真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程的教學(xué)與研究能力的培養(yǎng)

1、    真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程的教學(xué)與研究能力的培養(yǎng)    黃延偉+席俊華+李陽(yáng)陽(yáng)摘要：本文通過(guò)對(duì)真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程的教學(xué)現(xiàn)狀和存在問(wèn)題的分析與討論，提出如何深化學(xué)生對(duì)實(shí)驗(yàn)課程基礎(chǔ)理論知識(shí)的理解，結(jié)合具體實(shí)驗(yàn)方案培養(yǎng)學(xué)生的創(chuàng)造性思維和創(chuàng)新研究能力，為培養(yǎng)現(xiàn)代化的綜合性素質(zhì)人才提供教學(xué)參考。通過(guò)真空與薄膜實(shí)驗(yàn)方面的訓(xùn)練，培養(yǎng)學(xué)生發(fā)現(xiàn)和解決問(wèn)題的能力，從整體上培養(yǎng)和提高學(xué)生的研究能力。關(guān)鍵詞：真空鍍膜；薄膜物理；基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)；研究創(chuàng)新能力：g642.423 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：a ：1674-9324（2017）09-0268-03一、引言伴隨著高校學(xué)科專(zhuān)業(yè)和課程分類(lèi)的細(xì)化

2、，真空與薄膜基礎(chǔ)理論和實(shí)驗(yàn)技術(shù)已受到越來(lái)越多專(zhuān)業(yè)學(xué)生和研究者的歡迎，在真空環(huán)境下生長(zhǎng)出的薄膜性能各異，但總體上薄膜與塊狀物質(zhì)一樣，可以是非晶、多晶和單晶態(tài)的，近年來(lái)，由于電子元器件以及光電功能器件的發(fā)展需要，各種復(fù)合薄膜和功能材料薄膜也有了飛速發(fā)展，薄膜的應(yīng)用范圍也越來(lái)越廣泛，從最初的將薄膜應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路、電阻器、電容器、激光器、磁頭磁帶上，到后來(lái)發(fā)展起來(lái)的高精度光學(xué)薄膜、高性能光電轉(zhuǎn)換薄膜以及便攜式儲(chǔ)能器件甚至航天技術(shù)上等各個(gè)領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用，而這些具有特殊功能的薄膜的成膜是離不開(kāi)真空環(huán)境的，因此，真空與薄膜技術(shù)不僅成為了一門(mén)獨(dú)立的研究和應(yīng)用技術(shù)，而且也成為其他幾乎一切材料表面改性和性

3、能提高的重要技術(shù)手段。掌握這樣的一門(mén)學(xué)科和技術(shù)，實(shí)驗(yàn)教學(xué)是必不可少的，真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程是培養(yǎng)大學(xué)生實(shí)踐、創(chuàng)造創(chuàng)新能力的一門(mén)非常重要的學(xué)科，它可以通過(guò)學(xué)生對(duì)實(shí)驗(yàn)原理的掌握，了解實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象，分析實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，建立實(shí)驗(yàn)結(jié)果與儀器參數(shù)的聯(lián)系，從而更精確地把握實(shí)驗(yàn)儀器性能，以便更有效地控制實(shí)驗(yàn)進(jìn)程，達(dá)到理想的薄膜成膜性能，通過(guò)對(duì)實(shí)驗(yàn)課程的學(xué)習(xí)更有效地理解和應(yīng)用理論知識(shí)，當(dāng)今大學(xué)生很大一部分在低年級(jí)的時(shí)候都有畢業(yè)后繼續(xù)攻讀研究生的想法，一部分本科生甚至在大二期間就已進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室實(shí)習(xí)，立志科研，真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程正好可以滿足材料和電子類(lèi)專(zhuān)業(yè)學(xué)生在繼續(xù)攻讀研究生和進(jìn)入社會(huì)就業(yè)前的實(shí)踐和創(chuàng)新能力。學(xué)生通過(guò)對(duì)各種真空設(shè)

