)注意燈絲安裝方法，檢查各連接部位是否松動（高壓接線柱、燈絲與槍頭接觸部分等）。9、坩堝部分應(yīng)注意：1、坩堝轉(zhuǎn)動及位置是否有異常。2、坩堝是否變形。10、檢查擋板開、閉速度，遮擋坩堝的蒸發(fā)面積。若擋板和角度板出現(xiàn)裂縫等，造成無法遮擋膜料蒸發(fā)的應(yīng)及時提報(bào)及更換。 二、h型霍爾離子束輔助鍍膜系統(tǒng)的維護(hù)：將陽極上的污染物及可能產(chǎn)生的氧化層，用240砂紙輕輕打磨后用吸塵器吸掉。在使用過程中，如發(fā)現(xiàn)陽極中間的進(jìn)氣錐及防護(hù)圈有污染物，可將防護(hù)圈取下，用金相砂紙打磨進(jìn)氣錐上的污染物，對防護(hù)圈可用240砂紙打磨清除。清洗陰

11、極絕緣子時，可擰下燈絲固定螺栓，取出絕緣子用金相砂紙打磨。對污染嚴(yán)重的離子源的頂部、外圈應(yīng)整體做噴砂處理。以上部件，均需用干凈的汗衫布或無塵紙蘸無水乙醇乙醚混合物擦拭干凈。清潔完畢在安放離子源時應(yīng)注意安放位置，保證整罩的均勻性。檢查聚四氟乙烯塑料王管受高溫影響是否出現(xiàn)裂縫而漏氣。聚四氟乙烯塑料王管兩頭接管口處黃銅并帽，拆下噴砂后，應(yīng)安裝正確，否則可能會松動漏氣引起打火。離子源陰極燈絲應(yīng)安裝到位。10、檢查離子源氣流覆蓋面積是否為整個基片表面。 三、真空計(jì)、護(hù)板、真空室、旋轉(zhuǎn)架的維護(hù)與處理：真空計(jì)在使用兩月后，在工程師指導(dǎo)下，用干凈的汗衫布蘸無水乙醇乙醚混合物擦拭。護(hù)板拆卸從外到里，從上到下，從

12、左到右并噴砂處理。護(hù)板安裝前應(yīng)將表面沙粒清潔，按從里到外，從上到下，從左到右安裝。高閥區(qū)百葉窗拆卸時，從上到下，雙手握住葉片兩側(cè)，同時用力向上取上取下，若為整體式，則拆下螺栓即可，并做噴砂處理。安裝前檢查同護(hù)板檢查方法，安裝是從上到下，雙手握住葉片兩側(cè)，對準(zhǔn)兩側(cè)葉片槽，放入即可。 6、 韓一1050機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制lf342-g6件大面48小時以上更換護(hù)板，其他件號連續(xù)或累計(jì)72小時以上的更換護(hù)板。 7、韓一1200機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制泰利斯產(chǎn)品件號48小時可更換護(hù)板。其他72小時更換 8、萊寶1104機(jī)停用冷凝機(jī)時連續(xù)或累計(jì)鍍制產(chǎn)品件號72小時以上更換護(hù)板，使用冷凝機(jī)時連續(xù)或累計(jì)鍍制240小時以

13、上更換護(hù)板。 9、光弛ar-1300機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制產(chǎn)品件號72小時以上時更換護(hù)板。 10、成都南光zzs-1300機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制產(chǎn)品72小時以上更換護(hù)板。 11、北儀800機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制240小時以上產(chǎn)品件號的可更換護(hù)板。12、北儀1350機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制168小時以上產(chǎn)品件號的更換護(hù)板。13、1200機(jī)旋轉(zhuǎn)架使用半個月以上的噴砂一次。 14、傘片連續(xù)或累計(jì)使用一天，1200機(jī)連續(xù)或累計(jì)使用12小時以上噴砂一次，盲板相同（各機(jī)組一天一副）。 15、鏡圈、碟片連續(xù)或累計(jì)使用一天以上，各機(jī)組每天應(yīng)送超洗退膜一次，一天一副。16、被擴(kuò)散泵污染的高閥門板，真空室內(nèi)壁表面需用防靜電耐磨砂紙240打

14、磨去除黃色油漬。17、污垢除去后，用抹布蘸丙酮清擦高閥門板及真空室內(nèi)壁表面，再用干凈的汗衫布蘸丙酮反復(fù)清擦幾遍，直到內(nèi)壁門板表面發(fā)亮即可。18、240水砂紙把蒸發(fā)在真空室內(nèi)壁上的膜料打磨去除，對其他吸附在內(nèi)壁表面上的殘留物，則用金相砂紙打磨去除。19、把打磨下的臟物用吸塵器吸掉，再用汗衫布蘸丙酮清擦。20、以上清潔處理和烘烤的總時間不得大于2小時，a、b班輪流更換。四、韓一1050機(jī)、1200機(jī)加熱器清潔與安裝。把三組加熱器正負(fù)極上耐高溫的電源線，用4內(nèi)六角扳手沿逆時針方向?qū)⑵渌砷_，把電源線取下。把支撐桿上固定加熱器的內(nèi)六角螺栓，用6內(nèi)六角扳手逆時針方向?qū)⑵渌傻揭话耄米笫滞凶〖訜崞?，右手把?/p>

15、栓松開，取下加熱器放入塑料盒內(nèi)做噴砂處理。噴砂時應(yīng)取下碘鎢燈，旋下兩頭燈絲螺栓。安裝前用軟毛刷刷一遍加熱器各部件及罩子，再用抹布蘸丙酮清擦干凈，把加熱器安裝在支撐架上后，再安裝加熱器正負(fù)極電源線，開加熱，看是否正常。 5，不定時檢查燈組各接頭處5mm不銹綱螺絲加熱后是否松動。6.月更換一次加熱器組進(jìn)行噴砂。7.在更換加熱器或加熱燈管時不可用尖嘴鉗、鋼絲鉗等工具，用呆、套扳手進(jìn)行作業(yè)。 五、在晶振探頭座晶振探頭維護(hù)：1、把蒸發(fā)上的膜料，用金相砂紙，從上到下打磨干凈，再用汗衫布蘸無水乙醇乙醚混合液擦拭干凈。2、把固定在旋轉(zhuǎn)架上的螺栓，用帶扳手或活動扳手逆時針方向?qū)⑵渌蓜拥揭话氲奈恢?，用雙手托住旋轉(zhuǎn)

