超聲波清洗技術(shù)

1、STARCLUSTER昴星團(tuán)（蘇州）超聲波技術(shù)有限公司日本總公司：STAR CLUSTER 神奈川県相模原市田名3277-14TEL:0081-42-764-4010FAX:0081-42-764-1048 http:/www.star-cluster.cp.jp中國(guó)分公司：昴星團(tuán)（蘇州）超聲波技術(shù)有限公司 蘇州新區(qū)鹿山路369號(hào)環(huán)保產(chǎn)業(yè)園7#廠房東側(cè) TELAXttp:/www.star- 超聲波清洗技術(shù)的基礎(chǔ)知識(shí)20042004年6月5日株式會(huì)社（中文名 株式會(huì)社昴星團(tuán)）柴野佳英 社長(zhǎng) 序言在此，我將闡述最新的超聲波清洗技術(shù)。不過

2、，在進(jìn)入話題之前，請(qǐng)先允許我明確一下我對(duì)清洗技術(shù)和環(huán)境問題的立場(chǎng)。地球環(huán)境問題是21世紀(jì)人類面臨的最大課題和難題之一。中國(guó)擁有全人類最多的人口、并且作為當(dāng)今的世界制造工廠在不斷發(fā)展。中國(guó)的環(huán)境問題也可以說是地球的環(huán)境問題。清洗技術(shù)也是一種聚集、移動(dòng)各種環(huán)境負(fù)荷的技術(shù)。這些環(huán)境負(fù)荷指的即是由于人類的生存以及活動(dòng)而產(chǎn)生的各種清洗對(duì)象物。因此，中國(guó)產(chǎn)業(yè)發(fā)展所必不可少的清洗技術(shù)，同時(shí)也必須是符合環(huán)保要求的技術(shù)。如今的中國(guó)所需要的清洗技術(shù)，必然是從以上觀點(diǎn)出發(fā)的，有利于環(huán)保以及產(chǎn)業(yè)發(fā)展的綜合技術(shù)。我們必須牢記CFC的歷史教訓(xùn)。中國(guó)所需要的并不是發(fā)達(dá)國(guó)家所用的陳舊的清洗技術(shù)。我相信，只要理解正確的使用方法

3、，進(jìn)行有效利用的話，超聲波清洗技術(shù)定能成為伴隨中國(guó)經(jīng)濟(jì)發(fā)展，同時(shí)有利于地球環(huán)保的發(fā)展中國(guó)家的未來的技術(shù)。2 何為超聲波清洗近20年來，超聲波清洗停滯發(fā)展，其一大理由在于人們對(duì)超聲波清洗的基本理解上存在誤解。伴隨著周邊技術(shù)，例如搬運(yùn)技術(shù)、計(jì)裝技術(shù)、板金技術(shù)的進(jìn)步，根據(jù)用戶的要求，超聲波清洗系統(tǒng)得到了急劇發(fā)展。然而，超聲波清洗技術(shù)的基本內(nèi)容，除了極少部分以外，并沒有發(fā)生大的變化。即使外觀、搬運(yùn)技術(shù)發(fā)生了變化，如果清洗技術(shù)本身沒有徹底革新的話，超聲波清洗技術(shù)也將無法順應(yīng)時(shí)代的潮流。為了充分應(yīng)用新時(shí)代的革新的超聲波清洗技術(shù)，有必要深刻理解為何超聲波清洗能夠去除污垢，為何無法去除等原理，消除對(duì)于其原理的

