寧波市VOCs治理指南(初稿)匯總

1、附件3寧波市揮發(fā)性有機(jī)物污染治理指南(初稿)1概述1.1定義揮發(fā)性有機(jī)物（以下簡(jiǎn)稱VOCs）定義為滿足以下任一條件的有機(jī)化合物：（1）在太陽紫外線存在下，可與氮氧化物發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)生光化學(xué)氧化物；（2）20ºC下蒸汽壓大于10Pa；（3）標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（101.3kPa）下沸點(diǎn)不高于260ºC。1.2來源VOCs 排放來自于自然源和人為源。自然源主要為植被排放等；人為源又分為移動(dòng)源和固定源，固定源中又包括生活源和工業(yè)源等。工業(yè)固定源VOCs 排放所涉及的工業(yè)行業(yè)按產(chǎn)品生命周期可劃分為：（1）有機(jī)溶劑產(chǎn)品的生產(chǎn)：包括煉油與石化、有機(jī)化工等溶劑提煉或有機(jī)物生產(chǎn)的行業(yè)；（2）有機(jī)溶劑產(chǎn)品

2、的儲(chǔ)存、運(yùn)輸和營(yíng)銷：主要是油品、燃?xì)?、有機(jī)溶劑的儲(chǔ)存、轉(zhuǎn)運(yùn)、配送和銷售過程等儲(chǔ)運(yùn)和零售行業(yè)；（3）以有機(jī)溶劑為原料的生產(chǎn)：包括涂料行業(yè)，合成材料行業(yè)，食品飲料行業(yè)，膠粘劑生產(chǎn)行業(yè)，日用品行業(yè)，農(nóng)用化學(xué)品行業(yè)等；（4）有機(jī)溶劑產(chǎn)品的使用：包括裝備制造業(yè)涂裝、半導(dǎo)體與電子設(shè)備制造、包裝印刷、醫(yī)藥化工、塑料和橡膠制品生產(chǎn)、人造革生產(chǎn)、人造板生產(chǎn)、造紙行業(yè)、紡織行業(yè)等。其中，裝備制造業(yè)涂裝涵蓋所有涉及到涂裝工藝的行業(yè)，如機(jī)動(dòng)車制造與維修、家具、家用電器、鋼結(jié)構(gòu)、金屬制品、彩鋼板、集裝箱、造船、電器設(shè)備等眾多行業(yè)。由于工業(yè)固定源產(chǎn)生的VOCs 占比較大，通過管控可以獲得較明顯成效，是重點(diǎn)減排對(duì)象。1.3

3、影響與危害在大氣環(huán)境中，VOCs發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)形成臭氧等光化學(xué)氧化物質(zhì)，對(duì)環(huán)境空氣質(zhì)量產(chǎn)生影響。以固態(tài)或液態(tài)形式排放的VOCs會(huì)直接形成（一次）PM2.5。以氣態(tài)形式排放的，在大氣環(huán)境溫度下快速凝結(jié)成顆粒物，這些稱之為可凝顆粒物大部分都是PM2.5。VOCs排放也是二次顆粒物的關(guān)鍵前驅(qū)物之一，它與硫酸鹽、氮氧化物、氨等污染物在大氣環(huán)境中通過復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)生成細(xì)顆粒物，造成了大多數(shù)的PM2.5污染。有些VOCs是有毒有害物，其具有揮發(fā)性、脂溶性及滲透性，呼吸等方式進(jìn)入人體，傷害人體健康。有些VOCs是惡臭氣味，對(duì)人體生理及心理皆會(huì)造成一定的影響。2治理技術(shù)污染控制通?？赏ㄟ^污染預(yù)防、過程控制和末

4、端治理等三個(gè)層次來實(shí)施。由于污染預(yù)防和過程控制等措施與行業(yè)特性關(guān)系密切，宜分行業(yè)研究，故本指引僅限于末端治理技術(shù)。VOCs末端治理技術(shù)可以有很多選擇，在工程實(shí)踐中已有應(yīng)用的方法匯總于表2-1和圖2-1。表2-1常見VOCs末端治理技術(shù)匯總技術(shù)方法原理技術(shù)關(guān)鍵適用場(chǎng)合應(yīng)用效益冷凝法利用氣體組分的冷凝溫度不同，將易凝結(jié)VOCs組分通過降溫或加壓凝結(jié)成液體而得到分離的方法。冷凝溫度/壓縮壓力高濃度溶劑回收吸附法顆?；钚蕴坷枚嗫坠腆w（吸附劑）將氣體混合物種一種或多種組分積聚或凝聚在吸附劑表面，達(dá)到分離目的。吸附溫度或壓力、過濾風(fēng)速、穿透周期。低濃度濃縮回收熱量/溶劑碳纖維沸石轉(zhuǎn)輪燃燒法熱氧化爐在高溫

5、下同時(shí)供給足夠的氧氣，將VOCs氣體完全分解成二氧化碳和水等無機(jī)物。燃燒溫度、停留時(shí)間。高濃度熱量回收催化氧化器利用催化劑，在較低溫度下將VOCs氧化分解?？臻g速度、氧化溫度。中濃度其他吸收法利用VOCs各組分在選定的吸收劑中溶解度不同，或者其中某一種或多種組分與吸收劑中的活性組分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，達(dá)到分離和凈化的目的低、中濃度合成革DMF溶劑回收膜法利用固體膜作為一種滲透介質(zhì)，廢氣中各組分由于分子量大小不同或核電、化學(xué)性質(zhì)不同，通過膜的能力不同，從而達(dá)到分離或回收溶劑蒸汽的目的高濃度儲(chǔ)運(yùn)油氣回收靜電法利用高壓電場(chǎng)使污染物帶荷電，再利用電場(chǎng)力使其富集于極板上的方法顆粒狀合成革增塑劑回收火炬在非正常

6、生產(chǎn)情況下，將可燃、有毒或腐蝕性的VOCs氣體燃燒轉(zhuǎn)化成危害極小的化合物高濃度石化和有機(jī)化工應(yīng)急排放處理和開停工排放處理化學(xué)氧化法將具有化學(xué)氧化性的吸收液洗滌VOCs氣體，達(dá)到凈化的目的低濃度特定的低濃度VOCs氣體，但具有較嚴(yán)重氣味污染的場(chǎng)合等離子法利用外加電壓產(chǎn)生高能等離子體去激活、電離、裂解VOCs組分，使之發(fā)生分解、氧化等一系列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)。低濃度生物法微生物以VOCs作為代謝底物，使其降解，轉(zhuǎn)化為無害的、簡(jiǎn)單的物質(zhì)。低濃度光催化氧化利用光催化劑（如TiO2），氧化分解VOCs氣體低濃度從資源循環(huán)利用的角度，溶劑回收是最佳選擇。溶劑回收最常用的方法是吸附法，其中顆?；钚蕴嘉?、碳纖維