16、架，一人將螺栓送開，取下時注意不可碰到晶振探頭。3、把已做噴砂處理的旋轉(zhuǎn)架用汗衫布蘸丙酮清擦干凈，并用扳手將螺栓固定，并空機(jī)烘烤。4、晶控儀的穩(wěn)定會受水冷的一定影響（如水溫、水質(zhì)），故每隔15天左右，開機(jī)員在換班、休息后上班、或停電后上班時均要對進(jìn)出水管進(jìn)行對換沖洗，清除管內(nèi)污垢，直至與進(jìn)水質(zhì)方可重新安裝。5、如出現(xiàn)停電、停氣、停水，機(jī)組程序可能會受傳輸信號或電壓高低的影響而不穩(wěn)定，因此開機(jī)員一定要注意晶片life值變化，若有變化時，機(jī)臺晶片不能切換的必須重新更換晶片，可切換的，切換后看是否穩(wěn)定，如不穩(wěn)定，進(jìn)行更換。 六、在更換晶片時，應(yīng)注意以下幾點(diǎn)：1、晶片表面有劃痕，硬傷；邊緣有不破損，有

17、鋸齒等。，2、晶片表面有雜質(zhì)附著；如表面有光圈，印子，點(diǎn)子，表面不亮等。，3、在更換時，注意不可有其它物體碰到晶片表面；4、ar-1300機(jī)更換晶片上螺絲時，注意各螺絲力道應(yīng)對稱均勻，各機(jī)組每次更換完畢，應(yīng)在控制面板上切換檢查life值。5、各機(jī)組晶片life值規(guī)定如下：單層膜： 多層膜韓一1050機(jī) act485 act490韓一1200機(jī) life97 life97ar-1300機(jī) life5945 life5952zzs-1300機(jī) life97 life97萊寶1104機(jī) life94 life96北儀800機(jī) life38 life75各機(jī)組在鍍制鏡片時多層曲線走勢上下波動突然超過正

18、負(fù)0.3，單層al2o3正負(fù)0.3，maf2正負(fù)0.5時立即停止蒸鍍，及時提報(bào)帶班處理解決。 七加熱器跳閘引發(fā)離子源打火的原因 1電壓不穩(wěn)定。 2真空室太臟（如護(hù)板，傘片，鏡圈，碘鎢燈，碟片，底版，旋轉(zhuǎn)架，） 3離子源噴砂后清洗不徹底（存有金剛砂） 4離子源陰極燈絲螺栓安裝不緊，離子轟擊后螺帽松動，燈絲變形， 5燈管兩頭接線柱5mm不銹綱螺絲加熱后松動， 6聚四氟乙烯塑料王管兩頭接管口處，黃銅并帽，拆下后噴砂，如安裝不正確會松動漏氣 7聚四氟乙烯塑料王管受高溫影響可能會出現(xiàn)裂縫而漏氣 8燈組兩頭高溫線螺帽加溫后松動，引起電阻大，電流小而跳閘。 9，底版至燈架兩頭高溫線螺栓并帽接口受高溫影響脫焊

19、、變形、斷裂。ar-1300型鍍膜機(jī)型鍍膜機(jī)作業(yè)手順書作業(yè)手順書 一 開機(jī)1、打開冷水機(jī)外部循環(huán)水閥門（先開出水，后開進(jìn)水），再打開冷水機(jī)電源及泵和壓縮機(jī)的開關(guān)。2、打開氣源開關(guān)。3、打開配電箱總電源。4、打開主控柜內(nèi)總電源及ups電源開關(guān)。5、按控制柜上“main power”（主動力電源）中的“on”按鈕。6、按xtc/2晶控儀開關(guān)。7、真空顯示及晶振顯示完成后，打開電腦顯示器開關(guān)。8、按電腦主機(jī)啟動鈕，啟動電腦。9、打開“polycold”電源開關(guān)；10、打開電子槍控制柜電源開關(guān)并按下“on”按鈕。11、在plc觸摸屏“toggle switch”（扳鈕開關(guān)）選項(xiàng)中，各開關(guān)應(yīng)處于“aut

20、o”位置。12、確認(rèn)上述操作無誤后，檢查氣壓、冷卻水進(jìn)出壓力、氧壓是否正常，如果正常，進(jìn)入plc中的“pump down/auto stop”（泵啟動/自動停止）項(xiàng)，進(jìn)入“manul”項(xiàng)操作，按“pump down”按鈕，啟動抽真空系統(tǒng)。等候“warm up”（加熱）完成，若“warm up”完成，警示燈應(yīng)變?yōu)榫G色。13、約30min-40min后，“pump down/auto stop”中“warm up”燈亮，在plc“exhust control”（抽氣控制）中模式為“auto”，按“chamber vent”（室體充氣）按鈕，對真空室充氣，充氣完畢，真空室門開。 二 鍍膜1、打掃真空

21、室：用銅絲刷、吸塵器、刀片等工具，將電子槍坩鍋及四周、觀察窗等打掃干凈，并更換電子槍坩堝蓋板和擋板。2、檢查晶片壽命：在xtc/2顯示屏上按“1”按鈕，在界面右上角查看晶片壽命。若其值在5944khz以下，則應(yīng)考慮切換晶片。3、根據(jù)膜系要求裝填膜料，并與坩鍋號相對應(yīng)。當(dāng)plc界面的“toggle switch”項(xiàng)中“dome rotation”（旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)）處于“off”狀態(tài)時，可用遙控盒控制傘架旋轉(zhuǎn)。也可用于擋板開閉和坩鍋旋轉(zhuǎn)的動作。4、上基片架?；芪囱b鏡片部分應(yīng)蓋上盲板或貼上鋁箔，防止真空室頂部被污染。5、確定上述操作無誤后，關(guān)上真空室門。 6、進(jìn)入蒸鍍程序acs，先在界面“proce

22、ss”項(xiàng)中點(diǎn)擊“select”按鈕，在“data”文件中點(diǎn)擊“process”進(jìn)入程序單，雙擊所要蒸鍍的程序，在acs界面中右下部分有機(jī)組泵及電子槍燈絲運(yùn)行時間記錄顯示每次必需注意是否有運(yùn)行時間到達(dá)需要維護(hù)的部位若有則應(yīng)進(jìn)行維護(hù)，若無則可點(diǎn)擊“start”，進(jìn)入后，程序先開始檢查電子槍和基片架的旋轉(zhuǎn)是否ok。若ok則開始對燈絲預(yù)熔（若不是新?lián)Q的燈絲，可點(diǎn)擊“skip”跳過）。上述動作完成后，開始進(jìn)入等待真空度和溫度到達(dá)工藝設(shè)定值的界面，到達(dá)后，進(jìn)入自動蒸鍍階段。在蒸鍍過程中應(yīng)觀察電子槍束斑位置及面積并隨時調(diào)整使其處于中心位置，注意氧氣減壓閥進(jìn)出氧壓高壓低于0.5mpa則應(yīng)更換氣瓶，低壓應(yīng)控制在

