潔凈室測(cè)試實(shí)用程序

1、潔凈室測(cè)試實(shí)用程序 提要: 潔凈室安裝完畢以后,需要進(jìn)竣工驗(yàn)收測(cè)試.由于工程安裝實(shí)際情況及工期緊迫等問(wèn)題,常常使測(cè)試工作難以按常規(guī)程序進(jìn)行.本文根據(jù)實(shí)際的潔凈室測(cè)試經(jīng)驗(yàn),對(duì)潔凈室的測(cè)試條件,測(cè)試方法,測(cè)試程序,做一些總結(jié),以供交流。 目前的潔凈室特別是高級(jí)別潔凈室,施工要求高,難度大,各專業(yè)交叉作業(yè)多,而且工期緊迫.這些都會(huì)對(duì)最后的測(cè)試工作帶來(lái)影響.而潔凈室測(cè)試工作必須嚴(yán)格按照有關(guān)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行.本文根據(jù)單晶硅拋光片潔凈廠房項(xiàng)目的測(cè)試情況,予以說(shuō)明.本項(xiàng)目潔凈區(qū)總面積約1100平方米,包括1級(jí),10級(jí),100級(jí),1000級(jí),100000級(jí)5種級(jí)別的潔凈間,其中前四種潔凈間采用新風(fēng)加FFU機(jī)組和干

2、盤管的方式,雙層吊頂,100000級(jí)區(qū)域采用了空調(diào)機(jī)組加高效過(guò)濾風(fēng)口的方式,單層吊頂. 竣工驗(yàn)收測(cè)試,根據(jù)有關(guān)約定,在空態(tài)環(huán)境下進(jìn)行.一. 測(cè)試條件 潔凈室的竣工測(cè)試前,各施工項(xiàng)目必須全部完成,并做好如下工作,滿足測(cè)試要求:1. 潔凈區(qū)域內(nèi)及與之相關(guān)的施工作業(yè)已全部完成,如各類空調(diào)工藝等管道工程,通風(fēng)工程,電氣工程,潔凈室的結(jié)構(gòu)裝飾工程等.(有條件時(shí).應(yīng)對(duì)整個(gè)工程分部在無(wú)生產(chǎn)負(fù)荷的情況下進(jìn)行系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn).,調(diào)試).對(duì)于與工藝設(shè)備連接的涉及二次配管的風(fēng),液,氣管,需要從吊頂開(kāi)洞接入潔凈間,和從架空地板開(kāi)洞接入潔凈間時(shí),原則上應(yīng)該將吊頂盲板和架空地板的預(yù)留洞開(kāi)好,并將管道接入潔凈間內(nèi)的適當(dāng)位置.

3、2. 對(duì)潔凈室內(nèi)及與之相關(guān)的各分部工程作外觀及質(zhì)量檢查,對(duì)各專業(yè)及分包的分項(xiàng)工程, 作全面的嚴(yán)格檢查,對(duì)質(zhì)量缺陷及遺項(xiàng)做好補(bǔ)救措施.3. 對(duì)潔凈間圍護(hù)結(jié)構(gòu)的檢漏完成.主要是潔凈室內(nèi)的架空地板下分隔板,雙層吊頂內(nèi)的分 隔板的檢漏.4. 對(duì)潔凈室內(nèi)各設(shè)施表面進(jìn)行徹底的清潔,清掃.二. 測(cè)試準(zhǔn)備工作 施工全面完成后,進(jìn)行測(cè)試前,必須同時(shí)完成如下的準(zhǔn)備工作,以利測(cè)試工作的順利進(jìn)行.1.系統(tǒng)準(zhǔn)備:1.1單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)1.1.1 各新風(fēng)機(jī)組,排風(fēng)機(jī)組,空調(diào)機(jī)組 先檢查各送風(fēng),排風(fēng)機(jī)安全措施,轉(zhuǎn)動(dòng)葉輪,看有無(wú)卡阻及觸碰現(xiàn)象,檢查風(fēng)機(jī)潤(rùn)滑情況,然后點(diǎn)動(dòng)風(fēng)機(jī),檢查葉輪轉(zhuǎn)向是否正確,然后啟動(dòng)風(fēng)機(jī),在額定轉(zhuǎn)速下試運(yùn)轉(zhuǎn)至

