SF03GY02001背電極印刷操作規(guī)程

1、江蘇林洋新能源有限公司文件編號SF03-GY-020-01版本狀態(tài)A/0文件名稱背電極印刷操作規(guī)程頁 碼1/11編制/日期：審核/日期：批準(zhǔn)/日期：1 目 的 確保硅片經(jīng)過背電極印刷后達(dá)到工藝標(biāo)準(zhǔn)要求。2 適用范圍適用于125單多晶硅片、156單多晶硅片背電極印刷工藝。3 責(zé) 任本規(guī)程由電池事業(yè)部工藝人員制定修改，生產(chǎn)人員按文件要求執(zhí)行。 4 設(shè) 備Baccini背電極印刷機(jī)、烘干爐。5 工 具網(wǎng)版、刮條（10×10mm邵氏硬度6570°）、調(diào)墨刀、無塵布（杜邦）、感光紙、臥式滾筒攪拌機(jī)、汗布手套、橡膠手套。6 穿戴要求員工操作時(shí)需要佩戴乳膠手套，其里面可以戴汗布手套也可以

2、不戴。7 原 輔 料杜邦PV147銀漿、壓縮空氣（干燥 、6bar±10%）。8 環(huán)境參數(shù)印刷臺溫度：25±2印刷臺濕度：50±10%若溫度高于27（低于23），或濕度高于60%（低于40%），停線并通知當(dāng)班工藝人員。9 開機(jī)準(zhǔn)備9.1 清潔要求9.1.1 機(jī)器表面無漿料沾污，無碎片及其它雜物。9.1.2 導(dǎo)軌上無碎片及其它雜物。9.2 機(jī)器準(zhǔn)備9.2.1 檢查壓縮空氣是否在6bar（±10%）范圍之內(nèi)并且是否穩(wěn)定。9.2.2 檢查真空是否在600mmHg（±10%）范圍之內(nèi)并且是否穩(wěn)定。9.2.3 檢查每臺機(jī)器頂部冷卻風(fēng)扇是否旋轉(zhuǎn)。江蘇林洋新

3、能源有限公司文件編號SF03-GY-020-01版本狀態(tài)A/0文件名稱背電極印刷操作規(guī)程頁 碼2/119.2.4 檢查絲網(wǎng)印刷機(jī)配電柜控制面板上“電壓指示表”電壓是否在380V(±10%)范圍內(nèi)并且是否穩(wěn)定。（由設(shè)備員完成）9.2.5 貼裝印刷臺感光紙。9.2.5.1 貼裝感光紙時(shí)應(yīng)先用無塵布擦干凈印刷臺，確保氣孔無堵塞，臺面無碎片等異物，然后將感光紙的四個(gè)圓孔對準(zhǔn)臺面四個(gè)頂針展平，再用透明膠帶貼住四角及靠近操作員的一邊。9.2.5.2 檢查感光紙表面有無碎片等并及時(shí)清理干凈。9.2.5.3 仔細(xì)撫摸感光紙，有不平之處則檢查感光紙下面是否有異物，用無塵布擦干凈臺面，重新貼上感光紙，仍

4、有不平則更換感光紙。9.2.5.4 在生產(chǎn)過程中每隔5分鐘需用無塵布擦拭各個(gè)臺面。9.2.5.5 每班上班時(shí)更換感光紙。9.2.6 安裝網(wǎng)版9.2.6.1 根據(jù)生產(chǎn)不同型號的電池片，由機(jī)動(dòng)人員按生產(chǎn)計(jì)劃領(lǐng)用相應(yīng)型號的網(wǎng)版，如有疑義通知工藝人員。9.2.6.2 檢查網(wǎng)版，若新網(wǎng)版存在堵網(wǎng)或脫膠破損等質(zhì)量問題需退還倉庫；對于洗凈再使用的舊網(wǎng)版，同樣檢查是否存在堵網(wǎng)（用稀釋劑擦除不掉）、脫膠或破損，有則將其報(bào)廢。報(bào)廢網(wǎng)版的網(wǎng)框退還倉庫。9.2.6.3 將網(wǎng)版固定在適配器上時(shí)，電極應(yīng)平行于適配器上有缺口的邊。9.2.6.4 安裝時(shí)先擰緊對角線上的兩顆螺絲，然后擰緊另外兩顆螺絲。9.2.6.5 裝好暫時(shí)

