鍍膜基礎(chǔ)知識(shí)

1、2021-11-251鍍膜基礎(chǔ)知識(shí)品管部品管部2021-11-252目 錄一、培訓(xùn)意義二、培訓(xùn)目的三、鍍膜設(shè)備平面分布圖四、滑閥泵工作原理及作用五、羅茨泵工作原理及作用六、分子泵工作原理及作用2021-11-253培 訓(xùn) 意 義11、職業(yè)培訓(xùn)能提高員工的工作能力2、職業(yè)培訓(xùn)有利于企業(yè)獲得競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)3、職業(yè)培訓(xùn)有利于改善企業(yè)的工作質(zhì)量4、職業(yè)培訓(xùn)有利于高效工作績(jī)效系統(tǒng)的構(gòu)建5、職業(yè)培訓(xùn)要可以滿足員工實(shí)現(xiàn)自我價(jià)值的需要， 在現(xiàn)代企業(yè)中，員工的工作目 的更重要的是為 了“高級(jí)”需求-自我價(jià)值實(shí)現(xiàn)2021-11-254 培訓(xùn)的目的就是要提升你們的職業(yè)能力，使其更好地勝任現(xiàn)在的日常工作及未來(lái)的工作任務(wù)。在

2、能力培訓(xùn)方面，傳統(tǒng)上的培訓(xùn)重點(diǎn)一般放在基本技能與高級(jí)技能兩個(gè)層次上，但是未來(lái)的工作需要更為廣泛的專業(yè)知識(shí)，培訓(xùn)學(xué)會(huì)知識(shí)共享，創(chuàng)造性地運(yùn)用知識(shí)來(lái)調(diào)整產(chǎn)品或服務(wù)的能力。同時(shí)，培訓(xùn)使你們的工作能力提高，為取得良好的工作績(jī)效提供了可能，也為你們提供更多的晉升和較高收入的機(jī)會(huì)。培 訓(xùn) 目 的2021-11-2551：H150GB滑閥泵（極限真空：0.8Pa） 2：ZJP300羅茨泵 (極限真空：5*10-2 ) 3：ZJP600B羅茨泵 4：ZH50G滑閥泵 5：300G羅茨泵 6：H150GB滑閥泵 7：ZJP600B羅茨泵 滑閥泵羅茨泵電阻規(guī)氣缸分子泵鈮Nb、硅靶SiITO靶(In2O3+SnO2氧

3、化銦錫)插板閥14緩沖室15出片室12鍍膜室13緩沖室11過(guò)度室10過(guò)度室3緩沖室2緩沖室4鍍膜室9過(guò)度室8鍍膜室7鍍膜室1進(jìn)片室6鍍膜室5鍍膜室123455-1764-11-12-13-1鍍膜一線平面圖2-12室每個(gè)箱體內(nèi)有18組加熱器；13室10組加熱器2021-11-25614緩沖室15出片室12鍍膜室13緩沖室11鍍膜室10過(guò)度室3緩沖室2緩沖室4鍍膜室9過(guò)度室8鍍膜室7鍍膜室1進(jìn)片室6鍍膜室5鍍膜室123455-1764-11-12-13-1鍍膜二線平面圖滑閥泵羅茨泵電阻規(guī)氣缸分子泵鈮Nb、硅靶SiITO靶(In2O3+SnO2氧化銦錫)插板閥旋轉(zhuǎn)靶移動(dòng)靶1：H150GB滑閥泵（極限

4、真空：0.8Pa） 2：ZJP300羅茨泵 (極限真空：5*10-2 ) 3：ZJP600B羅茨泵 4：ZH50G滑閥泵 5：300G羅茨泵 6：H150GB滑閥泵 7：ZJP600B羅茨泵 2021-11-2572021-11-2581213453454541-泵體 2-軸 3-偏心輪 4-滑閥套 5-滑閥板 6-滑閥導(dǎo)軌 7-排氣閥門2021-11-259滑閥式油封機(jī)械泵（簡(jiǎn)稱滑閥泵）同旋片泵一樣，也是一種滑閥式油封機(jī)械泵（簡(jiǎn)稱滑閥泵）同旋片泵一樣，也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同。變?nèi)菔綒怏w傳輸泵。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同?；y泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，容量