4、誤解。超聲波清洗通過在液體中放射強(qiáng)力超聲波，產(chǎn)生空洞（氣穴）。然后利用氣穴在生成以及消失時(shí)的沖擊力進(jìn)行清洗。不產(chǎn)生氣穴就不能稱為超聲波清洗。簡(jiǎn)而言之，超聲波清洗就是利用由超聲波產(chǎn)生的氣穴進(jìn)行清洗的技術(shù)。因此，理解并有效利用超聲波清洗的基本條件就在于正確理解氣穴、以及氣穴生成、消失現(xiàn)象（氣穴現(xiàn)象）。向液體中照射強(qiáng)力的20KHz以上的聲波，即超聲波。液體中的聲壓發(fā)生超過一定程度的變化時(shí)，就產(chǎn)生所謂的氣穴。氣穴由大量真空核（微小氣穴）構(gòu)成，其大小根據(jù)頻率及聲壓變化程度不同而變化，作為應(yīng)用性的氣穴，大小約100微米到10來毫米。其形狀也多種多樣，可以大致分為氣體星云型和球狀星云型兩種。為了區(qū)別于非超聲

5、波聲壓變化產(chǎn)生的氣穴，筆者將超聲波產(chǎn)生的氣穴稱為cavity（微小真空核群）。氣穴（微小真空核群）不斷重復(fù)生成和消失過程。以下進(jìn)行說明（25KHz）。1）發(fā)生階段正沖擊波 照片1照片2在初期（20萬分之1秒）的聲壓減壓階段中，氣穴發(fā)生區(qū)會(huì)產(chǎn)生無數(shù)的霧狀微小真空核。微小真空核不斷合并、成長(zhǎng)，經(jīng)過20萬分之3到4秒達(dá)到最大。形似成熟的葡萄，互相緊靠，形成十來個(gè)微小真空核群。在此過程中，氣穴區(qū)域中的液體被高速排出。如果氣穴外形為6mm，那么其外側(cè)就有200m/sec的液體移動(dòng)，從而產(chǎn)生沖擊波。這種沖擊波被稱為正沖擊波。氣穴的大?。ㄐ螤睿┮约耙后w移動(dòng)速度決定該沖擊波的強(qiáng)弱。被包圍在微小真空核之間的液體

6、（空間）帶高壓。這個(gè)階段部分地決定了超聲波清洗的洗凈力。但是，如果只有單一方向的壓力波，有時(shí)候反而會(huì)使污垢更陷入清洗物。超聲波清洗的特點(diǎn)在于下面的減壓階段。2）消失階段負(fù)沖擊波在減壓階段中，在不改變與氣穴中心距離的情況下，成長(zhǎng)的微小真空核群逐漸縮小。經(jīng)過約20萬分之6秒后，微小真空核群消失。準(zhǔn)確地說，與從產(chǎn)生到成長(zhǎng)到最大點(diǎn)的時(shí)間相比，消失的時(shí)間更短。與發(fā)生階段相反，液體向著氣穴中心高速移動(dòng)。根據(jù)觀測(cè)，估計(jì)約為220m/sec。在20萬分之1到2秒內(nèi)，微小真空核間的液體減壓、膨脹。然后集中經(jīng)受高速高壓的液體沖擊波和紊流。在此工程中，向著氣穴中心的沖擊波被稱為負(fù)沖擊波。這正是洗凈力的源泉所在，也是

7、超聲波清洗的特長(zhǎng)。3）氣穴的移動(dòng)清洗與擴(kuò)散如上所述，固體表面的污垢（清洗對(duì)象污染物質(zhì)）在氣穴發(fā)生階段中被氣穴中心發(fā)出的沖擊波（正沖擊波）“擠壓”。然后，被負(fù)沖擊波“牽拉”。1秒鐘內(nèi)重復(fù)2萬次以上。污垢被帶入氣穴，在微小真空核間的空間里經(jīng)過復(fù)雜的壓縮、膨脹工程，和氣穴一同高速移動(dòng)。這種氣穴的移動(dòng)距離最多不超過氣穴發(fā)生時(shí)的聲壓變化臨界值的下限。因此，球狀星云型氣穴（超聲波的衰減較低）約為/8（波長(zhǎng)）左右。而氣體星云型氣穴的氣穴移動(dòng)距離可以忽略不計(jì)。此外，移動(dòng)速度達(dá)到50米/秒到150米秒。這就是超聲波清洗的除污原理與非超聲波產(chǎn)生的氣穴的清洗原理的不同之處。4）對(duì)超聲波清洗的最大誤解有些人把超聲波照

