




版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、半導(dǎo)體器件基礎(chǔ)1教材:n半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理,孟慶巨,孟慶巨,劉海波,孟,劉海波,孟慶輝編著慶輝編著n半導(dǎo)體物理與器件半導(dǎo)體物理與器件第三版,第三版,Donald A.Neamen著,趙毅強,姚素英,解曉東等譯著,趙毅強,姚素英,解曉東等譯2參考書:參考書:固體物理教程固體物理教程,黃昆原著,韓汝琦改編:,黃昆原著,韓汝琦改編:高等教育出版社,1988年版。 半導(dǎo)體物理學(xué)半導(dǎo)體物理學(xué),第五版,劉恩科、朱秉升,第五版,劉恩科、朱秉升等,電子工業(yè)出版社,等,電子工業(yè)出版社,2004。Physics of Semiconductor Devices,美美 施敏著,電子工業(yè)出版社(中譯本)施敏
2、著,電子工業(yè)出版社(中譯本)1996。3課程主要內(nèi)容n第一章:半導(dǎo)體物理基礎(chǔ)第一章:半導(dǎo)體物理基礎(chǔ)n第二章:第二章:PN結(jié)結(jié)n第三章:雙極結(jié)型晶體管第三章:雙極結(jié)型晶體管n第四章:金屬第四章:金屬-半導(dǎo)體結(jié)半導(dǎo)體結(jié)n第五章:結(jié)型和金半場效應(yīng)管第五章:結(jié)型和金半場效應(yīng)管n第六章:第六章:MOSFETn第七章:半導(dǎo)體太陽電池和光電二極管第七章:半導(dǎo)體太陽電池和光電二極管n第八章:發(fā)光二極管第八章:發(fā)光二極管4緒論n什么是半導(dǎo)體什么是半導(dǎo)體按固體的導(dǎo)電能力區(qū)分,可以區(qū)分為導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體 表1.1 導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體的電阻率范圍材料導(dǎo)體半導(dǎo)體絕緣體電阻率(cm) 10-310-31091095
3、緒論 半導(dǎo)體具有一些重要特性,主要包括:n溫度升高使半導(dǎo)體導(dǎo)電能力增強,電阻率下降溫度升高使半導(dǎo)體導(dǎo)電能力增強,電阻率下降 如室溫附近的純硅(Si),溫度每增加8,電阻率相應(yīng)地降低50%左右n微量雜質(zhì)含量可以顯著改變半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力微量雜質(zhì)含量可以顯著改變半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力 以純硅中每100萬個硅原子摻進一個族雜質(zhì)(比如磷)為例,這時 硅的純度仍高達99.9999%,但電阻率在室溫下卻由大約214,000cm降至0.2cm以下n適當(dāng)波長的光照可以改變半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力適當(dāng)波長的光照可以改變半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力 如在絕緣襯底上制備的硫化鎘(CdS)薄膜,無光照時的電阻為幾十M,當(dāng)受光照后電阻值可以下降為
4、幾十Kn此外,半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力還隨電場、磁場等的作用而改變此外,半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力還隨電場、磁場等的作用而改變6第一章半導(dǎo)體物理基礎(chǔ)71.1 固體晶體結(jié)構(gòu)1.2載流子狀態(tài)和統(tǒng)計分布1.3平衡半導(dǎo)體1.4載流子輸運1.5非平衡半導(dǎo)體81.1固體晶體結(jié)構(gòu)1.1.1半導(dǎo)體材料n元素半導(dǎo)體(Si、 Ge)n化合物半導(dǎo)體(雙元素,三元素等)91.1.2固體類型 半導(dǎo)體的晶體結(jié)構(gòu)一、晶體的基本知識一、晶體的基本知識 長期以來將固體分為:晶體和非晶體。晶體和非晶體。晶體的基本特點:晶體的基本特點: 具有一定的外形和固定的熔點,組成晶體的原子(或離子)在較大的范圍內(nèi)(至少是微米量級)是按一定的方式有規(guī)則的排列而
