電子級水電阻率的測試方法

1、ics 31-030l90中華人民共和電子級水電阻率的測試方法test method for res i stiv ity of eiectron ic grade water（報(bào)批稿）xxx x-x x-x x 發(fā)布xxx x-x x-x x 實(shí)施中華人民共禾口國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢i芟總局家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會發(fā)布gb/t 11446預(yù)計(jì)結(jié)構(gòu)如f：gb/tgb/tgb/tgb/tgb/tgb/tgb/tgb/tgb/tgb/t11446. 111446. 211446.311446.411446. 511446. 611446. 711446.8電子級水；（待定）；電了級水測試方法通則；電子級水

2、電.阻率的測試方法；電了級水中痕量金屬的原了吸收分光光度測試方法; 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法； 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法； 電子級水屮總有機(jī)碳的測試方法；電子級水屮微粒的儀器測試方法；11446.911446. 10電了級水中細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方法.本部分為gb/t 11446的第4部分。木部分按照gb/t 1. 1 - 2009給出的規(guī)則起草。木部分代替gb/t 11446. 4-1997電子級水電阻率的測試方法。木部分與gb/t 11446. 4-1997相比，主要有下列變化： “3術(shù)語和定義”中增加了 “電導(dǎo)池常數(shù)”的定義（見第3章）；增加了 “5干擾因素”

3、（見5章）； 刪除了 “9注意事項(xiàng)”（1997年版的第9章）。本部分由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出。本部分由中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院歸口。本部分起草單位：信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)屮心、小國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、中 國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、小國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所。本部分主要起草人：褚連青、王奕、何秀坤、段曙光、提劉旺、劉筠。本部分所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：gb/t 11446.4-1989、 gb/t 11446.4-1997。電子級水電阻率的測試方法1范圍gb/t 11446的本部分規(guī)定了電了級水的電阻率的測試方法。本部分適用于電子級水電阻率測試。2規(guī)范性引用文件下列

4、文件對于木文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注口期的引用文件，僅所注口期的版木適用于本文 件。凡是不注口期的引用文件，其最新版木(包括所有的修改單)適用于木文件。gb/t 11446. l-20xx 電子級水gb/t 11446. 3-20xx電子級水測試方法通則3術(shù)語和定義gb/t 11446. 3-20xx中界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。3. 1電導(dǎo)率 e i ec tri cal conduc tivity電導(dǎo)率為電阻率的倒數(shù)，用符號6表示，單位為西門子每丿里米(s/cm)；純水的理論電導(dǎo)率為0.05482 u s/cm(25°c )。3.2電導(dǎo)池常數(shù) cel i const

5、ant兩電極板間有效距離(l)與空間截而積(a)之比，單位為侮厘米(cn?)。4測量原理測量水的電阻率需使用電導(dǎo)池，當(dāng)平行板電導(dǎo)池兩電極板間充滿水，兩電極板間冇效距離為a(cm), 空間截而積為/(cm2),則電導(dǎo)池常數(shù)4cm-1)按公式(1)計(jì)算：(1)如果在某一溫度下測得兩電極間水的電阻為 (s/cm)按公式(2)和(3)分別為：r(q),則該溫度下水的電阻率p(q-cm)及電導(dǎo)率6(3)水的電阻率受英的純度、溫度及測量中各種因素(如測雖方法、電容效應(yīng)、極化效應(yīng)等)的影響。純 水電阻率的測量是選擇動(dòng)態(tài)測最，并采用溫度校正的方法將測得的測最值換算成25°c的電阻率，以便 于進(jìn)行比較

6、。電阻率的溫度修正曲線見附錄a。國標(biāo)5干擾因素5.1測屋用的電阻率儀或電導(dǎo)率儀的電導(dǎo)池常數(shù)、溫度補(bǔ)償?shù)鹊淖兓瘜y定結(jié)果冇影響，使用時(shí)應(yīng)按 國家規(guī)定的檢定周期對電導(dǎo)池常數(shù)，溫度補(bǔ)償?shù)冗M(jìn)行檢定。使用新電導(dǎo)池前應(yīng)用內(nèi)酮去油，并用1%左 右的稀硝酸或鹽酸處理。5.2水樣吸收或失去溶解的氣體會使電導(dǎo)率發(fā)牛變化，嚴(yán)格避免水樣眾谿在空氣中。6試劑6. 1水ew-i級電了級水。川于配制氯化鉀電導(dǎo)率標(biāo)準(zhǔn)溶液的水，應(yīng)暴銅在實(shí)驗(yàn)室氣氛中，使z達(dá)到平衡。6.2氯化鉀標(biāo)準(zhǔn)溶液固體電導(dǎo)率標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)氯化鉀（標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)bw0401）,使用前在110°c k烘2h,然后置于干燥器中冷至 室溫后使用。配制溶液時(shí)，環(huán)境溫度應(yīng)