7、吸附等技術(shù)是經(jīng)典的成熟技術(shù)代表；冷凝法是溶劑回收的最終手段，也是高濃度VOCs、小風(fēng)量氣體預(yù)處理的常用方法，但冷凝后VOCs濃度仍難達(dá)到直接排放的要求，所以需要和其他方法組合使用。吸收法、膜過濾、靜電法等技術(shù)在特定的工業(yè)行業(yè)和VOCs組份情況下，也是溶劑回收的有效方法，如吸收法用于合成革DMF溶劑回收，膜過濾法用于儲(chǔ)運(yùn)油氣回收，靜電法用于合成革增塑劑回收等。從資源綜合利用的角度，熱量回用也是一個(gè)好方法，即采用燃燒法氧化分解VOCs，并回收利用有機(jī)物的分解熱量。換熱式熱氧化是最經(jīng)典的方法，但往往需要消耗不少燃料；通過蓄熱式換熱，可有效提高換熱效率，減少能源消耗；采用催化氧化可以通過大幅降低氧化溫

8、度，減少能源消耗。如果VOCs濃度較低，可通過沸石轉(zhuǎn)輪濃縮，將VOCs濃度濃縮提高后再采用熱氧化方式進(jìn)行凈化處理。火炬是石化和有機(jī)化工企業(yè)常用的VOCs治理方法，但主要用于應(yīng)急排放處理和開停工排放處理?；瘜W(xué)氧化、等離子氧化、光催化氧化、生物分解等VOCs治理技術(shù)正在不斷發(fā)展中，特別是一些低濃度并具有明顯氣味污染的場(chǎng)合，這些技術(shù)已取得了較成功的工程應(yīng)用。為改善環(huán)境空氣質(zhì)量，降低PM2.5污染濃度，大幅減少PM2.5前體物VOCs排放量，是我們當(dāng)前面臨的緊迫任務(wù)。采用最先進(jìn)的治理技術(shù)，最大限度減低VOCs排放濃度，是VOCs減排的重要措施之一。吸附、熱氧化和冷凝等方法不僅技術(shù)成熟，凈化率高，而且通

9、過溶劑回收或熱量回收還可獲得相應(yīng)的經(jīng)濟(jì)效益，是取得實(shí)質(zhì)性減量排放的有效技術(shù)手段。根據(jù)寧波市的特點(diǎn)，重點(diǎn)推薦的VOCs末端治理技術(shù)為：吸附、燃燒、冷凝等三大方法。換熱式蓄熱式VOCs減排靜電膜法吸收冷凝吸附燃燒化學(xué)氧化等離子氧化生物分解光催化氧化催化氧化熱氧化火炬空氣脫附沸石轉(zhuǎn)輪蒸汽脫附碳纖維氮?dú)饷摳筋w粒碳熱量回收化溶劑回收化圖2-1 VOCs末端治理技術(shù)匯總2.1吸附法吸附（Adsorption）技術(shù)早在二十世紀(jì)五十年代就廣泛用于VOCs的高效回收，隨著吸附劑改良以及吸附系統(tǒng)改進(jìn)，吸附技術(shù)在VOCs治理應(yīng)用更加廣泛、深入。吸附原理為VOCs氣體通過一多孔固體物質(zhì)（吸附劑），使之附著于其固體表面

10、上，從而達(dá)到去除的目的。最常用的吸附劑是活性炭，其由煤、木材、果殼、石油焦等原材料制得，具有巨大表面積的內(nèi)部孔結(jié)構(gòu)。吸附劑的有效性主要取決于吸附VOCs的表面積，一般來說表面積越大吸附能力越大。吸附劑的吸附能力用吸附容量表征，其是重要的技術(shù)性能參數(shù)之一?；钚蕴课絍OCs的飽和吸附容量約2040%wt；用于吸附裝置中活性炭的實(shí)際有效吸附量約為飽和容量的40%以下。吸附容量主要影響因素有：（1）溫度通常，適宜的吸附溫度是不高于40；（2）壓力壓力高時(shí)，有利于吸附進(jìn)行；（3）濃度濃度高時(shí)，VOCs容易被吸附；（4）分子量當(dāng)分子量較小時(shí)，通常不容易吸附；但當(dāng)分子量大于200時(shí)，不容易脫附；（5）化學(xué)

11、活性有些VOCs分子會(huì)與活性炭表面發(fā)生反應(yīng)，如有機(jī)酸、醛以及部分酮和某些單體；而酮類、酯類或鹵素等溶劑時(shí)，易氧化分解或水解，產(chǎn)生腐蝕性；（6）濕度氣體中水分子會(huì)與VOCs分子競(jìng)爭(zhēng)吸附，特別是當(dāng)相對(duì)濕度大于50% 時(shí)；（7）顆粒物液狀和顆粒態(tài)的污染物會(huì)積聚在吸附劑表面造成吸附失效以及流阻大幅增加。2.1.1顆?；钚蕴课窖b置一套完善的吸附裝置可以長(zhǎng)期保持VOCs去除率不低于90%。更換式顆?；钚蕴课窖b置更換式顆?；钚蕴课窖b置在活性炭吸附飽和后，需將碳床內(nèi)失效活性炭全部重新更換。由于活性炭更換的成本較高，通常將這種裝置用于去除氣味和較低VOCs濃度（<4050mg/m3）的

12、場(chǎng)合。一般認(rèn)為當(dāng)活性炭更換周期達(dá)6個(gè)月至1年時(shí)，更換式顆?；钚蕴课窖b置才具有經(jīng)濟(jì)可行性。在工程應(yīng)用中，活性炭床空塔速度設(shè)計(jì)為0.10.3m/s，活性炭的吸附容量約為碳裝填量的10%以下，其受實(shí)際應(yīng)用條件和要求影響，會(huì)有很大的變化，通常需要參照同類工程經(jīng)驗(yàn)或通過試驗(yàn)確定。更換下來的失效活性炭應(yīng)合規(guī)處置。再生式固定床顆?；钚蕴课窖b置再生式固定床顆粒活性炭吸附裝置是實(shí)際應(yīng)用中較有效VOCs治理裝置。裝置中至少有2個(gè)床體裝填活性炭，其中1個(gè)可以離線脫附再生，而其余吸附床可以連續(xù)吸附，其處理流程示意見圖2-2。圖2-2固定床顆?；钚蕴课窖b置吸附床的碳床厚度一般為4501200 mm，

