生產(chǎn)車間防靜電技術(shù)要求

1、文件編號:發(fā)放號:受控狀態(tài):生產(chǎn)車間防靜電技術(shù)要求編制:審核:批準(zhǔn):發(fā)布日期:生效日期:文件發(fā)行及更改記錄表制修訂更改原因更改容審核批準(zhǔn)生效日期版本號1圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了本公司生產(chǎn)車間靜電防護(hù)的技術(shù)要求；本標(biāo)準(zhǔn)適用于本公司產(chǎn)品生產(chǎn)、物料存放、試驗現(xiàn)場的防靜電控制。2術(shù)語2.1防靜電工作區(qū)(EPA配備各種防靜電設(shè)備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界和專門標(biāo)記且滿足防靜電要求，為建立保護(hù)面積和進(jìn)行保護(hù)性操作所必須配置的設(shè)施和工具的統(tǒng)稱，如有靜電敏感元器件和組裝件操作的生產(chǎn)區(qū)和物料存放區(qū)域。2.2 硬接地(hard ground )直接與電極做導(dǎo)電性連接的一種接地方式。2.3 軟接地(soft gro

2、und )通過一足以限制流過物體的電流達(dá)到安全值的電阻連接到電極的一種接地方式。2.4 電極(earth electrode)埋于地下與保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組。他可以是桿狀的、板狀的或網(wǎng)狀的，為接地系統(tǒng)提供接的基準(zhǔn)點(diǎn)。2.5 靜電耗散材料(dissipative materials )其表面電阻率等于或大于1 X 105q,但小于1 x 1012Q；或體積電阻率等于或大于1x 104Q? cm,11但小于1 X 10 Q的材料。3 一般要求3.1防靜電標(biāo)記符號在防靜電工作區(qū)應(yīng)在明顯的位置貼靜電防護(hù)標(biāo)志，如圖3-13-1靜電防護(hù)標(biāo)志3.2工作人員在進(jìn)入防靜電工作區(qū)時，須穿戴好防靜電

3、工作服、工作鞋。3.3工作人員對靜電敏感元器件、組裝件進(jìn)行操作時，須戴好ESD防護(hù)腕帶，并測試合格。3.4指定人員定期測量并記錄車間環(huán)境條件。4詳細(xì)要求4.1氣候與環(huán)境條件溫度EPA 應(yīng)裝有溫度調(diào)節(jié)裝置，以維持其室溫在25土 5C,采用準(zhǔn)確度優(yōu)于土 2C的溫度計測量 EPA的室溫，并在每日的同一時間進(jìn)行測量并記錄。記錄表見附表1濕度EPA應(yīng)裝有濕度調(diào)節(jié)裝置，以維持室相對濕度在3070%R幗。采用準(zhǔn)確度優(yōu)于土 2%勺濕度計測量EPA的濕度，并在每日的同一時間進(jìn)行測量并記錄。記錄表見附表1潔凈度保持生產(chǎn)現(xiàn)場干凈、整潔。靜電消除器在對靜電敏感元器件或組裝件操作的工作臺上，應(yīng)裝設(shè)靜電消除器（離子風(fēng)機(jī)等

4、），以消除未打開的包裝件上的靜電荷和在操作過程中因人體、工具及其他物品相互摩擦在工件上產(chǎn)生的靜電荷。靜電消除器應(yīng)能消除任何一種極性的電荷，并在其有效防護(hù)區(qū)域使靜電位保持在規(guī)定值以，中和能力應(yīng)優(yōu)于土 250V/S。4.2接地EPA應(yīng)有滿足使用功能要求的防靜電接地分系統(tǒng)，并通過電極分系統(tǒng)接到。防靜電接地分系統(tǒng)EPA 的防靜電接地分系統(tǒng)包括人體防靜電接地、地板防靜電接地和操作裝置、儀器的防靜電接地等，連接方式如圖4-1。除個別指明需采用硬接地外，一般采用軟接地方式，其接地電阻可由外界電阻、材料固有電阻或它們的組合構(gòu)成。422接地安裝注意事項防靜電接地分系統(tǒng)最好與電源地等其它分系統(tǒng)各自獨(dú)立；防靜電工具

5、、裝置等的接地端子允許 使用易于拆卸的各種夾式連接器，如鱷魚夾、插針等，但應(yīng)確保電氣連接可靠。接地主干線截面積應(yīng)不小于100mm；支干線截面積應(yīng)不小于 6mm；設(shè)備和工作臺的接地線應(yīng)采用截面積不小于 1.25mm的多股敷塑導(dǎo)線，接地線顏色應(yīng)和操作現(xiàn)場其它電源線等的顏色有較大區(qū)MT /1 操作工具與測試設(shè)備防靜電臺墊別。/ 防靜電地墊77圖防辭電分系齡連接方式4.3各種器材、用具的靜電性能 測量儀器EPA 相關(guān)設(shè)施安裝完成后應(yīng)定期對其進(jìn)行檢測，并記錄檢測結(jié)果（檢測記錄表見附表2），接地系統(tǒng)的測量儀器的量程應(yīng)為01011Q,測量電極為圓柱形，直徑50mm重量2kg。儀器的輸入和輸出線與兩電極通過鱷