8、射在液體中時(shí)產(chǎn)生的肉眼可見的氣泡誤認(rèn)為是由超聲波產(chǎn)生的氣穴（微小真空核群）。這正是對(duì)超聲波清洗技術(shù)的最大誤解。除了水以外，大多數(shù)清洗溶劑里含有大量空氣。醇類、氯化物類溶劑、碳化氫類溶劑以及其他可用于清洗或者已經(jīng)被用于清洗的溶劑，其溶解含氧量均在/以上。因此，經(jīng)過強(qiáng)力超聲波照射，其內(nèi)部壓力發(fā)生變化，導(dǎo)致溶解的空氣脫離出來，成為氣泡，上升到液面后破裂！而不會(huì)在液體內(nèi)部消失、縮小。這種現(xiàn)象叫做超聲波氣體充氣。從液體中跑出的空氣在液面再次溶解，由此超聲波產(chǎn)生的氣泡現(xiàn)象、超聲波鼓泡（或者稱為超聲波氣體充氣）現(xiàn)象不斷繼續(xù)。但是，這時(shí)產(chǎn)生的微小的空氣泡會(huì)帶來一些不良后果，它們會(huì)吸收并隔斷超聲波振動(dòng)面上產(chǎn)生的

9、有效的超聲波。導(dǎo)致超聲波產(chǎn)生的氣穴無法生成。不先考慮針對(duì)這種氣泡的對(duì)策，而競(jìng)相改變超聲波振蕩器的頻率數(shù)、振蕩方式等均是無稽之談。照片3對(duì)于沒有減少溶解空氣的對(duì)策的，溶劑為水以外的超聲波清洗機(jī)來說，99%以上的超聲波能量都消失在振動(dòng)面表面?。üP者測(cè)定）對(duì)于水以外的清洗，之所以沒有出問題，其原因在于清洗劑本身具有一定的洗凈力，而被忽略了真正問題所在。但是，當(dāng)今社會(huì)是精益求精的社會(huì)。超聲波產(chǎn)生的氣穴在1秒鐘內(nèi)重復(fù)生成、消失2萬次以上。在該現(xiàn)象中，人類肉眼絕對(duì)不可能看到氣泡？等物質(zhì)。如果在超聲波振蕩時(shí)，您發(fā)現(xiàn)肉眼可見的氣泡的話，那么可以認(rèn)為該超聲波槽的絕大多數(shù)超聲波能量都未被利用而消失了。3、氣穴控制

10、的重要性將清洗物放在超聲波振動(dòng)子上就可以進(jìn)行超聲波清洗的那種初期的超聲波清洗裝置，筆者將其稱為第一代超聲波清洗機(jī)。而把針對(duì)超聲波清洗中氣穴的重要性，在超聲波清洗槽內(nèi)具備控制氣穴功能的超聲波清洗裝置稱為第二代超聲波清洗機(jī)。在此，我簡(jiǎn)單地闡述一下第二代超聲波清洗機(jī)里的氣穴控制。這是設(shè)計(jì)超聲波清洗系統(tǒng)的全部基礎(chǔ)，我深信沒有對(duì)此的理解和實(shí)踐，就無法設(shè)計(jì)出新時(shí)代的超聲波清洗。照片41）氣穴發(fā)生位置的控制在超聲波清洗槽（超聲波噴射也一樣）中，在哪里、穩(wěn)定地產(chǎn)生怎樣的氣穴，這是一種極為重要的基礎(chǔ)技術(shù)。頻率數(shù)、液體的種類、溫度、液深、振動(dòng)子的配置、液體的流向、溫度分布等，以及清洗物的種類都決定氣穴的發(fā)生位置以