13、空塔風(fēng)速通常取0.10.5m/s，流程阻損約為7503750Pa。碳床離線脫附再生時(shí)間確定有2種辦法。最有效的辦法是在碳床出口處設(shè)置VOCs濃度檢測(cè)儀，根據(jù)實(shí)測(cè)濃度確定脫附再生時(shí)間；另一種辦法是根據(jù)活性炭供貨商提供的穿透曲線和VOCs產(chǎn)生量，估算吸附周期，定時(shí)離線脫附再生。吸附周期也可以利用便攜式VOCs檢測(cè)儀通過現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)穿透時(shí)間來確定。但當(dāng)氣體流量和濃度不是均勻穩(wěn)定的情況下，這種辦法無實(shí)用意義。常用的脫附再生工藝是熱吹掃。如果吹掃流體是蒸汽，則再生凝結(jié)液是液態(tài)溶劑和水的混合物。脫附再生開始后，蒸汽逆向（與吸附反向）送入碳床，待碳床和床體受熱升溫后，蒸汽將VOCs從活性炭中脫出并攜帶至冷凝器。

14、冷凝液進(jìn)入重力分離器，溶劑與水中分離得到回收。不凝性氣體返回吸附床。但與溶劑分離后的水會(huì)成為二次污染。常用脫附溫度110以上；脫附時(shí)間約3060分鐘；蒸汽用量可按0.250.35 kg/kg碳估算。脫附完成后，需要引入處理后的干凈氣體對(duì)碳床進(jìn)行冷卻和干燥。整個(gè)脫附再生過程約需11.5小時(shí)。脫附熱吹掃也可以采用熱氣體，如氮?dú)狻Ｃ摳竭^程與蒸汽脫附相似，由于無需干燥，所以整個(gè)脫附周期約需4560min。與傳統(tǒng)的蒸汽脫附不同，由于采用氮?dú)庾鳛閭鳠岷兔摳降慕橘|(zhì)，所以回收的溶劑液體中水的含量很低，對(duì)于水溶性較大的溶劑更具回收優(yōu)勢(shì)。同時(shí)由于不像傳統(tǒng)的蒸汽再生系統(tǒng)那樣需要較多的水蒸汽量作為動(dòng)力輸送蒸汽并在后續(xù)

15、的冷凝器中被冷凝而消耗，系統(tǒng)的總體能耗相對(duì)較低。另外，由于采用熱氣體脫附回收，對(duì)于一些通常操作條件下易水解、水蒸氣脫附較困難的沸點(diǎn)較高的組分也有良好的脫附回收效果。2.1.2蜂窩活性炭吸附裝置蜂窩活性炭以參照蜂窩陶瓷體制作方式，將粉末活性炭與無機(jī)化合物和粘結(jié)劑混合制成蜂窩狀方孔的新型過濾材料，見右圖。其最大的特點(diǎn)是利用蜂窩體直通通道，將吸附床空塔速度提高到0.81.2m/s，流程阻力下降至8001200Pa。蜂窩活性炭吸附凈化裝置處理流程見圖2-3。含有VOCs氣體流經(jīng)裝填有活性炭的吸附床，VOCs吸附于活性炭上，干凈空氣排出；蜂窩狀活性炭吸附飽和后，熱空氣送入吸附床對(duì)活性炭進(jìn)行脫附再生；脫附

16、產(chǎn)生的高濃度VOCs氣體，進(jìn)入催化氧化床氧化分解，干凈的熱空氣用于活性炭脫附再生。圖2-3蜂窩活性炭吸附凈化裝置流程示意蜂窩活性炭吸附凈化裝置具有：低能耗直通式流道，空氣流阻低；低成本吸附材料國(guó)內(nèi)自主生產(chǎn)；易維護(hù)無復(fù)雜、精密的機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)部件，運(yùn)行維護(hù)簡(jiǎn)單方便等特點(diǎn)。2.1.3活性碳纖維吸附裝置活性炭纖維是性能優(yōu)于顆粒活性炭的高效活性吸附材料。它由纖維狀前驅(qū)體（纖維素基，PAN基，酚醛基，瀝青基等），經(jīng)一定的程序炭化活化而成。目前常見的活性炭纖維吸附裝置采用碳纖維氈制成吸附濾筒，并組成吸附裝置，脫附再生采用蒸汽完成，大多用于溶劑蒸氣的回收?；钚蕴坷w維吸附裝置工作原理示意見圖2-4。圖2-4活性炭纖

17、維吸附裝置活性碳纖維吸附裝置與顆?；钚蕴课窖b置相比，通過降低吸附、解吸的熱分解，提高回收溶劑的品質(zhì)；對(duì)一些顆?；钚蕴坎荒苡行降奈镔|(zhì)，也可有效使用。2.1.4沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置沸石也是應(yīng)用較多的吸附劑。通過使用不同孔徑的疏水性沸石混合物，可以使相應(yīng)分子大小的VOCs得到有效吸附。當(dāng)含有VOCs的空氣流過的沸石分子時(shí)，沸石起著分子篩的作用，捕獲那些可以被吸附的VOCs分子，而那些大分子的物質(zhì)則讓它流過。VOCs分子通過一個(gè)較弱的吸引力滯留在沸石的孔隙中，如果收到外界能量（如熱能）影響，VOCs分子就會(huì)掙脫沸石的吸引。沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置中核心部件是沸石轉(zhuǎn)輪，其是由沸石、粘結(jié)劑、助劑等材料燒結(jié)而成的