4、備，如真空蒸發(fā)、磁控濺射、脈沖激光沉積、分子束外延、化學(xué)氣相沉積等的原理掌握和實(shí)戰(zhàn)操作，對(duì)所學(xué)的相關(guān)理論知識(shí)有更深入的理解，同時(shí)鍛煉了動(dòng)手能力、豐富了實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，通過(guò)對(duì)真空設(shè)備重要零部件如機(jī)械泵、分子泵、離子泵以及各種真空規(guī)的認(rèn)識(shí)和理解，對(duì)以后從事科研或其他技術(shù)類(lèi)工作都有很大的幫助，尤其對(duì)培養(yǎng)學(xué)生的獨(dú)立發(fā)現(xiàn)和解決問(wèn)題、創(chuàng)造性思維以及創(chuàng)新能力有莫大的幫助。杭州電子科技大學(xué)是一所電子專(zhuān)業(yè)特色突出的教學(xué)與研究型綜合性大學(xué)，其材料專(zhuān)業(yè)已開(kāi)展多年的真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程，在教學(xué)和儀器設(shè)備方面都有大量資金投入，目前各項(xiàng)真空薄膜設(shè)備基本到位，相關(guān)薄膜性能測(cè)試表征設(shè)備也已跟進(jìn)，對(duì)培養(yǎng)高水平真空與薄膜技術(shù)人才有充足的

5、勢(shì)力。二、真空與薄膜實(shí)驗(yàn)教學(xué)內(nèi)容現(xiàn)狀分析與教學(xué)改革真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程不同于其他實(shí)驗(yàn)課程，它是一門(mén)專(zhuān)業(yè)性很強(qiáng)的實(shí)驗(yàn)課，要求學(xué)生在課前需要預(yù)先查找、了解并掌握一定的基礎(chǔ)理論知識(shí)，簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，初次進(jìn)入這門(mén)課程的學(xué)習(xí)，就要求學(xué)生們對(duì)真空的概念有所了解，從低真空、中真空、高真空、超高真空到極超高真空所對(duì)應(yīng)的壓強(qiáng)進(jìn)行區(qū)分和掌握，同時(shí)需要了解真空的測(cè)量和各種真空泵所能達(dá)到的真空極限，這樣我們才有可能利用真空技術(shù)來(lái)制備目標(biāo)薄膜；對(duì)具有一定基礎(chǔ)知識(shí)的同學(xué)，真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程也要求學(xué)生們掌握更深層次的理論知識(shí)，比如在低真空，主要的理論基礎(chǔ)是空氣動(dòng)力學(xué)，到了極高真空則出現(xiàn)了統(tǒng)計(jì)漲落現(xiàn)象，因此，真空與薄膜技術(shù)所涉及的基

6、本理論知識(shí)范疇十分廣泛，從最基本的氣體分子的特性、氣體分子運(yùn)動(dòng)論到在真空環(huán)境下所發(fā)生的物理化學(xué)現(xiàn)象以及最終生成薄膜的表面界面分析等，所涉及的理論知識(shí)幾乎覆蓋了整個(gè)物理和化學(xué)領(lǐng)域。因此真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程的順利開(kāi)展有利于培養(yǎng)學(xué)生的研究能力，對(duì)開(kāi)展創(chuàng)新教育、加強(qiáng)培養(yǎng)大學(xué)生研究創(chuàng)新能力起著重要作用。目前，就我校多年開(kāi)展真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程的經(jīng)驗(yàn)來(lái)看，這門(mén)課程的教學(xué)現(xiàn)狀、存在問(wèn)題以及如何改革可以概括如下。1.真空與薄膜技術(shù)相關(guān)指導(dǎo)書(shū)籍甚少。目前國(guó)內(nèi)很多高?？峙聦?duì)真空科學(xué)技術(shù)和薄膜技術(shù)是分開(kāi)來(lái)講授的，將他們視為獨(dú)立的兩門(mén)學(xué)科，這也無(wú)可厚非，因?yàn)楸∧ぜ夹g(shù)不僅僅局限于真空環(huán)境，也可以有一些軟化學(xué)法來(lái)合成薄膜，并

