靜電防護(hù)管理規(guī)范

1、NANJING CEC PANDA FPD P.1 / 9DSM業(yè) 務(wù) 程 序 書發(fā)行部門【XXXXX】靜電防護(hù)管理規(guī)范體系推進(jìn)小組批準(zhǔn)審核編制 1、目的通過對靜電的基準(zhǔn)化管理，減小ESD對產(chǎn)品品質(zhì)的影響。2、適用范圍此規(guī)范適用于南京中電熊貓平板顯示科技有限公司（以下簡稱“公司”）第二工廠對工程環(huán)境中靜電的規(guī)范。3、安全注意事項(xiàng) 無4、定義4.1靜電：在物體相互間接觸或摩擦及分離中，一側(cè)失電子，另一側(cè)接受電子，失電子側(cè)具有Plus(+)， 接受電子側(cè)具有Minus (-)的現(xiàn)象。4.2靜電放電 (Electro-static Discharge簡稱ESD)：為了使已形成靜電，即已成為不平衡原子

2、的再結(jié)合變?yōu)槠胶鉅顟B(tài)的過程，與此相同的現(xiàn)象與靜電發(fā)生過程相同，也是在物體相互間摩擦和分離等過程中形成。4.3衰減時間：從± 1,000 V衰減到± 100 V所用的時間。4.4離子平衡：離子風(fēng)機(jī)/扇帶電量。4.5 EOS(Electrical overstress):靜電過載，過度電性應(yīng)力。4.6HBM(Human Body Model)：人體放電模式。4.7 MM(Machine Model)：機(jī)器放電模式。4.8 CDM(Charged Drive Model)：元件充電模式5、靜電的管理5.1 管理分類表表1 管理分類表類別管理對象管理方法管理標(biāo)準(zhǔn)管理周期管理部門人員

3、及作業(yè)方法防塵鞋使用防塵服使用防靜電手套使用作業(yè)員進(jìn)入工程時按照無塵室管理規(guī)定執(zhí)行進(jìn)行自檢無塵室管理規(guī)定每天生產(chǎn)記事編制2015年 3月 5日改訂 年 月 日編號DSM-MF-Q006BXXXXXXXXXXXX有限公司NANJING CEC PANDA FPD P.8 / 9DSM業(yè) 務(wù) 程 序 書 設(shè)備裝置設(shè)備離子風(fēng)機(jī)/扇離子平衡測試衰減時間：2 S離子平衡：±50 V每月QC風(fēng)量最大風(fēng)量管控（特殊要求的站別，適合風(fēng)量管控）注：只管控，不記錄每日巡檢確認(rèn)QC使用距離除靜電風(fēng)機(jī)固定在對象物品30cm 距離以內(nèi)處（某些場所、條件下，要基于實(shí)際的作業(yè)環(huán)境、裝置差異等調(diào)整、確定適當(dāng)?shù)氖褂镁?/p>

4、離）注：只管控，不記錄每日巡檢確認(rèn)QC使用角度根據(jù)對象品與固定點(diǎn)的位置關(guān)系選定最佳吹風(fēng)角度(為了避免角度在實(shí)際使用過程中被有意或無意的改變，要明確的標(biāo)識角度) 注：只管控，不記錄每日巡檢確認(rèn)QC設(shè)備接地設(shè)備接地阻抗106109每半年QC5.2 測試儀器表2 儀器用途表No儀器名稱用途1離子平衡測定器測量離子風(fēng)機(jī)/扇 靜電消除結(jié)果2阻抗計測量機(jī)臺接地阻抗3人體ESD裝備綜合測試儀測試每日進(jìn)入潔凈室人員穿著防靜電服裝后的狀態(tài)6.人體ESD裝備綜合測試儀使用方法6.1人體ESD裝備綜合測試儀操作說明： LO：低于設(shè)定值，PASS:設(shè)定值范圍內(nèi)，HI:高于設(shè)定值，有報警功能，參數(shù)表如下：指示燈電阻值L