18、一種蜂窩狀圓盤型吸附部件，轉(zhuǎn)輪上分為三個(gè)操作區(qū)間，即吸附區(qū)、脫附再生區(qū)及冷卻區(qū)。VOCs氣體進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)，VOCs組份被吸附后，成為凈化氣體排放。當(dāng)吸附區(qū)接近飽和時(shí)，即旋轉(zhuǎn)至脫附再生區(qū)，以高溫（180220）空氣，進(jìn)行脫附再生，形成VOCs濃縮氣體，并將高濃度氣體送至氧化爐燃燒分解；經(jīng)脫附再生處理后的轉(zhuǎn)輪再旋轉(zhuǎn)至冷卻區(qū)降溫后，繼續(xù)進(jìn)行吸附處理。沸石轉(zhuǎn)輪的旋轉(zhuǎn)速度一般為每分鐘幾轉(zhuǎn)，脫附風(fēng)量約為510%的吸附風(fēng)量。沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置工作原理示意見圖2-5。沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置連續(xù)操作，穩(wěn)定運(yùn)行；VOCs燃燒分解產(chǎn)生的熱量二次回收利用，能源節(jié)??；高濃度VOCs氣體也可以通過冷凝回收溶劑。沸石轉(zhuǎn)輪吸

19、附裝置使用效果的主要影響因素有：轉(zhuǎn)輪轉(zhuǎn)速、濃縮倍率、脫附溫度、氣體組份、氣體濃度、溫度與濕度。圖2-5沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置2.2燃燒法燃燒法是在一定溫度下和有氧條件下，將VOCs燃燒分解為無害的二氧化碳和水的方法。燃燒法可用于各種有機(jī)化合物的分解，適當(dāng)?shù)臏囟群妥銐虻臏魰r(shí)間可使VOCs得到較完全的分解，通常氧化分解效率可達(dá)95%以上。燃燒裝置主要有三種形式：火炬、熱氧化爐、催化氧化器?；鹁嫱ǔＳ糜跐舛雀哂诒ㄏ孪?3倍的場(chǎng)合，如：石化和有機(jī)化工等企業(yè)的應(yīng)急排放凈化處理。熱氧化爐用于濃度小于爆炸下限50%或25%；而催化氧化器通常用于濃度小于爆炸下限25%的場(chǎng)合。如果有機(jī)物含有氯、氟、和硫，會(huì)產(chǎn)生H

20、Cl，HF，Cl2或SO2等酸性污染物，必須在氧化爐后設(shè)置洗滌塔將這些酸性污染物洗滌凈化后才能排放。如果熱氧化爐煙氣中NOx濃度較高，還需脫銷處理。2.2.1熱氧化爐熱氧化爐（Thermal Oxidizers）由耐火材料襯里爐膛和若干個(gè)氣或油燃燒器組成，燃燒器提供的熱量用于加熱VOCs氣體，并升溫至燃燒分解溫度。熱氧化爐的工作原理是在高溫下同時(shí)供給足夠的氧氣，將VOCs氣體完全分解成二氧化碳和水等無機(jī)物。其適用于所有VOCs成份，且去除效率高，同時(shí)廢熱可回收再利用；但燃料消耗量大、操作成本及技術(shù)要求較高。為達(dá)到VOCs完全燃燒分解的目的，必須具備下列四個(gè)要件：（1）空氣條件：物質(zhì)燃燒必須供應(yīng)

21、足夠的空氣量（或氧量）才可使氧化反應(yīng)完成；（2）溫度條件：通常燃燒最低溫度需達(dá)700，大多數(shù)熱氧化的操作溫度在700900；（3）時(shí)間條件：實(shí)際應(yīng)用中需在1秒以上，2秒左右的停留時(shí)間；（4）混合條件：即燃料與空氣中的氧充分混合，這也是有效燃燒的要件之一。混合程度取決于氣流的紊流強(qiáng)度。直燃式熱氧化爐直燃式熱氧化爐（Recuperative Thermal Oxidizers，TO）的特點(diǎn)是利用熱交換器從煙氣中回收熱量用于預(yù)熱廢氣或其他熱能利用以節(jié)省能源。最常用的熱交換器是管殼式換熱器，如圖2-6所示，約達(dá)40-65%的煙氣熱量可得到回用。圖2-6直燃式熱氧化爐在直燃式熱氧化爐應(yīng)用中

22、，廢氣中的顆粒物濃度必須盡可能減少。因?yàn)?，顆粒物會(huì)污染換熱管內(nèi)壁，降低換熱效率，增加流阻。所以有些換熱器配置清灰孔或檢修門，用于定期清除管內(nèi)積灰。廢氣中顆粒物還會(huì)涉及安全性問題，粉塵燃燒有爆炸可能，危險(xiǎn)性較高。蓄熱式熱氧化爐蓄熱式熱氧化爐（Regenerative Thermal Oxidizers，RTO）的特點(diǎn)是換熱器采用陶瓷蓄熱床，氧化分解后氣體將自身攜帶大量熱量傳遞并儲(chǔ)蓄在蓄熱床中，然后讓進(jìn)入氧化器的氣體從蓄熱床中獲得換取熱量。RTO的熱回收效率比TO高很多，可高達(dá)95%。RTO通常至少有3個(gè)蓄熱床，其中一個(gè)用于預(yù)熱進(jìn)氣，另一個(gè)用于蓄熱降溫排氣，還有一個(gè)用于吹掃循環(huán)，吹掃

23、循環(huán)可避免蓄熱床換向時(shí)產(chǎn)生沖擊排放。蓄熱式氧化爐工作原理示意見圖2-7。如果采用2床RTO，在蓄熱床換向時(shí)，會(huì)出現(xiàn)污染物未經(jīng)有效處理直接排放的現(xiàn)象。這時(shí)可采用VOCs捕獲器，即在RTO排放管道中設(shè)置一個(gè)活性炭床，將換向時(shí)產(chǎn)生的未經(jīng)處理氣體暫存在碳床內(nèi)，然后通過切換閥門改變氣流流向，將捕獲的VOCs送回至RTO進(jìn)口處。RTO可使用于最高VOCs濃度約10 g/Nm3場(chǎng)合，當(dāng)VOCs濃度約為 1.5 g/ Nm3時(shí)，RTO就可不需要補(bǔ)充燃料。如果VOCs氧化分解產(chǎn)生的熱量無需回用于生產(chǎn)工藝，則RTO是最佳的選擇之一。VOCs氣體中的顆粒物會(huì)對(duì)蓄熱床造成堵塞，從而導(dǎo)致流阻增大。一般要求顆粒