5、成長程有序。(如Si,Ge,GaAs)101.1.2固體類型 半導(dǎo)體的晶體結(jié)構(gòu)晶體又可分為:單晶和多晶。單晶和多晶。單晶:單晶:指整個晶體主要由原子(或離子)的一 種規(guī)則排列方式所貫穿。常用的半導(dǎo)體材料鍺(Ge)、硅(Si)、砷化鎵 (GaAs)都是單晶。多晶:多晶:是由大量的微小單晶體(晶粒)隨機堆積成的整塊材料,如各種金屬材料和電子陶瓷材料。(晶界分離)111.1.2固體類型 半導(dǎo)體的晶體結(jié)構(gòu) 非晶(體)的基本特點:非晶(體)的基本特點: 無規(guī)則的外形和固定的熔點,內(nèi)部結(jié)構(gòu)也不存在長程有序,但在若干原子間距內(nèi)的較小范圍內(nèi)存在結(jié)構(gòu)上的有序排列短程有序 (如非晶硅:a-Si) 121.1.2固
6、體類型 半導(dǎo)體的晶體結(jié)構(gòu)n非晶體(無定型)n多晶n單晶131.1.3空間晶格 晶體是由原子周期性重復(fù)排列構(gòu)成的,整個晶體就像網(wǎng)格,稱為晶格晶格,組成晶體的原子(或離子)的重心位置稱為格點格點,格點的總體稱為點陣點陣。141.1.3空間晶格1.3.1 晶胞和原胞n1、晶胞可以復(fù)制成整個晶體的一小部分(基本單元,可以不同)151.1.3空間晶格晶胞和原胞n2、原胞可以形成晶體的最小的晶胞 廣義三維晶胞的表示方法:晶胞和晶格的關(guān)系csbqapr161.1.3空間晶格1.3.2 基本晶體結(jié)構(gòu)n簡立方sc體心立方bcc面心立方fcc171.1.3空間晶格1.3.3晶面與密勒指數(shù)n1、晶面表示方法:(1)
7、平面截距:3,2,1(2)平面截距的倒數(shù):1/3,1/2,1(3) 倒數(shù)乘以最小公分母:2,3,6平面用(236)標記,這些整數(shù)稱為密勒指數(shù)。晶面可用密勒指數(shù)(截距的倒數(shù))來表示:(hkl)181.1.3空間晶格晶面與密勒指數(shù)n簡立方晶體的三種晶面 (100) (110) (111) 191.1.3空間晶格晶面與密勒指數(shù)n2、晶向通過晶體中原子中心的不同方向的原子列hkl201.1.3空間晶格1.3.4 金剛石結(jié)構(gòu)n金剛石結(jié)構(gòu)211.1.3空間晶格金剛石結(jié)構(gòu)n四面體結(jié)構(gòu)221.1.3空間晶格金剛石結(jié)構(gòu)n金剛石晶格231.1.3空間晶格金剛石結(jié)構(gòu)n閃鋅礦結(jié)構(gòu)(GaAs)n不同原子構(gòu)成的四面體24
8、1.1.4原子價鍵n離子鍵(NaCl庫侖力)n共價鍵 (H2共用電子對)n金屬鍵 (Na電子海洋)n范德華鍵(弱HF 電偶極子存在分子或分子內(nèi)非健結(jié)合的力)251.1.5固體中的缺陷和雜質(zhì)n晶格振動n點缺陷(空位和填隙)n線缺陷261.1.5固體中的缺陷和雜質(zhì)n替位式雜質(zhì)n填隙式雜質(zhì)271.2載流子狀態(tài)和統(tǒng)計分布281.2.1允帶與禁帶能級分裂為能帶外層先分裂允帶和禁帶r0 平衡時的距離r0 處存在能量的允帶 準連續(xù)分布 291.2.1允帶與禁帶 K空間能帶圖n自由粒子的E-K關(guān)系P為粒子的動量,p與k為線形關(guān)系mP2E/(2m)PPk由粒子性有又由德布羅意關(guān)系因此mk22kE2m 由此可得到
