殷磊新型傳感器

1、華東理工大學 2016-2017 學年第 一 學期研究生新型傳感器技術 課程考試試卷 2017 年 1 月開課學院： 機械與動力工程學院 任課教師： 錢志勤 考生姓名： 殷磊 學號： Y30160369 成績： 論文題目：氣敏傳感器的介紹與發(fā)展趨勢論文要求： 結合本課程講授內容，查閱有關論文資料，寫一篇關于“新型傳感器技術”的課程論文，要求：1、 論文題目自定。論文內容在本課程講授有關章節(jié)內容領域范圍內，可以是：1 自己設計一類傳感器。2 某具體研究方向或內容的傳感器技術現狀及發(fā)展趨勢。2、 論文格式規(guī)范（參考華東理工大學學報期刊論文格式），有：論文題目、作者、班級學號、論文摘要、關鍵詞、論文

2、正文、參考文獻等。3、 論文介紹流暢、文字表達意思清晰、文章結構邏輯層次分明4、 撰寫論文不得同學間互相抄襲，不要全文抄襲各種已公開發(fā)表的文章。5、 論文格式：采用A4紙打??；正文5號宋體，論文題目4號宋體加粗，章標題小4號宋體加粗，節(jié)標題5號宋體加粗；段落行距1.25；頁邊距上下左右均為2cm。教師評語：論文選題和內容（20%）文獻資料、撰寫論文（30%）文字表達（30%）論文格式規(guī)范（20%）等級評分評語和評分標準詳見新型傳感器技術課程論文評分表教師簽字： 2016 年 1 月 11 日新型傳感器技術課程論文評分表項目（權重）等級、評語/標準參考分評選評分論文選題和內容（20）A、符合課程

3、論文要求，選題和內容好。19-20B、符合課程論文要求，選題和內容較好。17C、基本符合課程論文要求，選題和內容一般。14-15D、選題不符合課程論文要求，內容較差。10-11文獻資料、撰寫論文（30）A、使用材料翔實、恰當,掌握大量的背景資料和數據。28-30B、持論有據，有一定的文獻材料和理論依據。24-26C、理論根據及客觀材料尚有欠缺，較多抄襲他人。19-22D、理論根據不充分，客觀材料和參考資料空泛， 大量抄襲他人。14-16文字表達（30）A、論文結構嚴謹，論述層次清晰，表達意思清晰，語言準確，文字流暢。28-30B、論文結構合理，層次較為分明，文字通順，表達意思較清晰。24-26

4、C、論文結構基本合理，層次有些混亂，文字基本通順，表達意思一般。19-22D、論文內容空乏，介紹較差，結構混亂，文字表達不清，錯別字較多。14-16論文格式規(guī)范（20）A、論文格式規(guī)范。19-20B、論文格式較規(guī)范（題目、作者、摘要、正文、參考文獻、打印排版）。17C、論文格式規(guī)范一般（題目、作者、摘要、正文、參考文獻、打印排版）。14-15D、論文格式不規(guī)范。10-11成 績 合 計氣敏傳感器的原理及發(fā)展狀況氣敏傳感器的介紹及發(fā)展狀況機碩161班 Y30160369 殷磊（華東理工大學 機械與動力工程學院 上海 200237）本文以氣敏傳感器為研究對象，介紹了氣敏傳感器的主要特性及其分類的依

5、據。并對國內外的研究現狀作了介紹。之后詳細分析了主要的幾種氣敏傳感器的工作原理。同時，也闡述了氣敏傳感器的主要應用領域以及氣敏傳感器研究的新方向，并最終依據現在的發(fā)展狀況對氣敏傳感器的未來發(fā)展趨勢做了展望。關鍵詞：氣敏傳感器，原理，應用，發(fā)展趨勢Abstract:Taking the gas sensor as the research object, this paper introduces the main characteristics of gas sensors and their classification basis. And the present research sit

6、uation at home and abroad is introduced. And the present research situation at home and abroad is introduced. After that, the working principle of several gas sensors is analyzed in detail. At the same time, the main application fields of gas sensor and the new research direction of gas sensor are e