24、物濃度不大于35mg/m3或在檢修期間可以安全地去除顆粒物。圖2-7蓄熱式熱氧化爐2.2.2催化氧化器在催化氧化爐（Catalytic Oxidizer，CO）中，VOCs流經(jīng)催化床，催化劑在320450溫度下觸發(fā)氧化分解反應(yīng)，而催化劑本身并不參加反應(yīng)。催化氧化器的特性是利用催化劑將VOCs燃燒分解溫度大幅下降，甚至有可能在正常運(yùn)行階段不需要外部能耗（除啟動(dòng)階段之外）。典型的催化氧化器工作原理如圖2-8所示。VOCs氣體通過間壁式熱交換器預(yù)熱后，如果溫度還不夠，再經(jīng)過燃燒器加熱達(dá)到反應(yīng)溫度，氧化放出熱量將會(huì)使氣體升溫，高溫氣體通過換熱器后排出。圖2-8催化氧化器催化氧化反應(yīng)溫度通常設(shè)定在最難分

25、解有機(jī)物的催化起燃溫度之上，一般在260350。由于催化氧化器運(yùn)行前需要一段時(shí)間對(duì)催化床進(jìn)行加熱升溫，所以當(dāng)開/關(guān)車頻繁時(shí)，會(huì)出現(xiàn)污染排放問題。催化氧化器適宜處理濃度范圍在1000mg/m3以上，上限濃度不宜達(dá)到爆炸極限下限（LEL）的25%。催化氧化器不能用于固體或液體顆粒物濃度較高的場(chǎng)合，這些顆粒物會(huì)使催化劑受到“污染”形成堵塞。汞、磷、砷、銻和鉍等金屬會(huì)使催化劑急性中毒，鉛、鋅、錫等金屬會(huì)使催化劑慢性中毒。銅和鐵在540高溫下會(huì)與催化劑鉑發(fā)生合金反應(yīng)，使活性收到影響。硫和鹵素化合物會(huì)因吸附在一些催化劑表面，使催化劑活性表面被“屏蔽”。在一般使用狀況下，催化劑每13 年須更換或再生，以維持

26、其處理功能。2.3冷凝法冷凝（condensing）處理是利用廢氣成分中凝結(jié)溫度的不同而將較易冷凝的成分分離出來。冷凝作用可包括兩種方式：(1)在定壓下，降低系統(tǒng)的溫度；(2)在定溫下，增加系統(tǒng)的壓力。其中，由于加壓所需設(shè)備較多且操作成本較貴，一般都使用降溫方式以達(dá)到冷凝的目的。在許多工業(yè)場(chǎng)合可以見到以冷凝器作為氣狀污染物控制與削減的設(shè)備，應(yīng)用范圍十分廣泛。最常見到的就是應(yīng)用于氣態(tài)高沸點(diǎn)溶劑的回收，具有設(shè)備簡(jiǎn)單、操作容易、高濃縮回收率等優(yōu)點(diǎn)，但應(yīng)考慮冷凝后的液體二次水污染處理的問題。VOCs通過冷凝降低濃度的極限是冷凝溫度下的飽和蒸汽壓所對(duì)應(yīng)的濃度。VOCs的飽和蒸汽壓可以按照安托因（Anto

27、ine）方程計(jì)算：式中：P為飽和蒸汽壓，mmHg；T為飽和蒸氣溫度，；A、B、C為安托因系數(shù)，可從Chemical Properties Handbook (1999)，Langes Handbook(1956)和HydrocarbonProcessing查取。對(duì)應(yīng)飽和蒸汽壓的VOCs濃度可以按下式計(jì)算：式中：c為VOCs濃度，克/Nm3；M為VOC分子量，克；其他參數(shù)意義同上。以甲苯（Toluene）為例，冷凝可以達(dá)到的凈化計(jì)算效果如表2-2所示，甲苯分子式C7H8，分子量92克，安托因系數(shù)A=6.95464、B=1344.800、C=219.482。表2-2冷凝凈化效果分析溫度T，204-

28、5-53飽和蒸汽壓P，Pa2910.41153.2644.810.0濃度c，mg/m3109.7×10346.0×10326.6×1030.5×103由表可知，冷凝法處理出口的VOCs往往很難達(dá)到較低的排放限值，所以在實(shí)際工程應(yīng)用中，需要與其他方法結(jié)合使用。對(duì)確定的VOCs，冷凝效果取決于冷凝溫度。通過氣-水換熱獲得冷卻水溫度約在25左右，隨季節(jié)而變化；采用制冷機(jī)可以獲得更低的溫度。通過制冷可將冷凝溫度降至0以下，利用氮?dú)饣蚨趸細(xì)饣纳罾湎到y(tǒng)，可將冷凝溫度降至VOCs的冰點(diǎn)，最低可達(dá)-70至-200。較常見的冷凝設(shè)備是表冷器，也就是管殼式換熱器。冷卻

29、介質(zhì)走管程，VOCs走殼程，與管子低溫表面接觸，產(chǎn)生凝結(jié)并得到收集。3重點(diǎn)行業(yè)推薦技術(shù)上海市重點(diǎn)行業(yè)VOCs排放控制技術(shù)措施匯總于表3-1。根據(jù)上海工業(yè)經(jīng)濟(jì)發(fā)展水平和污染控制技術(shù)應(yīng)用現(xiàn)狀，推薦各工業(yè)行業(yè)VOCs末端治理技術(shù)匯總圖3-1。表3-1重點(diǎn)行業(yè)控制技術(shù)匯總行業(yè)排放源控制技術(shù)表面涂裝噴漆、烘干源頭控制：鼓勵(lì)使用水性涂料、高固份涂料、粉末涂料、紫外光固化涂料等，限制使用溶劑型涂料；推廣采用靜電噴涂等涂裝效率較高的涂裝工藝。末端治理：吸附，燃燒，冷凝。涂料生產(chǎn)涂料：攪拌、稀釋作業(yè)；源頭控制：鼓勵(lì)擴(kuò)大低溶劑含量、低毒、低揮發(fā)性涂料的生產(chǎn)規(guī)模；鼓勵(lì)采用密閉一體化生產(chǎn)技術(shù)。末端治理：燃燒、冷凝和吸