7、且性能也能達(dá)到科研工作者的理想所需，分開(kāi)教學(xué)的缺點(diǎn)是同學(xué)們對(duì)真空科學(xué)技術(shù)和薄膜技術(shù)難以綜合聯(lián)系起來(lái)理解，最終難以加以具體應(yīng)用，更談不上研究創(chuàng)新能力的培養(yǎng)。原因之一是缺乏真空與薄膜相關(guān)書(shū)籍和資料的指導(dǎo)，即便有些大學(xué)里有專(zhuān)門(mén)關(guān)于真空與薄膜課程的學(xué)習(xí)，所使用的指導(dǎo)資料也是自己課題組自己編制的講義和附錄，如復(fù)旦大學(xué)的真空物理實(shí)驗(yàn)室，對(duì)相關(guān)專(zhuān)業(yè)學(xué)生開(kāi)展的真空與薄膜方面的課程，就是自己課題組前輩在教學(xué)和科研經(jīng)歷中總結(jié)出來(lái)的講義和書(shū)籍，如華中一先生編寫(xiě)的真空科學(xué)技術(shù)、材料表面界面以及由大家共同編寫(xiě)的薄膜生長(zhǎng)，現(xiàn)在基本上在網(wǎng)上或在圖書(shū)館里找不到這些珍貴的資料了。所以目前開(kāi)展真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程所使用的教材和指導(dǎo)

8、書(shū)，差不多都是由專(zhuān)業(yè)從事真空和薄膜研究的主講教師自己自編自寫(xiě)的講義，盡管如此，這些講義在某種程度上提煉了重點(diǎn)，有針對(duì)性的對(duì)學(xué)生進(jìn)行指導(dǎo)訓(xùn)練，也避免了冗長(zhǎng)復(fù)雜的繁文縟節(jié)式的教學(xué)，對(duì)短期內(nèi)提高學(xué)生們的科研興趣有一定的意義，但長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看，還需解決指導(dǎo)書(shū)籍匱乏的問(wèn)題，這需要從事真空和薄膜實(shí)驗(yàn)教學(xué)的工作者們的共同努力！2.真空鍍膜設(shè)備及薄膜性能測(cè)試儀器需要更大實(shí)驗(yàn)室場(chǎng)地面積。真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程作為一門(mén)實(shí)驗(yàn)課，要求每個(gè)學(xué)生都要參與到自己動(dòng)手操作真空鍍膜設(shè)備以及薄膜測(cè)試儀器的過(guò)程中來(lái)，目前，我院的真空鍍膜設(shè)備包括，真空蒸發(fā)、直流/射頻磁控濺射、電子束蒸發(fā)、脈沖激光沉積、離子鍍、離子束濺射沉積等，基本上滿足了材

9、料與電子類(lèi)本科生實(shí)驗(yàn)課程教學(xué)的需要，但由于真空設(shè)備往往體積較大，需要相關(guān)附件如冷水機(jī)、氣瓶等才可以順利開(kāi)展進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，所需實(shí)驗(yàn)場(chǎng)地面積大，如果學(xué)?；蜓芯繖C(jī)構(gòu)實(shí)驗(yàn)場(chǎng)地資源緊張的情況下，難免存在安全隱患，需要相關(guān)部門(mén)給予更多重視。在實(shí)驗(yàn)教學(xué)過(guò)程中，主講教師需要邊演示實(shí)驗(yàn)操作邊講解實(shí)驗(yàn)原理，特別需要注意的地方還需幻燈片來(lái)為同學(xué)們?cè)敿?xì)講解，與真空設(shè)備緊密相關(guān)的薄膜測(cè)試儀器是真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程必不可少的性能表征設(shè)備，真空鍍膜設(shè)備和測(cè)試設(shè)備往往占用場(chǎng)地面積較多，而且結(jié)合幻燈片進(jìn)行教學(xué)，有需要在實(shí)驗(yàn)室里開(kāi)辟一塊可以學(xué)習(xí)聽(tīng)課的場(chǎng)地，這對(duì)實(shí)驗(yàn)室的場(chǎng)地資源要求較大，需要有關(guān)部門(mén)和領(lǐng)導(dǎo)給予支持和理解。 3.學(xué)生分組實(shí)