4、少2小時(shí).試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)無(wú)異常振動(dòng),響聲. 注: . 實(shí)際施工中,新風(fēng)機(jī)組的單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn),往往早已開(kāi)始.這是因?yàn)樵跐崈艄こ淌┕み^(guò)程的非常潔凈階段,需要送入室外新風(fēng)或冷氣.一方面是維持室內(nèi)正壓,另一方面可以增加室內(nèi)舒適性,便于施工與清潔. . 對(duì)于如本項(xiàng)目高級(jí)別潔凈室,新風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)有三級(jí)過(guò)濾,在非常潔凈施工階段,啟動(dòng)新風(fēng)送風(fēng)時(shí),先在新風(fēng)機(jī)新風(fēng)進(jìn)風(fēng)口處,安裝臨時(shí)的無(wú)紡布,并安裝初效過(guò)濾器,然后啟動(dòng)風(fēng)機(jī)送風(fēng).以保證送入的新風(fēng)相對(duì)潔凈.當(dāng)工程施工進(jìn)入撕膜,打膠,清潔階段時(shí),在新風(fēng)機(jī)安裝中效過(guò)濾器,當(dāng)打膠清潔結(jié)束進(jìn)入超潔凈施工階段時(shí),應(yīng)將新風(fēng)機(jī)組的高效過(guò)濾器安裝上去,以確保新風(fēng)的潔凈程度.然后進(jìn)行高效過(guò)濾風(fēng)口及

5、FFU機(jī)組安裝.1.1.2 FFU機(jī)組 先檢查,看是否有線頭異物掉入風(fēng)機(jī)孔內(nèi),電源接線及接地情況是否可靠,符合要求,轉(zhuǎn)動(dòng)葉輪看有無(wú)觸碰現(xiàn)象,開(kāi)啟電源,點(diǎn)動(dòng)風(fēng)機(jī),看轉(zhuǎn)向是否正確.先將風(fēng)機(jī)擋位調(diào)到一檔,待風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)正常后調(diào)節(jié)到二擋(設(shè)計(jì)建議為3擋,調(diào)試后未生產(chǎn)時(shí)使用2擋).1.1.3 風(fēng)淋室(通道) 先檢查安全措施,電源及接地情況等,通電,按有關(guān)產(chǎn)品手冊(cè)予以檢查風(fēng)淋室的門及其鎖定,風(fēng)機(jī),噴淋口,報(bào)警等內(nèi)容.1.1.4 其他設(shè)備的試運(yùn)轉(zhuǎn)1.2系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)是在單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后進(jìn)行,先對(duì)各系統(tǒng)進(jìn)行安全檢查,以及各風(fēng)系統(tǒng)水系統(tǒng)部件,執(zhí)行機(jī)構(gòu),閥門,電氣等是否正確. 空調(diào),通風(fēng)及照明等系統(tǒng)通水

6、通電等,然后啟動(dòng)各排氣系統(tǒng),空調(diào)及送風(fēng)系統(tǒng),啟動(dòng)FFU機(jī)組,風(fēng)淋室等設(shè)備,進(jìn)行聯(lián)合運(yùn)行.聯(lián)動(dòng)試運(yùn)行時(shí),各系統(tǒng)設(shè)備必須聯(lián)動(dòng)正確,協(xié)調(diào),動(dòng)作正確,無(wú)異常現(xiàn)象.1.3空吹系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)后合格后,讓系統(tǒng)空吹.空吹時(shí)間至少24小時(shí).(空吹時(shí),FFU機(jī)組風(fēng)機(jī)進(jìn)口處的無(wú)紡布不要去掉)1.4徹底清潔空吹后,要對(duì)潔凈室內(nèi)進(jìn)行徹底清潔,主要是對(duì)潔凈室吊頂(除FFU外),四周墻板,及地面進(jìn)行擦拭,清除浮塵.對(duì)較高的潔凈室,應(yīng)使用純水,潔凈紙或潔凈布.空吹后清潔前,注意應(yīng)將臨時(shí)裝在FFU機(jī)組風(fēng)機(jī)進(jìn)口處的無(wú)紡布去掉,并小心處理. 2. 確定測(cè)試方案 2.1 確定測(cè)試內(nèi)容 潔凈室檢測(cè),根據(jù)種類和級(jí)別不同,有不同的檢測(cè)內(nèi)容

7、.具體檢測(cè)內(nèi)容可以依據(jù)潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范,和設(shè)計(jì)要求確定.潔凈室工程竣工驗(yàn)收測(cè)試一般要求如下表: 潔凈室竣工驗(yàn)收測(cè)試要求 序號(hào) 項(xiàng) 目竣工驗(yàn)收1室內(nèi)送風(fēng)量,新風(fēng)量(系統(tǒng)總風(fēng)量),室內(nèi)排風(fēng)量2靜壓差3截面平均風(fēng)速4截面風(fēng)速不均勻度5空氣潔凈度6浮游菌和沉降菌7室內(nèi)溫度和相對(duì)濕度8室溫(或濕度)波動(dòng)范圍和區(qū)域溫差9室內(nèi)噪音級(jí)10室內(nèi)倍頻程聲壓級(jí)11室內(nèi)照度和照度均勻度12室內(nèi)微振13表面導(dǎo)電性能14室內(nèi)氣流流型15流線平行性16自凈時(shí)間17通風(fēng)機(jī)風(fēng)量,數(shù)量18高效過(guò)濾器檢漏 注: -檢測(cè), -必要時(shí)檢測(cè) 根據(jù)上表及設(shè)計(jì)要求,確定檢測(cè)內(nèi)容后,即可制定潔凈室檢測(cè)方案.本項(xiàng)目根據(jù)設(shè)計(jì)要求確定檢測(cè)內(nèi)容為

