《CTPECVD培訓》PPT課件

1、*0To Power Our FutureTo Power Our Future PECVD PECVD崗位培訓教材崗位培訓教材 電池設備部電池設備部0;.*1 參數(shù)的影響工藝文件名型號沉積時間用途5sin900.PRZ125單晶900s生產(chǎn)5sinvar.prz125單晶 運行時輸入 （默認900秒）工藝調試/生產(chǎn)5multi.prz 125多晶720秒生產(chǎn)5multiv.prz125多晶運行時輸入（默認720秒）生產(chǎn)工藝調試6sin900.PRZ156單晶900秒生產(chǎn)6SINVAR.PRZ156單晶運行時輸入（默認900秒）生產(chǎn)工藝調試6multi.prz150、156多晶720秒生產(chǎn)6m

2、ultiv.prz150、156多晶運行時輸入 （默認720秒）生產(chǎn)工藝調試1;.*2沉積時間的不同膜厚也是沉積時間的不同膜厚也是 不一樣的要根據(jù)鍍膜的顏色來不一樣的要根據(jù)鍍膜的顏色來適當?shù)脑黾踊驕p少它的沉積時間，片子發(fā)白要減少沉積適當?shù)脑黾踊驕p少它的沉積時間，片子發(fā)白要減少沉積時間，如偏紅則要適當?shù)脑黾?。每一舟片子要全面的時間，如偏紅則要適當?shù)脑黾?。每一舟片子要全面的確認，不允許把不良品流入到下道工序，如色斑、水印確認，不允許把不良品流入到下道工序，如色斑、水印鍍膜不良，應及時挑出做返工處理。鍍膜不良，應及時挑出做返工處理。 參數(shù)的影響2;.*3Handing界面的介紹 Arm的位置（Pad

3、dle，Middle storage）其余顯示均為錯誤 槳的信息：free 無舟 occupied 有舟 機械臂上石墨舟的感應器 empty：無舟 occupied 有舟 石英管信息顯示 ready：準備狀態(tài) not ready ：運行狀態(tài) 機械臂運行狀態(tài) free：運行 lock：鎖定 顯示存儲架的存儲信息 機械臂目前所的位置 PECVD崗位基本操作及注意事項3;.*4BOAT信息設置方法介紹 BOAT信息的設置將直接影響機械臂的自動運 行是否正常。 舟號：點擊過后可對BOAT信息設置 運行狀態(tài) 槳號 管號 工藝號 PECVD崗位基本操作及注意事項4;.*5 設定實際信息，選擇此項后可對信息

4、進行修改或重新設定。點擊取消后，才可選擇下面一項。 刪除此舟的信息 點擊進入下一步 PECVD崗位基本操作及注意事項5;.6;.7;.*8工藝號選項,選擇當前需要進行的或者已經(jīng)在進行的工藝號,后面Recipe error前面若是有紅色X請點擊后取消它輸入操作人員的姓名拼音首寫字母 按下Finish鍵后完成所有設定 PECVD崗位基本操作及注意事項8;.*9如果出現(xiàn)下列的信息,就表明你設定的信息系統(tǒng)可以接受,但是你必須對你所設定的信息再次進行確認,如果不能顯示此信息,就說明你設定的是錯誤的,系統(tǒng)將會自動跳轉到你設定錯誤的那一步,要求你重新進行設定。完全確認后，點擊“ok”后設定結束，返回主界面。

5、 PECVD崗位基本操作及注意事項9;.*10特殊情況下如何進行手動關門 在特殊情況下有時候為了需要必須手動關閉爐門（1）檢查所有管子都處于等待狀態(tài)（2）將壓縮空氣總閥關閉 PECVD崗位基本操作及注意事項10;.*11l3）打開門，將此爐門氣動）打開門，將此爐門氣動閥上的兩個氣管拔下，上閥上的兩個氣管拔下，上面的調節(jié)閥不要動。并將面的調節(jié)閥不要動。并將氣管的頭對折后用緊扎帶氣管的頭對折后用緊扎帶綁緊，防止壓力閥開啟后綁緊，防止壓力閥開啟后漏氣。漏氣。 調節(jié)閥氣管 PECVD崗位基本操作及注意事項11;.*12PECVDPECVD工藝流程工藝流程1.processing started 工藝開

6、始 2.fill tube with N2 充氮-達到大氣壓的標準值，機器后面的壓力并能準確測試，得到進舟信號以后爐門才會開啟 3.loading boat (paddle in upper position)進舟-SLS顯示槳位于高位，若此時槳位于低位，進舟將會失敗，舟有撞擊到石英管的可能性。 4.paddle moves downwards槳降至低位 5.move out paddle-lower position槳在低位退出，此時應注意石墨電極有可能會槳帶出，關爐門時會損毀石墨電極 6.evacuate tube and pressure test管內抽真空，并進行管內壓力測試-（空氣接