7、xpounded. Finally, the future development trend of gas sensor is forecasted based on the present development situation.Key words: gas sensor, principle,application, development trend1氣敏傳感器的特性及其分類1.1氣敏傳感器的定義 氣敏傳感器俗稱“ 電子鼻”，是一種用來檢測氣體類別、濃度和成分的傳感器。它將氣體種類及其濃度等有關的信息轉換成電信號，根據這些電信號的強弱便可獲得與待測氣體在環(huán)境中存在情況有關的信息，從

8、而可以進行檢測、監(jiān)控、報警。主要用于工業(yè)上天然氣、煤氣、石油化工等部門的易燃、易爆、有毒、有害氣體的監(jiān)測、預報和自動控制, 氣敏元件是以化學物質的成分為檢測參數的化學敏感元件。氣敏傳感器是暴露在各種成分的氣體中使用的，由于檢測現場溫度、濕度的變化很大，又存在大量粉塵和油霧等，所以其工作條件較惡劣，而且氣體對傳感元件的材料會產生化學反應物，附著在元件表面，往往會使其性能變差。因此，對氣敏元件有下列要求： 對被測氣體具有較高的靈敏度；對被測氣體以外的共存氣體或物質不敏感； 性能穩(wěn)定，重復性好，壽命長； 動態(tài)特性好，對檢測信號響應迅速；制造成本低，使用與維護方便等。 1.2氣敏傳感器的主要特性 靈敏

9、度：對氣體的敏感程度； 響應時間：對被測氣體濃度的響應速度； 選擇性：指在多種氣體共存的條件下，氣敏元件區(qū)分氣體種類的能力； 穩(wěn)定性：當被測氣體濃度不變時，若其他條件發(fā)生改變，在規(guī)定的時間內氣敏元件輸出特性保持不變的能力； 溫度特性：氣敏元件靈敏度隨溫度變化而變化的特性； 濕度特性：氣敏元件靈敏度隨環(huán)境濕度變化而變化的特性； 電源電壓特性：指氣敏元件靈敏度隨電源電壓變化而變化的特性； 時效性與互換性：反映元件氣敏特性穩(wěn)定程度的時間，就是時效性；同一型號元件之間氣敏特性的一致性，反映了其互換性。 1.3氣敏傳感器的分類 近年來，氣敏傳感器在醫(yī)療、空氣凈化、家用燃氣、工業(yè)生產等領域得到了普遍應用，

10、它是利用半導體氣敏元件同氣體接觸，造成半導體性質變化，檢測特定氣體成分或測量其濃度的傳感器總稱，是以檢測氣體成分和含量為目的研究的傳感器。氣敏傳感器的種類按照氣敏特性來分，主要分為：半導體型氣敏傳感器、接觸燃燒式氣敏傳感器、電化學氣敏傳感器等，還有紅外吸收型、石英振蕩型、光線型、熱傳導型、聲表面波型等。其中用得最多的是半導體氣敏傳感器。之后會詳細介紹半導體氣敏傳感器、接觸燃燒式氣敏傳感器以及電化學氣敏傳感器的工作原理。半導體氣體傳感器已經成為當今應用最普遍、最實用的一類氣體傳感器。半導體傳感器是利用一種金屬氧化物薄膜制成的阻抗器件，其電阻隨著氣體含量不同而變化。它具有成本低廉、制造簡單、靈敏度

11、高、響應速度快、壽命長、對濕度敏感低和電路簡單等優(yōu)點；不足之處是必須在高溫下工作、對氣體或氣味的選擇性差、元件參數分散、穩(wěn)定性不理想、功率高。電化學氣體傳感器是通過檢測電流來檢測氣體的濃度，分為不需供電的原電池式以及需要供電的可控電位電解式。目前可以檢測許多有毒氣體和氧氣，后者還能檢測血液中的氧濃度。電化學傳感器的主要優(yōu)點是氣體的高靈敏度以及良好的選擇性，不足之處是有壽命的限制，一般為兩年。 接觸燃燒式氣體傳感器只能測量可燃氣體，又分為直接接觸燃燒式和催化接觸燃燒式。原理是氣敏材料在通電狀態(tài)下，可燃氣體在表面或者在催化劑作用下燃燒，由于燃燒使氣敏材料溫度升高從而電阻發(fā)生變化，后者因為催化劑的關