8、:系統(tǒng)總新風(fēng)量,總送風(fēng)量,各房間排風(fēng)量及循環(huán)風(fēng)量各區(qū)域靜壓差1,10,100級(jí)潔凈間截面平均風(fēng)速空氣潔凈度等級(jí)室內(nèi)溫度和相對(duì)濕度(由另一家承包商負(fù)責(zé))室內(nèi)噪音級(jí)室內(nèi)照度通風(fēng)機(jī)風(fēng)量及轉(zhuǎn)速高效過(guò)濾起檢 2.2 選用測(cè)試儀器 粒子計(jì)數(shù)儀 1,10級(jí)潔凈室潔凈度檢測(cè)采用激光粒子計(jì)數(shù)器,100級(jí)以下的潔凈室采用光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器 熱球風(fēng)速儀 微壓計(jì) 照度計(jì) 聲壓計(jì) 2.3 確定測(cè)試方式及人員組成 對(duì)整個(gè)潔凈工程的測(cè)試要求及具體情況做仔細(xì)研究,確定測(cè)試人員的組成.本項(xiàng)目施工工期緊張,潔凈室級(jí)別種類多,送風(fēng)排風(fēng)管道風(fēng)口繁多,因此,測(cè)試調(diào)校工作任務(wù)多,時(shí)間緊.另外,潔凈度測(cè)試時(shí),室內(nèi)人員不超過(guò)3人,因此,測(cè)試采用

9、兩個(gè)組,每組3人. 系統(tǒng)排風(fēng)量調(diào)整檢測(cè),系統(tǒng)新風(fēng)量調(diào)整與靜壓差測(cè)試,是在全區(qū)域進(jìn)行的,由于需多次重復(fù)調(diào)節(jié),調(diào)整測(cè)試時(shí)間很長(zhǎng).這部分由一個(gè)組承擔(dān). 高效過(guò)濾器檢漏, 潔凈度的檢測(cè),溫濕度,噪音與照度等由另一個(gè)組承擔(dān). 經(jīng)過(guò)適當(dāng)安排,這兩個(gè)組可以同時(shí)開(kāi)展工作.2.4 測(cè)試資料準(zhǔn)備 測(cè)試資料,包括各類參數(shù)測(cè)試數(shù)據(jù)記錄表,各測(cè)試參數(shù)采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖.先根據(jù)各級(jí)別潔凈間面積和要求,確定采用點(diǎn)分布圖,再根據(jù)分布圖,制作測(cè)試數(shù)據(jù)記錄表,記錄表中,需載明設(shè)計(jì)值,測(cè)試值,評(píng)判標(biāo)準(zhǔn)及評(píng)判結(jié)果. 2.4.1 采樣點(diǎn)及測(cè)試分布圖 依照潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范及潔凈室施工驗(yàn)收規(guī)范,以及設(shè)計(jì)要求繪制各測(cè)試參數(shù)采樣測(cè)試點(diǎn)分布圖.本項(xiàng)目

10、主要測(cè)試點(diǎn)分布圖有: 排風(fēng)(口)測(cè)試分布圖(風(fēng)口編號(hào)) 新風(fēng)(口)測(cè)試分布圖(風(fēng)口編號(hào)) 靜壓差測(cè)試平面圖 FFU分布(檢漏)圖 潔凈度測(cè)試采樣點(diǎn)分布圖 溫濕度測(cè)試點(diǎn)分布圖 照度測(cè)試采樣點(diǎn)圖 噪音測(cè)試采樣點(diǎn)圖圖一 采樣點(diǎn)布置示意圖 2.4.2 采樣數(shù)據(jù)記錄表 然后制作參數(shù)測(cè)試數(shù)據(jù)記錄表,將測(cè)試數(shù)據(jù)記錄表與采樣點(diǎn)圖對(duì)應(yīng)編號(hào)設(shè)置,做到清楚明了.數(shù)據(jù)記錄表祥見(jiàn)附表.附表1 系統(tǒng)總排風(fēng)量測(cè)試數(shù)據(jù)表附表2 系統(tǒng)總送風(fēng)量測(cè)試數(shù)據(jù)表附表3 系統(tǒng)總送風(fēng)量測(cè)試數(shù)據(jù)表附表4 送、回、排風(fēng)口風(fēng)量測(cè)試數(shù)據(jù)表附表5 系統(tǒng)房間壓力測(cè)試數(shù)據(jù)表附表6 系統(tǒng)潔凈度測(cè)試資數(shù)據(jù)表附表7 系統(tǒng)潔凈度測(cè)試數(shù)據(jù)表附表8 系統(tǒng)房間溫濕度測(cè)

