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2、1 ()/1 (CCAACrr7傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程，00CC20200001ACCKr8傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程%100%100)(0020fe0001CC9傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程2、有介電層的變間隙型電容傳感器、有介電層的變間隙型電容傳感器22110rrAC11r2210rAC10傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程1000011CACCC1000021CACCC12120201,02100AC 3、差動(dòng)式變間隙型電容傳感器、差動(dòng)式變間隙型電容傳感器11傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程時(shí)，當(dāng)1/0.13020001CC.13

3、020002CC.22300021CCCC12傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程002CCS%100)(%100)(2)(220030fe002CC13傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程三、變面積型電容傳感器三、變面積型電容傳感器14傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程00000)(llbCCCr00000lbCr00000blClCSr1、板狀線(xiàn)位移變面積型、板狀線(xiàn)位移變面積型15傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程ACr00，00CC2、角位移變面積型、角位移變面積型)1 ()1 (000CACCCr，016傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程)(2000rRlnl

4、Cr)()(2000rRlnllCCCr)1 (00llC00llCC3、筒狀線(xiàn)位移變面積型、筒狀線(xiàn)位移變面積型17傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程000212lbCCCr0201,000ACCCr0011C12l00002111lbCCCr2000022lbr2011C4、中間極移動(dòng)式變面積型、中間極移動(dòng)式變面積型18傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程0220)(2rRCCCrBCACABCROr5、差動(dòng)結(jié)構(gòu)變面積型、差動(dòng)結(jié)構(gòu)變面積型022000)(rRCCrBCAC19傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程rRlrCCrBCAC000rRlrCCCrBCAC02rACBOR

5、l20傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程1211022111)(llbblCCCBA21010blC21212101001llCCC四、變介質(zhì)型電容傳感器四、變介質(zhì)型電容傳感器21傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程例例1：薄膜測(cè)厚：薄膜測(cè)厚drddAC)(0“高靜電場(chǎng)下的薄膜測(cè)厚技術(shù)高靜電場(chǎng)下的薄膜測(cè)厚技術(shù)”，儀表技術(shù)與傳感器儀表技術(shù)與傳感器，2001年年8期期22傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程21CCC)(2)()(2110100rRlnlrRlnll）（1)(2)(211000rRlnlrRlnl1nlmC例例2：電容式液位傳感器：電容式液位傳感器23傳感器與檢測(cè)技術(shù)

6、教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程24傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程pfCC8021mm40mm75. 0思考題！思考題！25傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程2 電容式傳感器的測(cè)量電路電容式傳感器的測(cè)量電路26傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程LCCCfx)(21210LCCCCfx)(2121LCf21xCCCC21振蕩回路固有電容振蕩回路固有電容引線(xiàn)分布電容引線(xiàn)分布電容傳感器電容傳感器電容一、調(diào)頻電路一、調(diào)頻電路27傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程0C28傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程0, 0 fC 29傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程0C30傳感器

7、與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程二、調(diào)幅電路二、調(diào)幅電路SCUiUABCDxCcCZZkU31傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程iUSCUMLL1xC2xC12332傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程MLLsMLpMjZp)1 ()1 ()(kLjLMLjMLjZS12313Z12Z)(ssLZ)(ssLZ)(ppLZ)1 (2213kLjZZSLjZZZpS12耦合系數(shù)耦合系數(shù)33傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程時(shí)，LZiSCULCLCCCU12422iUSCUMLL1xC2xC123124/22LCLCCCUUSiSC34傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程2/1

8、2LCLCS212LC12LC2S35傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程CjLjLj11CLLL2112422LCLCCCUUSiSC36傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程SCUiU2iU2iU1C2CLZA37傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程1C2C2iU2iUALZ1C2C2iU2iU1I2I12ALZLILiLZCCjjCCUI)(1)(221212111iLLUIZICj2122iLLUIZICj021LIII38傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程LLiLLSCZCCjZjCCUZIU)(1)(22121時(shí)，LZ21212CCCCUUiSCLiLZCCjjCC

9、UI)(1)(2212139傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程001AC002AC02iSCUU時(shí)，LZ40傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程SCUiU1D2D1R2R1C2CLR12a2RLR2C1D2D1R1CiU12a41傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程iUtTUU01t2t3t42傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程2R1R1C2CLRUU12aLI2R1R1C2CLRUU12aLI 43傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程LILILI 3t2t1t0tiUtTUU01t2t3t44傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程LTLLLLSCRdttitiTRI

10、U 0)()(1)()()2(212CCUfRRRRRRLLL)(21CCKUfUSC45傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程iUscUKxC0Ca0IIxIiUscUKxC0CaaiUICjU001IIIx0axxSCUICjU146傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程ixSCUCCU0aiUICjU001IIIx0axxSCUICjU1ACrx00, 0IUaiZK,irSCUACU0047傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程0, 1QQ1, 0QQ0DrFUU1A0CrGUU2A三、脈沖寬度調(diào)制電路三、脈沖寬度調(diào)制電路參考電壓參考電壓121210UCCCCU48傳感器與檢測(cè)技

11、術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程tttttAUBUFUGU0U000001U1UrUrU1T2T00UtttttAUBUFUGU0U000001U1UrUrU1T2T00U21CC 21CC 49傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程121212110UTTTUTTTUUUBA12121UTTTT121210UCCCCUrUUUlnCRT11111rUUUlnCRT1122250傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程112120UU112120UAAAAU0201，100UUAUAAU1051傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程CjLjCje11LCCCe21LCCCCCe21PRPCCsR

12、L3 電容式傳感器的應(yīng)用電容式傳感器的應(yīng)用52傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程d二、應(yīng)用中存在問(wèn)題二、應(yīng)用中存在問(wèn)題53傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程xC154傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程UK1xC2xC3C4C3R4R1C55傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程三、應(yīng)用舉例三、應(yīng)用舉例56傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程CBRR0C1C2C1L2L21CCCx57傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程FF58傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程P59傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程1P2P60傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程1C2C1C2C1C2Cam61傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程ADI公司公司ADXL全系列加速度傳感器全系列加速度傳感器 62傳感器與檢測(cè)技術(shù)教程

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