空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響及二次配管路優(yōu)化

1、空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響 及二次配管路優(yōu)化及二次配管路優(yōu)化1 1.空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響2.2.二次配管路優(yōu)化二次配管路優(yōu)化3.3.針對(duì)現(xiàn)場(chǎng)漏水系統(tǒng)的判斷針對(duì)現(xiàn)場(chǎng)漏水系統(tǒng)的判斷4.4.心得心得 目錄2/35目錄目錄 無(wú)塵室無(wú)塵室 無(wú)塵室無(wú)塵室(Clean Room)(Clean Room)，亦稱(chēng)為無(wú)塵室或潔凈室。，亦稱(chēng)為無(wú)塵室或潔凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒(méi)有無(wú)塵室，污染敏感零它是污染控制的基礎(chǔ)。沒(méi)有無(wú)塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)件不可能批量生產(chǎn)。無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中濾、分配、

2、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度 從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無(wú)塵室是指將從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。設(shè)計(jì)之房間。 引言3/35空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響空

3、調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響 空調(diào)箱（空調(diào)箱（MAUMAU）的作用：）的作用： 1.MAU 1.MAU結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu) 2. 2.制造風(fēng)能制造風(fēng)能 3. 3.除去大部分粉塵、微粒除去大部分粉塵、微粒 、離子、離子 4. 4.控制溫濕度控制溫濕度 5. 5.調(diào)節(jié)壓力調(diào)節(jié)壓力4/35空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響空調(diào)箱（空調(diào)箱（MAUMAU）熱盤(pán)管（供熱盤(pán)管（供35 35 ，回，回2828）加濕器加濕器出風(fēng)口風(fēng)閥出風(fēng)口風(fēng)閥MAUMAU照片展示照片展示5/35MAUMAU兩視圖兩視圖6/35空調(diào)箱制造風(fēng)能空調(diào)箱制造風(fēng)能 MAU MAU利用利用120kw120kw的的 電機(jī)拖動(dòng)風(fēng)機(jī)的電機(jī)拖動(dòng)風(fēng)機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生壓力差，運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生壓力

4、差，導(dǎo)致了氣流的運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)致了氣流的運(yùn)動(dòng)，最終形成了風(fēng)能。最終形成了風(fēng)能。（備注：（備注：1 1臺(tái)臺(tái)MAU MAU 在頻率為在頻率為45Hz45Hz的運(yùn)的運(yùn)行情況下可輸出每行情況下可輸出每小時(shí)小時(shí)1010萬(wàn)萬(wàn)mm風(fēng)量）風(fēng)量）7/35空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響進(jìn)風(fēng)口無(wú)紡布進(jìn)風(fēng)口無(wú)紡布初效過(guò)濾器初效過(guò)濾器中效過(guò)濾器中效過(guò)濾器高效過(guò)濾器高效過(guò)濾器氣流方向氣流方向認(rèn)識(shí)空調(diào)箱的過(guò)濾器及效率認(rèn)識(shí)空調(diào)箱的過(guò)濾器及效率效率效率效率2030%4060%95%99.97%氣流方向氣流方向氣流方向氣流方向氣流方向氣流方向效率8/35空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響MAUMAU對(duì)溫濕度的影響對(duì)溫濕度的影響 MAUMAU利用氣流與盤(pán)管

5、的充分接觸，發(fā)生熱交利用氣流與盤(pán)管的充分接觸，發(fā)生熱交換從而達(dá)到對(duì)出風(fēng)溫度的控制。換從而達(dá)到對(duì)出風(fēng)溫度的控制。 通過(guò)了一道熱盤(pán)和一道冷盤(pán)以后風(fēng)的含熱量通過(guò)了一道熱盤(pán)和一道冷盤(pán)以后風(fēng)的含熱量即焓值，再經(jīng)過(guò)加濕器再經(jīng)過(guò)一道冷盤(pán)和熱即焓值，再經(jīng)過(guò)加濕器再經(jīng)過(guò)一道冷盤(pán)和熱盤(pán)最終達(dá)到了對(duì)濕度的控制。盤(pán)最終達(dá)到了對(duì)濕度的控制。 在一定的條件下，溫度和濕度成反比。推論在一定的條件下，溫度和濕度成反比。推論如下：如下：絕對(duì)濕度絕對(duì)濕度/ /飽和絕對(duì)濕度飽和絕對(duì)濕度= =相對(duì)濕度相對(duì)濕度 （此公式運(yùn)用于同一溫度，同一壓力條件下）（此公式運(yùn)用于同一溫度，同一壓力條件下） 9/35空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響MAUMAU