7、觸到硅烷會發(fā)生爆炸） 7.plasma preclean and check with NH3 通過高頻電源用氨氣預清理和檢查. 8.purge cycle 1清洗管路（1） 9.leaktest測漏 12;.*13 10.wait until all zones are on min .temperature恒溫 11.ammonia plasma preclean 通過高頻電源用氨氣清理 12.deposition 鍍膜 13.end of depposition 結束鍍膜 14.evacuate tube and pressure test抽真空及測試壓力 15.purge cycle1

8、清洗管路（1）-將特氣管內的剩余硅烷和氨氣抽走，防止與空氣接觸發(fā)生爆炸 16.fill tube with N2充氮（同第二步） 17.move in paddle-lower position槳在低位進入爐內 18.SLS moving to upper positionSLS移至高位 PECVDPECVD工藝流程工藝流程13;.*1419.unloading boat 退舟退舟20.end of process結束工藝結束工藝PECVD操作注意事項（下面羅列的每一項都有可能導致石墨電極損毀或者設備損壞）操作注意事項（下面羅列的每一項都有可能導致石墨電極損毀或者設備損壞）1.SLS處于處于“

9、UP”位置時，管內有舟時不可手動進槳。位置時，管內有舟時不可手動進槳。2.SLS處于處于“Down”位置時，槳上有舟時不得手動進舟。位置時，槳上有舟時不得手動進舟。3.槳上有舟時槳上有舟時,舟不在正確位置舟不在正確位置,不準切換到自動運行狀態(tài)。不準切換到自動運行狀態(tài)。4.進舟，退舟失敗報警時，一定要檢查舟的位置是否在合理的位置，才可以對報警進行復進舟，退舟失敗報警時，一定要檢查舟的位置是否在合理的位置，才可以對報警進行復位。自動位。自動/手動的切換要謹慎。若舟不在正確位置，手動的切換要謹慎。若舟不在正確位置， 請手動移動到正確的位置后再對報請手動移動到正確的位置后再對報警進行復位（爐門是以槳的

10、位置作為開閉的標準）。圖（警進行復位（爐門是以槳的位置作為開閉的標準）。圖（4）（）（5） PECVDPECVD工藝流程工藝流程14;.*155.5.舟位于存儲架（舟位于存儲架（storage2storage2，storage3storage3）時，一定要確認存儲架上的感應器有沒有感應到。圖）時，一定要確認存儲架上的感應器有沒有感應到。圖（2 2）（）（3 3），否則有可能導致撞舟。），否則有可能導致撞舟。6.6.清理碎片時要注意熱探針（兩根玻璃棒）清理結束后一定要將熱探針放于管子的中間位置，否清理碎片時要注意熱探針（兩根玻璃棒）清理結束后一定要將熱探針放于管子的中間位置，否則進退舟時有可能被

11、撞掉。圖（則進退舟時有可能被撞掉。圖（6 6）7.7.從手動切換到自動狀態(tài)時，機械臂一定要在從手動切換到自動狀態(tài)時，機械臂一定要在MiddleMiddle位置，否則機械臂有可能無法正常運行而報位置，否則機械臂有可能無法正常運行而報警。圖（警。圖（7 7）8.8.進退舟時，小車不得混用，并且務必確認小車有無被縮定。進退舟時，小車不得混用，并且務必確認小車有無被縮定。9.9.進舟后，工藝無法正常運行時，先確認舟在槳上的位置，以及進舟后，工藝無法正常運行時，先確認舟在槳上的位置，以及Tube=readyTube=ready，SLS=upSLS=up，TGA=yesTGA=yes，然后進行其他操作然后

12、進行其他操作 10.10.小車被鎖定后，不得轉動石墨電極的方向。圖（小車被鎖定后，不得轉動石墨電極的方向。圖（7 7）否則石墨電極會撞到槳或者機械臂）否則石墨電極會撞到槳或者機械臂 11.11.石墨電極的電極孔方向在進舟時不得搞錯，否則有可能撞壞高頻的兩根電極。石墨電極的電極孔方向在進舟時不得搞錯，否則有可能撞壞高頻的兩根電極。PECVDPECVD工藝流程工藝流程15;.*16真空管爐管壓力手動開門步驟手動開門步驟10000最大最小值16;.*17氣體 氮氣氣體閥Open/Close打開/關閉Open/Close17;.*18舟 位置設置點進舟進舟/開門開門2082/10手動開門步驟手動開門步驟18;.*191、Manual Tab Vacuum Tube Pressure手動 切換 真