5、不用的網(wǎng)版用紙板遮擋，避免沉積雜質(zhì)污染。9.2.7 安裝橡膠刮條。9.2.7.1 截取一條橡膠刮條，對于生產(chǎn)156電池片長度等長于刮刀，生產(chǎn)125電池片長度短于刮刀1cm。9.2.7.2 戴乳膠手套輕撫刮膠的一條楞邊，感覺無缺口且無突起的平滑邊則可以作為刮邊。9.2.7.3 將刮邊朝外安裝好刮膠，并檢查其平整度。將刮邊輕輕貼在機(jī)器的一個(gè)平面上，仔細(xì)觀察刮邊是否與平面緊密接觸。若有透光的地方，須重新調(diào)整安裝。9.2.7.4 準(zhǔn)備一只備用刮刀，注意印刷銀漿的刮刀不可與印刷鋁漿的刮刀混用。9.3 漿料準(zhǔn)備9.3.1 機(jī)動(dòng)人員按照生產(chǎn)計(jì)劃單從倉庫領(lǐng)取杜邦PV147銀漿。領(lǐng)用的漿料須貼標(biāo)簽，注明領(lǐng)用人員

6、和領(lǐng)用日期。9.3.2 處理漿料前應(yīng)佩戴乳膠手套。9.3.3 新漿料需開瓶用調(diào)墨刀將漿料上下攪動(dòng)5分鐘，每分鐘攪動(dòng)20次。攪動(dòng)方法如圖一所示。江蘇林洋新能源有限公司文件編號SF03-GY-020-01版本狀態(tài)A/0文件名稱背電極印刷操作規(guī)程頁 碼3/11 調(diào)墨刀 漿料瓶 圖一 攪漿料示意圖9.3.4 攪拌完畢后，擰緊瓶蓋，再把漿料瓶口用膠帶封住，放在滾動(dòng)機(jī)上滾動(dòng)。將滾動(dòng)速度調(diào)至刻度為Low，并在漿料使用記錄表上記錄下開始攪拌的時(shí)間和漿料編號。漿料滾動(dòng)時(shí)，其環(huán)境溫度在25±3。9.3.5 滾動(dòng)兩小時(shí)后，此漿料可用。9.3.6 開封后的漿料應(yīng)注意密封，避免污染。10 開機(jī)10.1 打開壓

7、縮空氣及真空截止閥。10.2 打開電控柜主電源開關(guān)。10.3 釋放所有緊急按鈕。10.4 鑰匙開關(guān)“UTILITIES”置于“ON”。10.5 鑰匙開關(guān)“SAFETY COVERS EXCLUDING”置于“ON”。10.6 打開主電源開關(guān)，電源指示燈亮，控制電腦啟動(dòng)，BACCINI MACHINE 程序自動(dòng)運(yùn)行。10.7 按下“AUXILIARIES STARTING”按鈕。10.8 點(diǎn)擊印刷機(jī)“CIRCLE RESET”按鈕并確定，進(jìn)行循環(huán)復(fù)位，直至復(fù)位程序運(yùn)行完畢。10.9 點(diǎn)擊烘干爐“CIRCLE RESET”按鈕并確定，進(jìn)行循環(huán)復(fù)位，直至復(fù)位程序運(yùn)行完畢。10.10 點(diǎn)擊屏幕下方F5

8、鍵，升起印刷頭。10.11 按屏幕下方F4鍵，打開網(wǎng)板鎖。將安裝好網(wǎng)版的適配器推入機(jī)器的網(wǎng)版槽中，確認(rèn)到位后按F4鎖定。10.12 置旋鈕開關(guān)于手動(dòng)狀態(tài)。江蘇林洋新能源有限公司文件編號SF03-GY-020-01版本狀態(tài)A/0文件名稱背電極印刷操作規(guī)程頁 碼4/1110.13 安裝橡膠刮刀和回料刀。10.14 關(guān)上所有安全門，置旋鈕開關(guān)回自動(dòng)狀態(tài)。10.15 在oven菜單中選擇tempretrue，在彈出菜單中Oven temperatures頁設(shè)置烘干參數(shù)。在此對話框輸入相應(yīng)的工藝參數(shù)圖二 烘干工藝參數(shù)設(shè)置烘干爐工藝參數(shù)：烘干溫區(qū)溫區(qū)1溫區(qū)2溫區(qū)3溫區(qū)4烘干溫度11013013015015