12、系應用更廣。2氣敏傳感器的國內外發(fā)展現狀國外，目前應用最廣泛的是可燃性氣體氣敏傳感器，已普及應用于氣體泄漏檢測和監(jiān)控，從工廠企業(yè)到居民家庭，應用十分廣泛。僅以用于安全保護家用燃氣泄漏報警器為例，日本早在1980年1月開始實行安裝城市煤氣、液化石油氣報警器法規(guī)，1986年5月日本通產省又實施了安全器具普及促進基本方針。美國目前已有6個州立法，規(guī)定家庭、公寓等都要安裝氣敏報警器。報警器種類也相當繁多，有用于一般家庭、集體住宅的，也有用于飲食餐店、醫(yī)院、學校、工廠的。氣體檢測技術與計算機技術相結合，實現了智能化、多功能化。國內，氣敏元件傳感器作為新型敏感元件傳感器在國家列為重點支持發(fā)展的情況下，也已

13、有了一定的基礎。其現狀是：燒結型氣敏元件仍是生產的主流，占總量90%以上；接觸燃繞式氣敏元件已具備了生產基礎和能力；電化學氣敏傳感器有了試制產品；在工藝方面引入了表面摻雜、表面覆膜以及制作表面催化反應層和修隔離層等工藝，使燒結型元件由廣譜性氣敏發(fā)展成選擇性氣敏；在結構方面研制了補償復合結構、組合差動結構以及集成化陣列結構；低功耗氣敏元件（如一氧化碳，甲烷等氣敏元件）已從產品研究進入中試。據行業(yè)協會統計，1998年全國氣敏元件總產量已超過600萬支?？偟目磥?，我國氣敏元件傳感器及其應用技術有了較快進展，但與國外先進水平仍有較大的差距，主要是產品制造技術、產業(yè)化及應用等方面的差距，與日本比較仍要落

14、后10年。國內，氣敏傳感器發(fā)展應以市場為導向，以國民經濟現代化需求和人民生命財產安全服務為目標，以新型氣敏元件傳感器開發(fā)和大量需求的氣敏元件傳感器專業(yè)化大生產為重點，搞好推廣普及和應用，發(fā)展和完善氣敏元件傳感器、變送器、報警器和應用裝置系統等氣敏綜合應用技術，組建有競爭力的企業(yè)集團，開發(fā)有自己知識產權的產品，推動我國氣敏技術跨上一個新臺階。在具備條件的企業(yè)或企業(yè)集團建立技術中心，配備先進開發(fā)手段；產品工藝方面，重點解決厚膜、電化學和集成工藝技術，發(fā)展MEMS技術；主要產品質量達到世界同期先進水平；開發(fā)具有知識產權的新產品，如常溫低功耗氣敏傳感器，新型環(huán)境氣敏傳感器等。3 氣敏電阻的工作原理3.

15、1 半導體式氣敏傳感器的工作原理 半導體氣敏傳感器,如圖1所示，由氣敏部分、加熱絲及防爆網等構成,它是在氣敏部分的、等金屬氧化物中添加Pt、Pd等敏化劑的傳感器。圖1 半導體氣敏傳感器結構圖半導體氣敏傳感器是利用待測氣體與半導體(主要是金屬氧化物)表面接觸時,產生的電導率等物性變化來檢測氣體。半導體氣敏器件被加熱到穩(wěn)定狀態(tài)下,當氣體接觸器件表面而被吸附時,吸附分子首先在表面自由地擴散(物理吸附) ,失去其運動能量,其間的一部分分子蒸發(fā),殘留分子產生熱分解而固定在吸附處(化學吸附)。按照半導體變化的物理特性，半導體氣敏傳感器又可分為電阻型和非電阻型。電阻型半導體氣敏元件：是利用敏感材料接觸氣體時

