電子束蒸鍍機(jī)原理與技術(shù)資料

1、E-Gun原理輿技循1資料Peva-600E/I/E0原理:在早期的IC裂程中，只有金日被探用在金薄膜裂程中，用加熱的方式用來(lái)沉 稹金日金JB薄膜的方式也被廉泛的使用。18子束蒸系統(tǒng)的H彝就是懸了要沉稹高 度的金呂典其他金（1）Thermal Evaporation金日的熔黑占很低，大余勺是撮氏660度左右典其沸黑占懸撮氏25198都相常的低, 所以在低屋下就很容易招金目氟熊化。早期用熱蒸的方式來(lái)沉稹金日金JB膜用以形 成神趣和逋之金U/U。如U （一）。ffin bofhijrwH XuyMn,（2）18子束蒸45 （E-Gun Evaporation）相敕於熟蒸45的方式18子束蒸45的方

2、法有其下列的僵黑占1.可聚焦的ft子束，能局部加溫元素源，因不加熟其他部分而避免污染2.高能量ft子束能使高熔黑占元素（附金泉一）連到足別高溫以崖生逾量的蒸氧屋（二）懸蒸的培 ,（三）懸整他I E-GUN的結(jié)情示意H。H（二）H（三）KLlhslrHt'iH（四）（四）懸ft子束ft位典培示意圄，一黜可建直流ft源供鷹給燎幺系，afiMB SW爰，在真空下的游離償*B子便因埸的吸引而加速的射出來(lái)，如H （四）中 加速的H埸懸10KVDC,我伸號(hào)只要改建加速H埸的大小就可以改建ft子束射擎到 地的位置，假段典ft子束平行的位置懸 X事由方向，如果典交插ft子束的位置加 裝一黜磁埸，我伸號(hào)

3、便能控制ft子束左右的方向，以此我伸號(hào)耦懸Y麗以H埸和磁埸的控制，我伸號(hào)便能控制ft子束揭描的癌域及面稹的大小。*常遇到金JB其熔黑占很高的畤彳爰，便要使用小CC數(shù)的勰金尚，以«（助熱度的集中*常遇到金JB其熔黑占很高的畤彳爰，便要加辰其培金W8熟的畤典ft流。夫每次使用培金恥寺吉青把培裝9分滿(mǎn)?；饝曳乐古嗟湔舨幕系那}，言青再加入新的蒸材之前先查明用何槿夫逾常典合用。夫常蒸ISIffi程完成畤言青碓定地上的金JB材料已冷郤,且看不到暗缸色的狀況下才可以做 Venting chamber的S&作。夫常反鷹室打im爰，者青勿用手指碰斶地余股，以免造成手指部位的煲俱。二.膜厚械

4、的原理基本上膜厚械是使用crystal去量測(cè)蒸畤每秒的速率典控制 E-GUN 18子束 Emission Current的大小，以連到每秒所意:定的蒸45速率。如BI （五），在Crystal 上下方加上一黜5MHz的18源,其由膜厚械所提供，常下H趣的部位沉稹一些金 JB/W之彳爰，由於屋霜效鷹的原故，造成巾俞出信虢的改建，利用其建化量去折算目 前的率。vapor flux, JjH（五）附金泉（一）各金JB之熔黑占Ag Pellet Melting Point961.93 CAu PelletMelting Point :1064.43 C 0Pt PelletMelting Point

5、:1763 CPd PelletMelting Point :1552 CAl PelletMelting Point :660.37 CTi Pellet Melting Point : 1650-1670 CNi PelletMelting Point :1455 CCo PelletMelting Point :1493 CTa PelletMelting Point :2996 CCr PelletMelting Point :1860 CW PelletMelting Point :3370 CMo PelletMelting Point2617 CNiCr(80/20) Slug

6、Melting Point:1435 CZn PelletMelting Point :419.58 CIn PelletMelting Point :156.61 CSn PelletMelting Point :231.98 CITO(90/10) Slug Melting Point:1900 C附金泉（二）（fflS金阻率度1 （米）、截面稹a （米2）的均勻物K的雷阻卷：R=pl/a（ 0,）式中，P是物K的雷阻率*,罩位：K姆米（Q. m）。令0c疇的雷阻率卷 p。，100 c疇的雷阻率卷 pi。，即0C至11100 c之的平均溫度系ao, 100 = （ pi00 po） /10

7、0 fo下表給出各槿金腐的雷阻率P和平均溫度系數(shù) 犯100。溫度橄中瓢數(shù)擄（的卷室溫。金n溫度（0 c）pOo , 10020X10-3M0-35.94.2(202.754.2函-781.64阿露美豳合金20331.2鰥038.75.4206.53.9金因08.25.1殷0752餓209.54.2207.44.2金甲206.95.1金丐204.63.3金202.44.0金艮201.624.1(2017鏢斜合金（克露美1W）一70 110.11 .54金古a06.376.58康銅一50-.04 -1.01金告30494.0黃銅一571.4 2水金艮094.080.99水金艮2095.8金易201

8、1.44.5m030.33.5青銅一13 180.5金色20214.8201204.5金它20195金205.55.3金100035金3000123金-783.2金旦20153.5金 M溫度（0 C ）P(xo , 100杜拉 «）一3.4金戴的）209.86.6金戴的）-784.9金戴詢(xún)）一10 201.5 5金戴僦）一57 114銅（201.724.3銅（1002.28銅（-781.03銅（T830.3020182.4金內(nèi)204.65.5m20214.2合金（不含金戴）20109.10合金（含金戴）2095 104.3 .5林合金一2745.2 .34a (207.246.7a (-783.9金白2010.63.9金白100043金白-786.7金白金老合金20221