23、0.030.04mpa之間，蒸鍍過程中應(yīng)注意蒸發(fā)速率若速率有較大波動則停止，切換晶片后可繼續(xù)鍍膜。若晶片已用完則應(yīng)中止蒸鍍充氣更換晶片 三 關(guān)機(jī)：7、蒸鍍完畢后，按工藝要求進(jìn)行冷卻處理，自動充氣，開門。1、在plc界面“exhust conteol”項(xiàng)中按“chamber exhust”對真空室抽氣，在“toggle switch”項(xiàng)中，讓各水閥處于“manual”狀態(tài)，“dome heater”（旋轉(zhuǎn)架加熱），“dome rotation”（旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)）和polycold處于“off”狀態(tài)，2、關(guān)閉電子槍控制柜電源。3、關(guān)閉polycold的閥門開關(guān)和電源。4、在plc的“pump down

24、/auto stop”項(xiàng)中按“auto stop”閃爍30秒后進(jìn)入確認(rèn)關(guān)機(jī)狀態(tài)。90分鐘后真空系統(tǒng)各閥門及機(jī)械泵，羅茲泵，擴(kuò)散泵等將自動關(guān)閉。5、關(guān)閉xtc/2.電腦和顯示器。6、按控制面板上“main power”的“off”按鈕。7、打開控制柜，先關(guān)閉ups電源，再關(guān)閉控制柜總電源。8、關(guān)閉氣動氣源閥門。9、先關(guān)閉冷水機(jī)的泵和壓縮機(jī)，再關(guān)閉冷水機(jī)電源。10、關(guān)閉配電箱，外部循環(huán)水。zzs-1300型鍍膜機(jī)（南光）型鍍膜機(jī)（南光）作業(yè)手順書作業(yè)手順書 一、開機(jī)1、打開總電源。2、打開進(jìn)水閥。3、打開進(jìn)氣閥門（進(jìn)水閥旁）。4、打開電控柜上方進(jìn)氣閥門。5、確定已有外部循環(huán)水，打開冷水機(jī)水泵開關(guān)（

25、既電源開關(guān)）。6、再開冷水機(jī)壓縮機(jī)開關(guān)。7、打開電控柜內(nèi)電源開關(guān)。8、將電控柜面板處晶控儀打開。9、檢查水、電、氣是否就緒，然后將電控柜下方機(jī)組狀態(tài)旋鈕旋為自動，按綠色“開機(jī)”按鈕，機(jī)組維持泵、擴(kuò)散泵加熱器、維持泵相繼打開，機(jī)組開始加熱，加熱80分鐘后，機(jī)組可正常工作。10、按綠色“取件”按鈕，三聲警報(bào)后，充氣閥打開，對機(jī)組充氣，幾分鐘后，真空室門開。 二、鍍膜1、用銅絲刷、三角刮刀、吸塵器對坩堝及坩堝周圍進(jìn)行打掃，將電子槍擋板送噴砂處理。護(hù)板等更換見護(hù)板更換周期管理。2、將坩堝襯套作噴砂處理后，用吸塵器將附著砂粒吸掉，并用酒精擦拭，加鍍制零件所需膜料，并將襯套放入所對應(yīng)坩堝位置。3、查看電控

26、柜上mdc360晶控儀上晶片壽命值，若晶片壽命97，則更換晶片。4、確定上述操作無誤后，雙手提傘片把手，將備好零件放于真空室旋轉(zhuǎn)架上，并檢查傘片是否放到位，有無變形，所對應(yīng)比較片是否安放。5、上述過程完成后，關(guān)真空室門，確定電控柜上“室門”指示燈點(diǎn)亮后，說明真空室門已關(guān)閉。6、按綠色“取件”按鈕，充氣閥關(guān)閉，按綠色“真空”按鈕，機(jī)組開始抽真空。7、將旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)打到7轉(zhuǎn)/分。8、抽真空過程中，記錄機(jī)組各數(shù)據(jù)表。9、真空到8.0*10-3pa后，可對膜料進(jìn)行手動預(yù)熔。（附：手動預(yù)熔操作）。10、在恒溫和設(shè)定真空度到達(dá)后，將旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)打到20轉(zhuǎn)/分。 11、打開質(zhì)量流量計(jì)開關(guān)，調(diào)節(jié)進(jìn)氣量，根據(jù)各膜料

27、充氧不同，維持不同真空度。12、打開電子槍掃描控制電源。13、按綠色“燈絲“按鈕，調(diào)節(jié)“預(yù)置”按鈕，使燈絲電流為0.5a，電壓應(yīng)在40-50v間（如 電壓低于40v，考慮更換燈絲）。14、按手持遙控盒上“高壓”按鈕，打開電子槍高壓。15、按mdc360晶控儀面板上“start”按鈕，在程序單中選擇鍍制零件所需程序，再按“start”，開始自動鍍制。16、自動鍍制開始時，應(yīng)用手持遙控盒上x、y位移、掃描幅度旋鈕調(diào)節(jié)光斑，使之處于膜料中心及相應(yīng)的掃描面積。17、鍍制過程中，應(yīng)監(jiān)視光斑變化，并注意電子槍燈絲電流、高壓、晶片值、充氧狀態(tài)等參數(shù)變化情況，如有異常，應(yīng)立即按mdc360晶控儀上“abort

28、”按鈕，停止蒸鍍，根據(jù)情況做相應(yīng)處理。18、在鍍制mgf2膜料時，應(yīng)關(guān)閉充氧。19蒸鍍完畢，先按手持遙控盒上“高壓”按鈕，關(guān)閉電子槍高壓。 20、將x、y掃描旋至0，關(guān)閉電子槍掃描電源。21、將“燈絲預(yù)置”旋至0，按“燈絲”按鈕，關(guān)閉電子槍燈絲電流。22、按mdc360晶控儀上“rest”按鈕，使晶控儀復(fù)位。23、將旋轉(zhuǎn)參數(shù)調(diào)節(jié)為7轉(zhuǎn)/分。24、按“鍍膜結(jié)束”按鈕，鍍后恒溫時間結(jié)束后，關(guān)閉烘烤，關(guān)烘烤后時間到達(dá)后，關(guān)機(jī)組高閥，進(jìn)入真空室冷卻階段。25、真空室內(nèi)溫度約為220后，按“取件”按鈕，三聲警報(bào)后，對真空室進(jìn)行充氣，充氣完畢，真空室門開（后繼作業(yè)開始抽真空時，只需按“取件”按鈕即可），進(jìn)