16、，其阻值變化來檢測氣體的成分或濃度；非電阻型半導體氣敏元件：是利用其它參數，如二極管伏安特性和場效應晶體管的閾值電壓變化來檢測被測氣體的。電阻式半導體氣敏傳感器主要是指半導體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器，是一種用金屬氧化物薄膜制成的阻抗器件，其電阻隨著氣體含量不同而變化。氣味分子在薄膜表面進行還原反應以引起傳感器傳導率的變化。為了消除氣味分子還必須發(fā)生一次氧化反應。傳感器內的加熱器有助于氧化反應進程。它具有成本低廉、制造簡單、靈敏度高、響應速度快、壽命長、對濕度敏感低和電路簡單等優(yōu)點。不足之處是必須工作于高溫下、對氣味或氣體的選擇性差、元件參數分散、穩(wěn)定性不夠理想、功率要求高。當探測氣體中混有硫化

17、物時，容易中毒?，F在除了傳統的、三大類外，又研究開發(fā)了一批新型材料，包括單一金屬氧化物材料、復合金屬氧化物材料以及混合金屬氧化物材料。這些新型材料的研究和開發(fā)，大大提高了氣體傳感器的特性和應用范圍。另外，通過在半導體內添加Pt、Pd、Ir等貴金屬能有效地提高元件的靈敏度和響應時間。它能降低被測氣體的化學吸附的活化能，因而可以提高其靈敏度和加快反應速度。催化劑不同，導致有利于不同的吸附試樣，從而具有選擇性。利用薄膜技術、超粒子薄膜技術制造的金屬氧化物氣體傳感器具有靈敏度高(可達10-9級)、一致性好、小型化、易集成等特點。  非電阻式半導體氣敏傳感器是MOS二極管式和結型二極

18、管式以及場效應管(MOSFET)半導體氣敏傳感器。其電流或電壓隨著氣體含量而變化，主要檢測氫和硅燒氣等可燃性氣體。其中，MOSFET氣體傳感器工作原理是揮發(fā)性有機化合物(VOC)與催化金屬接觸發(fā)生反應，反應產物擴散到MOSFET的柵極，改變了器件的性能。通過分析器件性能的變化而識別VOC。通過改變催化金屬的種類和膜厚可優(yōu)化靈敏度和選擇性，并可改變工作溫度MOSFET氣敏傳感器靈敏度高，但制作工藝比較復雜，成本高。3.2 接觸燃燒式氣敏傳感器工作原理 接觸燃燒式氣敏傳感器的檢測元件是在鉑絲線圈(0.05）上包以氧化鋁和粘合劑形成球狀，經燒結而成，其外表敷有鉑、鈀等稀有金屬的催化層, 其結構如圖2

19、所示。對鉑絲線圈通以電流，使檢測元件保持高溫(300400)。此時若與可燃性氣體接觸，可燃性氣體就會在稀有金屬催化層上燃燒，因此鉑絲線圈的溫度就會上升，鉑絲線圈的電阻值也上升。測量鉑絲電阻變化的大小就可以知道可燃性氣體的濃度。圖2 接觸燃燒氣敏傳感器的結構 在實際應用中，常采用電橋測量電路，如圖3所示。在電橋中接一個補償器，起到平衡電橋作用，補償器的結構與檢測元件基本相同，只是沒有敷設催化層。當空氣中有一定濃度可燃氣體時，傳感器由于燃燒而阻值上升，電橋失去平衡，有電壓輸出，起到檢測作用。圖3 接觸燃燒氣敏傳感器電橋測試電路 3.3電化學氣敏傳感器工作原理 電化學氣敏傳感器利用氣敏電極或者氣體擴

20、散電極等構成一系列電池測量各種氣體含量。其中氣敏電極測量一些溶解在溶液中氣體的含量或者用于環(huán)境監(jiān)測，如O2、CO2、SO2、NH3、HCN、HF等氣體，尤其是固體電解質氣敏傳感器能適應高溫、高壓等惡劣環(huán)境和高濃度的場合。這些氣體傳感器結構簡單，選擇性好，而且能快速響應，便于自動測量和控制。該傳感器的工作核心是恒定電位電解式傳感器，它是一種濕式氣敏傳感器。如圖4所示，它是用透氣性隔膜、工作電極、對電極、參照電極和電解質溶液組成的密封結構的合成樹脂容器。電路的功能是加電壓于傳感器電解液中的兩個電極，使所測氣體進行氧化或者還原，測量氣體電解時產生的電流，然后推算出氣體的濃度。加在傳感器上的恒定電位稱

