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半導(dǎo)體鍍膜技術(shù)應(yīng)用蒸鍍(EVA) & 濺鍍(sputter)1噴塗Substrate材料l2電鍍基質(zhì),底物(被鍍物)材料,原料陽(yáng)極陰極3蒸鍍材料被鍍材料加熱真空罩材料蒸汽4濺鍍材料被鍍材料Plasma=等離子體陽(yáng)極陰極真空泵浦抽真空1靶材形成負(fù)電壓3兗?xì)鍤?離子沖擊靶材並把靶材原子從靶材中打飛出來(lái)6靶材原子打到被鍍材料上形成一層金屬溥漠也就是我們所說(shuō)的電極7靶材=陰極被鍍材料=陽(yáng)極Energy離子在電漿中移動(dòng)5GasPlasma氬氣被電離成電漿41蒸鍍蒸鍍材料被鍍材料加熱真空罩材料蒸汽2濺鍍?yōu)R鍍材料被鍍材料Plasma=等離子體蒸鍍材料被鍍材料加熱真空罩蒸鍍蒸汽

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