11、及分布形狀。根據(jù)不同目的設(shè)計(jì)氣穴分布，其基本分布包括水平分布、垂直分布、格子狀分布、均等分布、圓柱狀分布等。此外，超聲波清洗技術(shù)員和用戶必須明確每個(gè)超聲波槽的目的、就每個(gè)槽內(nèi)的氣穴分布和確認(rèn)方法達(dá)成共識(shí)。我們認(rèn)為，液深不穩(wěn)定呀，出現(xiàn)無法用理論證明的情況的話，就說明沒有掌握清洗設(shè)計(jì)的基本原理。2）氣穴發(fā)生密度的控制超聲波清洗中的氣穴并不在同一個(gè)面，而在各個(gè)點(diǎn)上產(chǎn)生。各氣穴間擁有一定距離，不會(huì)出現(xiàn)多個(gè)合并發(fā)生的現(xiàn)象。一般的脫脂清洗姑且不論，所謂的精密清洗的不良原因正來源于氣穴間的空間。因此，人們通過各種方法，試圖提高氣穴密度，或者試圖延長(zhǎng)氣穴的移動(dòng)距離。研究超聲波的波形、振蕩效率、液體射入效率、單

12、位面積上的輸出、振動(dòng)子粘貼方法，減少多余的液體量等等，各種細(xì)小的成果正不斷積累。而超小型、高速、高密度超聲波清洗的想法，正位于這些努力成果的延長(zhǎng)線上。3）氣穴沖擊力的控制氣穴的正負(fù)沖擊力如果太弱，就清洗不干凈。如果過強(qiáng)，會(huì)損壞清洗對(duì)象物而產(chǎn)生不良品。當(dāng)然，無法控制氣穴沖擊力，自然無法進(jìn)行超聲波清洗設(shè)計(jì)。最近超聲波清洗的對(duì)象物越來越精密化、纖細(xì)化，氣穴的可選擇范圍也日漸狹窄。不過，只要能夠深入理解超聲波清洗中的氣穴，我相信您一定能夠很好地理解如何控制沖擊力。一般來說，氣穴的沖擊力和液體的壓力成正比，和頻率數(shù)、液體的蒸汽壓、溶解的含氧量成反比。氣穴的沖擊力與氣穴在單位時(shí)間里排除（吸引）的液體質(zhì)量成

13、正比，因此只要理解原理，就不難明白如何控制了。在超聲波清洗裝置中，設(shè)計(jì)超聲波清洗時(shí)的氣穴控制是一種重要的基本技術(shù)。忽略這些，即草率地對(duì)待氣穴管理的話，是絕不可能發(fā)展超聲波清洗的新技術(shù)的。、第三代超聲波清洗技術(shù)在追求不同用途的具體的新技術(shù)前，我先說明一下作為新技術(shù)的框架的超聲波清洗。最重要的是原理，而根據(jù)不同的對(duì)象目的，應(yīng)用是無限的。這種技術(shù)是筆者在CFC時(shí)代里，針對(duì)脫CFC，在全球最早發(fā)現(xiàn)、應(yīng)用并磨練的基本技術(shù)。對(duì)于該清洗技術(shù)，如果無法準(zhǔn)確地控制氣穴的話，將無法充分發(fā)揮所追求的性能。有時(shí)甚至可能破壞超聲波振動(dòng)子，導(dǎo)致洗凈力明顯低下。但是，我認(rèn)為沒有這種技術(shù)，新時(shí)代的中國(guó)的清洗技術(shù)革新將無法實(shí)現(xiàn)