21、為給定電位，但由于傳感器的阻抗隨其結構而定，故檢測到氣體并產生電解電流時，給定電位就會發(fā)生變化。給定電位變化時，電極的電解反應就不會穩(wěn)定，從而導致傳感器的輸出也不穩(wěn)定。因此在傳感器中設置一個沒有電解電流的第三電極(參考電極R)，通過控制使工作電極(w)和參考電極之間的電位保持一定，故工作電極和對電極(C)的電位保持一定，構成恒電位儀電路。圖4 恒電位電解式氣敏傳感器結構4氣敏傳感器的應用近年來，氣敏傳感器的應用越來越廣泛其中最主要的任務是防止突發(fā)事故，提高生活質量，保障生產過程安全性。按其用途可分為以下幾種類型： 氣味檢測儀 氣味檢測是氣敏傳感器未來的主流方向之一，最有潛力的應用領域是食品工業(yè)

22、和醫(yī)學，還有家住環(huán)境和舒適度的調節(jié)系統等。在開發(fā)味敏傳感器方面取得的主要成就是在改進提高敏感材料的靈敏度和選擇性方面，針對氣味的特征成分使用各種摻雜劑，以適應不同的需要。 報警器 這類儀器是對泄漏氣體達到危險限值時自動進行報警的儀器。 如圖5是一種最簡單的家用氣體報警器電路。氣-電轉換器件采用測試回路高電壓的直熱式氣敏元件TGS109。當室內可燃性氣體增加時，由于氣敏元件接觸到可燃性性氣體而其阻值降低，這樣流經回路的電流便增加，可直接驅動蜂鳴器報警。設計報警時，應合理選擇開始報警濃度，選低了，靈敏度高，容易產生誤報；選高了，又容易造成漏報，起不到報警效果。圖5 恒電位電解式氣敏傳感器結構 自動

23、控制儀器 它是利用氣敏元件的氣敏特性實現電氣設備自動控制儀器。如電子灶烹調自動控制，換氣扇自動換氣控制等。 環(huán)境檢測儀 在辦公室、住宅、汽車、飛機等較密閉環(huán)境安裝氣敏傳感器，一方面由于即使少量的有害氣體也會對人體造成傷害，所以可用于檢測環(huán)境質量；另一方面也可用于檢測二氧化碳濃度是否超標，提醒人們注意通風換氣。5氣敏傳感器發(fā)展新方向5.1 向低功耗、多功能、集成化方向發(fā)展 目前國際上氣敏傳感器發(fā)展很快, 一方面是由于人們安全意識增強, 對環(huán)境安全性和生活舒適性要求提高；另一方面是由于傳感器市場增長受到各國政府安全法規(guī)的推動。因此，氣敏傳感器技術得到了較快發(fā)展。其發(fā)展趨勢集中表現為：一是提高靈敏度

24、和工作性能，降低功耗和成本，縮小尺寸，簡化電路，與應用整機相結合。二是增強可靠性，實現元件和應用電路集成化，多功能化，發(fā)展MEMS技術，發(fā)展現場適用的變送器和智能型傳感器。5.2 新氣敏材料與制作工藝的研究開發(fā) 由于在工業(yè)生產、家庭安全、環(huán)境監(jiān)測和醫(yī)療等領域對氣體傳感器的精度、性能、穩(wěn)定性方面的要求越來越高，因此對氣敏傳感器的研究和開發(fā)也越來越重要。深人研究和掌握有機、無機、生物和各種材料的特性及相互作用，理解各類氣敏傳感器的工作原理和作用機理，正確選擇各類傳感器的敏感材料，靈活運用微機械加工技術、敏感薄膜形成技術、微電子技術、光纖技術等，使傳感器性能最優(yōu)化是氣敏傳感器的發(fā)展方向。有機高分子敏