29、行取件作業(yè)。三、關(guān)機(jī)1、關(guān)真空室門，按“取件“按鈕”對真空室開始抽氣，底真空信號亮后，按“真空”按鈕，機(jī)組停止抽氣，再按“開始”按鈕，機(jī)組進(jìn)入擴(kuò)散泵冷卻階段，1小時后，維持泵、維持閥將自動關(guān)閉。2、關(guān)閉電控柜面板上各儀器電源。3、關(guān)閉電控柜內(nèi)電源。4、關(guān)冷水機(jī)壓縮機(jī)，再關(guān)冷水機(jī)水泵。5、關(guān)電控柜上方進(jìn)氣閥，再關(guān)總進(jìn)氣閥。6、關(guān)進(jìn)水閥。7、關(guān)總電源。 附：手動預(yù)熔操作 1、真空度為8.0*10-3pa時，可進(jìn)入手動預(yù)熔操作。 2、將電子槍控制旋鈕調(diào)節(jié)到“手動”狀態(tài)。 3、打開電子槍掃描電源。 4、按“燈絲”按鈕，調(diào)節(jié)“燈絲預(yù)置”為0.5a。 5、按手持遙控盒上“坩堝”按鈕，使坩堝轉(zhuǎn)到所要預(yù)熔膜料

30、的位置。 6、開遙控盒上“高壓”按鈕。 7、利用遙控盒上x、y位移、掃描幅度調(diào)節(jié)旋鈕，控制光斑在膜料上做圓周運(yùn)動，調(diào)節(jié)“束流”按鈕逐漸加大電子束流，對膜料進(jìn)行預(yù)熔。 8、預(yù)熔完畢，依次關(guān)閉電子槍高壓、燈絲預(yù)置、燈絲電流，并將控制旋鈕調(diào)節(jié)到“自動”狀態(tài)。aps-1104型鍍膜機(jī)（萊寶）型鍍膜機(jī)（萊寶）作業(yè)手順書作業(yè)手順書 一、開機(jī)：1、將3#、4#二個配電箱中的大空氣開關(guān)分別合上；2、將壓縮空氣閥門打開；3、將循環(huán)水出水閥打開。4、再開循環(huán)水進(jìn)水閥。5、打開冷水機(jī)的電源開關(guān)。6、打開制冷開關(guān)。7、打開熱水機(jī)的電源開關(guān)。8、打開熱水機(jī)加熱開關(guān)；(應(yīng)注意冷水機(jī)水箱中的水位，不夠要及時補(bǔ)充)9、將a1

31、104機(jī)自備的配電箱上的電源手柄合上（先將手柄順時針方向從“+”位置旋至“”，再逆時針方向旋至“”）如下圖所示；10、開氧氣瓶和氮?dú)馄块y門（高壓表1mpa，低壓表0.10.2mpa）。11、先開polycold電源開關(guān)。12、再開polycold壓縮機(jī)開關(guān)。13、再打開+k1控制柜最下電源開關(guān)；14、此時+k2控制柜上的leycom 應(yīng)開啟，待其啟動完畢后會出現(xiàn)報(bào)警，此時按右邊參數(shù)鍵中左下角的“ackn”鍵消除報(bào)警。15、再按一下其下部功能鍵盤中的“manual”鍵，再按下用紅色標(biāo)示的表示熱水的按鈕，（注意：此步驟若稍遲進(jìn)行，則會出現(xiàn)報(bào)警，此時只要消除報(bào)警聲后再進(jìn)行此步驟即可）。16、再按一下

32、“ret”鍵返回；17、按下“vacuum select”鍵，再按下“high”鍵，再按“ret”返回；18、按“act”+“0”，顯示當(dāng)前泵及閥狀態(tài)。此時機(jī)組進(jìn)入啟動狀態(tài)，約40分鐘后啟動完成，自動進(jìn)入待命狀態(tài)。 二、鍍膜：1、開門：在功能鍵盤中按下“vacuum select”鍵，再按下“vent”鍵，真空室開始充氣，待充氣完畢后將真空室門鎖由垂直方向順時針轉(zhuǎn)動30左右并拉動真空室門手柄打開真空室門。2、處理真空室：1、fbm01控制盒的使用：開門后可用fbm01控制盒可控制：檔板的開啟、坩堝、及工件架的旋轉(zhuǎn)。（對應(yīng)關(guān)系請參見附注）2、清掃真空室：打開擋板，用銅絲刷、吸塵器、三角刮刀清潔電

33、子槍（主要是坩堝）、擋板。裝填膜料：按fbm01控制盒上的“rotation crucible”鍵轉(zhuǎn)動坩堝，注意leycom 上顯示的坩堝位置，參照下表在坩堝內(nèi)加入對應(yīng)的膜料， 3、確定執(zhí)行程序號：按參數(shù)鍵中“setp.”+“8”，顯示出“process selsection automatic mode”頁，查看“process no”項(xiàng)執(zhí)行程序號，按“”鍵可將光標(biāo)移該欄，輸入程序編號，按“enter”確認(rèn)，再按“home”使光標(biāo)回到首行。4、檢查晶控片壽命值：按參數(shù)鍵中“act”+“8”，檢查第二通道的“xtal lifetime”欄的值，若小于92%，則更換晶片，真空室中間位置的晶片夾，

34、更換方法如同hvc1050或hvc1200機(jī)。新晶片的壽命值應(yīng)98%。5、必要時應(yīng)檢查程序的工藝數(shù)據(jù)：按功能鍵“setp”+“7”，再按程序編號數(shù)，按“enter”可顯示要執(zhí)行程序的工藝數(shù)據(jù)，與工藝文件的數(shù)據(jù)對照，無誤，可往下執(zhí)行。否則，由主管工藝員檢查或修正。 6、關(guān)門執(zhí)行程序：在完成了2-5項(xiàng)工作后，將真空室門關(guān)上，并將手把順時針方向轉(zhuǎn)至缺口位置。將主屏下排圖標(biāo)左邊第一方格顯示“auto”或“start”并按其下方的按鍵，即可進(jìn)入自動控制狀態(tài)。若主屏下排圖標(biāo)左邊第一方格未顯示“auto”或“start”，則按右邊第一個鍵“ret”或“about”換屏。7、待加熱到達(dá)預(yù)設(shè)溫度進(jìn)入恒溫狀態(tài)時，

