直讀光譜儀維護(hù)作業(yè)指導(dǎo)書-

1、直讀光譜儀維護(hù)作業(yè)指導(dǎo)書上海騰中機(jī)電有限公司撰寫:于曉偉2008年度 主題:4460擦透鏡編號:ZD4460-002工具:高純度酒精、脫脂棉、洗耳球LEVEL:3觸發(fā)條件:當(dāng)各元素強(qiáng)度降低,且客戶要求時清理透鏡,清理時客戶應(yīng)有人員在場。步驟:1.關(guān)閉光閘2.拔下透鏡加熱電纜插頭3.拔出透鏡4.觀察是否有劃痕,如發(fā)現(xiàn)應(yīng)先向客戶指出5.取兩塊脫脂棉蘸上酒精分別放在透鏡兩側(cè),溶解污物約10分鐘;6.用脫脂棉輕輕擦拭透鏡表面,力度要輕,注意指甲不要觸及到透鏡;7.用洗耳球吹透鏡,防止透鏡上帶有脫脂棉纖維;8.對光源仔細(xì)觀察透鏡上是否有附著物;9.擦拭完畢將透鏡插入槽內(nèi)約一半;10.接上透鏡加熱線纜,加

2、熱10分鐘;11.完全插入透鏡;12.打開光閘;13.開始做標(biāo)準(zhǔn)化;14.完畢。 主題:激發(fā)臺清灰編號:ZD4460-001工具:螺絲刀、六棱扳手、洗耳球、壓縮空氣、吸塵器、手電觸發(fā)條件:激發(fā)臺內(nèi)部清灰在每月應(yīng)進(jìn)行一次,主要包括CCS母板,CCS電源板,CCS邏輯板和激發(fā)板的清灰。注:當(dāng)OE出現(xiàn)BITBUS報警,也可能是激發(fā)臺內(nèi)灰塵大引起。步驟:步驟如下,在操作時,特別應(yīng)注意線纜插頭的拔插,不能損壞插頭。1.進(jìn)入OE初始化菜單,打印儀器狀態(tài)。2.關(guān)閉OE軟件;3.關(guān)閉負(fù)高壓和電子箱電源;4.打開儀器左側(cè)面板,在關(guān)閉負(fù)高壓和電子箱電源關(guān)閉20S后拔下CCS電源插頭;5.拆下激發(fā)臺DOOR,和側(cè)板

3、;6.擰開激發(fā)臺罩固定螺絲,輕輕拆下激發(fā)臺罩;7.帶靜電環(huán)或觸摸機(jī)器外殼發(fā)掉身體靜電;8.拔下OF光纜;9.分別拆下CCS電源和邏輯板,用洗耳球或壓縮空氣清灰;10.用同樣方法清理CCS母板和臺罩內(nèi)各部分灰塵;11.裝好CCS電源板和邏輯板;12.拆下激發(fā)板外殼風(fēng)扇,先拔下風(fēng)扇電源拆下時注意不要損壞風(fēng)扇接地線,風(fēng)扇清灰;13.拔下激發(fā)板與母板連接的線纜插頭XE1,擰下激發(fā)板底部4個螺絲,拆下激發(fā)板;14.用同樣的方法清灰;15.安裝激發(fā)板,注意電極底部插頭,插入激發(fā)板高壓插座,擰上螺絲;16.插上OF電纜到CCS邏輯板和XE1到母板;17.插上CCS電源插頭,給上負(fù)高壓和電子柜電源;18.打開

4、OE軟件;19.激發(fā)廢樣看,激發(fā)是否正常;如不正常,檢查XE1和OF。以及激發(fā)板安裝位置。20.正常后,退出OE,關(guān)閉負(fù)高壓和電子柜電源,拔下CCS電源;21.安裝風(fēng)扇;22.安裝激發(fā)臺罩,安裝時兩人進(jìn)行,一人負(fù)責(zé)安裝,一人負(fù)責(zé)觀察是否壓到激發(fā)臺內(nèi)部線纜。;23.安裝激發(fā)臺DOOR和側(cè)板;24.重復(fù)16;25.重復(fù)17,18;26.正常后完畢。 主題:真空泵換真空油編號:ZD4460-003工具:螺絲刀、六棱扳手、真空泵油、吸塵器、紗布、酒精觸發(fā)條件:步驟:1.打印機(jī)器狀態(tài);2.關(guān)OE軟件;3.關(guān)電子柜電源,關(guān)負(fù)高壓,關(guān)真空泵電源,關(guān)水泵電源;4.除去機(jī)柜上雜物;5.開機(jī)柜頂蓋;6.緩慢放掉真