25、感材料具有材料豐富、成本低、制膜工藝簡單、易于與其它技術兼容、在常溫下工作等優(yōu)點，已成為研究的熱點。5.3 新型氣敏傳感器的研制 隨著新材料、新工藝和新技術的應用，氣體傳感器的性能更趨完善，使傳感器的小型化、微型化和多功能化具有長期穩(wěn)定性好、使用方便、價格低廉等優(yōu)點。隨著人們生活水平的不斷提高和對環(huán)保的日益重視，對各種有毒、有害氣體的探測，對大氣污染、工業(yè)廢氣的監(jiān)測以及對食品和居住環(huán)境質量的檢測都對氣體傳感器提出了更高的要求。沿用傳統的作用原理和某些新效應，優(yōu)先使用晶體材料(硅、石英、陶瓷等)，采用先進的加工技術和微結構設計， 研制新型傳感器及傳感器系統，如光波導氣敏傳感器、高分子聲表面波和石

26、英諧振式氣敏傳感器的開發(fā)與使用，微生物氣敏傳感器和仿生氣敏傳感器的研究。納米、薄膜技術等新材料研制技術的成功應用為氣敏傳感器集成化和智能化提供了很好的前提條件。氣敏傳感器將在充分利用微機械與微電子技術、計算機技術、信號處理技術、傳感技術、故障診斷技術、智能技術等多學科綜合技術的基礎上得到發(fā)展。研制能夠同時監(jiān)測多種氣體的全自動數字式的智能氣敏傳感器將是該領域的重要研究方向。5.4 生物芯片的開發(fā)應用 由于硅技術與生物材料相結合己在人類智能工程方面發(fā)揮了關鍵作用，所以它已成為當前最熱的研究領域。例如，美國Motoroal公司為了創(chuàng)立新學科一分子診斷學，已經制成了一種生物芯片系統單元。此外，Moto

27、roal公司正在開發(fā)一種工藝，可用于生產生物芯片的高密度印刷電路板、平板顯示器、厚膜電路和微電子機械傳感器。5.5 應用納米技術和籃牙技術 隨著工業(yè)生產和環(huán)境檢測的迫切需要，納米氣敏傳感器已獲得長足的進展。用零維的金屬氧化物半導體納米顆粒、碳納米管及二維納米薄膜等都可以作為敏感材料構成氣敏傳感器。這是因為納米氣敏傳感器具有常規(guī)傳感器不可替代的優(yōu)點: 一是納米固體材料具有龐大的界面，提供了大量氣體通道，從而大大提高了靈敏度；二是工作溫度大大降低；三是大大縮小了傳感器的尺寸。 藍牙(Bluetooth)技術是一種無線數據與語音通信的開放性全球規(guī)范,它以低成本的近距離無線連接為基礎,為移動設備通信環(huán)

28、境建立一個特別連接,其程序寫在一個的微芯片中。它是一種可以讓在半徑10 m方圓里的信息設備,利用無線方式進行通信和信息交換的技術。5.6 MEMS技術 MEMS即微電子機械系統，它是建立在微米/納米技術基礎上的21世紀前沿技術，是指對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術。它可將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統集成為一個整體單元的微型系統。這種微電子機械系統不僅能夠采集、處理與發(fā)送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息自主地或根據外部的指令采取行動。它用微電子技術和微加工技術（包括硅體微加工、硅表面微加工、LIJA和晶片鍵合等技術)相結合的制造工藝，制造出各種性能優(yōu)異、價格低廉

29、、微型化的傳感器、執(zhí)行器、驅動器和微系統。6展望 隨著科學技術的不斷進步，氣體傳感器的研發(fā)趨勢正向低功耗、多功能、集成化和智能化方向發(fā)展。納米、薄膜技術等新工藝技術的成功應用則為這一發(fā)展提供了前提保證。通過與計算機技術結合，將多個傳感器與信息處理和轉換電路集成在一塊芯片上，制成電子鼻，用于自動識別氣體種類、自動尋找氣源等仍是目前及未來的主要發(fā)展方向。在傳感器基材開發(fā)方面，對材料進行摻雜、改性并控制材料的微結構形貌與尺寸，開發(fā)納米材料仍是金屬氧化物半導體氣敏材料的發(fā)展方向；此外，開發(fā)新型有機高分子半導體氣敏材料也是重要的發(fā)展方向。 同時，雖然氣敏傳感器的研究通過改性已經取得了一些成果，但由氣敏材