5、比旋片泵大得多，因此常常被滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設(shè)備上?；y泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種型式。單級(jí)用在大型真空設(shè)備上?；y泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種型式。單級(jí)泵的極限壓力對(duì)小泵泵的極限壓力對(duì)小泵0.6Pa，對(duì)大泵，對(duì)大泵1.3Pa（均關(guān)氣鎮(zhèn)），（均關(guān)氣鎮(zhèn)），雙級(jí)泵的極限壓力雙級(jí)泵的極限壓力0.06Pa（關(guān)氣鎮(zhèn)）。抽速大于（關(guān)氣鎮(zhèn)）。抽速大于150L/s的滑閥泵多采用單級(jí)型式。的滑閥泵多采用單級(jí)型式。由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心，如果滑很好的質(zhì)量平衡，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)產(chǎn)生較大的大的偏心，如果滑很好的質(zhì)量平衡，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)產(chǎn)生較大的振動(dòng)。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運(yùn)

6、動(dòng)軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線，因振動(dòng)。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運(yùn)動(dòng)軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線，因此很難實(shí)現(xiàn)對(duì)滑閥泵慣性力的完全平衡。做好滑閥的質(zhì)量平此很難實(shí)現(xiàn)對(duì)滑閥泵慣性力的完全平衡。做好滑閥的質(zhì)量平衡，減少泵的振動(dòng)一直是滑閥泵需要解決的一個(gè)重要課題。衡，減少泵的振動(dòng)一直是滑閥泵需要解決的一個(gè)重要課題。2021-11-2510出現(xiàn)故障及解決辦法 真空度不高 1、油被污染2、密封漏氣3、排氣閥門失靈4、有大氣漏入2021-11-2511解決方法1、更換新真空泵油2、更換軸端密封3、修理排氣閥門.或更換新閥門、閥片4、檢查真空管路，修補(bǔ)漏氣部位2021-11-2512泵有異常噪音和劇烈振動(dòng) 1、基礎(chǔ)不牢固2、零

7、部件松動(dòng)或損壞3、排氣閥門工作不正常4、異物落入泵內(nèi)5、軸承磨損或潤(rùn)滑不良6、嚴(yán)重漏氣2021-11-25132021-11-2514羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)工作示意圖2021-11-2515ZJ系列羅茨泵的結(jié)構(gòu)如上圖所示。在泵腔內(nèi)，有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級(jí)泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。由于轉(zhuǎn)

8、子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。工作原理2021-11-2516如圖為羅茨泵轉(zhuǎn)子由0轉(zhuǎn)到180的抽氣過(guò)程。在0位置時(shí)（圖中a），下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45位置時(shí)（圖中b），該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強(qiáng)較高，引起一部分氣體返沖過(guò)來(lái)。當(dāng)轉(zhuǎn)到90位置時(shí)（圖中c），下轉(zhuǎn)子封入的氣體，連同返沖的氣體一起排向泵

9、外。這時(shí)，上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135時(shí)（圖中d），上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通，重復(fù)上述過(guò)程。180（圖e）位置和0位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個(gè)v0體積的氣體。2021-11-25171轉(zhuǎn)子與泵腔、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間有一定的間隙，互不接觸，不需要用油潤(rùn)滑。2轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性,可以提高轉(zhuǎn)速,從而能夠制造出結(jié)構(gòu)緊湊的大抽速泵來(lái)。3泵工作時(shí)振動(dòng)小,容積大,容積利用系數(shù)0.5左右。4在泵腔內(nèi)并不發(fā)生像機(jī)械真空泵那樣的壓縮現(xiàn)象,因此它不需要排氣閥。也正因如此，可抽除可凝性蒸汽。5啟動(dòng)快，能夠在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到極限真空。功率小，運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。6羅茨泵在很寬的壓力

