mems光開關(guān)學習教案

1、會計學1mems光開關(guān)光開關(guān)(kigun)第一頁，共26頁。MEMS光開關(guān)的研究光開關(guān)的研究(ynji)背景背景1光開關(guān)(kigun)以及MEMS光開關(guān)(kigun)的概念2MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理3MEMS光開關(guān)的應(yīng)用4第1頁/共25頁第二頁，共26頁。成為傳統(tǒng)開關(guān)的替代者，這種新型的全光開關(guān)必須具備低損耗和高穩(wěn)定的特點而MEMS光開關(guān)具備了這些優(yōu)點而且與傳輸?shù)臄?shù)據(jù)速率和信號協(xié)議無關(guān)MEMS光開關(guān)還具有(jyu)體積小、成本低、易集成和容量大的優(yōu)點第2頁/共25頁第三頁，共26頁。 光開關(guān)(kigun)第3頁/共25頁第四頁，共26頁。將電、機械和光集成為一塊芯片,能透明

2、地傳送不同速率、不同協(xié)議的業(yè)務(wù)。目前已成為一種最流行的光開關(guān)制作技術(shù)。 MEMS光開關(guān)(kigun)第4頁/共25頁第五頁，共26頁。MEMS光開關(guān)(kigun)的基本原理第5頁/共25頁第六頁，共26頁。MEMS光開關(guān)的基本(jbn)組成第6頁/共25頁第七頁，共26頁。MEMS光開關(guān)(kigun)的驅(qū)動方式第7頁/共25頁第八頁，共26頁。平行板電容靜電(jngdin)驅(qū)動第8頁/共25頁第九頁，共26頁。梳狀靜電(jngdin)驅(qū)動器驅(qū)動第9頁/共25頁第十頁，共26頁。 電磁(dinc)驅(qū)動第10頁/共25頁第十一頁，共26頁。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn l

3、i)(fn li)及原理及原理 光開關(guān)(kigun)的分類光開關(guān)光開關(guān)mechanical optical switchSolid light switchOther light switch聲光(shn un)開關(guān)光纖開關(guān)自由空間棱鏡開關(guān)熱光開關(guān)電光開關(guān)Click to add TitleClick to add Title氣泡開關(guān)液晶開關(guān)機械光開關(guān)固體光開關(guān)其他光開關(guān)磁光開關(guān)宏機械開關(guān)光子開關(guān)全息光開關(guān)第11頁/共25頁第十二頁，共26頁。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn li)(fn li)及原理及原理 MEMS光開關(guān)(kigun)的分類基于傳基于傳統(tǒng)的機統(tǒng)的機械式

4、光械式光開關(guān)開關(guān)MEMS光開關(guān)移動其他部件的光開關(guān)第12頁/共25頁第十三頁，共26頁。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn li)(fn li)及原理及原理基于(jy)傳統(tǒng)的機械式光開關(guān)光纖1玻璃套筒方空玻璃套筒套管光 纖2光纖3光纖1光纖2光纖3第13頁/共25頁第十四頁，共26頁。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn li)(fn li)及原理及原理 移動(ydng)其他部件的光開關(guān)棱 鏡自聚焦透鏡123第14頁/共25頁第十五頁，共26頁。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn li)(fn li)及原理及原理移動其他(qt)部件的光

5、開關(guān)第15頁/共25頁第十六頁，共26頁。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)光開關(guān)(kigun)(kigun)的分類及原理的分類及原理 移動其他部件(bjin)的光開關(guān) 第16頁/共25頁第十七頁，共26頁。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn li)(fn li)及原理及原理 MEMS光開關(guān)(kigun)的分類第17頁/共25頁第十八頁，共26頁。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)光開關(guān)(kigun)(kigun)的分類及原理的分類及原理光路遮擋(zhdng)型MEMS光開關(guān)第18頁/共25頁第十九頁，共26頁。移動(ydng)光纖對接型MEMS光開關(guān)O 一個l4光開關(guān)，利用光纖的

6、移動和對準實現(xiàn)光信號的切換。O 采用體硅或LIGA工藝，制造結(jié)構(gòu)和制備方法較為簡單。O 采用電磁驅(qū)動，驅(qū)動精度要求低，系統(tǒng)可靠性和穩(wěn)定性好，穩(wěn)態(tài)時幾乎不耗能，O 缺點(qudin)是開關(guān)速度較低，可連接的最大端口數(shù)受到限制，多用于網(wǎng)絡(luò)自愈保護。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)光開關(guān)(kigun)(kigun)的分類及原理的分類及原理第19頁/共25頁第二十頁，共26頁。微鏡反射(fnsh)型MEMS光開關(guān)3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(fn li)(fn li)及原理及原理第20頁/共25頁第二十一頁，共26頁。 三維(3D)3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類光開關(guān)的分類(f

7、n li)(fn li)及原理及原理第21頁/共25頁第二十二頁，共26頁。n網(wǎng)絡(luò)監(jiān)視功能：使用簡單的1N光開關(guān)可以將多纖聯(lián)系起來。當需要(xyo)監(jiān)視網(wǎng)絡(luò)時，只需在遠端監(jiān)測點將多纖經(jīng)光開關(guān)連接到網(wǎng)絡(luò)監(jiān)視儀器上，通過光開關(guān)的動作，可以實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)在線監(jiān)測。n光器件的測試：可以將多個待測光器件通過光纖連接，通過1N光開關(guān)，可以通過監(jiān)測光開關(guān)的每個通道信號來測試器件。n光開關(guān)可用于光纖通信系統(tǒng)，光纖網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)，光線測量系統(tǒng)或儀器以及光纖傳感系統(tǒng)。4.MEMS4.MEMS光開關(guān)光開關(guān)(kigun)(kigun)的應(yīng)用的應(yīng)用光開關(guān)(kigun)的應(yīng)用領(lǐng)域第22頁/共25頁第二十三頁，共26頁。4.MEMS4.M