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1、一、測(cè)量原理第1頁(yè)/共13頁(yè)二、測(cè)量裝置本方法提供的透明薄膜厚度的測(cè)量裝置包括寬帶光源、干涉組件、頻域探測(cè)裝置和數(shù)據(jù)處理器，如圖1所示圖1 中9為寬帶光源；10為干涉組件，可以采用邁克爾遜干涉裝置；11為頻域探測(cè)裝置，可以采用光譜儀；12為數(shù)據(jù)處理器。第2頁(yè)/共13頁(yè)干涉組件采用邁克爾遜干涉裝置，裝置如圖2由于寬帶光源是發(fā)散光源，所以根據(jù)需要會(huì)在干涉儀前加匯聚透鏡來(lái)調(diào)整光路，這也作為干涉組件的一部分。 圖2 邁克爾遜干涉裝置第3頁(yè)/共13頁(yè)測(cè)量具體裝置圖如圖3所示：圖3 測(cè)量裝置第4頁(yè)/共13頁(yè)三、方法和步驟說(shuō)明第5頁(yè)/共13頁(yè)第6頁(yè)/共13頁(yè)圖4 放置薄膜前得到的光程差信息 圖5 放置薄膜后

2、得到的光程差信息 第7頁(yè)/共13頁(yè)第8頁(yè)/共13頁(yè)圖6 薄膜傾斜后得到的光程差信息圖7 光通過(guò)薄膜時(shí)的光路圖第9頁(yè)/共13頁(yè)第10頁(yè)/共13頁(yè)四、總結(jié) 本方法是透明薄膜厚度的一種光學(xué)測(cè)量方法，采用投射式的測(cè)量方法，該方法精度高，測(cè)量范圍大，同時(shí)結(jié)構(gòu)靈活、處理方法簡(jiǎn)單，不要求嚴(yán)格放置樣品，是透明薄膜厚度測(cè)量的一種良好方法，同時(shí)它還能測(cè)量薄膜的折射率，這是一般方法所不能比擬的優(yōu)勢(shì)。第11頁(yè)/共13頁(yè)五、拓展上述方法中也可以把頻率探測(cè)裝置換成測(cè)微目鏡，測(cè)量步驟如下：1、調(diào)節(jié)邁克爾遜干涉裝置的兩塊反射鏡使在測(cè)微目鏡中觀(guān)察到的是均勻的一片，即看不到干涉條紋，此時(shí)干涉的兩束光光程差相等。2、將透明薄膜垂直放入其中一條光路中，這時(shí)在測(cè)微目鏡中會(huì)出現(xiàn)干涉條紋，調(diào)節(jié)其中一塊反射鏡直到測(cè)微目鏡視野中干涉條紋消失重新變成均勻一片，記錄此時(shí)反射鏡移動(dòng)的距離L.3、若薄膜折射率為n，則2(n-1)d=L，可得d=L/(2n-2)。這種方法原理簡(jiǎn)單，但是要求對(duì)反射鏡移動(dòng)距離能有較高精度的測(cè)量，而且在觀(guān)察測(cè)微目鏡視野和調(diào)節(jié)反射鏡的移動(dòng)的協(xié)調(diào)上會(huì)比較繁瑣，需

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