10、范圍內(nèi)（1000Pa1Pa）有很大的抽速，能迅速排出突然放出的氣體,彌補(bǔ)了擴(kuò)散泵和油封機(jī)械泵(1000Pa1Pa)時(shí)抽速都很小的缺陷。因此,它最適合作增壓泵用。羅茨泵的特點(diǎn)是2021-11-2518使用特點(diǎn) ZJ羅茨真空泵的最大優(yōu)點(diǎn)是在較低人口壓力時(shí)對(duì)具有較高的抽氣速率，但它不能單獨(dú)使用，必須有一臺(tái)前級(jí)泵串聯(lián)，待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級(jí)真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時(shí)，羅茨真空泵才能開始工作，并且在一般情況下，羅茨真空泵不允許高壓差時(shí)工作，否則將會(huì)過(guò)載和過(guò)熱而損壞，因此使用羅茨真空泵時(shí)必須合理地選用前級(jí)真空泵，安裝必須要的保護(hù)設(shè)備 2021-11-2519出現(xiàn)故障及解決辦法 極限壓力不高1、管

11、道、系統(tǒng)漏氣2、泵部分漏氣3、前級(jí)泵極限壓力下降4、潤(rùn)滑油太臟或牌號(hào)不符5、油封磨損6、溢流閥漏氣2021-11-2520解決方法系統(tǒng)檢漏對(duì)泵檢漏修理或更換前級(jí)泵調(diào)換潤(rùn)滑油調(diào)換油封對(duì)溢流閥進(jìn)行修理2021-11-2521聲音異常 1、裝配不良2、導(dǎo)向齒輪與轉(zhuǎn)子位置偏移使轉(zhuǎn)子相碰3、入口壓力過(guò)高4、過(guò)載或潤(rùn)滑不良造成齒輪損傷5、軸承磨損 2021-11-2522解決方法1、重裝2、調(diào)整位置，保證間隙3、調(diào)整、控制入口壓力4、調(diào)換齒輪5、調(diào)換軸承 2021-11-2523電動(dòng)機(jī)過(guò)載 1、入口壓力不高2、轉(zhuǎn)子端面現(xiàn)端蓋單面接觸3、前級(jí)泵返油進(jìn)泵腔4、溢流閥卡住，使出口過(guò)高2021-11-2524解決

12、方法1、調(diào)整、控制入口壓力2、調(diào)整轉(zhuǎn)子端面間隙3、裝置防返油設(shè)備4、對(duì)溢流閥進(jìn)行清理2021-11-25252021-11-2526二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵原理分子泵原理分子泵是一種動(dòng)量型真空獲得設(shè)備，在分子流態(tài)下，分子泵是一種動(dòng)量型真空獲得設(shè)備，在分子流態(tài)下，氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的表面發(fā)生碰撞獲得一定方向的動(dòng)量，氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的表面發(fā)生碰撞獲得一定方向的動(dòng)量，從而使氣體分子得到逐級(jí)壓縮，最后被抽除。從而使氣體分子得到逐級(jí)壓縮，最后被抽除。2021-11-25272021-11-2528出 口 法 蘭帶 螺 旋 槽定 子 圓 盤轉(zhuǎn) 子 圓 盤靜 葉 片動(dòng) 葉 片入 口