35、打開離子源進(jìn)氣開關(guān)（開關(guān)向右拔）；調(diào)節(jié)流量控制器使進(jìn)氣量控制在20sccm；8、關(guān)門執(zhí)行程序：在完成了2-5項(xiàng)工作后，將真空室門關(guān)上，并將手把順時針方向轉(zhuǎn)至缺口位置。將主屏下排圖標(biāo)左邊第一方格顯示“auto”或“start”并按其下方的按鍵，即可進(jìn)入自動控制狀態(tài)。若主屏下排圖標(biāo)左邊第一方格未顯示“auto”或“start”，則按右邊第一個鍵“ret”或“about”換屏。9、待加熱到達(dá)預(yù)設(shè)溫度進(jìn)入恒溫狀態(tài)時，打開離子源進(jìn)氣開關(guān)（開關(guān)向右拔）；調(diào)節(jié)流量控制器使進(jìn)氣量控制在20sccm； 三、鍍膜過程監(jiān)視：1、參數(shù)鍵區(qū)“act”+“0”，顯示真空泵及各真空閥門的工作情況；2、參數(shù)鍵區(qū)“act”+“

36、1”，綠線顯示真空室真空度，紅線顯示真空室溫度；3、參數(shù)鍵區(qū)“act”+“3”，綠線顯示蒸鍍速率，紅線顯示蒸鍍功率；主顯示屏首行顯示內(nèi)容：（見附件中對照表）開機(jī)初始至高閥打開，可顯示真空泵及各真空閥門的工作情況。高閥打開至開始蒸鍍，可顯示真空室真空度及顯示真空室溫度。開始蒸鍍至蒸鍍完畢，可顯示蒸鍍速率及蒸鍍功率。蒸鍍完畢至開門，可顯示真空泵及各真空閥門的工作情況。四、關(guān)機(jī)：1、關(guān)門：將門關(guān)上，并將門鎖順時針方向旋轉(zhuǎn)將門鎖上，若前次是自動開門則可跳過2步；2、在功能鍵盤中按下“vacuum select”鍵，再按下“vent”鍵使之消去黃色；3、真空室開始抽氣，待高閥打開5分鐘后，功能鍵盤中按下

37、“vacuum select”鍵，出現(xiàn)“high”鍵按下此鍵使之消去黃色，此時高閥關(guān)閉隨后擴(kuò)散泵關(guān)閉，機(jī)械泵、羅茨泵繼續(xù)工作直至擴(kuò)散泵油溫降至100以下（擴(kuò)散泵中溫度計(jì)顯示油溫）自動停止工作；4、機(jī)械泵、羅茨泵停止后關(guān)冷凍機(jī)（polycold），先關(guān)壓縮機(jī)開關(guān)，再關(guān)電源開關(guān)。(參見附圖)5、按下紅色制動鈕，停機(jī)。再將此鈕拉出，再關(guān)閉+k2控制柜最下的ups電源開關(guān)（按住“”鍵二秒鐘）。6、關(guān)氧氣瓶閥門。7、關(guān)電源箱總電源。8、關(guān)冷水機(jī)外部循環(huán)水。關(guān)氣源。hvc1050a鍍膜機(jī)操作手順書一、開機(jī)1、打開電源箱總電源；2、打開冷水機(jī)外部循環(huán)水閥門；(先開出水，后開進(jìn)水)3、打開氣動氣源閥門（或氣泵

38、電源）；4、按紅色“control power”按鈕；5、按“ic/5”晶控儀白色“on”按鈕，打開晶控儀；6、待控制電腦自動完成啟動；復(fù)合真空計(jì)工作正常，啟動黃色“start”按鈕，機(jī)組自動開啟機(jī)械泵(rp)、羅茨泵(mbp)、擴(kuò)散泵(dp1/dp2)，dp1/dp2燈閃爍，表示擴(kuò)散泵處于加熱中，dp1/dp2燈穩(wěn)定時，表示擴(kuò)散泵油溫度到達(dá)，可以打開高閥。(通常需50分鐘)7、打開電子槍控制柜電源；8、若有鍍需充氧的膜料，則打開氧氣瓶閥門。9、按黃色“start”按鈕，待“rv”預(yù)抽閥燈閃爍，再按黃色“start”按鈕“rv”關(guān)閉“fv1/fv2”前級閥打開，過若干分鐘（根據(jù)設(shè)置）“l(fā)v”充

39、氣閥打開。充氣完畢，真空室門打開。 二、鍍膜1、打掃真空室：用銅絲刷、吸塵器、刀片等工具，將電子槍外露部分、坩堝及四周、護(hù)板及觀察窗等打掃干凈，換上干凈擋板。2、檢查晶片壽命及活性值，在“ic/5”晶控儀的主顯示屏狀態(tài)，按“f2”鍵，一般只檢查第一通道“l(fā)ife”值3或4，“act”值420，應(yīng)考慮換晶片，新晶片的“l(fā)ife”值為0，“act”值440，可認(rèn)為ok。否則再次清潔晶片的座、架、片等，或換過晶片。3、按膜系要求裝填膜料，對一般減反膜，主要膜料有：tio2（5#）、zro2（1#）、mgf2（3#）、al2o3（2#）；（a#為坩堝號）。旋轉(zhuǎn)坩堝用遙控盒的“pocket ccw”和“

40、pocket 1step”紅色按鈕。對ir-cut膜用tio2（5#、6#）、sio2（1#、2#、3#、4#）。4、當(dāng)裝有tio2膜料而且高于旋轉(zhuǎn)平面時，該膜料需要鍍前手工預(yù)熔，在真空室關(guān)門前將該坩堝定位在蒸發(fā)位上，并將電子槍“自動”狀態(tài)關(guān)閉，開關(guān)撥至“int”。防止關(guān)門時坩堝自行轉(zhuǎn)動，卡死膜料。而后關(guān)閉擋板。5、按常用程序表對照所鍍鏡片零件號，輸入程序編號。 6、雙手提基片架把手，將基片架準(zhǔn)確放入旋轉(zhuǎn)架上卡槽內(nèi)。基片架上未裝鏡片的空位應(yīng)堵或蒙上（鋁箔），防止真空室頂部污染。7、上述事項(xiàng)完成并確定無誤后，關(guān)上真空室門。8、按黃色“start”按鈕，機(jī)組進(jìn)入抽真空、加熱狀態(tài)。9、在真空度達(dá)5*