10、驗(yàn)導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)教學(xué)效率低。真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程因?yàn)樯婕暗降恼婵赵O(shè)備以及測(cè)試儀器都是較大型的，所以不像化學(xué)儀器那樣，在教學(xué)過(guò)程中，每個(gè)學(xué)生可以人守一臺(tái)。真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程目前只能采取分組教學(xué)模式，根據(jù)一個(gè)班級(jí)的學(xué)生人數(shù)進(jìn)行分組教學(xué)，當(dāng)然每組人數(shù)越少越能使每個(gè)學(xué)生都有機(jī)會(huì)完整地操作儀器，如果人數(shù)過(guò)多就不能在一節(jié)課的時(shí)間里達(dá)到使每個(gè)學(xué)生都能體驗(yàn)完整的實(shí)驗(yàn)過(guò)程，這就降低了教學(xué)效率，針對(duì)這一情況，主講教師需要提醒每個(gè)學(xué)生都做好實(shí)驗(yàn)記錄，在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中應(yīng)不斷提出問(wèn)題讓同學(xué)們積極思考，并隨機(jī)抽查學(xué)生們實(shí)驗(yàn)掌握情況，提高學(xué)生的課堂注意力和積極動(dòng)腦思考能力，最大限度地減少由分組實(shí)驗(yàn)教學(xué)導(dǎo)致的低效率問(wèn)題；另外，還可以采取

11、鍍膜設(shè)備同時(shí)運(yùn)行的辦法來(lái)充分利用教學(xué)時(shí)間，比如，一組八個(gè)學(xué)生的真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課，可以將四個(gè)學(xué)生分配真空蒸發(fā)設(shè)備，另外四個(gè)學(xué)生采用濺射鍍膜設(shè)備，兩套設(shè)備同時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)，可以制備同一種薄膜，兩小組學(xué)生可以互相討論實(shí)驗(yàn)方案并對(duì)感興趣的薄膜進(jìn)行不同的生長(zhǎng)方法，待薄膜生長(zhǎng)完畢后，進(jìn)行性能表征，并比較不同制備方法所生長(zhǎng)的薄膜性能的異同，并分析原因，提出改善方法，這樣不僅鍛煉了學(xué)生們的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)能力還提高的研究能力。4.真空設(shè)備及薄膜測(cè)試儀器的故障問(wèn)題。在真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程中，由于真空設(shè)備的長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)，偶爾也會(huì)遇到一些始料不及的故障，導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)課無(wú)法進(jìn)行，例如，在前次課程儀器維護(hù)良好的情況下，本次課程卻發(fā)現(xiàn)真空抽不下

12、去的問(wèn)題，這就要考慮漏氣問(wèn)題，一般在正確維護(hù)儀器的情況下，漏氣問(wèn)題并不很?chē)?yán)重，可以檢查真空倉(cāng)門(mén)是否關(guān)閉嚴(yán)實(shí)，進(jìn)氣口是否未旋緊等，遇到故障并不可怕，也是一個(gè)學(xué)習(xí)思考的過(guò)程，比如可以引導(dǎo)學(xué)生思考各種檢漏方法，如真空腔上蓋不牢，可以采取蘸取丙酮的辦法來(lái)找到漏氣位置，進(jìn)而解決問(wèn)題，另外還需注意提醒學(xué)生們?nèi)绻l(fā)現(xiàn)漏氣立即關(guān)閉測(cè)量高真空的電離規(guī)，并啟發(fā)同學(xué)們思考原因。當(dāng)然，有時(shí)候也可能遇到較大的故障，例如電路斷路，閥門(mén)失靈，無(wú)法起輝，水管漏水等問(wèn)題，這時(shí)候通常需要專(zhuān)業(yè)人員來(lái)維修，對(duì)于研究院所，專(zhuān)門(mén)從事真空薄膜研究的實(shí)驗(yàn)人員來(lái)說(shuō)，真空設(shè)備出現(xiàn)故障并非壞事，具有專(zhuān)研能力的人往往并不會(huì)坐等維修工程師的到來(lái)，而是

