半導(dǎo)體廠設(shè)備工程師人員安全注意事項(xiàng)一

1、半導(dǎo)體廠設(shè)備工程師人員安全注意事項(xiàng) （一 ）摘要 半導(dǎo)體業(yè)對(duì)臺(tái)灣整體市場(chǎng)影響力非常大，集成電路制造過程使用非常 多化學(xué)品及有害氣體，主要設(shè)備單位包括 Diff、Thin-film、CMP、Vacuum、DryEtch、WetEtch、Photo。為了讓工安人員、設(shè)備人員能夠充分的了解在FAB內(nèi)所處之工作環(huán)境及在工作時(shí)需特別注意之安全事項(xiàng)，茲將設(shè)備人員所負(fù)責(zé)之 機(jī)臺(tái)及該注意之安全事項(xiàng)，加以匯整說明，以確實(shí)加強(qiáng)改善半導(dǎo)體廠設(shè)備工程師 人員之安全，避免人員意外事件發(fā)生。 一、工作安全之基本觀念 一般工作現(xiàn)場(chǎng)中主要安全基本觀念包括以下數(shù)點(diǎn)：（一）安全是工作的一部份，我們有義務(wù)要把安全做好。（二）依據(jù)國(guó)

2、際安全評(píng)分系統(tǒng)（ISRS所統(tǒng)計(jì)之意外事故比率：每6 0 0件虛驚事故，就會(huì)伴隨3 0件財(cái)物損失之事故，并產(chǎn)生10件輕 微傷害事故，最后可能產(chǎn)生1件嚴(yán)重傷害事故。（三）任何意外事故發(fā)生，均是由日常工作中不安全的行為或不安全 的環(huán)境所造成。（四）落實(shí)安全管理是主管的必修課程，不是在事后補(bǔ)救；預(yù)防勝于 治療。（五）只要是涉及安全，你唯一能相信的是你自己，你必須有百分之 百的把握，你所做的任何行為或動(dòng)作沒有任何安全顧慮。所有工作人員，都必須 有預(yù)知危險(xiǎn)之危機(jī)意識(shí)。（六）從事任何工作，你首先要考慮的是你自己本身的安全，再來是 周遭的人身安全，其次才是機(jī)臺(tái)與產(chǎn)品的安全。（七）擔(dān)任維修及保養(yǎng)工作時(shí)，若你發(fā)現(xiàn)

3、你不夠清楚，請(qǐng)立即停止進(jìn) 行中的工作。（八）凡事務(wù)必遵守標(biāo)準(zhǔn)程序 （SOP、PMProcedure、TroubleShootingGuide）。 從事特定維修工作，請(qǐng)確實(shí)按照規(guī)定穿著標(biāo)準(zhǔn)防護(hù)用具。二、設(shè)備人員維修 / 保養(yǎng)工作通則 半導(dǎo)體廠中設(shè)備人員維修、保養(yǎng)時(shí)易造成人員安全疑慮，因此凡于無 塵室內(nèi)從事 PM 及維修工作時(shí)，均應(yīng)遵守下列規(guī)定事項(xiàng)，以確保安全且整齊 之高質(zhì)量工 作環(huán)境。（一）安全事項(xiàng)：1、任何操作均以安全為第一考慮。2、設(shè)備維修時(shí)，必須掛上維修中警示牌，以防止他人誤動(dòng)作。3、PM 維修中，如需占用走道或掀開高架地板，工作人員必須將施工 區(qū)域用圍 欄區(qū)隔，以防止危險(xiǎn)發(fā)生；掀開高架地

4、板作業(yè)完畢，地板蓋回后，必 須確認(rèn)地板間是否平整，以維持無塵室內(nèi)作業(yè)安全。4、PM 維修時(shí)，若有接觸化學(xué)品或有害氣體之虞時(shí)，必須依照標(biāo)準(zhǔn) Procedure做好安全防護(hù)措施，以保護(hù)本身及他人之安全。5、 PM維修中如需要使用附屬設(shè)備，如工作臺(tái)車、HouseVacuum時(shí)必 須擺放適當(dāng)之安全位置，以防止人員絆倒產(chǎn)生危險(xiǎn)。6、使用 IPA、 H2O2、 DIW 須用小瓶罐裝， 人員離開時(shí)須放回鋼瓶座內(nèi)。7、執(zhí)行維修保養(yǎng)工作時(shí)，務(wù)必特別注意機(jī)臺(tái)零件及工具銳角對(duì)人身可 能造成之傷害。（二）操作整齊注意事項(xiàng)：1、任何操作均應(yīng)隨時(shí)保持高質(zhì)量之工作環(huán)境。2、PM 維修拆下之零件，不可放置機(jī)臺(tái)或地面上，必須放置維修臺(tái)車上或指定 收納置物箱內(nèi)，螺絲須放入螺絲盒內(nèi)，如 Parts 體積龐大須暫放地面， 應(yīng)放置安全，不得妨礙他人之作業(yè)安全。3、PM 維修使用之工具須擺放整齊，人員離開時(shí)必須放在工作臺(tái)車上 或放回工具箱內(nèi)。4、PM 維修使用完之無塵布、棉花棒等，必須立即丟入垃圾筒及垃圾 袋內(nèi)，以保持工作環(huán)境之整潔。5、搬運(yùn)物品時(shí)必須輕提輕放，不可用拖拉方式移動(dòng)物品。6、PM 維修時(shí)，禁止使用貨架臺(tái)車暫放零件或運(yùn)送零件，以維護(hù)貨架 臺(tái)車之清潔，PM工作臺(tái)車使用完畢，必須保持干凈清潔，放置于規(guī)定地方。7、HouseVacuum使用完畢后，須checkhouseoutlet之銅蓋是否蓋上及 密合，使用電源插