9、0170170190江蘇林洋新能源有限公司文件編號SF03-GY-020-01版本狀態(tài)A/0文件名稱背電極印刷操作規(guī)程頁 碼5/11在此對話框輸入相應(yīng)的工藝參數(shù)10.16 點(diǎn)擊工具欄上的“P”按鈕，在彈出的“Print parameters”窗口中輸入工藝參數(shù)。圖三 印刷工藝參數(shù)設(shè)置其中絲網(wǎng)間距（snap-off）、刮刀高度（down-stop）和印刷壓力（pressure）三項(xiàng)參數(shù)，員工可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行調(diào)整。 Pressure 刮刀 網(wǎng)框snap-off 絲網(wǎng)down-stop 硅片 印刷臺 圖四 印刷示意圖如圖四所示，絲網(wǎng)間距（snap-off）為印刷時(shí)絲網(wǎng)底部到印刷臺面的距離，刮刀高度

10、（down-stop）為刮刀下壓的深度，印刷壓力（pressure）為刮刀印刷時(shí)下壓的壓力。 Printing speed：200250mm/s Flood speed：600mm/s snap-off：-900-1500µm down-stop：-900-1500µm pressure：6085N江蘇林洋新能源有限公司文件編號SF03-GY-020-01版本狀態(tài)A/0文件名稱背電極印刷操作規(guī)程頁 碼6/11每班需要參照絲網(wǎng)印刷工序工藝參數(shù)更改表對工藝參數(shù)進(jìn)行點(diǎn)檢，填寫絲網(wǎng)印刷工藝參數(shù)點(diǎn)檢表中的項(xiàng)目。10.17 裝片接觸硅片時(shí)需佩戴乳膠手套，將PECVD鍍完膜片子的無膜面朝

11、上裝入承載盒中，注意板式PECVD生產(chǎn)的片子有掛鉤痕跡的兩邊應(yīng)垂直于裝片軌道。每盒裝片不超過300片。一般有兩個(gè)以上承載盒，一盒處于吸片器位置，另一盒處于軌道上等待位置，吸片器位置的承載盒生產(chǎn)完成后將自動(dòng)退出，而等待位置的承載盒將自動(dòng)補(bǔ)上，此時(shí)需及時(shí)將空承載盒重新裝片并放入軌道。10.18 對網(wǎng)眼10.18.1 點(diǎn)擊綠色“CIRCLE START”按鈕，等待前面烘干爐中的片子流入。硅片流入時(shí)，點(diǎn)擊工具欄上的“C”按鈕，將“Enable printing”前面的復(fù)選框取消，點(diǎn)擊綠色“CIRCLE START”按鈕，機(jī)器檢測到硅片后自動(dòng)探測網(wǎng)板的位置，若機(jī)器未能成功自動(dòng)對好網(wǎng)眼，則需要按照的步驟手

12、動(dòng)對網(wǎng)眼。10.18.2 換到手動(dòng)模式51菜單ImageLive cam9查看屏幕中的白色小圓是否在中心，如果不在進(jìn)行調(diào)整Move to set（100um）B（-）和F（+），先X，后Y將小圓移到中心位置（肉眼觀察即可）SaveVisionDefine search9PropertiesLive Acquire（至少3次）NextTrain調(diào)整圓和正方形的位置，使得近似相切TrainNextAcquireTest得到一組參數(shù)，查看其中的Score值，確認(rèn)在98%到100%之間（如果不在98%到100%之間，則重新開始）Finish。10.18.3 51菜單ImageLive cam10查看屏

13、幕中的白色小圓是否在中心，如果不在進(jìn)行調(diào)整Move to set（100um）B（-）和F（+），先X，后Y將小圓移到中心位置（肉眼觀察即可）SaveVisionDefine search10PropertiesLive Acquire（至少3次）NextTrain調(diào)整圓和正方形的位置，使得近似相切TrainNextAcquireTest得到一組參數(shù)，查看其中的Score值，確認(rèn)在98%到100%之間（如果不在98%到100%之間，則重新開始）Finish51菜單Confirm保存。10.18.4 換到自動(dòng)模式點(diǎn)擊綠色“CIRCLE START”按鈕開始對網(wǎng)眼（若再對不上網(wǎng)眼，通知設(shè)備人員）。