5、空后,擰緊真空閥;7.扣上機(jī)體上蓋;8.拔掉真空泵電源線;9.用吸塵器清除干凈機(jī)柜后殼內(nèi)灰塵,擦干凈真空泵;10.擦干凈油管及線纜;11.用扳手?jǐn)Q開真空泵與真空抽氣管之間的壓扣;12.清潔真空抽氣管的端口;13.拿下真空泵放在合適位置,清潔真空泵上的灰塵和污垢;14.用紗布和酒精清潔抽真空的氣口;15.拿下真空泵上的小端蓋,露出注油口;16.擰開頂部兩個注油口;17.用容器在出油口接好,緩慢擰開排油口,將泵內(nèi)原有的真空油排除;18.向出油口方向傾斜真空泵將油全部排除;19.擰上出油口;20.將燒杯內(nèi)倒入少量真空油,倒入注油口中,輕輕搖動真空泵,洗出污物;21.打開出油口排出清洗用的真空油;22

6、.擰上排油口;23.用燒杯向真空泵注油,油位到達(dá)油位指示窗口最上面兩道橫線的中間部位;24.擰上注油口螺絲;25.安裝好小端蓋;26.將真空泵在機(jī)柜內(nèi)擺好位置;27.裝好真空抽氣管,用扳手?jǐn)Q住,防止漏氣;28.插上真空泵電源線,檢查確認(rèn)無誤;29.送主電源開關(guān),送水泵開關(guān),送真空泵開關(guān)、送負(fù)高壓、送電子柜電源;30.開OE軟件,監(jiān)測真空狀態(tài)31.真空正常后,打點(diǎn)正常,工作完畢。 主題:更換膜泵V3膜泵換膜片編號:ZD4460-001工具:螺絲刀、六棱扳手、洗耳球、吸塵器、鑷子、專用工具、紗布觸發(fā)條件:真空上不去膜泵異響年度維護(hù)一、主機(jī)拆膜泵步驟:1.進(jìn)OE軟件,打印當(dāng)前機(jī)器狀態(tài);2.關(guān)閉儀器后

7、面泵電源開關(guān);3.拿掉光譜儀頂蓋上的雜物;4.用六棱扳手?jǐn)Q開光譜儀頂蓋的緊固螺栓,向后掀起頂蓋;5.用螺絲刀緩緩擰松真空放氣閥螺絲,待聽到細(xì)微的放氣聲,停止旋動,切忌不可一下完全擰松,防止光室受到?jīng)_擊;6.待真空室壓力完全到大氣壓后,旋緊放氣螺栓,至未放氣前狀態(tài);7.扣上光譜儀頂蓋;8.用吸塵器清理儀器后面的灰塵,紗布把后面的線纜盡量清理干凈;9.拔下膜泵上的電源線;10.用平口螺絲刀或六棱扳手?jǐn)Q松膜泵與真空塑料管的鐵箍螺絲,使膜泵能夠取下;11.用塑料蓋或紗布堵住塑料管防止灰塵進(jìn)入,用紗布時注意不要落下布纖維;二、安裝膜泵步驟:1.檢查真空塑料管接口,注意有無雜物,如塑料管口有較大變形,可用

8、電工刀適當(dāng)切下一截,用偏口嗑絲鉗剪斷螺旋的鋼絲;注意應(yīng)保證真空塑料管仍有符合規(guī)定的長度;2.將塑料管套上膜泵抽氣管,保證重疊部分的長度;3.套上密封鐵箍并旋緊;4.放置好膜泵的位置,平穩(wěn)不能壓在線纜上;5.插上膜泵電源;6.檢查無誤后,打開膜泵開關(guān),打開儀器泵電源開關(guān);7.聽膜泵的運(yùn)轉(zhuǎn)聲音,應(yīng)為正常的突突聲,無異常雜音,有時剛送電膜泵會有異常聲音,通長在20S內(nèi)正常,如異常,應(yīng)立即關(guān)閉儀器泵電源;8.OE軟件讀狀態(tài),監(jiān)測真空情況,正常情況下在20分鐘左右,真空度達(dá)到30以下;三、更換膜片LEVEL:3觸發(fā)條件:舊膜泵膜片損壞后,如有膜片備件,應(yīng)及時更換膜片,恢復(fù)膜泵正常功能;工作應(yīng)2人進(jìn)行,一

9、人操作,一人配合和提醒,不可兩人同時上手。 步驟:1.將膜泵外面擦拭干凈,抽氣口堵上原廠的防塵塑料帽,在桌子上放置平穩(wěn);2.用活扳手?jǐn)Q下膜泵頂部壓蓋上的氣管螺栓,通常為很色的,與底部連接;3.用六棱扳手對角擰開膜泵方形壓蓋,小心取下,注意橡膠氣門可能粘在壓蓋上,不要弄丟;4.觀察并紀(jì)錄橡膠氣門的位置和方向,不能上錯;5.用記號筆標(biāo)記2個膜片壓蓋的位置,防止在安裝的時候弄反,取下壓蓋放好;6.用吸塵器除去黑色粉末狀污物,并用紗布和酒精擦拭干凈;7.用標(biāo)記筆記下膜片夾緊裝置的位置;8.用專用工具擰下一個膜片,擰松后要小心,防止下面的薄金屬墊片掉入膜泵腔內(nèi);9.注意觀察安裝關(guān)系,放置號擰下的膜片、夾