13、自己動(dòng)手解決問(wèn)題，從檢查線路開(kāi)始一點(diǎn)一點(diǎn)的排查問(wèn)題，總能找到問(wèn)題所在，一旦找到問(wèn)題解決辦法總會(huì)有的，即使是最后因暫時(shí)缺少有效零部件而無(wú)法啟動(dòng)，也可以采取替換辦法，使同學(xué)們對(duì)維修設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)儀器產(chǎn)生濃厚的興趣，一些學(xué)生可能會(huì)因此在將來(lái)的工作崗位中獲益匪淺，這對(duì)學(xué)生的研究創(chuàng)新能力的培養(yǎng)起了關(guān)鍵作用。三、真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程的教學(xué)與科研的結(jié)合真空與薄膜實(shí)驗(yàn)盡管主要針對(duì)相關(guān)專(zhuān)業(yè)本科生的實(shí)驗(yàn)教學(xué)，但不能造成實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備資源的浪費(fèi)，在教學(xué)之外甚至教學(xué)之中同樣可以同時(shí)進(jìn)行科學(xué)研究，在授課過(guò)程中就讓學(xué)生樹(shù)立一種科研的嚴(yán)謹(jǐn)精神，在熟悉儀器的操作的同時(shí)，也進(jìn)行自己感興趣的課題研究，利用真空鍍膜設(shè)備制備薄膜并進(jìn)行表征分

14、析，對(duì)某一新現(xiàn)象進(jìn)行推測(cè)或解釋?zhuān)踔辆毩?xí)專(zhuān)業(yè)論文的寫(xiě)作，或者對(duì)真空設(shè)備的某一部分進(jìn)行創(chuàng)造性的改造以形成專(zhuān)利，這都對(duì)學(xué)生的創(chuàng)新意識(shí)和研究能力提出了更高要求。近年來(lái)，各高校通過(guò)舉行大學(xué)生創(chuàng)業(yè)創(chuàng)新項(xiàng)目的比賽，增加綜合性、設(shè)計(jì)性實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目以提高學(xué)生的創(chuàng)新能力，在學(xué)習(xí)真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程的同時(shí)，也同樣具備挑戰(zhàn)這些比賽的資本，如獨(dú)立設(shè)置實(shí)驗(yàn)課題，在指導(dǎo)老師的幫助下完成課題的實(shí)施、順利進(jìn)行等。這就在完成實(shí)驗(yàn)教學(xué)任務(wù)的同時(shí)，更加有效地利用高校實(shí)驗(yàn)設(shè)備資源、培養(yǎng)高素質(zhì)創(chuàng)新型人才。隨著科學(xué)研究方法的不斷更新和研究領(lǐng)域的不斷拓展，新課題、新技術(shù)和新方法也不斷出現(xiàn)并快速更新。教學(xué)任務(wù)與科研興趣有機(jī)結(jié)合起來(lái)后，學(xué)生可通過(guò)畢

15、業(yè)設(shè)計(jì)、課題研究等形式參與到教師或者科研工作者的課題中去，在學(xué)習(xí)的同時(shí)承擔(dān)適當(dāng)?shù)目蒲腥蝿?wù)，不僅培養(yǎng)了動(dòng)手能力和創(chuàng)新思維，還鍛煉了科研能力，隨著時(shí)代的發(fā)展，實(shí)驗(yàn)教學(xué)內(nèi)容和形式需要不斷探索新模式，不斷注入新活力，以完全調(diào)動(dòng)學(xué)生們學(xué)習(xí)和研究的樂(lè)趣，通過(guò)實(shí)驗(yàn)與科研的結(jié)合，建立新的教學(xué)體系，強(qiáng)調(diào)培養(yǎng)學(xué)生的創(chuàng)新能力，并通過(guò)充分利用實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備資源引導(dǎo)立志從事科學(xué)研究的學(xué)生進(jìn)行科研素質(zhì)的訓(xùn)練，以培養(yǎng)具有良好動(dòng)手實(shí)踐能力、具有創(chuàng)新思維和綜合科研素質(zhì)的專(zhuān)業(yè)人才。四、結(jié)語(yǔ)當(dāng)今大學(xué)生處在一個(gè)高度信息化、技術(shù)化、網(wǎng)絡(luò)化的時(shí)代，對(duì)新信息、新技術(shù)、新方法具有強(qiáng)烈的探索和掌握欲望，真空與薄膜實(shí)驗(yàn)課程從課題選擇、實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)、