5、OR<750KPASS750KR100MHIR>100M6.2人體綜合測試儀測試方法靜電環(huán)的佩戴方式：必須與皮膚緊密接觸，不得松弛，不得隔衣物，必須將金屬片戴在手腕上側(cè)，如下圖所示 人員穿著無塵服裝完畢后，在進(jìn)工程作業(yè)前在人體靜電綜合測試儀上進(jìn)行人體ESD狀態(tài)測試,測量方法如下所示a.雙腳站在測試儀金屬板上，雙腳完全接觸金屬板，靜電環(huán)連接在儀器上；b.用手腕處的皮膚按壓靜電測試儀器的檢測按鈕,三個指示燈都亮綠燈即合格（OK），有一個指示燈亮紅燈則為不合格（NG），并且蜂鳴器會長鳴。如下圖： 6.2.1測量頻率：2次/班6.2.2測量儀器矯正頻率：1次/年，儀器必須在有效的矯正期內(nèi)才

6、能夠使用6.2.3測試對象:所有產(chǎn)線作業(yè)人員6.2.4靜電環(huán)的作用：人體所帶的靜電量及人體所產(chǎn)生靜電的變化時，靜電荷能夠瞬間導(dǎo)出6.2.5記錄方法：人體綜合測試結(jié)果記錄在點(diǎn)檢表（DSM-MF-Q006A-01）進(jìn)入更衣室6.3人體綜合測試異常處理流程： 人員穿著無塵服與佩戴靜電環(huán)著裝檢查、靜電環(huán)佩戴檢查，是否符合要求否 禁止進(jìn)入，按照要求進(jìn)行改善是 重復(fù)測量3次確認(rèn)是否符合要求人體ESD綜合測試是否符合要求否 否 是 是 進(jìn)入工程作業(yè)無塵衣、無塵鞋、靜電環(huán)更換7.設(shè)備接地設(shè)備接地方法：將接地電纜外皮剝離，內(nèi)部銅線纏繞在設(shè)備接地腳上，全部鏈接后統(tǒng)一接地工廠內(nèi)等電位端子箱。設(shè)備接地的作用：將設(shè)備作

7、業(yè)產(chǎn)生的電荷導(dǎo)入大地，以免電荷累計，導(dǎo)致靜電破壞，造成對人員、設(shè)備、產(chǎn)品的損害。測量記錄方法：設(shè)備接地阻抗測量的結(jié)果記錄在點(diǎn)檢表（DSM-MF-Q006A-03）設(shè)備接地注意事項(xiàng)：設(shè)備接地線與人員接地線分開。8. 裝備（設(shè)備內(nèi)靜電Bar、離子風(fēng)機(jī)/扇）8.1靜電測量方式：用離子平衡測試儀測量8.2靜電規(guī)格： ± 100 V（產(chǎn)品）；2秒內(nèi)± 1000 V ± 100 V平衡電壓± 50 V以內(nèi)，不良標(biāo)準(zhǔn)：a. 衰減時間超過2 秒情況；b. 平衡電壓時超過±50 V的情況。8.3測量距離在30 cm之間，測量異常時立即清潔或者更換，直至測試通過。

8、8.4點(diǎn)檢使用裝置：離子平衡測試儀8.5測量方法：8.5.1離子平衡測試儀線路連接最后將Pomona插口與ELEGTRONIGS插口連接將 ELEGTRONIGS電線插在GROUND插口將HCK電線插在COLLETING插口上 8.5.2測量方法打開儀器電源按下TEST/RESET鍵?？碢LATE VOLTAGE所顯示的數(shù)值為1000時，將接受端平板靠近離子風(fēng)機(jī)距離出風(fēng)口20至30cm左右（手握靜電接受平板時不能觸碰到平板，否則測量值不準(zhǔn)確。） 將NODE按鈕調(diào)節(jié)到+DECAY檔將MDE按鈕調(diào)節(jié)到FLOAT檔將MDE按鈕調(diào)節(jié)到-DECAY檔，重復(fù)步驟 觀察PLATE VOLTAGE所顯示的數(shù)值