14、10.19 機(jī)器對好網(wǎng)眼后，點(diǎn)擊紅色“CIRCLE STOP”按鈕停下機(jī)器，點(diǎn)擊工具欄上的“C”按鈕，將“Enable printing”前面的復(fù)選框選中。11 機(jī)器運(yùn)行江蘇林洋新能源有限公司文件編號SF03-GY-020-01版本狀態(tài)A/0文件名稱背電極印刷操作規(guī)程頁 碼7/1111.1 確認(rèn)烘干爐溫度升至設(shè)定值時(shí)添加漿料11.1.1 加漿料之前，佩戴乳膠手套，用調(diào)墨刀把漿料上下攪動(dòng)1分鐘，再向印刷機(jī)上添加漿料。11.1.2 添加漿料時(shí)，用調(diào)墨刀在漿料中轉(zhuǎn)動(dòng)，再將黏附在調(diào)墨刀上的漿料刮到回料刀上，如圖四所示。新網(wǎng)版中應(yīng)按照上述方法添加3-5次。加完漿料點(diǎn)擊“CIRCLE START”按鈕開始

15、印刷。圖四 加一刮刀漿料示意11.1.3 生產(chǎn)過程中，網(wǎng)版上漿料的量應(yīng)在3倍上述調(diào)墨刀漿料的量至5倍調(diào)墨刀漿料的量，如圖五。當(dāng)小于3倍調(diào)墨刀漿料時(shí)添加漿料。每次添加漿料的量為兩次上述調(diào)墨刀上漿料的量。網(wǎng)版上回料刀回料時(shí)，漿料須覆蓋滿印刷區(qū)域（如不能覆蓋印刷區(qū)域，檢查漿料是否太少，或設(shè)備印刷不均勻，通知設(shè)備人員）。圖五 加三倍調(diào)墨刀的漿料量示意江蘇林洋新能源有限公司文件編號SF03-GY-020-01版本狀態(tài)A/0文件名稱背電極印刷操作規(guī)程頁 碼8/1111.1.4 每隔5分鐘須將印刷區(qū)域外的漿料用調(diào)墨刀鏟至印刷區(qū)域內(nèi)。11.2 開始生產(chǎn)時(shí)用游標(biāo)卡尺測量印刷電極與邊緣的距離以及平行偏移量，參照電

16、池片外觀檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)，通過調(diào)整wafer offset欄中x，y，theta的值直至符合要求為止。11.3 碎片處理11.3.1 機(jī)器運(yùn)行時(shí)，員工需在空閑時(shí)經(jīng)常檢查硅片是否存在隱裂，方法是戴干凈的乳膠手套輕輕敲擊硅片中間部位，若同一臺面連續(xù)出現(xiàn)兩片以上碎片，則應(yīng)在該臺面下一次運(yùn)行至操作窗口時(shí)按下“stop”，并檢查臺面。清除掉碎渣或其它異物，沒有明顯異物則換掉感光紙，仍不能解決則停機(jī)請?jiān)O(shè)備員檢修，解決問題后點(diǎn)擊“start”鍵繼續(xù)生產(chǎn)。11.3.2 生產(chǎn)過程中可能會出現(xiàn)吸片器吸碎片的現(xiàn)象，應(yīng)立即按下“stop”，清理完碎片后點(diǎn)擊“start”鍵繼續(xù)生產(chǎn)。若頻繁出現(xiàn)吸碎則報(bào)設(shè)備人員檢查維修。11.3

17、.3 印刷產(chǎn)生碎片時(shí)應(yīng)立即按下“stop”停機(jī)，按F5升起印刷頭，用無塵布輕輕擦掉網(wǎng)版底部的碎片，按下烘干爐“stop”鍵，清理下片機(jī)械臂上的碎片，然后按“CIRCLE START”鍵將碎片臺運(yùn)行至操作窗口再按下“stop”停機(jī)，處理臺面上的碎片，并檢查感光紙。處理完畢后點(diǎn)擊“start”鍵繼續(xù)生產(chǎn)。碎片粘在網(wǎng)版底部會導(dǎo)致漏印，嚴(yán)重漏印的片子（參照電池片外觀檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)）需挑出返工。11.3.4 上料臺或下料臺位置還可能會發(fā)生崩片，此時(shí)還應(yīng)檢查網(wǎng)版中是否掉落碎片，有則挑出。11.3.5 印刷前和印刷后的碎片應(yīng)分開放置、稱重并包裝，在標(biāo)簽上注明班次和工序。11.4 漏漿處理 11.4.1 印刷過程當(dāng)