11、試數(shù)據(jù)表附表9 系統(tǒng)房間噪聲測(cè)試數(shù)據(jù)表附表10系統(tǒng)照度測(cè)試數(shù)據(jù)表附表11電機(jī)轉(zhuǎn)速測(cè)試數(shù)據(jù)表三. 系統(tǒng)測(cè)試 系統(tǒng)測(cè)試基本涵蓋所有子系統(tǒng),如排風(fēng)系統(tǒng),新風(fēng)系統(tǒng),溫濕度控制系統(tǒng),潔凈循環(huán)系統(tǒng),噪音和振動(dòng)控制系統(tǒng),照明系統(tǒng),靜電消除系統(tǒng),潔凈室結(jié)構(gòu)等.各個(gè)系統(tǒng)承包商負(fù)責(zé)測(cè)試各自承包的系統(tǒng)所對(duì)應(yīng)的測(cè)試內(nèi)容,以完成潔凈廠房的全部測(cè)試. 系統(tǒng)測(cè)試是在經(jīng)過(guò)至少24小時(shí)空吹后,并按一定的先后順序進(jìn)行.首先是排風(fēng)系統(tǒng)的調(diào)節(jié)與測(cè)試,之后是新風(fēng)系統(tǒng)的調(diào)節(jié)與測(cè)試,其他測(cè)試項(xiàng)目數(shù)據(jù)是在設(shè)定的排風(fēng)和新風(fēng)情況下獲得,如果要加快測(cè)試進(jìn)度,可以在獲得設(shè)計(jì)的總排風(fēng)量和總新風(fēng)量后,可以將其他測(cè)試工作適當(dāng)提前搭接同時(shí)進(jìn)行.1. 排風(fēng)系

12、統(tǒng)測(cè)試1.1 測(cè)試儀器: 熱球風(fēng)速儀 1.2 測(cè)試方法和步驟 1.2.1 將所有支管風(fēng)閥全部打開(kāi),啟動(dòng)排風(fēng)機(jī). 1.2.2 在排風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)總風(fēng)管上選擇測(cè)點(diǎn)位置,測(cè)量系統(tǒng)總風(fēng)量.測(cè)定截面位置原則上選擇在氣流比較均勻穩(wěn)定的地方,距局部阻力部件的距離,在阻力部件前不少于3倍風(fēng)管管徑或長(zhǎng)邊長(zhǎng)度,在局部阻力部件之后不少于5倍風(fēng)管管徑或長(zhǎng)邊長(zhǎng)度. 1.2.3 選定測(cè)試截面后,確定測(cè)點(diǎn)位置. 對(duì)于矩行風(fēng)管,將風(fēng)管分成若干相等的小截面,盡可能接近正方行,在每一個(gè)正方行的中心測(cè)試風(fēng)速.然后取平均值求出其風(fēng)量. 管道邊尺寸L/W小于450MM,等截面邊長(zhǎng)A必須不超過(guò)150MM(每邊至少2個(gè)測(cè)點(diǎn)) 管道邊尺寸L/W大

13、于1400MM,等截面邊長(zhǎng)A必須不超過(guò)200MM. 管道邊尺寸L/W在450-1400MM,等截面邊長(zhǎng)A取150-200MM. 示意圖如下: 對(duì)于圓形風(fēng)管,按等面積圓環(huán)法劃分測(cè)定截面和確定測(cè)點(diǎn)數(shù),也可以按下表確定:風(fēng)管直徑/MM<200200-400400-700700圓環(huán)個(gè)數(shù)345>6 圖二 風(fēng)管測(cè)點(diǎn)示意圖 1.2.4 按上述方式測(cè)出系統(tǒng)總風(fēng)量后,按同樣方法測(cè)出每一條道潔凈室支管的風(fēng)量.如果測(cè)試風(fēng)量與設(shè)計(jì)風(fēng)量不符,則調(diào)節(jié)各支管閥門,再測(cè)試,如此重復(fù)幾次,直到達(dá)到所需的風(fēng)量. 1.3 評(píng)定標(biāo)準(zhǔn) 系統(tǒng)總風(fēng)量與設(shè)計(jì)風(fēng)量的允許偏差為0-20,各風(fēng)口風(fēng)量與設(shè)計(jì)風(fēng)量的風(fēng)量之差不超過(guò)152.