6、監(jiān)控系統(tǒng)監(jiān)控系統(tǒng) 現(xiàn)由業(yè)主規(guī)定，現(xiàn)由業(yè)主規(guī)定，1010臺(tái)臺(tái)MAUMAU的運(yùn)行頻率的運(yùn)行頻率都為都為45Hz45Hz，之所以，之所以這樣規(guī)定是因?yàn)橹贿@樣規(guī)定是因?yàn)橹灰獙?duì)一臺(tái)要對(duì)一臺(tái)MAUMAU進(jìn)行進(jìn)行調(diào)整就會(huì)對(duì)無(wú)塵室調(diào)整就會(huì)對(duì)無(wú)塵室的壓力環(huán)境造成影的壓力環(huán)境造成影響，反過(guò)來(lái)我們也響，反過(guò)來(lái)我們也可以根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)的情可以根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)的情況以及現(xiàn)場(chǎng)的需求，況以及現(xiàn)場(chǎng)的需求，通過(guò)調(diào)整通過(guò)調(diào)整MAUMAU的頻的頻率可以調(diào)整某個(gè)局率可以調(diào)整某個(gè)局部的壓力。以部的壓力。以O(shè)HV3OHV3為例：為例：總靜壓管靜壓值MAUMAU對(duì)壓力的影響對(duì)壓力的影響11/35空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響 MAU102MAU102的出風(fēng)口正

7、的出風(fēng)口正對(duì)對(duì) 的下方是的下方是 OHVOHV3 3 的送風(fēng)管，我們可的送風(fēng)管，我們可以調(diào)整以調(diào)整 MAU 102MAU 102的風(fēng)的風(fēng)量來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)量來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)OHV3OHV3的壓力調(diào)節(jié)。當(dāng)然了的壓力調(diào)節(jié)。當(dāng)然了這種方法一般情況下這種方法一般情況下是不會(huì)使用的，因?yàn)槭遣粫?huì)使用的，因?yàn)槲覀兛梢灾苯诱{(diào)節(jié)我們可以直接調(diào)節(jié)OHV3OHV3送風(fēng)管的閥送風(fēng)管的閥門(mén)來(lái)控制門(mén)來(lái)控制OHV3OHV3的壓的壓力。力。MAU102出風(fēng)管OHV-3送風(fēng)管根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)情況根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)情況12/35空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響FFUFFUFFU無(wú)塵室里最重要的無(wú)塵室里最重要的除塵設(shè)備，主要結(jié)構(gòu)為除塵設(shè)備，主要結(jié)構(gòu)為一個(gè)風(fēng)機(jī)和超高效過(guò)濾一個(gè)

8、風(fēng)機(jī)和超高效過(guò)濾器組成器組成FFU馬達(dá)FFU超高效過(guò)濾器效率99.999%氣流方向氣流方向13/35空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響無(wú)塵室主要的降溫設(shè)無(wú)塵室主要的降溫設(shè)備備干盤(pán)管（干盤(pán)管（DCC)DCC)DCCDCC沒(méi)有動(dòng)力源，它沒(méi)有動(dòng)力源，它主要安置在回風(fēng)道里，主要安置在回風(fēng)道里，原理是讓回風(fēng)道里的原理是讓回風(fēng)道里的風(fēng)與干盤(pán)管里面的水風(fēng)與干盤(pán)管里面的水（供（供1212回回1919）進(jìn)行）進(jìn)行充分的接觸發(fā)生熱交充分的接觸發(fā)生熱交換，從而達(dá)到降溫的換，從而達(dá)到降溫的目的。目的。 DCC ( DCC (干盤(pán)管干盤(pán)管) )回風(fēng)道回風(fēng)道 機(jī)臺(tái)之間機(jī)臺(tái)之間14/35空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響風(fēng)機(jī)盤(pán)管風(fēng)機(jī)盤(pán)管風(fēng)機(jī)盤(pán)管的