30、料本身缺陷帶來的問題依然存在,使得該類傳感器的進一步發(fā)展在一定程度上受到制約。今后的工作還將圍繞增強傳感器靈敏度、選擇性、穩(wěn)定性及可靠性，縮短響應恢復時間,降低工作溫度等方面進行，利用各種改性方法不斷優(yōu)化傳感器各個方面的性能，以獲得更加節(jié)能、實用和高效的新一代氣敏傳感器。參考文獻1Udda,T;Sakai,M. et a1. Effects of composition and structure of sensing slectrode on NO2 sensing properties of mixed potenial-type YSZ-based gas sensorsJ. Senso

31、rs and Actuators B-Chemical,2016,(237):247-255.2Assar,M. et a1. Enhancement of methane gas sensing characteristics of graphene oxide sensor by heat treatment and laser irradiationJ. Journal of Colloid and Interface Science,2016,(4):27-30.3Lee,CT. et a1. Performance improvement of nitrogen oxide gas

32、sensors using Au Catalytic metal on Sno2/WO3 complex nanoparticle sensing layerJ. IEEE sensors journal,2016, 16(21):7581-7585.4Lentka,L. et a1. Fluctuation-enhanced sensing with organically functionalized gold nanoparticle gas sensors targeting biomedical applicationsJ. Talanta,2016, (160):9-14.5Wan

33、g Jing, Liu Li, Cong Songying, et al. An enrichment method to detect low concentration formaldehydeJ. Sens Actuators B: Chem, 2008,134 (2) :87- 101.6Mukherjee K, Bharti D C, Majumder S B. Solution synthesis and kinetic analyses of the gas sensing characteristics of magnesium ferrite particlesJ. Sens

34、 Actuators B: Chem,2010(57):146 -159.7Ghosh,S. et a1. Detection of low ppm carbon monoxide with charge ordered LuFe2O4 gas sensor-A novel sensing mechanismJ. Ceramics international,2016, (42):14944-14948.8Park,S. et a1. Hydrogen gas sensing performance of networked TeO2 nanobelt sensors enhanced by

35、functionalization with Nb2O5J. Materials research bulletin,2016, (82):136-141.9Kin,S. et a1. Enhanced ethanol gas sensing performance of the networked Fe2O3-Functionalized ZnO nanawire sensorJ. Journal of nanoscience and nanotechnology,2016, 16(8):8585-8588.10Park,S. et a1. Hydrogen gas sensing perf

36、ormance of networked TeO2 nanobelt sensors enhanced by functionalization with Nb2O5J. Materials research bulletin,2016, (82):136-141.11Park,S. et a1. Hydrogen gas sensing performance of networked TeO2 nanobelt sensors enhanced by functionalization with Nb2O5J. Materials research bulletin,2016, (82):

37、136-141.12Zhang W. D. et a1.Tunable ZnO nanostructuresfor ethanol sensingJ. Journal of Materials Science,2009,(44):15-26.13Ahmad M. et a1.Effect of Pb-doping on the morphology, structural and optical properties of ZnO nanowires synthesized via modifled thermal evaporationJ. Materials Science and Eng

38、ineering：B, 2010, (174):89-101.14黃敏桐. 氣敏傳感器在工業(yè)和民用領域的應用J. 福建建材, 2010,(4):150-167.15Zhang Y M,Lin Y T,Chen J L,et al. A high sensitivity gas sensor for formaldehyde based on silver doped lanthanum ferriteJ. Sensors and Actuators B:Chemical,2014,190:171-176.16Sonali L Darshane, Suryavanshi S S, Mulla I S. Nanostructured nickel ferrite: A liquid petroleum gas sensorJ. Ceram Int,2009,(35 ):1793-1799.17 Liao Frank, Chen Christopher, Vivek Subramanian. Organic TFTs as gas sensors for electronic nose applicationsJ. Sens Actuators B: Chem, 2010,107(2):84