30、收、吸附。油漆：調(diào)和、稀釋作業(yè)；油墨：調(diào)和。包裝印刷油墨、粘合劑、稀釋劑的揮發(fā)源頭控制：采用醇性（無苯、無酮）油墨和水性油墨替代溶劑型油墨，印制鐵罐使用含固體份高的UV涂料，采用無溶劑復(fù)合工藝替代干式復(fù)合工藝。末端治理：吸附、燃燒、溶劑回收。光電產(chǎn)品制造半導(dǎo)體集成電路：光刻、顯影；TFT-LCD：陣列工程和彩膜工程；LED：基片處理和光刻；吸收、吸附、燃燒PCB：貼膜、烘干、沉銅、印刷；電子終端產(chǎn)品：電路板清洗劑、電路板三防噴漆、機(jī)殼（機(jī)箱）噴漆。吸收、吸附、溶劑回收、燃燒有機(jī)化工工藝排放口；燃燒、洗滌、吸附、冷凝冷卻塔、閥門、法蘭、泵和壓縮機(jī)密封、泄壓設(shè)備；設(shè)備維護(hù)，快速泄漏修復(fù)；良好的管理

31、，泄漏檢測(cè)計(jì)劃；廢水排水和處理系統(tǒng)；減少水污染，密閉收集和集中處理；儲(chǔ)罐固定罐（低揮發(fā)性液體）高效密封的內(nèi)（外）浮頂罐、密閉排氣系統(tǒng)至蒸汽回收系統(tǒng)；儲(chǔ)罐（中等揮發(fā)性液體）密閉排氣系統(tǒng)至蒸汽回收系統(tǒng)，增加罐內(nèi)壓力；儲(chǔ)罐（高揮發(fā)性液體）采用壓力罐；裝卸改善裝卸方式，蒸汽平衡、蒸汽回收。15圖3-1 重點(diǎn)行業(yè)VOCs末端治理推薦技術(shù)匯總3.1表面涂裝表面涂裝是指將液體或和固體涂料涂覆在基材表面并形成牢固附著的連續(xù)薄膜，起到裝飾、防腐和某些特定功能等作用。表面涂裝的基材材質(zhì)包括金屬、木材、紙張、塑料和纖維等，基材形狀從條狀、片狀，直至大型裝備和交通運(yùn)輸設(shè)備等。表面涂裝作業(yè)工序主要有：表面預(yù)處理（除塵、

32、脫脂、除銹、蝕刻等）、表面噴涂（噴涂、浸涂、滾涂、流涂、靜電噴涂等）、固化干燥（室溫下自然干燥、固化爐干燥或輻射固化等）。表面涂裝作業(yè)中，VOCs排放來自于涂料和稀釋劑中的溶劑揮發(fā)份，如：涂料和稀釋劑的儲(chǔ)存、輸送和配制作業(yè)，使用溶劑型清洗劑的表面預(yù)處理作業(yè)，以及使用溶劑型清洗液清洗噴涂器具作業(yè)等，主要產(chǎn)生環(huán)節(jié)是：（1）噴涂作業(yè)過噴涂料以及工件表面附著涂料的部分溶劑揮發(fā)。噴涂廢氣具有風(fēng)量較大、VOCs濃度不高，并含有一定量的漆霧（噴漆過程產(chǎn)生的過噴涂料）等特性。（2）固化干燥過程涂膜中揮發(fā)性組份完全釋放。固化廢氣具有風(fēng)量較小、VOCs濃度較高，可能會(huì)有一定的溫度等特性。表面涂裝作業(yè)的VOCs產(chǎn)生

33、量取決于涂料組份和涂料使用量，涂料使用量取決于涂布面積、涂層厚度和涂裝作業(yè)效率。因此，減少涂料中揮發(fā)性溶劑含量（如鼓勵(lì)使用水性涂料、高固份涂料、粉末涂料、紫外光固化涂料等環(huán)保型涂料，限制使用溶劑型涂料），提高噴涂作業(yè)效率（如推廣采用靜電噴涂、淋涂、輥涂、浸涂等涂裝效率較高的涂裝工藝），除工藝特殊要求外，取消露天噴涂作業(yè)是減少表面涂裝作業(yè)VOCs產(chǎn)生的重要措施。表面涂裝作業(yè)的VOCs末端治理技術(shù)包括如下幾個(gè)方面。3.1.1捕集表面涂裝作業(yè)應(yīng)在密閉的空間內(nèi)進(jìn)行，并采用適當(dāng)?shù)呐棚L(fēng)設(shè)施，使噴漆和固化作業(yè)產(chǎn)生的VOCs實(shí)施高效密閉捕集的目的。如圖3-2為上海某大型造船廠的密閉涂裝房，將分段等部件放置在涂

34、裝房?jī)?nèi)進(jìn)行噴漆和固化，可有效提高捕集效率，減少VOCs的無組織排放。3.1.2漆霧噴涂廢氣中含有的過噴涂料（漆霧）對(duì)后續(xù)處理是較大的障礙，需采用適當(dāng)?shù)姆椒ńo予去除。圖3-2密閉噴涂和固化在造船廠分段涂裝中應(yīng)用濕法（水簾/膜/淋、旋壓水洗等）是漆霧凈化方法之一，利用慣性或離心力將顆粒狀的漆霧攜入水中，其具有經(jīng)濟(jì)、有效等特點(diǎn)，但也存在漆霧廢水排放的二次污染問題。為減少?gòu)U水排放，需要采用投加漆霧凝聚劑或電絮凝凈化等方法，增加濕法洗滌用水的循環(huán)使用周期。噴涂廢氣采用濕法洗滌后，會(huì)造成廢氣含濕量較大，需考慮給后續(xù)凈化處理（特別是吸附法）效果帶來的影響。干法（過濾）是利用慣性原理，將漆霧攔截在過濾材料上的

35、凈化方法，其具有設(shè)施簡(jiǎn)單，效果可靠的特點(diǎn)，但其濾料阻力變化會(huì)造成排風(fēng)效果變化，以及濾料失效后產(chǎn)生危險(xiǎn)廢棄物。3.1.3噴涂和烘干廢氣噴涂廢氣經(jīng)過漆霧凈化后，可視濃度和溫度而確定是否與烘干廢氣合并處理。如果烘干廢氣溫度高、濃度高則不應(yīng)與噴涂廢氣合并處理。針對(duì)低濃度的涂裝廢氣（噴涂廢氣或/和烘干廢氣），可采用顆?；钚蕴课窖b置（定期更換型）、蜂窩活性炭吸附裝置（催化氧化器脫附再生型）、沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置（蓄熱式氧化爐脫附再生型）等方法。采用顆?；钚蕴课窖b置（定期更換型）處理時(shí)，有效吸附容量應(yīng)確?；钚蕴扛鼡Q頻率不超過2次/年，活性炭更換量不超過10噸/年。采用蜂窩活性炭吸附裝置（催化氧化器脫附再生型