14、新風(fēng)系統(tǒng)及房間正壓測(cè)試2.1測(cè)試儀器: 熱球風(fēng)速儀,微壓計(jì)(靈敏度小于0.1Pa)2.2 測(cè)試方法和步驟 2.2.1 排風(fēng)系統(tǒng)測(cè)試完畢后,再開(kāi)始測(cè)試新風(fēng)系統(tǒng). 2.2.2 潔凈室門全部關(guān)閉,打開(kāi)所有風(fēng)管的閥門,啟動(dòng)新風(fēng)機(jī)組. 2.2.3 可以用和排風(fēng)測(cè)試相同的方法,依照設(shè)計(jì)新風(fēng)量,調(diào)整并測(cè)出新風(fēng)的總風(fēng)量. 2.2.4 根據(jù)每個(gè)新風(fēng)口或潔凈室的設(shè)計(jì)新風(fēng)量,調(diào)節(jié)并測(cè)試每個(gè)風(fēng)口的新風(fēng)量,使之與設(shè)計(jì)風(fēng)量相近. 如果測(cè)試風(fēng)量與設(shè)計(jì)風(fēng)量不符,則調(diào)節(jié)各支管閥門,再測(cè)試,如此重復(fù)幾次,直到達(dá)到所需的風(fēng)量. 2.2.5 一個(gè)潔凈室,由一條風(fēng)管送風(fēng)時(shí),也可以采用相同的方法測(cè)試. 潔凈室內(nèi)由新風(fēng)口送風(fēng)時(shí),可以測(cè)定風(fēng)

15、口風(fēng)量. 根據(jù)風(fēng)口形式選輔助風(fēng)管，即用硬質(zhì)板材做成與風(fēng)口內(nèi)截面相同、長(zhǎng)度等于2倍風(fēng)口邊長(zhǎng)的直管段連接與風(fēng)口外部，在輔助風(fēng)管出口平面上，按最少測(cè)點(diǎn)數(shù)不少于6點(diǎn)均勻布置測(cè)點(diǎn)，用熱球風(fēng)速儀測(cè)定各點(diǎn)風(fēng)速。以風(fēng)管出口截面平均風(fēng)速乘以風(fēng)管出口截面積確定風(fēng)量。 2.2.6 按照設(shè)計(jì)新風(fēng)量調(diào)節(jié)后,各房間應(yīng)能形成相對(duì)的正壓,如果達(dá)不到相對(duì)的正壓,則可繼續(xù)調(diào)節(jié)風(fēng)口,直到達(dá)到要求,這時(shí)不需要求與設(shè)計(jì)風(fēng)量相近. 2.2.7 正式測(cè)出潔凈室之間的正壓 測(cè)試應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依此進(jìn)行,在架空地板下的分隔板上開(kāi)一個(gè)小孔,經(jīng)該小孔和架空地板空,將微壓計(jì)膠管連接到相鄰的兩間潔凈室,測(cè)出靜壓值.(有些將微壓計(jì)膠管經(jīng)潔凈室門

16、縫測(cè)試.)如果到不到如下要求的靜壓值,則重復(fù)幾次,直到達(dá)到規(guī)定值. 相鄰潔凈室 靜壓差(PA) 1級(jí)與10級(jí) 12.5 10級(jí)與100級(jí) 12.5 100級(jí)與1000級(jí) 5.0 1000級(jí)與10000級(jí) 5.0 10000級(jí)與100000級(jí) 5.0 100000級(jí)與無(wú)潔凈區(qū)域 12.5 2.2.8 微粒數(shù)的測(cè)定 該測(cè)定的目的是檢查新風(fēng)機(jī)組高效過(guò)濾器之間是否漏風(fēng)。制造300 x 300 x 400長(zhǎng)及400長(zhǎng)的L型風(fēng)管，把風(fēng)管抹干凈，其中一端壓在部分出風(fēng)口，另一端用風(fēng)速儀測(cè)其風(fēng)速，風(fēng)速必須在0.5米/秒以下，如果風(fēng)速太大，壓在風(fēng)口的部分減少，以確保風(fēng)速在0.5米/秒以下，用粒子計(jì)數(shù)儀測(cè)其顆粒度，

17、如果達(dá)到100級(jí)以上證明裝在新風(fēng)機(jī)組高效過(guò)濾器之間無(wú)漏。 3. 截面平均風(fēng)速及循環(huán)風(fēng)量的測(cè)試 3.1 測(cè)試儀器 熱球風(fēng)速儀 3.2 測(cè)試方法 3.2.1 截面風(fēng)速及循環(huán)風(fēng)量測(cè)試是在排風(fēng)及新風(fēng)系統(tǒng)調(diào)節(jié)測(cè)試之后進(jìn)行.測(cè)試時(shí),確 保各排風(fēng)及新風(fēng)系統(tǒng)正常運(yùn)行. 3.2.2 安裝好高效過(guò)濾器或FFU機(jī)組.并檢查其處于正常的運(yùn)行狀態(tài). 3.2.3 單向流潔凈室 測(cè)定截面取距高效過(guò)濾器或FFU機(jī)組0.3M并垂直于氣流的水平截面;對(duì)水平單 向流潔凈室,測(cè)定截面取距送風(fēng)面0.3M的垂直截面.測(cè)點(diǎn)間距不大于0.6M/個(gè),測(cè) 數(shù)不少于5個(gè),并均勻布置.記錄所有測(cè)點(diǎn)的數(shù)值,取算術(shù)平均值作為截面平均風(fēng) 速 單向流潔凈室

