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文檔簡介

1、無源光MEMS器件應(yīng)用李振 15723745Passive optical device application典型元件反射鏡衍射光閘光傳輸線主要應(yīng)用u匹配WDM系統(tǒng)的微光纖器件u微型的醫(yī)療器具（光纖內(nèi)窺鏡）u圖像投射顯示光MEMS通信器件u可變光衰減器(VOA)靜電力可調(diào)型傾斜鏡SOI智能材料加工（DIRE深反應(yīng)離子刻蝕）光MEMS通信器件u可變光衰減器(VOA)直徑：6mm 厚度：30um單晶硅抗扭梁：1.5um寬 150um長工作電壓：5V將信號調(diào)節(jié)為40dB或更高抗靜電和溫度干擾機(jī)械穩(wěn)定性光MEMS通信器件u可變光衰減器(VOA)實(shí)現(xiàn)光網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵性器件廣泛應(yīng)用在光纖網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)中光MEMS

2、醫(yī)療器件u光纖內(nèi)窺鏡單模光纖傳輸信號（靜電處理）光伏電池全光路內(nèi)窺鏡光MEMS醫(yī)療器件u光纖內(nèi)窺鏡避免降低了漏電現(xiàn)象的危險(xiǎn)避免了電磁干擾光MEMS醫(yī)療器件uOCT系統(tǒng)（光學(xué)相干層析成像）u直線掃描組織圖像u組織橫斷圖像重組手指皮膚2D橫斷面圖(1mm)光MEMS醫(yī)療器件手指皮膚2D橫斷面圖(1mm)光學(xué)相干層析成像是一種新的三維層析成像技術(shù)。OCT基于低相干干涉原理獲得深度方向的層析能力，通過掃描可以重構(gòu)出生物組織或材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的二維或三維圖像，其信號對比度源于生物組織或材料內(nèi)部光學(xué)反射（散射）特性的空間變化。u光學(xué)相干層析成像(OCT)非接觸非侵入成像速度快（實(shí)時動態(tài)成像）探測靈敏度高光MEMS顯示器件u圖像投射顯示內(nèi)部常平支架（高諧振頻率）外構(gòu)架和曲折懸掛架（準(zhǔn)靜態(tài)）水平方向高頻響應(yīng)/垂直方向低頻響應(yīng)高分辨率圖像強(qiáng)度調(diào)制激光源光MEMS顯示器件u圖像投射顯示雙壓電晶片壓電薄膜（硅懸臂梁）光MEMS顯示器件u圖像投射顯示全彩顯示VGA移動

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