14、。這就是第三代的清洗技術(shù) 被稱為氣穴強(qiáng)化系統(tǒng)。）氣穴強(qiáng)化系統(tǒng)在擁有能夠準(zhǔn)確控制氣穴的超聲波槽的前提下，我們把根據(jù)不同目的，控制液體中的空氣溶解量的超聲波清洗裝置稱為帶有氣穴強(qiáng)化系統(tǒng)的超聲波清洗裝置（第三代超聲波清洗裝置）。不控制空氣含有量（以下出于測(cè)定技術(shù)考慮，用溶解含氧量代替），今后的超聲波清洗技術(shù)將寸步難行。溶解含氧量在數(shù)ppm以上，也就是一般的水、水系超聲波清洗的情況下，產(chǎn)生的是氣體星云型氣穴。氣體星云型氣穴在氣穴生成、消失時(shí)，液體的移動(dòng)速度較慢，結(jié)果導(dǎo)致沖擊力及其微弱。此外，由于移動(dòng)距離短（數(shù)mm內(nèi)），會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重的清洗不均。比起產(chǎn)生肉眼可見的氣泡的超聲波清洗裝置來說稍好一些，但是絕對(duì)不

15、適合今后追求精密化的超聲波清洗裝置。因此，在今后的超聲波清洗中，我們將利用球狀星云型氣穴。這種超聲波清洗將控制液體中的溶解含氧量，穩(wěn)定并有效地利用球狀星云型氣穴。該超聲波清洗系統(tǒng)被稱為第三代超聲波清洗氣穴強(qiáng)化系統(tǒng)。）球狀星云型氣穴我們認(rèn)為，在范圍為的超聲波清洗中，控制溶解含氧量在較低水平，利用球狀氣穴是有效地進(jìn)行精密清洗的絕對(duì)必要條件。球狀氣穴在單位時(shí)間內(nèi)吸收排出的液體量較大，并且氣穴本身的移動(dòng)速度也很快。因此在相同條件下可以表現(xiàn)出最大洗凈力，同時(shí)擴(kuò)散效果（氣穴對(duì)污垢的搬運(yùn)效果）也最高。我們希望能夠?qū)囊好孢M(jìn)入的空氣、液體本身含有的氣體、附著在清洗物本身表面等的空氣從超聲波清洗區(qū)域去除。同時(shí)，

16、將清洗物周圍、清洗物以及振動(dòng)板之間的液體的空氣含有量（以含氧量為標(biāo)準(zhǔn)）長(zhǎng)期穩(wěn)定地控制在2以下。不論超聲波通過何種媒體、經(jīng)過怎樣的線路照射，這一點(diǎn)，對(duì)于氣穴利用而言無一例外。至于含氧量（空氣）多少較為合適，這是由超聲波的頻率數(shù)、液體的種類、溫度，以及更為重要的是清洗目的的精度來決定的。為了穩(wěn)定地利用該技術(shù)、有效地利用超聲波的能量，光有排氣是不夠的，而必須嚴(yán)密地遵守前面提到的氣穴控制方法。在筆者發(fā)表該項(xiàng)技術(shù)后，在日本受到了眾多挑戰(zhàn)。然而結(jié)果是至今沒有出現(xiàn)類似品，其原因在于氣穴控制技術(shù)的欠缺。下面我將按照不同的主要應(yīng)用領(lǐng)域介紹球狀氣穴的應(yīng)用技術(shù)。照片5Cavitation Strengthening

17、 system Washing power comparison table (sound pressure).232323232323255025505050505025252525五、第三代超聲波清洗技術(shù) 應(yīng)用實(shí)例、液晶領(lǐng)域里的應(yīng)用實(shí)例以及特長(zhǎng)）超聲波振動(dòng)板的大型化 針對(duì)玻璃基板而實(shí)施的超聲波振動(dòng)子的大型化是該領(lǐng)域的最大特征。超聲波振動(dòng)子由眾多壓電素子并列連接而成，因此實(shí)現(xiàn)大型化必然需要對(duì)振動(dòng)子粘貼以及檢查等整體范圍內(nèi)進(jìn)行技術(shù)革新，而不僅僅是單純?cè)诖笮桶遄由洗罅堪惭b。目前，針對(duì)玻璃基板的大型化，我公司正積極研究7.5代的3600W-7200W及其組合的應(yīng)用化。作為利用球狀氣穴，帶有氣穴強(qiáng)化