41、10-5torr以上可手動預(yù)熔膜料，僅tio2一種膜料需手動預(yù)熔，而且預(yù)熔tio2應(yīng)充氧。預(yù)熔完畢，將機(jī)組置于自動控制狀態(tài)。（附1：手動預(yù)熔操作）10、當(dāng)機(jī)組真空、溫度等滿足蒸發(fā)條件時，自動開始蒸鍍。應(yīng)注意觀察調(diào)整電子槍束斑位置及面積，注意觀察料面情況，并觀察控制柜面板上響應(yīng)參數(shù)，若有異常應(yīng)調(diào)整或暫停、中止。11、蒸鍍完閉按各膜系要求作鍍后烘烤、延時處理。自動充氣、開門。卸下基片架。 關(guān)機(jī)1、關(guān)門，按黃色“start”按鈕。2、待真空計(jì)的“a1、b2”區(qū)泛白，按紅色“power off”鍵，機(jī)組自動將“dpi、dp2”關(guān)閉。3、手動關(guān)閉電腦。4、關(guān)閉“ic/5”晶控儀。5、關(guān)閉電子槍控制柜電源

42、；120分鐘后自動將羅茨泵、機(jī)械泵及機(jī)組電源關(guān)閉。6、關(guān)閉冷水機(jī)及外部循環(huán)水。7、關(guān)閉氣源（或氣泵）。8、關(guān)閉氧氣瓶閥門。9、關(guān)閉電源箱總電源。 附：手動預(yù)熔1、在鍍制tio2之類高熔點(diǎn)膜料前，需對該類膜料進(jìn)行手動預(yù)熔，操作步驟如下：2、把電子槍開關(guān)撥至“iht”。3、打開電腦程序上的“蒸發(fā)源”界面，點(diǎn)擊上面的“自動操作”，由橙色變?yōu)榘咨?、再打開“蒸鍍參數(shù)”界面，將“apc setup”打開，選擇對應(yīng)的充氧通道，點(diǎn)擊“apc intermal”。5、按電子槍控制電源面板上的“acc on”按鈕，打開電子槍高壓。6、再按“filament on”按鈕，燈絲通電流。7、調(diào)節(jié)電子槍x、y方向的“

43、scan”（面積）旋鈕，使數(shù)值為4。8、利用遙控盒，調(diào)節(jié)光斑位移（point）旋鈕，使光斑在膜料上作圓周運(yùn)動，并慢慢將束流加至400ma。9、預(yù)熔完畢后，點(diǎn)擊電腦程序上充氧界面的“extemal(for pc)”,關(guān)閉充氧，再點(diǎn)ok。10、按電子槍控制電源面板上“acc、fil off 按鈕，關(guān)閉電子槍。11、將電子槍開關(guān)撥至“ext”。12、打開電腦程序上“蒸發(fā)源”界面，點(diǎn)擊“自動操作”，由白色變?yōu)槌壬?zzsx-800型鍍膜機(jī)（北儀）型鍍膜機(jī)（北儀）作業(yè)手順書作業(yè)手順書一、目的和適用范圍本指導(dǎo)卡規(guī)定了使用zzsx-800型鍍膜機(jī)鍍制多層膜的操作方法及過程控制，確保所加工的產(chǎn)品滿足要求、品

44、質(zhì)得到控制。適用范圍：光學(xué)元件事業(yè)本部zzsx-800型鍍膜機(jī)操作。二、開機(jī)流程 ：1、開電源、氣源、水源。2、開機(jī)組電源、開機(jī)械泵、擴(kuò)散泵。3、開充氣閥、開門。4、處理真空室（清潔等），關(guān)門、開機(jī)械泵、開預(yù)抽閥。5、測低真空，開羅茨泵、關(guān)預(yù)抽閥、開前級閥、開高閥。6、開烘烤、工件旋轉(zhuǎn)。7、測高真空、開膜厚儀。8、預(yù)熔膜料、并按膜系蒸鍍。9、關(guān)烘烤、關(guān)旋轉(zhuǎn)、關(guān)膜厚儀。10、關(guān)真空測量、關(guān)高閥，關(guān)羅茨泵、關(guān)前級閥、關(guān)機(jī)械泵。11、降溫、充氣、開門、取工件。 三、關(guān)機(jī)1、關(guān)擴(kuò)散泵，2、等120分鐘，停機(jī)、停水、停電、停氣。四、鍍膜前準(zhǔn)備.1、按有關(guān)膜系技術(shù)工藝文件要求，作膜料、基片、晶控儀、晶片、

45、真空室布置、基片上傘等準(zhǔn)備工作。4.2、晶片：由于晶片本身品質(zhì)有差異，晶控儀穩(wěn)定性不理想，無法定出晶片的使用周期。操作中一經(jīng)發(fā)現(xiàn)晶控儀顯示有失常時，應(yīng)及時更換晶片；或?qū)⒕断虏潦靡幌虏⑶鍧嵦筋^各觸點(diǎn)，保持良好接觸。防止蒸鍍中因失控造成鍍膜失敗五、膜層厚度控制本卡規(guī)定用晶控儀控制膜厚。 各層膜的控制數(shù)據(jù)以及修正方法按相關(guān)膜系技術(shù)文件的規(guī)定執(zhí)行。六、操作步驟與注意事項(xiàng) .1、接通水源、氣源、電源，打開機(jī)器總電源。6.2、開維持泵、擴(kuò)散泵。 *因擴(kuò)散泵有預(yù)熱時間，可在擴(kuò)散泵開啟45分鐘后進(jìn)行下一步操作。 開充氣閥、開門、關(guān)充氣閥。6.4、處理真空室： a、用吸塵器及銅絲刷、紗布、乙醇乙醚混合液清潔

46、真空室，重點(diǎn)是檔板、槍體、坩堝等。 b、更換、添加膜料。 c、檢查、更換晶片。 d、安置鏡片架、注意裝夾安全可靠。 e、按技術(shù)文件規(guī)定作真空室其它處理，以及晶控儀數(shù)據(jù)設(shè)定或調(diào)整。 f、修正補(bǔ)償板位置的確認(rèn)或更換。g、若使用電阻蒸發(fā)舟時，應(yīng)緊固二端連接。當(dāng)蒸發(fā)舟使用50次、層膜或變形時應(yīng)及時更換，新?lián)Q上的蒸發(fā)舟應(yīng)先處理干凈，并在真空狀態(tài)下空載。通電讓其發(fā)紅熱處理。經(jīng)上述處理的鉬舟即可投入使用。*zzsx800機(jī)鉬舟尺寸20204mm（或成型蒸發(fā)舟）6.5、關(guān)門、開機(jī)械泵、開預(yù)抽閥。6.6、開低真空測量在達(dá)到400pa左右的真空度時開啟羅茨泵。6.7、在擴(kuò)散泵工作1小時以上，自動壓強(qiáng)儀真空度1.3