18、循環(huán)風(fēng)量按下式計(jì)算: Q=V*F*3600 式中: Q-潔凈室送風(fēng)量 M3/S F-測(cè)定截面面積 M2 V-截面平均風(fēng)速 M/S 3.2.4 非單向流潔凈室 非單向流潔凈室的循環(huán)風(fēng)量,根據(jù)實(shí)際情況,可以采用風(fēng)口法或風(fēng)管法測(cè)定.測(cè) 定方法參照上述風(fēng)量測(cè)定方法.4. 高效過(guò)濾器檢漏,潔凈度測(cè)試及潔凈循環(huán)系統(tǒng) 4.1 測(cè)試儀器 光學(xué)粒子計(jì)數(shù)儀,激光粒子計(jì)數(shù)儀,熱球風(fēng)速儀 4.2 測(cè)試方法和步驟 4.2.1 原則上,將上述三項(xiàng)測(cè)試項(xiàng)目完成后,在進(jìn)行本項(xiàng)的測(cè)試. 4.2.2 檢查各送排風(fēng)及高效過(guò)濾器正常運(yùn)行,按照預(yù)先準(zhǔn)備的方案和人員組成,進(jìn)行測(cè)試. 4.2.3 為了加快進(jìn)度,并做到對(duì)個(gè)潔凈室潔凈情況有一

19、個(gè)預(yù)先的了解,可以在每個(gè)潔 凈室取一到兩個(gè)測(cè)點(diǎn),用粒子計(jì)數(shù)儀測(cè)試,記錄分析所取得的測(cè)試數(shù)據(jù).如果有異?；虿荒苓_(dá)標(biāo)的數(shù)據(jù)出現(xiàn),則在檢漏時(shí),做重點(diǎn)檢查.4.2.4高效過(guò)濾器的檢漏 高效過(guò)濾器的本體性能實(shí)驗(yàn)檢測(cè),應(yīng)在產(chǎn)品出廠前完成,現(xiàn)場(chǎng)主要是為確認(rèn)高效過(guò)濾的正確安裝狀態(tài)而進(jìn)行泄露檢測(cè). 采用掃描法對(duì)高效過(guò)濾器安裝拼逢和主斷面進(jìn)行檢測(cè),檢測(cè)點(diǎn)距被測(cè)表面20-30MM,測(cè)頭以20-50MM/S的速度移動(dòng),對(duì)被測(cè)過(guò)濾器整個(gè)表面,封膠頭,和安裝框架處進(jìn)行掃描.粒子計(jì)數(shù)器最小采樣量大于1L/MIN. 圖三 高效過(guò)濾器檢漏示意圖 檢測(cè)時(shí),如發(fā)現(xiàn)有漏塵,將測(cè)出的數(shù)據(jù)記錄在FFU(或高效過(guò)濾器)分布(檢漏)圖上).

20、如有發(fā)現(xiàn)有不尋常的讀數(shù),則證實(shí)高效過(guò)濾器有漏,需要實(shí)施更換或做其他處理. 4.2.5 潔凈度測(cè)試 4.2.5.1 采用速率大于1L/MIN的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器. 1,10級(jí)潔凈室潔凈度檢測(cè)采用激光粒子計(jì)數(shù)器,100級(jí)以下的潔凈室采用光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器 4.2.5.2 采樣點(diǎn)數(shù)量 采樣點(diǎn)數(shù)量按下式計(jì)算: NL=A0.5 式中 NL-最小采樣點(diǎn)數(shù) A-潔凈室或潔凈區(qū)面積,M2 水平單向流時(shí),A可以看成是與氣流垂直的空氣的截面積.采樣點(diǎn)均勻分布在整個(gè)潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi),并位于工作區(qū)的高度內(nèi)(距地面0.8米的水平面).或設(shè)計(jì)指定的位置. 4.2.5.3 采樣量 按規(guī)范規(guī)定,在指定的空氣潔凈度等級(jí)下被考慮粒徑的最

21、大濃度限值時(shí),在每個(gè)采樣點(diǎn)要采集能保證檢測(cè)出至少20個(gè)粒子的空氣量.采樣點(diǎn)采樣量按下式確定: VS=20/CN.M*1000 式中 VS -每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量 CN.M 被測(cè)潔凈室被考慮粒徑的最大濃度值 20在規(guī)定被測(cè)粒徑粒子的空氣潔凈度等級(jí)限值 時(shí)，科檢測(cè)到的粒子數(shù) 采樣量至少大于1L，采樣時(shí)間最少為1分鐘，并且每個(gè)采樣點(diǎn)至少采樣三次。 4.2.5.3 采樣規(guī)定 a. 采樣時(shí)，采樣口出氣流速度，應(yīng)盡可能接近室內(nèi)設(shè)計(jì)氣流速度 b. 對(duì)單向流潔凈室，采樣管口應(yīng)迎這氣流方向，對(duì)于非單向流潔潔凈室，采樣管口應(yīng)向上。 c. 采樣管口必須干凈，連接處不得有滲漏，采樣管的長(zhǎng)度應(yīng)根據(jù)允許長(zhǎng)度，如果無(wú)規(guī)定，不