9、圖3.7所示的Ek關(guān)系。隨波矢k的連續(xù)變化自由電子能量是連續(xù)的。301.2.1允帶與禁帶K空間能帶圖coscos2cos2fakakankan22E2m311.2.1允帶與禁帶 簡約布里淵區(qū)321.2.1允帶與禁帶 簡約布里淵區(qū) (a) E(k)k/2關(guān)系 (b) 能帶 (c) 第一布里淵區(qū) 圖2.4 晶體中電子的E(k) k/2關(guān)系/2/2331.2.1允帶與禁帶 簡約布里淵區(qū) 結(jié)論結(jié)論:(1)當(dāng)k=2n/a (n= 1/2,2/2)時,能量不連續(xù),形成一系列相間的允帶和禁帶。允帶的k值位于下列幾個稱為布里淵區(qū)的區(qū)域中 第一布里淵區(qū) /ak/a 第二布里淵區(qū) 2/ak-/a,/ak/a 第三
10、布里淵區(qū) 3/ak- 2/a ,2/ak3/a 第一布里淵區(qū)稱為簡約布里淵區(qū),相應(yīng)的波矢稱為簡約波矢 341.2.1允帶與禁帶 簡約布里淵區(qū)(2)E(k)=E(k+2n/a),即E(k)是k的周期性函數(shù),周期為 2/a。因此在考慮能帶結(jié)構(gòu)時只需考慮/ak/a的第一布里淵區(qū)就可以了。 推廣到二維和三維情況: 二維晶體的第一布里淵區(qū) /a (kx,ky) /a 三維晶體的第一布里淵區(qū) /a (kx,ky,kz)0K (c) 簡化能帶圖nT=0K的半導(dǎo)體能帶見圖 (a),這時半導(dǎo)體的價帶是滿帶,而導(dǎo)帶是空帶,所以半導(dǎo)體不導(dǎo)電。n當(dāng)溫度升高或在其它外界因素作用下,原先空著的導(dǎo)帶變?yōu)榘霛M帶,而價帶頂附近
11、同時出現(xiàn)了一些空的量子態(tài)也成為半滿帶,這時導(dǎo)帶和價帶中的電子都可以參與導(dǎo)電,見圖 (b)。n常溫下半導(dǎo)體價帶中已有不少電子被激發(fā)到導(dǎo)帶中,因而具備一定的導(dǎo)電能力。圖 (c)是最常用的簡化能帶圖。 半導(dǎo)體的能帶 371.2.2固體中電的傳導(dǎo) E-K關(guān)系圖n無外電場時的情況381.2.2固體中電的傳導(dǎo) E-K關(guān)系圖 由上述激發(fā)過程不難看出: 受電子躍遷過程和能量最低原理制約,半導(dǎo)體中真正對導(dǎo)電有貢獻的是那些導(dǎo)帶底部附近的電子和價帶頂部附近電子躍遷后留下的空態(tài)(等效為空穴)。 換言之,半導(dǎo)體中真正起作用的是那些能量狀態(tài)位于能帶極值附近的電子和空穴。391.2.2固體中電的傳導(dǎo)金屬 絕緣體 半導(dǎo)體40
12、1.2.2固體中電的傳導(dǎo)電子的有效質(zhì)量n粒子所受作用力int (3.36)totalextFFFma粒子所受外力內(nèi)力粒子靜止質(zhì)量加速度* (3.36)extFm a粒子有效質(zhì)量,包括了粒子的質(zhì)量以及內(nèi)力作用的效果。加速度41Ec 導(dǎo)帶底Ev 價帶頂(a)簡約k空間導(dǎo)帶及其拋物線近似;(b)簡約k空間價帶及其拋物線近似 21 cEECk2122221 Cd Edk22211d Edkm*10m 22 vEECk2222221 Cd Edk*10m* /npm vaF m導(dǎo)帶底電子有效質(zhì)量價帶頂電子有效質(zhì)量1.2.2固體中電的傳導(dǎo) 導(dǎo)帶底、價帶頂 電子有效質(zhì)量421.2.2固體中電的傳導(dǎo)電子的有效
13、質(zhì)量有效質(zhì)量的意義有效質(zhì)量的意義n上述半導(dǎo)體中電子的運動規(guī)律公式都出現(xiàn)了有效質(zhì)量mn*,原因在于F=mn*a中的F并不是電子所受外力的總和。n即使沒有外力作用,半導(dǎo)體中電子也要受到格點原子和其它電子的作用。當(dāng)存在外力時,電子所受合力等于外力再加上原子核勢場和其它電子勢場力。n由于找出原子勢場和其他電子勢場力的具體形式非常困難,這部分勢場的作用就由有效質(zhì)量mn*加以概括,mn*有正有負正是反映了晶體內(nèi)部勢場的作用。n既然mn*概括了半導(dǎo)體內(nèi)部勢場作用,外力F與晶體中電子的加速度就通過mn*聯(lián)系了起來而不必再涉及內(nèi)部勢場。431.2.3 狀態(tài)密度函數(shù)n能帶中能量E附近每單位能量間隔內(nèi)的量子態(tài)數(shù)。