47、101pa時，關(guān)預(yù)抽閥、開前級閥、開高閥。6.8、開烘烤，烘烤溫度設(shè)定為300。工件慢轉(zhuǎn)動。（30v）6.9、開晶控儀，開電子槍電源。6.10、在真空室真空度達(dá)技術(shù)文件規(guī)定值（一般在5610-3pa）、烘烤溫度達(dá)設(shè)定值20分鐘以上，預(yù)熔膜料，工件旋轉(zhuǎn)加快。（80v） 6.11、按膜系要求以及技術(shù)文件規(guī)定逐層蒸鍍。6.12、關(guān)烘烤、關(guān)旋轉(zhuǎn)、關(guān)真空測量、關(guān)高閥、關(guān)晶控儀。6.13、關(guān)前級閥、關(guān)羅茨泵，并在羅茨泵停穩(wěn)后關(guān)機(jī)械泵。6.14、若不再繼續(xù)蒸鍍，則關(guān)上擴(kuò)散泵，否則擴(kuò)散泵不停。6.15、真空室降溫至規(guī)定值時（270左右），開充氣閥、開門、關(guān)充氣閥。6.16、取出鏡片。6.17、若繼續(xù)操作，則重

48、復(fù)6.46.16步驟操作。6.18、關(guān)門、開機(jī)械泵、開預(yù)抽閥約15分鐘左右可關(guān)預(yù)抽閥、關(guān)機(jī)械泵。6.19、停維持泵、停機(jī)組電源，停電、停氣。6.20、在擴(kuò)散泵停止工作2小時以后，停水。（因循環(huán)水管道已改為金屬管道，且為了縮短開機(jī)員工作時間，允許晚班不停水直接下班。但如第二天為休息日，則開機(jī)員應(yīng)在第二天上午到廠關(guān)閉循環(huán)水。）七、注意事項(xiàng)：7.1、真空室內(nèi)嚴(yán)禁任何油污染，任何油類物品及含油類的物品、工具、紗布進(jìn)入。7.2、機(jī)組在蒸鍍了30罩左右（紅膜）或累計(jì)200層膜左右時，必須徹底清洗真空室有關(guān)部件。7.3、機(jī)組在冷鍍過鏡片后，無論真空室部件是否干凈，都必須徹底清洗真空室有關(guān)部件。 7.4、保持

49、機(jī)組正常工作，一旦有異常應(yīng)停機(jī)，排除故障后再啟動。 7.5、烘烤燈管兩頭的管腳緊固螺絲每個星期一全部緊一遍，避免接觸不良產(chǎn)生打火。 7.6、機(jī)組一旦停電，應(yīng)切斷總電源及各按鈕，來電后逐步啟動。 7.7、機(jī)組旦停水，應(yīng)切斷擴(kuò)散泵，停止正常蒸鍍操作，關(guān)閉烘烤，約10分鐘后若仍停水則用備用水冷卻擴(kuò)散泵。 7.8、應(yīng)隨時注意循環(huán)冷卻水供給情況。 7.9、執(zhí)行技術(shù)文件規(guī)定的其他事項(xiàng)。 7.10、根據(jù)專用工作記錄表，做好各罩記錄。 記錄表應(yīng)記錄下列內(nèi)容：蒸鍍起止時間、膜系名稱、晶片壽命、工具因子值、設(shè)定基片溫度、蒸鍍時真空度、關(guān)門至開門時間、零件名稱、鍍件數(shù)量等。車間可結(jié)合生產(chǎn)記錄設(shè)計(jì)表格，報(bào)工程科審核后

50、投入使用。 7.11、做好機(jī)組異常情況、故障及維修記錄。（專用記錄本，保存10年。）記錄內(nèi)容包括：異常情況、故障發(fā)生及排除日期、時間；異常情況及故障現(xiàn)象；自我分析；實(shí)際維修、排除記錄及說明；作業(yè)員、維修員簽名。hvc1200a鍍膜機(jī)操作手順書一、開機(jī)1、打開電源箱總電源；2、打開冷水機(jī)外部循環(huán)水閥門；(先開出水，后開進(jìn)水)3、打開氣動氣源閥門（或氣泵電源）；4、打開機(jī)組電源，按紅色“control power”按鈕；5、啟動黃色“start”按鈕，機(jī)組自動開啟機(jī)械泵(rp)、羅茨泵(mbp)、擴(kuò)散泵(dp1/dp2)，dp1/dp2燈閃爍，表示擴(kuò)散泵處于加熱中，dp1/dp2燈穩(wěn)定時，表示擴(kuò)散

51、泵油溫度到達(dá)，可以打開高閥。6、按黃色“run”按鈕，待“rv”預(yù)抽閥燈閃爍。7、再按黃色“run”按鈕，“rv”關(guān)閉“fv1/fv2”前級閥打開。8、將“cool time”開關(guān)撥至“off”，“l(fā)v”充氣閥打開。充氣完畢，真空室門打開。注：各閥門運(yùn)行狀態(tài)需觀察電腦程序控制面板。 二、鍍膜1、用銅絲刷、吸塵器、刀片等工具，將舟、電極外露部分、護(hù)板及觀察窗等打掃干凈，換上干凈擋板。（更換護(hù)板時間見設(shè)備周期管理）2、檢查晶片壽命及活性值，在晶控儀控制板上，按“abort”鍵，正常工作，再按“reset”鍵，檢查頻率值5.94；壽命值6-94，否則應(yīng)換晶片，鍍了2-3罩后可將晶片卸下擦拭，除去浮塵

52、延長晶片的使用壽命。新晶片頻率值5.98。壽命值6-97。3、加填膜料（mgf2）。若舟已較嚴(yán)重變形，應(yīng)及時更換新舟（新舟應(yīng)事先預(yù)熱過），同時裝上備用新舟預(yù)熱（手動）。4、上基片架。一手抓基片架后部把柄，另一手托住前部，小心將基片架放入卡槽內(nèi)?；苌衔囱b鏡片的空位應(yīng)堵或蒙上（鋁箔），防止真空室頂部污染。5、上述事項(xiàng)完成并確定無誤后，關(guān)上真空室門，按黃色“run”按鈕，機(jī)組進(jìn)入抽真空、加熱狀態(tài)。6、當(dāng)設(shè)定溫度到達(dá)后，打開離子源穩(wěn)壓電源的穩(wěn)壓按鈕。7、將充氧流量計(jì)旁開關(guān)撥至“on”位置。8、旋轉(zhuǎn)流量計(jì)面板上調(diào)節(jié)旋鈕開始充氧，充氧量控制以使真空度到1.1*10e-4torr為準(zhǔn)。9、將離子源開關(guān)往