9、結(jié)風(fēng)機(jī)盤(pán)管的結(jié)購(gòu)只是在干盤(pán)購(gòu)只是在干盤(pán)管的基礎(chǔ)上加管的基礎(chǔ)上加了一個(gè)動(dòng)力源，了一個(gè)動(dòng)力源，它主要的作用它主要的作用和和DCCDCC一樣，一樣，它主要運(yùn)用在它主要運(yùn)用在生產(chǎn)加工的區(qū)生產(chǎn)加工的區(qū)域。域。氣流方向氣流方向氣流方向供水回水氣流方向15/35空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響 靜壓箱靜壓箱CCUDCCDCCBUF機(jī)臺(tái) FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU 高架地板回風(fēng)道回風(fēng)道 MAU新風(fēng)MAUMAU、靜壓箱、靜壓箱、FFUFFU、CCUCCU、DCCDCC、高架地板、回風(fēng)道、泄壓風(fēng)口之間的聯(lián)系、高架地板、回風(fēng)道、泄壓風(fēng)口之間的聯(lián)系靜壓箱靜壓箱FFU FFU FFU FFU FFU

10、DCCFFU FFU回風(fēng)道L/UL16/35空調(diào)系統(tǒng)對(duì)無(wú)塵室的影響泄壓風(fēng)口只有做好了上述的工作，穩(wěn)定了無(wú)塵室的環(huán)境，只有做好了上述的工作，穩(wěn)定了無(wú)塵室的環(huán)境，我們才能進(jìn)行生產(chǎn)，才能使生產(chǎn)的良率提高。我們才能進(jìn)行生產(chǎn)，才能使生產(chǎn)的良率提高。進(jìn)入二次配進(jìn)入二次配 過(guò)渡頁(yè)17/35 認(rèn)識(shí)材料認(rèn)識(shí)材料 學(xué)會(huì)請(qǐng)購(gòu)學(xué)會(huì)請(qǐng)購(gòu) 根據(jù)實(shí)際情況配制管路根據(jù)實(shí)際情況配制管路 管路優(yōu)化管路優(yōu)化二次配管路優(yōu)化二次配管路優(yōu)化18/35管路優(yōu)化 學(xué)會(huì)認(rèn)識(shí)材料學(xué)會(huì)認(rèn)識(shí)材料（1 1）深入現(xiàn)場(chǎng)。從現(xiàn)場(chǎng)中學(xué)習(xí)，了解管路的材料、管徑、以及）深入現(xiàn)場(chǎng)。從現(xiàn)場(chǎng)中學(xué)習(xí)，了解管路的材料、管徑、以及與機(jī)臺(tái)端的連接形式。與機(jī)臺(tái)端的連接形式。（2

11、 2）從倉(cāng)庫(kù)中學(xué)習(xí)，認(rèn)識(shí)一些常見(jiàn)的配件，諸如：三通（）從倉(cāng)庫(kù)中學(xué)習(xí)，認(rèn)識(shí)一些常見(jiàn)的配件，諸如：三通（T T）、）、彎頭（彎頭（L L）、大小頭（）、大小頭（RSRS）、直接（）、直接（S S）法蘭、閥表）法蘭、閥表 學(xué)會(huì)請(qǐng)購(gòu)材料、填寫(xiě)異常單、請(qǐng)款、材料學(xué)會(huì)請(qǐng)購(gòu)材料、填寫(xiě)異常單、請(qǐng)款、材料報(bào)驗(yàn)報(bào)驗(yàn)19/35管路優(yōu)化 根據(jù)實(shí)際情況配置管路根據(jù)實(shí)際情況配置管路（1 1）現(xiàn)場(chǎng)：確定）現(xiàn)場(chǎng)：確定take offtake off點(diǎn)到機(jī)臺(tái)連接點(diǎn)之間的管路走向，畫(huà)出點(diǎn)到機(jī)臺(tái)連接點(diǎn)之間的管路走向，畫(huà)出ISOISO圖，確定材料用量。圖，確定材料用量。（2 2）時(shí)間：按照機(jī)臺(tái)的需求情況進(jìn)行施工，分輕重緩急不延誤）時(shí)

12、間：按照機(jī)臺(tái)的需求情況進(jìn)行施工，分輕重緩急不延誤一臺(tái)機(jī)臺(tái)的一臺(tái)機(jī)臺(tái)的turn onturn on時(shí)間。時(shí)間。（3 3）材料：根據(jù)倉(cāng)庫(kù)材料余量，判斷現(xiàn)場(chǎng)需求，如若缺少材料）材料：根據(jù)倉(cāng)庫(kù)材料余量，判斷現(xiàn)場(chǎng)需求，如若缺少材料需積極請(qǐng)購(gòu)，以防拖延工期。需積極請(qǐng)購(gòu)，以防拖延工期。（4 4）承包商：承包商是我們工作得以延續(xù)的最重要環(huán)節(jié)，掌握）承包商：承包商是我們工作得以延續(xù)的最重要環(huán)節(jié)，掌握他們的能力，利用好承包商的資源。他們的能力，利用好承包商的資源。20/35管路優(yōu)化管路優(yōu)化管路優(yōu)化 紅色表示原來(lái)管路，黃色表示優(yōu)化的管路紅色表示原來(lái)管路，黃色表示優(yōu)化的管路21/35節(jié)省的管路節(jié)省的管路管路優(yōu)化 盤(pán)面