7、為20c士 2°c。氯化鉀標(biāo)準(zhǔn)溶液與電導(dǎo)率關(guān)系見附錄b。7測量儀器7. 1電導(dǎo)儀木方法所使用的儀器，測呆時(shí)通過電導(dǎo)池的應(yīng)是交流信號，其頻率可在25hz100hz范圍。7.2電導(dǎo)池電導(dǎo)池的電導(dǎo)池常數(shù)一般為0.01cm<0.1 cm 'o應(yīng)根據(jù)試樣電導(dǎo)率范圍，選用合適的電導(dǎo)池常數(shù)的 電導(dǎo)池進(jìn)行測量。電導(dǎo)池常數(shù)的選擇見附錄b。7.3溫度計(jì)溫度計(jì)的測量范圍應(yīng)為（tc35°c,粕度為0. 1°c。7.4恒溫水浴槽25°c 士 0. 1°c恒溫的水浴槽。8測量步驟 8.1電導(dǎo)池常數(shù)的測定用暴露于實(shí)驗(yàn)室空氣中與空氣中二氧化碳達(dá)到平衡的電了級水徹

8、底清洗電導(dǎo)池，再用相應(yīng)的氯化鉀 標(biāo)準(zhǔn)溶液沖洗三次，然后將標(biāo)準(zhǔn)溶液（所用標(biāo)準(zhǔn)溶液應(yīng)盡量接近實(shí)測水的電導(dǎo)率值）充滿電導(dǎo)池，放入恒 溫杷內(nèi)，溫度控制在（25 士 0.1）°c,穩(wěn)定后，測量其電導(dǎo)g。按同樣步驟測量配制標(biāo)準(zhǔn)溶液所用的水（已平衡過）電導(dǎo)率按公式（4）計(jì)算電導(dǎo)池常數(shù)：式中：325°c時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)氯化鉀溶液的電導(dǎo)率（由附錄b查出），單位為微西門子每厘米（u s/cm ）； 正_25°c時(shí)，配制標(biāo)準(zhǔn)溶液所用水的電導(dǎo)率，單位為微西門了每厘米（us/cm ）；g,一m出標(biāo)準(zhǔn)氯化鉀溶液的電導(dǎo)，單位為微四門了 （us）o注：電導(dǎo)池常數(shù)的測定結(jié)果精確至0.5%。8. 2電阻率動(dòng)

9、態(tài)測量8.2.1將測量裝置與制水系統(tǒng)相連接，通水并趕盡管道、電導(dǎo)池中的氣泡，調(diào)節(jié)水流速（一般不低于 0.3m/s）,并在電導(dǎo)池出水口安裝好溫度計(jì)。8.2.2按儀器說明書操作電導(dǎo)儀（預(yù)熱、調(diào)零、校正及測量等），待儀器讀數(shù)穩(wěn)定后，記錄水溫和電阻 率值。8.2.3在線測量應(yīng)該使用帶溫度補(bǔ)償?shù)碾妼?dǎo)儀，可以直接讀出25°c的電阻（導(dǎo)）率值，對丁沒有溫度補(bǔ) 償?shù)膬x器，可按公式（5）將測試溫度t （10°c35°c）時(shí)的測得的電阻率q,換算為25°c時(shí)的電阻率q25：(5)式中：p2一 算成25°c時(shí)的水的電阻率，單位為兆歐姆厘米（mqcni）；pt1度時(shí)測

10、得的水的電阻率，單位為兆歐姆厘米（mqcm）；山t度時(shí)理論純水的電導(dǎo)率，單位為微西門了每厘米（口 s/cm ）； ht度吋水的修正系數(shù)；§水 .05482, 25°c時(shí)理論純水的電導(dǎo)率，單位為微西門子每厘米（p s/cm ）。 9報(bào)告測試報(bào)告應(yīng)按gb/t 11446. 3-20xx給定格式進(jìn)行編制。國標(biāo)附錄a(規(guī)范性附錄)電阻率的溫度修正曲線電阻率的溫度修正曲線見圖a. io溫度(c)圖a.1電阻率的溫度修正曲線附錄b（規(guī)范性附錄）氯化鉀電導(dǎo)率標(biāo)準(zhǔn)溶液的濃度和電導(dǎo)率值b.1氯化鉀電導(dǎo)率標(biāo)準(zhǔn)溶液的濃度和電導(dǎo)率值氯化鉀電導(dǎo)率標(biāo)準(zhǔn)溶液的濃度和電導(dǎo)率值見表b. 1。應(yīng)丿ij卜述標(biāo)準(zhǔn)

11、溶液時(shí)應(yīng)確保：a）電導(dǎo)率標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)氯化鉀需在110°c卜烘2hob）配制標(biāo)準(zhǔn)溶液時(shí)使用感量為0. lmg的天平。c）配制標(biāo)準(zhǔn)溶液吋，環(huán)境溫度為（20±2） °c,校準(zhǔn)吋標(biāo)準(zhǔn)溶液的溫度變化范圍為（20士0. 1）c。表b. 1氯化鉀電導(dǎo)率標(biāo)準(zhǔn)溶液的濃度和電導(dǎo)率值氯化鉀標(biāo)準(zhǔn)濃度溶液m電導(dǎo)率 s/cm15°c18°c20 °c25 °c35 °c10. 092120. 097800. 101700. 111310. 131100. 10. 0104550.0111630.0116440.0123520.0153530.010. 00114140. 00122000.00127370.00140830.00168760.0010. 00011350.00012670.00014650.00014650.0001765b.2不同電阻率范圍內(nèi)采用的電導(dǎo)池常數(shù)及標(biāo)準(zhǔn)溶液濃度不同電阻率范圍內(nèi)采用的電導(dǎo)池常數(shù)及標(biāo)