22、宜大于1.5米。 d. 室內(nèi)檢測(cè)人員必須著潔凈服，且不宜超過(guò)3人，應(yīng)遠(yuǎn)離或位于采樣點(diǎn)的下風(fēng)側(cè)，靜止不動(dòng)或微動(dòng)。 4.2.5.4 采樣點(diǎn)位置 采樣點(diǎn)位于潔凈室工作區(qū)高度（距地面0.9米高度).并且均勻分布。 4.3 合格標(biāo)準(zhǔn) 對(duì)潔凈室的每次采樣測(cè)量的結(jié)果與空氣潔凈度等級(jí)相關(guān)的各個(gè)被考慮粒徑的濃度記錄下來(lái)，并計(jì)算采樣數(shù)據(jù)的平均值。如果在各個(gè)采樣點(diǎn)測(cè)得的粒子（平均）濃度小于等于級(jí)別上限濃度，及室內(nèi)平均濃度統(tǒng)計(jì)值95%置信上限小于等于級(jí)別上限，則該潔凈室被認(rèn)為達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)。潔凈度等級(jí)及粒子濃度限值如下表: 潔凈度等級(jí)大于或等于表中粒徑D的最大濃度Cn（pc/m3）0.1m0.2m0.3m0

23、.5m1.0m5.0m11,000-1010,000-100-10,200-1000-102,000-10000-350,000-100000-3,500,000- 5. 潔凈室溫濕度測(cè)試 5.1 測(cè)試儀器 溫度計(jì)，濕度計(jì)（根據(jù)溫濕度精度要求選擇合適精度的測(cè)試用溫濕度儀器）5.2 測(cè)試方法 5.2.1 測(cè)試采樣點(diǎn)的確定 a 采樣點(diǎn)距地0.8米，距外墻0.5米（單向流潔凈室0.2米），均勻布置。b 房間有無(wú)溫濕度要求時(shí)，可以只測(cè)房間中心一點(diǎn)即可。當(dāng)有溫濕度要求時(shí)，可以按下表確定：波動(dòng)范圍測(cè)定儀器測(cè)點(diǎn)數(shù)量溫度（t）<±0.5小量程溫度自動(dòng)記錄議或0.01刻度的水銀溫度計(jì)測(cè)點(diǎn)間距為0

24、.52.0M，每間測(cè)點(diǎn)不少于20點(diǎn)相對(duì)濕度（RH）<±5氯化鋰溫濕度計(jì)t±0.5±20.1刻度水銀溫度計(jì)面積50平米，測(cè)點(diǎn)5點(diǎn)，>50平米，每增加2050平米，增加35點(diǎn)RH±5±100.2刻度的干濕球溫度計(jì)t>±20.2刻度水銀溫度計(jì)面積50平米，測(cè)一點(diǎn)，當(dāng)>50平米，每增加50平米，增加一個(gè)測(cè)點(diǎn)RH>±10通風(fēng)干濕球溫濕度計(jì) 5.2.2 檢測(cè)溫濕度控制 將溫濕度的敏感組件，人為得加入信號(hào)，檢查溫濕度控制閥或其它控制裝置動(dòng)作是否正確。即人為地升高或降低溫度和濕度，觀察閥門地開(kāi)啟與關(guān)閉狀態(tài)，以及

25、其它控制組件地動(dòng)作，是否符合要求。5.2.3 測(cè)試溫濕度 將在各測(cè)點(diǎn)得到地溫濕度數(shù)據(jù)記錄在測(cè)試數(shù)據(jù)表上。 5.3 合格標(biāo)準(zhǔn) 室溫波動(dòng)范圍按各測(cè)點(diǎn)地各次溫度中，偏差控制溫度地最大值，整理成統(tǒng)計(jì)曲線，如90以上測(cè)點(diǎn)偏差值在室溫控制范圍內(nèi)，為符合設(shè)計(jì)要求。相對(duì)濕度波動(dòng)范圍按溫度的處理方法進(jìn)行。 6噪音的測(cè)試 6.1 測(cè)試儀器 帶倍頻程分析的聲壓計(jì)（本項(xiàng)目只測(cè)試A聲級(jí)的數(shù)據(jù)） 6.2 檢測(cè)方法 a 測(cè)點(diǎn)布置 當(dāng)面積小于50平方米時(shí)，僅測(cè)房間中心一個(gè)點(diǎn)，每增加50平方米，增加一個(gè)測(cè)點(diǎn)（國(guó)標(biāo)）。測(cè)試位置為工作區(qū)高度（可選距地面1.0米和1.6米兩個(gè)水平斷面）。（當(dāng)采用NEBB標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，測(cè)點(diǎn)數(shù)按1.5米*1.