36、）處理時(shí)，吸附床過濾速度不宜高于1.2m/s，吸附床裝填高（厚）度不宜小于600mm，涂料中不宜含有導(dǎo)致催化劑中毒的金屬等成份。此外，應(yīng)配置必要的安全運(yùn)行防范設(shè)施，含氧等化學(xué)活性較大的有機(jī)化合物較易引起脫附自燃。采用沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置（蓄熱式氧化爐脫附再生型）處理是，VOCs凈化效率可以達(dá)到90%以上。圖3-3為某工程機(jī)械噴涂廢氣應(yīng)用案例，噴涂廢氣采用濕法和多級(jí)干式過濾（G4+F5+F7+F9）后，使漆霧濃度低于2mg/m3，含水率低于60%后，進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置凈化處理，非甲烷總烴排放濃度小于40mg/m3。針對(duì)高濃度的烘干廢氣，可采用熱氧化爐燃燒凈化處理，或采用顆?；钚蕴课窖b置（氮?dú)饷摳?/p>

37、再生型）進(jìn)行溶劑回收。圖3-3沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置在工程機(jī)械噴涂廢氣處理中應(yīng)用圖3-4為某集裝箱廠固化廢氣應(yīng)采用顆?；钚蕴课窖b置（氮?dú)饷摳皆偕停┕こ贪咐９袒瘡U氣經(jīng)換熱降溫后，經(jīng)顆粒活性炭吸附，VOCs凈化效率達(dá)90%以上，VOCs濃度小于40mg/m3，然后部分廢氣換熱升溫后回用于固化過程；吸附床根據(jù)在線檢測(cè)的VOCs出口濃度交替脫附再生。根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，當(dāng)VOCs原始濃度達(dá)到800 mg/m3以上時(shí)，溶劑回收效益可與運(yùn)行成本達(dá)到平衡。圖3-4再生式顆粒活性炭吸附裝置在集裝箱廠固化廢氣中應(yīng)用3.2汽車涂裝車身密封（涂PVC膠）VOCs烘干電泳烘干表面前處理(脫脂/調(diào)整/磷化)VOCsVOCs漆霧V

38、OCs中涂VOCs烘干罩光面漆漆霧VOCsVOCs烘干VOCs噴防護(hù)蠟總裝汽車制造中最重要的工藝之一是車身涂裝作業(yè)，包括底漆、中間漆和面漆以及最后的烘干工序，見工藝流程圖見3-5。圖3-5汽車車身涂裝排污節(jié)點(diǎn)示意汽車車身涂裝工藝是汽車制造過程中最大的VOCs產(chǎn)污環(huán)節(jié)，其來自于涂料和稀釋劑中的溶劑揮發(fā)份，如：噴漆和烘干，還包括涂料和稀釋劑的儲(chǔ)存、輸送和配制作業(yè)，以及使用溶劑型清洗液清洗噴涂器具作業(yè)等。采用水性涂料等環(huán)保型涂料可有效減少VOCs的產(chǎn)生。汽車車身涂裝作業(yè)的VOCs末端治理技術(shù)包括如下幾個(gè)方面。3.2.1噴漆廢氣噴漆廢氣采用沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置（蓄熱式熱氧化爐脫附再生型）處理時(shí)，VOCs凈

39、化效率可達(dá)到90%以上，排放濃度可小于50mg/m3。圖3-6為上海某汽車廠新建項(xiàng)目的噴漆廢氣處理流程示意圖。噴漆廢氣中漆霧采用干式洗滌，即將石灰石粉包裹漆霧然后濾袋過濾，將漆霧濃度降低至0.5mg/m3，然后進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置凈化處理。如果噴漆作業(yè)采用機(jī)械人系統(tǒng)，凈化后的噴漆廢氣大部分循環(huán)使用，廢氣排放量減少可達(dá)80%，同時(shí)降低能耗近60%。沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置的脫附濃縮廢氣也可結(jié)合烘干廢氣的熱氧化爐系統(tǒng)統(tǒng)籌凈化處理。3.2.2烘干廢氣烘干廢氣采用熱氧化爐（直燃式或蓄熱式）處理時(shí)，VOCs 凈化效率可達(dá)95%以上，非甲烷總烴排放濃度小于50mg/m3。常用的直燃式熱氧化爐具有多達(dá)3-4級(jí)熱回收

40、功能（參見圖3-7）和廢氣助燃功能，燃燒溫度750815，停留時(shí)間約1秒。圖3-6沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置在車身噴漆廢氣應(yīng)用流程示意圖圖3-7直燃式熱氧化爐熱回收示意圖摘自：www.asperenvi.cz直燃式熱氧化爐適用于全廠熱量統(tǒng)一配置，可獲得較好的經(jīng)濟(jì)性；而RTO適用于單獨(dú)設(shè)立，可獲得較高的靈活性。烘干廢氣中也可加入噴漆廢氣吸附濃縮氣體，統(tǒng)一凈化處理，以獲得較佳的投資和運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)性。3.3涂料生產(chǎn)涂料生產(chǎn)是把顏料固體粒子通過外力進(jìn)行破碎并分散在合成樹脂溶液或者乳液中，使之形成一個(gè)均勻微細(xì)的懸浮分散體，其生產(chǎn)過程為：拌合、研磨、調(diào)制和包裝。涂料生產(chǎn)過程中VOCs排放主要來源于涂料中樹脂、溶劑和助

41、劑等組份中有機(jī)揮發(fā)份的散發(fā)，其產(chǎn)生量取決于溶劑種類、生產(chǎn)設(shè)備和工藝等。溶劑沸點(diǎn)高、生產(chǎn)過程密閉性好、溫度較低、時(shí)間短、自動(dòng)化程度高，品種類型少（清洗頻次少），則VOCs的產(chǎn)生量就少，反之則多。因此，采用密閉化作業(yè)是減少VOCs排放最有效的方法，如自動(dòng)化程度高、安全、環(huán)保和節(jié)能的溶劑型涂料全密閉式一體化生產(chǎn)工藝。涂料生產(chǎn)的VOCs末端治理技術(shù)包括如下幾個(gè)方面。3.3.1捕集拌合、研磨作業(yè)應(yīng)密閉化，并采用有效吸風(fēng)措施，控制VOCs的排放；包裝、儲(chǔ)存和輸送應(yīng)密閉作業(yè)，抑制VOCs的逸散。3.3.2預(yù)處理含有顆粒物的VOCs氣體（如：投料排風(fēng)）應(yīng)設(shè)置獨(dú)立排風(fēng)系統(tǒng)，并采用袋式或?yàn)V筒除塵和高效過濾，使廢氣

