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1、Hitachi (日立)S-3400N掃描電子顯微鏡掃描電子顯微鏡(掃描電鏡、SEM )儀器描述儀器說(shuō)明儀器標(biāo)簽S3400N財(cái)說(shuō)新開(kāi)發(fā)的電f光學(xué)系貌具有更多的自動(dòng)化功能，操作界面業(yè)友好。主要特點(diǎn)：將點(diǎn)：1. S3400N“m* 碰，包4«B罠、2. 在3kV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分洲率。3. 新熨5分割高靈傲半導(dǎo)休式背散射探頭，可在低加速電壓下成像.4. S3400NII型具有五袖馬達(dá)臺(tái)，傾邠如度町達(dá)20度r 90度，樣品就脩町達(dá)80mm5. 分析什汕室町以同時(shí)嫌EDS, WDS及EBSD5W件。6. 貞空系統(tǒng)使用謁輪分子魚(yú)潔凈.高效。技術(shù)參數(shù):技術(shù)指標(biāo):項(xiàng)目描述SE分辨率30

2、nm (30kV|.髙真空欖式10nm (3kV),高真空鎖式BSE分所用40nm (30kV)»低真空模式放大倍率*5 X300.000加速電壓0.3 30 kV低頁(yè)空范附6 - 270 Pa眾大樣品尺寸直200mm樣品臺(tái)I型II型X 0 * 80mm 0 * 100nm丫 0 40mm 0 * 50mmZ 5 * 35mm 5 * 65mmR 360° 360°T-20 * 4 90® -20 490®訛犬樣品髙度 35mm (WD= 10mm) 80mm (WD=10mm)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)手動(dòng)！l紬馬達(dá)騾動(dòng)電子光學(xué)電了槍預(yù)對(duì)中鉤燈線物儻光欄町筋動(dòng)

3、式4幾物負(fù)比忙槍偏壓四階梯度値壓檢測(cè)器二次電子檢測(cè)器窈靈敏度半導(dǎo)體背敝射電了掙測(cè)器分折位SWD-10mmff TOA=35ofile:/D|/webtopdf/Hitachi （日立）&3400N掃播電了 顯墩虢掃描電 P顯微億（掃描電涿 SEM i .htm（2010-1-8 21:51:16s s彈身洶Windows XP 和一母童克3劉溜寓澤和ss© 2005,2009 ss.h-著SK:汨季989 42006 圍B淨(jìng) 20003-母»02r60896520l 3661956095 h=p/wwwbiheccn -noQhec.ifioMD-.wesopdwHi-achi (Hu) S3400Nf 盍

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