26、5米選取）b 記錄測(cè)試A聲壓級(jí)數(shù)據(jù)6.3 合格標(biāo)準(zhǔn) 符合設(shè)計(jì)要求或按«潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范»中的規(guī)定，在空態(tài)情況下，非單向流的潔凈室的噪聲級(jí)不大于60Db（A）,單向流，混和流潔凈室的噪聲級(jí)不大于65dB.潔凈室的噪聲頻譜限制的各頻帶的聲壓值不應(yīng)大于規(guī)范中的規(guī)定。7照度的測(cè)試7.1 測(cè)試儀器 照度儀7.2 測(cè)試方法 a 測(cè)點(diǎn)平面距地面0.85米，按間距12米布點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)距墻1米。其基本要求與潔凈度的測(cè)定位置要求相同。b 記錄實(shí)測(cè)照度值，并計(jì)算總的平均照度值c 照度測(cè)定一般僅測(cè)定除局部照明外的一般照明。7.3 合格標(biāo)準(zhǔn) 符合設(shè)計(jì)要求或相關(guān)規(guī)范要求。無(wú)采光窗的潔凈區(qū)工作面上的照度值，

27、不應(yīng)低于相關(guān)規(guī)定，無(wú)采光窗的潔凈區(qū)混合照明中的一般照明，其照度值按各視覺(jué)等級(jí)相應(yīng)混合照度值的1015確定，并不低于200Lx。一般照度均勻度不應(yīng)小于0.7四提出測(cè)試報(bào)告所有測(cè)試項(xiàng)目全部完成后，應(yīng)對(duì)測(cè)試原始數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算和評(píng)價(jià)分析，以確定所有測(cè)試結(jié)果是否在規(guī)定值之內(nèi)。如果在之內(nèi)，說(shuō)明該潔凈室符合規(guī)定要求，否則，不符合要求，需要進(jìn)行改進(jìn)或其它返工。并同時(shí)提出測(cè)試報(bào)告。測(cè)試報(bào)告一般應(yīng)包括如下內(nèi)容：1. 測(cè)試機(jī)構(gòu)名稱，地址2. 測(cè)試日期，測(cè)試者姓名3. 執(zhí)行的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)4. 有關(guān)測(cè)試儀器的型號(hào)，規(guī)格，精度，標(biāo)定證書和有效日期5. 被測(cè)潔凈室的平面圖，采樣點(diǎn)分布圖，原始數(shù)據(jù)記錄表格等資料 6. 測(cè)試結(jié)果，數(shù)

28、據(jù)分析及異常測(cè)試數(shù)據(jù)的說(shuō)明和處理7. 結(jié)論附表1系統(tǒng)總排風(fēng)量測(cè)試數(shù)據(jù)表 NO:儀器名稱風(fēng)速儀 風(fēng) 管 測(cè) 點(diǎn) 布 置 圖 1 2 3 4 5 6ABC儀器型號(hào)儀器檢定有效期測(cè)試時(shí)間2005-8-17設(shè)計(jì)風(fēng)量系統(tǒng)名稱測(cè)點(diǎn)A數(shù)值（m/s）測(cè)點(diǎn)B數(shù)值（m/s）測(cè)點(diǎn)C數(shù)值（m/s）備注111222333444555666777888999101010測(cè)試風(fēng)量測(cè)試偏差允許偏差建設(shè)單位代表簽字：測(cè)試人簽字：技術(shù)負(fù)責(zé)人簽字：項(xiàng)目經(jīng)理簽字：附表2系統(tǒng)總送風(fēng)量測(cè)試數(shù)據(jù)表 NO:儀器名稱風(fēng)速儀 風(fēng) 管 測(cè) 點(diǎn) 布 置 圖 1 2 3 4 5 6ABC儀器型號(hào)儀器檢定有效期測(cè)試時(shí)間2005-8-17設(shè)計(jì)風(fēng)量系統(tǒng)名稱測(cè)點(diǎn)A數(shù)值（m/s）測(cè)點(diǎn)B數(shù)值（m/s）測(cè)點(diǎn)C數(shù)值（m/s）備注111222333444555666777888999101010測(cè)試風(fēng)量測(cè)試偏差允許偏差建設(shè)單位代表簽字：測(cè)試人簽字：技術(shù)負(fù)責(zé)人簽字：項(xiàng)目經(jīng)理簽字：附表3系統(tǒng)風(fēng)量測(cè)試資數(shù)據(jù)表系統(tǒng)總送風(fēng)量測(cè)試數(shù)據(jù)表 系統(tǒng)名稱測(cè)試風(fēng)量設(shè)計(jì)風(fēng)量實(shí)際偏差允許偏差評(píng)定年 月 日 時(shí) 分建