42、中顆粒物濃度小于2mg/m3。3.3.3VOCs凈化通常，拌合、研磨和調(diào)制工藝排風(fēng)風(fēng)量大，VOCs濃度低，可采用再生式固定床顆粒活性碳吸附裝置、活性炭纖維吸附裝置或沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置凈化處理。而包裝廢氣具有風(fēng)量小、濃度高特點(diǎn)，可單獨(dú)采用蓄熱式熱氧化爐凈化處理。3.4包裝印刷印刷是指在各種基材表面的圖文印制及其后續(xù)加工，印刷基材可以是紙張、塑料、皮革、布料和金屬等各種材料，印刷工藝有凸版印刷、平板印刷、凹版印刷、柔版印刷、孔印刷（絲網(wǎng)印刷）等。其中，VOCs排放較多的主要凹印工藝及印制鐵罐領(lǐng)域。包裝印刷行業(yè)包括了包裝材料的制造（復(fù)合），即通過復(fù)合工藝將多種材料組合在一起，形成特定功能的包裝材料，如

43、塑料復(fù)合包裝薄膜等。復(fù)合工藝有：干式、濕式、擠出、熱熔、涂蠟和涂膜，其中干式復(fù)合是將溶劑型粘合劑溶液均勻地涂布于基材表面，然后經(jīng)烘干另一種基材在熱壓狀態(tài)下被粘合成平滑的復(fù)合材料，是VOCs排放較多的生產(chǎn)工藝之一。包裝印刷生產(chǎn)過程中VOCs排放來源于油墨、粘合劑、稀釋劑的揮發(fā)，如：油墨配制和稀釋等，以及原輔材料儲(chǔ)存過程、故障或轉(zhuǎn)換印版使用的有機(jī)清洗劑的揮發(fā)等。采用醇性（無苯、無酮）油墨和水性油墨替代溶劑型油墨，印制鐵罐使用含固體份高的UV涂料，采用無溶劑復(fù)合工藝替代干式復(fù)合工藝，是減少VOCs排放最根本的辦法。包裝印刷行業(yè)的VOCs末端治理技術(shù)包括如下幾個(gè)方面。3.4.1捕集油墨、粘合劑、稀釋劑

44、、清洗劑應(yīng)密閉儲(chǔ)存。印刷、涂布工序應(yīng)密閉捕集溶劑揮發(fā)份并加以凈化處理。3.4.2凹印廢氣凹印廢氣可采用再生式固定床顆?；钚蕴课窖b置、活性炭纖維吸附裝置、或沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置進(jìn)行溶劑回收凈化處理，溶劑回收綜合利用可獲取相應(yīng)的經(jīng)濟(jì)收益。3.4.3干復(fù)廢氣干復(fù)廢氣可采用再生式固定床顆粒活性炭吸附裝置進(jìn)行溶劑回收凈化處理，回收的溶劑直接回用，可獲得較明顯的經(jīng)濟(jì)效益。圖3-8為某彩印廠干式復(fù)合（溶劑成分以乙酸乙酯為主）排風(fēng)采用再生式固定床顆粒活性炭吸附裝置（氮?dú)饷摳皆偕停┗厥杖軇軇┗赜寐蚀笥?0%，非甲烷總烴排放濃度達(dá)40mg/m3。圖3-8某彩印廠干復(fù)廢氣溶劑回收應(yīng)用3.4.4輪轉(zhuǎn)膠印廢氣輪轉(zhuǎn)膠

45、印廢氣可采用蓄熱式熱氧化爐凈化處理。圖3-9為某雜志印刷廠輪轉(zhuǎn)膠印廢氣采用RTO應(yīng)用，VOCs凈化效率達(dá)到95%以上，VOCs排放濃度低于20mg/m3。圖3-9某雜志印刷廠RTO應(yīng)用3.5工業(yè)涂布涂布工藝是指將流體狀物料涂覆于基材上的方法。如將糊狀聚合物、熔融態(tài)聚合物或聚合物熔液涂布于紙、布、塑料、金屬、木材等基材上制得復(fù)合材料（膜）。涂布工藝應(yīng)用于許多工業(yè)行業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)中，如：塑料制品中塑料卷材、合成革、木材加工中裝飾板、膠粘帶、電池極板等。涂布作業(yè)中，VOCs排放來自于涂料和稀釋劑中的揮發(fā)性溶劑組份，主要產(chǎn)生節(jié)點(diǎn)是涂布和干燥。工業(yè)涂布的VOCs末端治理技術(shù)包括如下幾個(gè)方面。3.5.1捕集

46、涂料、稀釋劑應(yīng)密閉儲(chǔ)存；涂布工序應(yīng)密閉捕集溶劑揮發(fā)份并加以凈化處理。3.5.2涂布和烘干廢氣涂布和干燥廢氣可采用再生式固定床顆?；钚蕴课窖b置、活性炭纖維吸附裝置進(jìn)行溶劑回收凈化處理，也采用直燃式熱氧化爐或蓄熱式熱氧化爐進(jìn)行凈化處理。圖3-10為某特種壓敏膠干燥廢氣采用活性炭纖維吸附裝置回收乙酸乙酯溶劑的應(yīng)用，溶劑回收率可達(dá)80%，乙酸乙酯凈化效率可達(dá)90%。圖3-10某特種壓敏膠干燥廢氣活性碳纖維吸附裝置應(yīng)用圖3-11為某膠粘帶烘干廢氣采用蓄熱式熱氧化爐回收熱量的應(yīng)用。VOCs凈化效率可達(dá)98%以上。圖3-11某膠粘帶烘干廢氣蓄熱式熱氧化爐應(yīng)用3.6光電產(chǎn)品制造在光電產(chǎn)品制造行業(yè)中，產(chǎn)生廢氣污染的主要有五類產(chǎn)品的生產(chǎn)過工程：半導(dǎo)體集成電路、液晶顯示器（LCD）、發(fā)光二極管（LED）、印制電路板（PCB）、電子終端產(chǎn)品。半導(dǎo)體集成電路制造是由原料晶圓片