10、緊裝置和墊片;10.可觀察膜片損壞程度;11.用吸塵器清理膜泵腔內(nèi)的粉塵,用紗布和酒精擦拭干凈腔口;12.用紗布和酒精擦拭干凈取下的膜片夾持裝置,夾上一個新膜片;13.放置好金屬墊片,不要滑入膜泵腔內(nèi);14.用專用工具夾持好膜片夾持裝置(將膜片向外側(cè)即工具側(cè)翹起,工具夾住膜片下部的六方形;15.對準(zhǔn)螺絲擰入,力度以擰緊為止;16.重復(fù)6-12換好另一個膜片;17.將膜片的壓蓋按標(biāo)記放到膜片上;18.把新的氣門按正確的方向放在膜片壓蓋上;19.把方形頂蓋輕輕放置在膜片壓蓋上,注意不能把氣門碰錯位;20.用手帶上6個緊固螺絲,按對角方向,遞進(jìn)擰緊螺絲;21.擰上氣管氣路螺絲,膜泵一側(cè)的膜片更換完畢

11、;22.將膜泵反轉(zhuǎn),底部朝上,重復(fù)2-20步驟,另一面2個膜片更換完畢;23.將換下的舊膜片4個,橡膠氣門4個以及專用工具交與客戶;24.換好后,在220V下,可開機(jī)試驗,聽聲音如正常,條件允許可上機(jī)試驗,不允許的話,入庫待有機(jī)會上機(jī)試驗;25.如不正常,分析工作過程,重復(fù)上面的過程,切忌心急;26.如不正常,也有可能膜泵其他地方也有損壞,不要再動,等高水平工程師指導(dǎo)。 主題:更換分子泵分子泵注油編號:ZD4460-001工具:觸發(fā)條件: 主題:描跡和標(biāo)準(zhǔn)化編號:ZD4460-001工具:螺絲刀、六棱扳手、洗耳球、壓縮空氣、吸塵器、手電觸發(fā)條件: 主題:布置光譜氬氣氣路編號:觸發(fā)條件:光譜加凈

12、化器氣路重新布置工具:扳手、紗布步驟:1.氬氣凈化器上電,檢查正常;2.面對凈化器后面,左邊為出氣端,右邊為進(jìn)氣端,中間為反清洗時的廢氣端;3.布置凈化器與氬氣瓶連接銅管,并在連接處分別圈出圓形緩沖環(huán);4.布置凈化器出氣端與光譜儀進(jìn)氣端銅管,在凈化器出氣端留出緩沖環(huán);5.銅管與氣嘴的連接要仔細(xì),可加一些密封帶,保證不漏氣;6.測試密封螺母和氣嘴是否能順利和氣瓶、凈化器、儀器連接;7.擰緊銅管與氣瓶的密封螺絲,必要時可以加密封帶;8.打開氣瓶二次壓,用氬氣吹出管路的灰塵約半分鐘,關(guān)閉二次壓;9.插入氣瓶出氣銅管嘴到凈化器的進(jìn)氣,同時在凈化器出氣口插入單個氣嘴,打開二次壓,開凈化器電源,吹洗半分鐘

13、后,關(guān)閉二次壓;10.拔出氣嘴,接好凈化器出氣銅管,吹洗半分鐘;關(guān)二次壓;11.連接儀器與銅管的密封螺絲,緩緩開二次壓至0.25-0.3Mpa;12.用紗布醮肥皂水檢查銅管,以及各連接處是否漏氣;13.調(diào)整儀器激發(fā)電極位置;14.激發(fā)廢樣,觀察激發(fā)點(diǎn)形狀和顏色;15.正常情況下,激發(fā)10-15個點(diǎn)后,激發(fā)點(diǎn)應(yīng)該正常,可以帶控樣或標(biāo)準(zhǔn)化;16.如不正常,懷疑氣路污染或凈化器不正常;注意:凈化器電源應(yīng)與儀器電源共地 主題:換廢氣過濾油工具:真空油、紗布,記號筆觸發(fā)條件:三月維護(hù)步驟:1.從過濾器拔下廢氣排放管,并檢查是否完好,應(yīng)沒有漏氣或明顯的死褶,如發(fā)現(xiàn)應(yīng)更換,更換時需拆開激發(fā)臺罩,參考ZD4460-001;2.用雙手逆時針擰開儲油器藍(lán)