16、性能表征，到實(shí)驗(yàn)結(jié)果的數(shù)據(jù)分析與總結(jié)，不僅僅是一個(gè)簡(jiǎn)單的教學(xué)過(guò)程，更是一個(gè)材料的研究過(guò)程、一個(gè)專(zhuān)業(yè)性課題的研究創(chuàng)新過(guò)程，從選定真空鍍膜設(shè)備、確定特征薄膜材料進(jìn)行研究實(shí)驗(yàn)開(kāi)始，根據(jù)教學(xué)目的進(jìn)行研究方案的設(shè)計(jì)，測(cè)試材料的各種物理性能，最后分析研究結(jié)果，這樣一種分層次的實(shí)驗(yàn)教學(xué)，不僅提高了學(xué)生對(duì)基礎(chǔ)理論知識(shí)的理解和把握，對(duì)薄膜材料的研究熱情，而且在實(shí)踐中深化了教學(xué)內(nèi)容，鍛煉了學(xué)生發(fā)現(xiàn)問(wèn)題、解決問(wèn)題的能力，進(jìn)一步培養(yǎng)學(xué)生在實(shí)踐中的創(chuàng)新性思維和創(chuàng)造創(chuàng)新精神，同時(shí)也對(duì)學(xué)生的研究能力進(jìn)行了強(qiáng)化。任何一門(mén)實(shí)驗(yàn)課程都是一個(gè)不斷探索不斷發(fā)展的學(xué)科，它要求不斷探索新型實(shí)驗(yàn)教學(xué)模式，實(shí)驗(yàn)內(nèi)容要不斷發(fā)展創(chuàng)新，真空與薄膜

17、實(shí)驗(yàn)也同樣需要探索更有效的教學(xué)方案和教學(xué)模式，不斷更新教學(xué)內(nèi)容和方式，促進(jìn)學(xué)生提出問(wèn)題、研究問(wèn)題、解決問(wèn)題能力的發(fā)展，同時(shí)鼓勵(lì)學(xué)生主動(dòng)查閱相關(guān)文獻(xiàn)資料，主動(dòng)學(xué)習(xí)與實(shí)驗(yàn)相關(guān)的基礎(chǔ)理論知識(shí)，幫助學(xué)生探索和了解知識(shí)、新方法，勇于嘗試，大膽探索，將教學(xué)與研究相結(jié)合，才能更有效地利用實(shí)驗(yàn)資源最大幅度地提高自身綜合素質(zhì)，達(dá)到意向不到的教學(xué)目的，在注重研究能力培養(yǎng)的同時(shí)進(jìn)行教學(xué)，培養(yǎng)新一代研究創(chuàng)新型人才是這門(mén)課程的最終目的。參考文獻(xiàn)：1華中一.高真空技術(shù)與設(shè)備m.上海：上海科學(xué)技術(shù)出版社，1959.2王力衡.薄膜技術(shù)m.北京：清華大學(xué)出版社，1991.3張濟(jì)忠.現(xiàn)代薄膜技術(shù)m.北京：冶金工業(yè)出版社，2009

18、. 4楊迪武.材料物理實(shí)驗(yàn)課教學(xué)內(nèi)容的改革與實(shí)踐j.教育教學(xué)論壇，2014，（14）：41.5趙春霞，周靜.韓京.材料物理專(zhuān)業(yè)創(chuàng)新型實(shí)驗(yàn)教學(xué)探索與實(shí)踐j.實(shí)驗(yàn)科學(xué)與技術(shù)，2013，（11）：77.6候偉偉.高校教學(xué)質(zhì)量現(xiàn)狀及對(duì)策探討j.教育教學(xué)論壇，2016，（34）：149.7陶輝錦.對(duì)材料物理專(zhuān)業(yè)教學(xué)改革創(chuàng)新實(shí)踐的思考j.創(chuàng)新與創(chuàng)業(yè)教育，2010，（05）：53-55.8朱曉勇，許育東，石敏，劉岸平，陳翌慶，周漢義，蘇海林.構(gòu)建工科院校特色的材料物理專(zhuān)業(yè)課程體系以合肥工業(yè)大學(xué)為例j.合肥工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào)（社會(huì)科學(xué)版），2011，（02）：139-143.teaching and researc

19、h ability training of vacuum and thin film experiment coursehuang yan-wei，xi jun-hua，li yang-yang（college of materials and environmental engineering，hangzhou dianzi university，hangzhou，zhejiang 310018，china）abstract：this paper discusses and analyses existing problems in vacuum and thin film experiments course based on current teaching situation. how to deepen students' understanding of the knowledge of the experimental course of basic theory，and how to combine wit