18、出現(xiàn)網(wǎng)版漏漿的情況時(shí)，應(yīng)立即按下“stop”停機(jī)。先用無塵布擦拭網(wǎng)版漏漿點(diǎn)，擦拭網(wǎng)版的時(shí)候盡量要小面積擦拭，若非網(wǎng)版破損造成漏漿，則漏漿點(diǎn)在擦除后會消失，此時(shí)可以繼續(xù)生產(chǎn)。11.4.2 若為網(wǎng)版破損且在硅片之外發(fā)生漏漿，先將“MAN.STEP AUTO”鍵左旋至MAN.STEP即轉(zhuǎn)為手動(dòng)模式，按F5升起網(wǎng)版，用透明膠帶將漏漿點(diǎn)貼上繼續(xù)使用，注意粘貼膠帶要平整無褶皺且不能影響印刷圖形的完整性，否則需更換網(wǎng)版。每次取出網(wǎng)板時(shí)必須先取下刮刀及回料刀，以免損壞刮條及漿料污染機(jī)器。11.4.3 若漏漿發(fā)生在硅片上需更換新網(wǎng)版。11.4.4 參照電池片外觀檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)將漏漿的片子挑出返工。 11.5 更換網(wǎng)版

19、11.5.1 更換網(wǎng)版時(shí)先按“stop”停下機(jī)器，再按“F5”升起印刷頭，按“F4”解除網(wǎng)版鎖定。11.5.2 取下網(wǎng)版，放在網(wǎng)版定置區(qū)，在備用網(wǎng)版適配器裝上新網(wǎng)版然后裝入機(jī)器，江蘇林洋新能源有限公司文件編號SF03-GY-020-01版本狀態(tài)A/0文件名稱背電極印刷操作規(guī)程頁 碼9/11按“F4”鎖定網(wǎng)版。按照前述的方法對好網(wǎng)眼，添加漿料繼續(xù)生產(chǎn)。11.5.3 更換網(wǎng)版應(yīng)填寫網(wǎng)版更換記錄表。11.5.4 將報(bào)廢網(wǎng)版里面的可用漿料回收至正常使用的漿料瓶中，較干的漿料回收至報(bào)廢漿料瓶中，然后用刀片沿網(wǎng)框邊緣割掉絲網(wǎng)。11.5.5 用無塵布將網(wǎng)框和網(wǎng)版適配器擦干凈，網(wǎng)框放在定置區(qū)，由機(jī)動(dòng)人員退還倉

20、庫，適配器放在相應(yīng)定置區(qū)備用。11.5.6 所有沾有銀漿的垃圾必須回收，在垃圾袋外面貼上“銀漿” 標(biāo)簽，每班由機(jī)動(dòng)人員還至倉庫。11.6 換刮刀11.6.1 刮條在使用一段時(shí)間后會由于磨損而產(chǎn)生缺口，造成印刷電極上出現(xiàn)直線型凸痕，此時(shí)需要更換刮刀。11.6.2 按“stop”停下機(jī)器，按“F5” 升起印刷頭，用一張干凈的無塵布撲在印刷頭下方，以防干漿料掉落。先卸下回料刀，再卸下刮刀，用無塵布將回料刀擦拭干凈。11.6.3 將備用刮刀裝上，再裝上回料刀，取出無塵布，繼續(xù)生產(chǎn)。11.6.4 將換下的刮刀用酒精洗凈，卸下刮條，查看其它楞邊是否平滑可用，按照的方法裝好刮刀備用。將四條邊都不可用的刮條報(bào)廢。11.6.5 報(bào)廢的刮條洗凈放在定置區(qū)，由機(jī)動(dòng)人員統(tǒng)一退還倉庫。11.7 返工片處理方法參照絲網(wǎng)印刷返工片操作規(guī)程。12 應(yīng)急處理12.1 突然停電機(jī)器在正常運(yùn)行時(shí)突然停電，必須按下緊急按鈕，切斷主電源開關(guān)，清理掉臺面上未印刷的硅片，恢復(fù)供電時(shí)按正常開機(jī)順序進(jìn)行。12.2 突發(fā)事故機(jī)器運(yùn)行過程中驟然發(fā)生機(jī)械性卡死或其他不可預(yù)見性事故時(shí)，須立即按下急停按鈕,以免造成機(jī)器或人身損害。江蘇林洋新能源有限公司文件編號SF03-GY-020-01版本狀態(tài)A/0文件名稱背電極印