13、的位置選擇（方盤(pán)面的位置選擇（方便開(kāi)關(guān)閥門(mén)）便開(kāi)關(guān)閥門(mén)） 盤(pán)面的整潔美觀盤(pán)面的整潔美觀2.2m整個(gè)盤(pán)面的位置太高，如需操作閥門(mén)，需找爬梯之類(lèi)的輔助工具。優(yōu)化意見(jiàn)：整個(gè)閥盤(pán)下調(diào)700mm1.5m盤(pán)面的優(yōu)化盤(pán)面的優(yōu)化22/35盤(pán)面優(yōu)化天花板上方管路對(duì)比天花板上方管路對(duì)比管路歪斜管路歪斜管路筆直管路筆直照片對(duì)比展示23/35管路高低不平管路高低不平管路整齊管路整齊 管路死角對(duì)比管路死角對(duì)比24/35照片對(duì)比展示管路支架對(duì)比管路支架對(duì)比管路缺少支架管路缺少支架管路固定整齊管路固定整齊25/35照片對(duì)比展示管路穿越天花板對(duì)比管路穿越天花板對(duì)比管路歪斜管路歪斜管路垂直美觀管路垂直美觀26/35照片對(duì)比展示

14、盤(pán)面高度對(duì)比盤(pán)面高度對(duì)比盤(pán)面高盤(pán)面高1.6m1.6m盤(pán)面高盤(pán)面高2.2m2.2m27/35照片對(duì)比展示高架地板下面管路對(duì)比高架地板下面管路對(duì)比管路歪斜管路歪斜管路橫平豎直管路橫平豎直28/35照片對(duì)比展示支架歪斜支架歪斜支架平整支架平整盤(pán)面支架對(duì)比盤(pán)面支架對(duì)比29/35照片對(duì)比展示橡皮墊丑陋橡皮墊丑陋橡皮墊整齊橡皮墊整齊P P型卡橡皮墊對(duì)比型卡橡皮墊對(duì)比30/35照片對(duì)比展示壓力表歪斜壓力表歪斜壓力表整齊壓力表整齊壓力表安裝效果對(duì)比壓力表安裝效果對(duì)比31/35照片對(duì)比展示支架晃動(dòng)支架晃動(dòng)支架穩(wěn)定支架穩(wěn)定盤(pán)面支架的固定盤(pán)面支架的固定32/35照片對(duì)比展示針對(duì)現(xiàn)場(chǎng)漏水系統(tǒng)的判斷針對(duì)現(xiàn)場(chǎng)漏水系統(tǒng)的判

15、斷 根據(jù)區(qū)域判斷根據(jù)區(qū)域判斷 第一判斷：空調(diào)水。原因：覆蓋全廠區(qū)第一判斷：空調(diào)水。原因：覆蓋全廠區(qū) 第二判斷：第二判斷：PVD/WETPVD/WET區(qū)漏水判斷區(qū)漏水判斷純水，原因是純水純水，原因是純水主要集中在南區(qū)主要集中在南區(qū)PVDPVD、WETWET區(qū)。區(qū)。 第三判斷：第三判斷：CVD/DRYCVD/DRY區(qū)漏水判斷區(qū)漏水判斷PCW,PCW,原因是原因是PCWPCW主主要集中在要集中在CVD/DRYCVD/DRY區(qū)。區(qū)。 第四判斷：排水，排水的可能性小。原因：排水它是重第四判斷：排水，排水的可能性小。原因：排水它是重力流。力流。33/35漏水判斷心得體會(huì)心得體會(huì) 經(jīng)過(guò)了一年的學(xué)習(xí)和鍛煉，認(rèn)識(shí)到了想要認(rèn)經(jīng)過(guò)了一年的學(xué)習(xí)和鍛煉，認(rèn)識(shí)到了想要認(rèn)真的學(xué)習(xí)、工作、生產(chǎn)，就必須要營(yíng)造一個(gè)良好真的學(xué)習(xí)、