6、魚夾、連接器等便于拆卸的方式連接，測量時施以500V電壓。4.3.2 ESD防護(hù)工作臺面除非制造工藝要求要使用導(dǎo)（靜）電工作臺面，EPA的工作臺面應(yīng)使用靜電耗散材料制成并接地良好。ESD防護(hù)工作臺面的對地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻要求見表1。對地電阻測量時，將測量儀器的一端接到工作臺與地線的連接線上，另一個電極測量五個點(diǎn)取平均值（如圖4-2 ）。表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻測量時，兩測試電極相距0.9m，測量五組數(shù)據(jù)取平均值，測量時一電極不動，另一電極除非制造工藝要求需要使用導(dǎo)（靜）電地面，EPA應(yīng)采用靜電耗散地板、地墊或噴涂防靜電漆，4-4）；表并良好接地，其對地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻要求見表1。對地

7、電阻測量時，儀器一個電極接防靜電接地分系統(tǒng)，另一電極放置在防靜電地面上，取房間不同位置測量并取平均值（如圖面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻測量時，一個電極固定，另一個電極以0.9m為半徑取5個測量點(diǎn)，并取平均值（如圖 4-5）。表1 EPA各種器材的靜電性能要求器材名稱章條號表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻（Q）對地電阻（Q）穿戴狀態(tài)下的對地電阻（Q）說明ESD防護(hù)工作臺4325107.5 X 10 1.0 X 10597.5 X 101.0 X 10/ESD防護(hù)地面4335101.0 X 10 1.0 X 10591.0 X 101.0 X 10/ESD防護(hù)腕帶/57.5 X 10 3.5 X107/57.5 X 10

8、1.0 X1010/表面對電纜扣567.5 X 10 5.0 X 10/腕帶連線端對端物流車、存放5 107.5 X 10 1.0 X 10597.5 X 101.0 X 10架器材名稱章條號表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻（Q）對地電阻（Q）穿戴狀態(tài)下的對地電阻（Q）說明周轉(zhuǎn)容器5107.5 X 10 1.0 X 10597.5 X 10 1.0 X 10（體積電阻）/工作服5101.5 X 10 1.0 X 1051.5 X 10 1.0 X._ 1010/434 ESD防護(hù)腕帶a 腕帶穿戴狀態(tài)下的電阻測試操作者以正常方式戴上腕帶，把線端插入測試器，手指壓住手摸觸板，直至儀器可以穩(wěn)定測量 為止（如圖4-

9、6）。b 腕帶表面對電纜扣電阻（點(diǎn)對點(diǎn)電阻）將兩測試點(diǎn)擊分別接觸腕帶表面和電纜扣與測試儀連接測量（如圖4-7 ）。c 腕帶接地電纜兩端電阻（點(diǎn)對點(diǎn)電阻）用測試電極連接電纜兩端測試（如圖4-8 ）。435物品存放架、部物流車應(yīng)能通過支腳或輪子接地，它與工件接觸的表面應(yīng)由靜電耗散材料制作。對地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻要求見表 1。對地電阻測量如圖 4-9 ;表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻的測量如圖4-10。測量電極4-9勒濟(jì)年對地電陰測量圖4 10物瀟牟炭面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻測雖436周轉(zhuǎn)容器其體積電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻要求見表1。體積電阻測量如圖 4-11 ;表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻測量如圖4-12 。圖m 周轉(zhuǎn)容

10、器體積電陰測崑測重電極測量電極437 ESD防護(hù)工作服ESD防護(hù)工作服各部分之間應(yīng)存在電氣連續(xù)性。工作服的設(shè)計應(yīng)能保持其在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。必要時，工作服上設(shè)置專門的接地連接點(diǎn)，在穿戴過程過導(dǎo)線接地。測量14時，工作服放在絕緣臺上，絕緣臺的表面電阻10 Q;兩電極之間的間距不小于300mm ESD工作服的對地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻要求見表1。工作服的對地電阻測量如圖4-13 ;表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻測量如圖4-14。0 4-13工作服對地電阻茁童S工作服表面點(diǎn)對點(diǎn)）電阻測宣438 電烙鐵電烙鐵應(yīng)進(jìn)行硬接地，電烙鐵頭值接地系統(tǒng)的電阻應(yīng)不大于2QO 4.3.9 其它EPA的防靜電

11、工作椅、防靜電工作鞋等性能要符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。4.4 EPA維護(hù)與檢查要求對EPA的各項技術(shù)要求，必須經(jīng)常性地進(jìn)行檢查、監(jiān)測，以維持各項性能符合標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定。檢查的頻次如表2所列。檢查頻次項目名稱檢查方式每日一次環(huán)境溫度、相對濕度測量佩戴腕帶狀態(tài)下的對地電阻測量ESD防護(hù)工作服穿戴情況目視每周一次ESD防護(hù)工作臺面接地情況目視地板、地墊接地情況目視系統(tǒng)接地情況目視每月一次標(biāo)記情況目視工作服對地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻測量每季度一次ESD防護(hù)工作臺對地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻測量地板、地墊對地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻測量周轉(zhuǎn)容器體積電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻測量電烙鐵對地電阻測量存放架和部物流車對地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻測量建成后第一年每季度一次，以后每21個月一次系統(tǒng)接地電阻測量附表1環(huán)境