18、系統(tǒng)的超聲波清洗裝置的一種極端方向，設(shè)計(jì)超聲波的反射面為僅僅75mm的清洗裝置也已廣泛實(shí)現(xiàn)了應(yīng)用化。）重新檢視超聲波頻率數(shù)在該領(lǐng)域中，超聲波的效果長(zhǎng)期以來受到懷疑。極端的例子就是在噴頭上加上超聲波進(jìn)行清洗的超聲波噴頭，或者說噴淋頭。其實(shí)，15年前在日本首先實(shí)現(xiàn)應(yīng)用化，并取得專利的正是筆者。但是，當(dāng)時(shí)存在無法解決的問題，因此我采取了撤退。那個(gè)問題，直到今天也沒有解決的跡象。具有徑直前進(jìn)性，但是由于頻率數(shù)高而導(dǎo)致排氣泡能力較高。振動(dòng)板表面產(chǎn)生大量不足1mm的微泡，有效地吸收、隔斷超聲波。然而，氣泡附著在振動(dòng)板表面，同時(shí)形成一個(gè)由氣泡構(gòu)成的反射面，引起空振蕩而導(dǎo)致震動(dòng)板損壞。為了防止這種現(xiàn)象，我試圖

19、在振動(dòng)板表面制造高速水流（紊流），去除導(dǎo)致空振蕩的氣泡。然而，雖然這樣保護(hù)了振動(dòng)板，但是紊流以及大量提供的液體產(chǎn)生了更多氣泡，令消失。今天，在液晶玻璃基板清洗中，振動(dòng)板產(chǎn)生的超聲波完全無法到達(dá)玻璃基板，看上去仿佛僅僅是用強(qiáng)烈的純水噴頭在進(jìn)行清洗。更何況，噴頭清洗的有效范圍僅為10m不到，在玻璃基板的單位面積上的清洗時(shí)間僅僅數(shù)秒而已?；逶谇逑床蹆?nèi)的時(shí)間反而更長(zhǎng)。（這些問題，筆者倒是已經(jīng)解決。）在這個(gè)領(lǐng)域，原本的出現(xiàn)就是氣穴強(qiáng)化系統(tǒng)（第三代超聲波清洗）實(shí)現(xiàn)多方面應(yīng)用化之前的事。也是錯(cuò)誤利用低頻率的氣體星云型氣穴帶來了不良影響后的產(chǎn)物。今天，面對(duì)日益大型化的玻璃基板等的超聲波清洗，我推薦在有效利用

20、球狀星云型氣穴的前提下，使用以50、最終80為基本頻率數(shù)，低于的同步廣域多重波。氣穴的沖擊力是可以控制的，為了避免損壞而抑制輸出力，或者試圖通過極端地提高頻率數(shù)（比如說提高到）來解決問題，這些都是錯(cuò)誤的手段。降低輸出將減少氣穴數(shù)從而導(dǎo)致喪失清洗效果。而極端的高頻率也會(huì)導(dǎo)致每個(gè)氣穴沖擊力的喪失。在基板大型化，更纖細(xì)、精密化的同時(shí)，清洗對(duì)象物所期待的洗凈力也必須更上一層樓。然而，異物越小，其單位面積上的附著力反而越大。因此在此需要一種無破壞性，擁有必要的正負(fù)沖擊力=洗凈力，更均勻、大量、穩(wěn)定地產(chǎn)生氣穴的氣穴控制技術(shù)。這里由于紙頁關(guān)系無法詳細(xì)敘述，然而有些超聲波清洗設(shè)計(jì)者在設(shè)計(jì)玻璃清洗時(shí)無視玻璃的特