53、上撥以打開離子源電源。10、調(diào)節(jié)離子源控制面板上陽極電壓旋鈕，使陽極電壓加至100v。 11、調(diào)節(jié)陰極旋鈕，使陽極電流約在2.4a左右。12、根據(jù)工藝參數(shù)設(shè)定時間對零件進(jìn)行轟擊。13、當(dāng)機(jī)組真空、恒溫時間到達(dá)后，轟擊完畢，關(guān)陰極電流旋鈕，再關(guān)陽極電壓旋鈕，并關(guān)閉質(zhì)量流量計(jì)充氧，三聲報(bào)警后，自動開始蒸鍍。14、在自動蒸鍍開始時，開質(zhì)量流量計(jì)充氧量，調(diào)節(jié)到7.8*10-5torr，調(diào)節(jié)陽極電壓旋鈕，使陽極電壓為50v（根據(jù)工藝設(shè)定可適當(dāng)改變），調(diào)節(jié)陰極電流使陽極電流約為0.2a，對零件進(jìn)行轟擊。15、蒸鍍中，注意觀察蒸發(fā)舟、料面及控制柜面板參數(shù)情況，若有異常應(yīng)調(diào)整或暫停、中止。16、蒸鍍完閉按各膜

54、系要求作鍍后烘烤、延時處理。自動充氣、開門，卸下基片架。三、關(guān)機(jī)1、關(guān)門，按紅色“power off”鍵，機(jī)組在條件滿足時自動將“dpi、dp2”關(guān)閉，50分鐘后自動將羅茨泵、機(jī)械泵及機(jī)組電器關(guān)閉。手動關(guān)閉機(jī)組電源開關(guān)。2、關(guān)閉冷水機(jī)及外部循環(huán)水，關(guān)閉氣源。關(guān)閉電源箱總電源。zzsx-1350型鍍膜機(jī)型鍍膜機(jī)作業(yè)手順書作業(yè)手順書 一、目的和適用范圍本指導(dǎo)卡規(guī)定了使用zzsx-800型鍍膜機(jī)鍍制多層膜的操作方法及過程控制，確保所加工的產(chǎn)品滿足要求、品質(zhì)得到控制。適用范圍：光學(xué)元件事業(yè)本部zzsx-800型鍍膜機(jī)操作。二、開機(jī)流程 ：1、開電源、氣源、水源。2、開機(jī)組電源、開機(jī)械泵、擴(kuò)散泵。3、開

55、充氣閥、開門。4、處理真空室（清潔等），關(guān)門、開機(jī)械泵、開預(yù)抽閥。5、測低真空，開羅茨泵、關(guān)預(yù)抽閥、開前級閥、開高閥。6、開烘烤、工件旋轉(zhuǎn)。7、測高真空、開膜厚儀。8、預(yù)熔膜料、并按膜系蒸鍍。9、關(guān)烘烤、關(guān)旋轉(zhuǎn)、關(guān)膜厚儀。10、關(guān)真空測量、關(guān)高閥，關(guān)羅茨泵、關(guān)前級閥、關(guān)機(jī)械泵。11、降溫、充氣、開門、取工件。 、鍍膜前準(zhǔn)備：4.1、膜料采用光譜純結(jié)晶態(tài)氟化鎂(mgf2)。每次啟用新膜料，必須先做預(yù)熔及試鍍試驗(yàn)，確認(rèn)膜料沒問題后再投入生產(chǎn)。4.2、蒸發(fā)源：采用電阻熱蒸發(fā)方式，蒸發(fā)載體為高純度鉬片制成的小舟，鉬片厚度為0.2mm，鉬片裝料部分的尺寸為25255mm（或?qū)ｉT成型的鉬舟）。制成的鉬舟應(yīng)

56、在濃度為15的氫氧化鈉溶液中浸泡十分鐘，水洗徹底去除堿溶液后，用酒精、乙醚混合液擦拭干凈。使用前，應(yīng)在真空狀態(tài)下空載。通電讓其發(fā)紅熱處理。經(jīng)上述處理的鉬舟即可投入使用。*zzsx800機(jī)鉬舟尺寸20204(mm)4.3、按有關(guān)膜系技術(shù)工藝文件要求，基片、晶控儀、晶片、真空室布置、基片上傘等準(zhǔn)備工作。4.4、晶片：由于晶片本身品質(zhì)有差異，晶控儀穩(wěn)定性不理想，無法定出晶片的使用周期。操作中一經(jīng)發(fā)現(xiàn)晶控儀顯示有失常時，應(yīng)及時更換晶片；或?qū)⒕断虏潦靡幌虏⑶鍧嵦筋^各觸點(diǎn)，保持良好接觸。防止蒸鍍中因失控造成鍍膜失敗。、膜層厚度控制。5.1本卡規(guī)定選用晶體振蕩控制膜厚（各零件控制數(shù)據(jù)見專門工藝數(shù)據(jù)文件）

57、。一旦晶控儀失控，應(yīng)立即改用恒定蒸發(fā)電流、蒸發(fā)速率，時間控制法完成繼續(xù)蒸鍍。5.2本指導(dǎo)卡規(guī)定用目視法自檢膜厚。單層氟化鎂減反膜的反射色，決定了膜層的厚度，膜層反射色在某一特定的顏色時表征了該膜層的厚度，其對應(yīng)關(guān)系如下：（膜厚為該膜的光學(xué)厚度） 反射色 白 黃偏橙 橙 膜厚（nm） 0100 101112 113118 。 （nm） 0400 404448 452472 反射色 橙品紅 品紅 品紅偏紫 膜厚（nm） 119123 124125 126128 。 （nm） 476492 496500 504512 反射色 紅紫 紫偏紅 紫 膜厚（nm） 129130 131132 133137 。 （nm） 516520 524528 532548 反射色 紫偏藍(lán) 藍(lán)偏紫 藍(lán) 藍(lán)偏白 膜厚（nm） 138140 141150 151159 160175 。 （nm） 552560 561600 601636 640- 膜厚超過160nm反射色由藍(lán)轉(zhuǎn)白到200nm后進(jìn)入第二周期。第二周期的膜色隨膜厚變化趨勢為：紫-藍(lán)綠黃橙品紅紅；高折射率基底鍍上氟化鎂后，反射色色彩濃，顏色純，低折射率基底鍍上氟化鎂后，反射色夾有白色成份所以色彩淡，