13、法 蘭二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)二、分子泵原理、結(jié)構(gòu) 分子泵結(jié)構(gòu)分子泵結(jié)構(gòu) 按抽氣特性結(jié)構(gòu)分類按抽氣特性結(jié)構(gòu)分類渦輪分子泵渦輪分子泵 渦輪級(jí)動(dòng)、靜葉列渦輪級(jí)動(dòng)、靜葉列復(fù)合型分子泵復(fù)合型分子泵 渦輪級(jí)渦輪級(jí)+ +拖動(dòng)級(jí)拖動(dòng)級(jí) 按使用特點(diǎn)分類按使用特點(diǎn)分類風(fēng)冷型：中小型分子泵風(fēng)冷型：中小型分子泵水冷型：中大型分子泵水冷型：中大型分子泵防腐型：抽除腐蝕性氣體防腐型：抽除腐蝕性氣體入口出口2021-11-2529二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)二、分子泵原理、結(jié)構(gòu) 分子泵結(jié)構(gòu)分子泵結(jié)構(gòu) 按制造結(jié)構(gòu)分類按制造結(jié)構(gòu)分類 油潤(rùn)滑油潤(rùn)滑 脂潤(rùn)滑脂潤(rùn)滑 磁懸浮磁懸浮 2021-11-2530二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)二、分子泵原理、結(jié)

14、構(gòu) 分子泵結(jié)構(gòu)分子泵結(jié)構(gòu) 精密的轉(zhuǎn)子制造精密的轉(zhuǎn)子制造 精密的動(dòng)、靜間隙配合精密的動(dòng)、靜間隙配合 高精度的軸系加工高精度的軸系加工 高精度軸承高精度軸承 精密的整機(jī)平衡精密的整機(jī)平衡 可靠的阻尼減振系統(tǒng)可靠的阻尼減振系統(tǒng) 高效的變頻電機(jī)、冷卻系統(tǒng)高效的變頻電機(jī)、冷卻系統(tǒng)2021-11-2531 分子泵特點(diǎn)分子泵特點(diǎn) 連續(xù)抽除氣體連續(xù)抽除氣體 節(jié)省能源節(jié)省能源 可獲得清潔的真空可獲得清潔的真空 對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性，對(duì)各種類氣體，抽速變化不大對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性，對(duì)各種類氣體，抽速變化不大 起停機(jī)時(shí)間短起停機(jī)時(shí)間短 振動(dòng)小，噪音低振動(dòng)小，噪音低 操作維護(hù)方便，免維護(hù)周期長(zhǎng)操作維護(hù)方便，免維護(hù)周期長(zhǎng)

15、復(fù)合型分子泵在較高壓強(qiáng)工作段仍有較大抽速?gòu)?fù)合型分子泵在較高壓強(qiáng)工作段仍有較大抽速2021-11-2532 分子泵特點(diǎn)分子泵特點(diǎn) 油潤(rùn)滑分子泵：潤(rùn)滑油量小，且在前級(jí)真空段，對(duì)真空室污油潤(rùn)滑分子泵：潤(rùn)滑油量小，且在前級(jí)真空段，對(duì)真空室污染小。染小。 脂潤(rùn)滑分子泵：油脂量極小，前級(jí)配干泵可獲得近似無(wú)油的脂潤(rùn)滑分子泵：油脂量極小，前級(jí)配干泵可獲得近似無(wú)油的清潔真空。清潔真空。 全磁懸浮分子泵：無(wú)須潤(rùn)滑，與干泵一起使用，可獲得無(wú)油全磁懸浮分子泵：無(wú)須潤(rùn)滑，與干泵一起使用，可獲得無(wú)油的清潔真空環(huán)境。的清潔真空環(huán)境。2021-11-2533KYKYKYKY分子泵型號(hào)及意義分子泵型號(hào)及意義F F - / 特征代號(hào)（ 空、T、N、F、 Z） 抽氣速率速率, L/s 抽氣口通徑, mm 復(fù)合代號(hào) 分子泵代號(hào)2021-11-2534KYKYKYKY分子泵種類分子泵種類 渦輪泵 按結(jié)構(gòu)分 復(fù)合泵 油潤(rùn)滑 潤(rùn)滑方式 脂潤(rùn)滑 風(fēng)冷 冷卻方式 風(fēng)水兩用泵 水冷 普通泵 功能 防腐蝕泵2021-11-25352021-11-2536 電子在加速飛向基片的過(guò)程中受到磁