9、從1000降至100以內(nèi)時所需的衰減時間DECAY TIME所顯示的數(shù)值（顯示值在2s內(nèi)則說明該離子風(fēng)機(jī)正常） 按下TEST/RESET鍵，觀察PLATE VOLTAGE所顯示的數(shù)值是多少。如下圖所示（顯示數(shù)值在±50以內(nèi)則該離子風(fēng)機(jī)無異常）測量結(jié)束關(guān)閉電源 8.6測量記錄方法：測量的結(jié)果記錄在點(diǎn)檢表（DSM-MF-Q006A-02）8.7測量儀器矯正頻率：1次/年，儀器必須在有效的矯正期內(nèi)才能夠使用8.9靜電風(fēng)扇、靜電Bar清潔管控8.9.1靜電風(fēng)扇清潔方式：濾網(wǎng)清潔方式：取出濾網(wǎng)，水洗并充分干燥之后，方可放回原處靜電風(fēng)扇內(nèi)部清潔方式：無塵布蘸酒精清潔（注：不可傷及靜電針）8.9.

10、2靜電Bar清潔方式：無塵布蘸酒精清潔（注：不可傷及靜電針） 9. 臺車使用管控方式： 正確使用方法：禁止快速移動；所有的移動臺車要和鐵鏈連在一起，與臺車連接的鐵鏈要與地面的接觸，接觸地面的鐵鏈的長度要大于5cm。非金屬材質(zhì)組裝式臺車，在放置產(chǎn)品的地方設(shè)置靜電臺墊。不良標(biāo)準(zhǔn)：鐵鏈接地長度小于5 cm鐵鏈即使有連接，但接地阻抗必須在允許范圍之外。10.ESD異常處理流程10.1管理規(guī)格出現(xiàn)異常時，必須聯(lián)系QC或技術(shù)擔(dān)當(dāng)進(jìn)行處理。 QC或生產(chǎn)點(diǎn)檢ESD發(fā)現(xiàn)異常QC或生產(chǎn)發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品不良異常 異常處理流程如下：QC解析是否是有有ESD破壞造成技術(shù)、QC確認(rèn)產(chǎn)線制品狀況否 其它原因調(diào)查是 停線調(diào)查ESD狀

11、況并追溯不良檢查設(shè)備靜電系統(tǒng)是否正常檢查其它靜電裝置系統(tǒng)是否異常檢查人員靜電系統(tǒng)是否正常否 否 否 是 是 是 靜電裝置修復(fù)后測量，并確認(rèn)作業(yè)的產(chǎn)品狀況確認(rèn)部材來料是否異常否 是 提出異常說明及后續(xù)的改善與預(yù)防措施，恢復(fù)生產(chǎn)11.2ESD異常時制品處理方式： 通知質(zhì)量部門協(xié)助按照線別、時間等相關(guān)信息對涉及的制品進(jìn)行Hold，并與質(zhì)量部門協(xié)商對制品進(jìn)行信賴性測試，信賴性O(shè)K后，質(zhì)量部門決定是否可以解除HOLD正常后流。11.附件11.1 附件一靜電Bar與靜電風(fēng)扇編碼原則編碼方式MXXXXXXXXXX(舉例：MCVV206F011，第二工廠,皮帶線外觀站,6線的第一個11個靜電風(fēng)扇)編碼說明位數(shù)

12、位數(shù)代表內(nèi)容命名方式第1位第二工廠M第2位到第4位工程別采用QIC系統(tǒng)機(jī)臺編號的前三位第5樓層別1,2,3第6位到第7位線別0099第8位靜電風(fēng)扇或靜電Bar靜電風(fēng)扇：F、靜電Bar：B第9位到11位靜電設(shè)備的流水碼0009993.2 附件二附表名稱表單編號表單保管部門人體綜合測量儀測量點(diǎn)檢記錄表DSM-MF-QXXXX-01工程-QC靜電風(fēng)扇與靜電BAR點(diǎn)檢表DSM-MF-QXXXX-02工程-QC設(shè)備接地阻抗點(diǎn)檢表DSM-MF-QXXXX-03工程-QC靜電防護(hù)管理規(guī)范編號DSM-MF-XXXXXXXXXXXXXXXX有限公司XXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXX P.1 / 1業(yè)務(wù)程序書制定（改訂）履歷表業(yè)務(wù)程序書名稱：靜電防護(hù)管理規(guī)范 編號：DSM-MF-XXXXX No 年 月 日改訂版本號改 訂 內(nèi) 容批 準(zhǔn)1A合議部門及簽字:No 年 月 日改訂版本號改 訂 內(nèi) 容批 準(zhǔn)2B1.P2增