21、性。超聲波可以通過99%以上的液晶玻璃，因此自身不會(huì)形成反射波。這樣的話，在超聲波清洗中，玻璃應(yīng)該放在距離振動(dòng)板的什么位置？（正確地說，這個(gè)問題本身是錯(cuò)誤的。）或者，從反射面的什么位置通過才能進(jìn)行清洗？將玻璃基板從振動(dòng)板上通過即可進(jìn)行超聲波清洗，這種觀念只是第一代超聲波清洗的觀念。、關(guān)于半導(dǎo)體領(lǐng)域中的超聲波清洗基本而言，處理方法和液晶領(lǐng)域沒有區(qū)別。僅僅從超聲波氣穴的應(yīng)用角度考慮。我認(rèn)為大家已經(jīng)充分認(rèn)識(shí)了硬件的重要性，然而如今缺少的，或者說近20年來停滯不前的原因在于缺少超聲波清洗技術(shù)這種軟件方面的考慮。）硅片制造領(lǐng)域乍一看似乎是的天下，其實(shí)對(duì)現(xiàn)狀的洗凈力極為令人不滿。如前面所述，在通常的純水中

22、產(chǎn)生微小的氣體星云型氣穴以及無數(shù)空氣泡，很難清洗大型化晶片。到達(dá)液面的超聲波能量還不到10%。因此我們力求針對(duì)晶片的大小控制溶解含氧量，單純促進(jìn)球狀型氣穴產(chǎn)生，從而強(qiáng)化洗凈力。此時(shí)需要注意的是，氣穴在振動(dòng)板上的移動(dòng)為垂直方向移動(dòng)。不過，在控制損壞的前提下，筆者推薦的同步多重波。這種新型的強(qiáng)力、致密的高聲壓超聲波解決了的問題。）元器件制造領(lǐng)域超聲波蝕刻被認(rèn)為是新的氣穴應(yīng)用技術(shù)。利用超聲波，成功地實(shí)現(xiàn)了清洗高密度正反晶片50100間隙（緊密附著部）中的焊劑。對(duì)于大量插件類的超聲波去毛刺、同時(shí)進(jìn)行精密清洗，也是該領(lǐng)域中的新的氣穴應(yīng)用技術(shù)。、計(jì)算機(jī)相關(guān)領(lǐng)域、手機(jī)通信器械領(lǐng)域在超聲波氣穴中，反而會(huì)產(chǎn)生微

23、小的破壞，以及很多污染，很難應(yīng)用。因此，筆者開發(fā)、利用以、為基本頻率的，低于的高聲壓廣域同步多重波。在下，超聲波的輸出密度為./cm2，/cm2層域。在該領(lǐng)域中，不僅是清洗，微小毛刺也可能導(dǎo)致不良，因此當(dāng)然也被用于去毛刺。、汽車產(chǎn)業(yè)相關(guān)領(lǐng)域該領(lǐng)域要求相對(duì)較強(qiáng)力的洗凈力。然而，該領(lǐng)域有2個(gè)開發(fā)方向，即大型化、強(qiáng)力化方向以及小型、高速、精密化方向。和其它領(lǐng)域相比，超聲波去毛刺業(yè)務(wù)更多。對(duì)于金屬、塑料、陶瓷、復(fù)合材等各種材料進(jìn)行超聲波去毛刺，是本公司的主力業(yè)務(wù)之一。在此，我將以此為例，闡述快速成長(zhǎng)的連續(xù)真空減壓超聲波清洗去毛刺清洗。這是今后超聲波清洗的一種新形式（已獲專利）。） 連續(xù)真空減壓超聲波去毛刺清洗筆者開發(fā)了各種超聲波清洗系統(tǒng)。比如，將大量的衣服塞入洗衣籃，或者掛在衣架上，保持不動(dòng)，在2分鐘短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行清洗的超聲波清洗系統(tǒng)。以及被認(rèn)為無法用超聲波的清洗的，幾千枚數(shù)的金屬網(wǎng)重疊后的高溫高壓過濾網(wǎng)等的短時(shí)間內(nèi)的超聲波清洗系統(tǒng)。其原理基本相同。 眾所周知，在超聲波清洗中，液體中的空氣含有量會(huì)左右其性能（話雖如此，是否已經(jīng)采取了正確的措施則另當(dāng)別論?。?。清洗對(duì)象物的表面或者內(nèi)部帶有的氣泡，不論