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Silex 低溫金錫鍵合與TSV技術(shù)yu.tan2016年5月20日Copyright © 2015 Silex Microsystems.Silex代工的部分度計諧振器紅外傳感器陀螺細胞/DNA分析BAW陀螺麥克風(fēng)傳感器射頻開關(guān)懸臂片上接觸膜打印頭流量傳感器給藥器件濾波器CMOS互聯(lián)中間層光具座微針壓電式/電容式MEMS超聲換能器微電池Copyright © 2015 Silex Microsystems.SILEX5在冠狀動脈中使用的傳感器麥克風(fēng)光開關(guān)DNA分析片上Silex代工MEMS的典型應(yīng)用領(lǐng)域熱成像慣性傳感器麥克風(fēng)自動對焦消費工業(yè)光學(xué)收發(fā)器DNA分析器件光開關(guān)給藥裝置醫(yī)療傳感器電信生命科學(xué)Copyright © 2015 Silex Microsystems.SILEX7Copyright © 2015 Silex Microsystems.

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