14、導(dǎo)帶中有效狀態(tài)密度: 3 2*342- (3.72)nccmgEE Eh 價帶中有效狀態(tài)密度: 3 2*342- (3.75)pvvmgEEEh441.2.4 統(tǒng)計力學(xué)n在一定溫度下,半導(dǎo)體中的大量電子不停地作無規(guī)則熱運動,從一個電子來看,它所具有的能量時大時小,經(jīng)常變化。但是,從大量電子的整體來看,在熱平衡狀態(tài)下,電子按能量大小具有一定的統(tǒng)計分布規(guī)律性,即電子在不同能量的量子態(tài)上統(tǒng)計分布幾率是一定的。451.2.4 統(tǒng)計力學(xué) 粒子在有效能態(tài)中的分布:三種分布法則n麥克斯韋-玻爾茲曼分布函數(shù)。認為分布中的粒子可以被一一區(qū)分,且對每個能態(tài)所容納的粒子數(shù)沒有限制。n玻色-愛因斯坦分布函數(shù)認為分布中
15、的粒子不可區(qū)分,但每個能態(tài)所容納的粒子數(shù)沒有限制。n費米-狄拉克分布函數(shù)認為分布中的粒子不可區(qū)分,且每個量子態(tài)只允許一個粒子存在。461.2.4 統(tǒng)計力學(xué)費米分布函數(shù) 熱平衡條件下半導(dǎo)體中電子按能量大小服從一定的統(tǒng)計分布規(guī)律。能量為E的一個量子態(tài)被一個電子占據(jù)的幾率為 據(jù)上式,能量比EF高5kT的量子態(tài)被電子占據(jù)的幾率僅為0.7%;而能量比EF低5kT的量子態(tài)被電子占據(jù)的幾率高達99.3%。 1()1expFFfEEEkT11( )11 expFFfEEEkT fF(E)表示能量為E的量子態(tài)被電子占據(jù)的幾率,那么1-fF(E)就是能量為E的量子態(tài)不被電子占據(jù)的幾率,也就是被空穴占據(jù)的幾率。47
16、費米概率函數(shù)n理想情況,能量小于EF的能級被電子占據(jù)的概率為能量EEf E049費米能級n費米能級標志了電子填充能級的水平。n半導(dǎo)體中常見的是費米能級EF位于禁帶之中,并且滿足 Ec-EFkT或EF-EvkT的條件。n因此對導(dǎo)帶或價帶中所有量子態(tài)來說,電子或空穴都可以用玻耳茲曼統(tǒng)計分布描述。n由于分布幾率隨能量呈指數(shù)衰減,因此導(dǎo)帶絕大部分電子分布在導(dǎo)帶底附近,價帶絕大部分空穴分布在價帶頂附近,即起作用的載流子都在能帶極值附近。50玻爾茲曼分布函數(shù)費米分布函數(shù)中,若E-EFkT,則分母中的1可以忽略,此時上式就是電子的玻耳茲曼分布函數(shù)。同理,當(dāng)EF-EkT時,上式轉(zhuǎn)化為下面的空穴玻耳茲曼分布(
17、)expexpexpexpFFBEEEEEfEAkTkTkTkTFF11 f (E)EE1 expkTFFEEEEE1 f(E)expexpexpBexpkTkTkTkT1( )1expFFfEEEkT511.3平衡半導(dǎo)體52基本概念n平衡狀態(tài): 沒有外界影響(如電壓、電場、磁場或溫度梯度)作用在半導(dǎo)體上的狀態(tài)。n本征半導(dǎo)體: 沒有雜質(zhì)原子和缺陷的純凈晶體。n載流子: 能夠參與導(dǎo)電,荷載電流的粒子:電子、空穴。53本征半導(dǎo)體中究竟有多少電子和空穴?n0表示導(dǎo)帶中平衡電子濃度p0表示價帶中平衡空穴濃度本征半導(dǎo)體中有:n0=p0=nini為本征載流子濃度ni的大小與什么因素有關(guān)?T、Eg541.3
18、.1半導(dǎo)體中載流子 電子空穴的平衡分布電子空穴的平衡分布 導(dǎo)帶電子濃度與價導(dǎo)帶電子濃度與價帶空穴濃度帶空穴濃度n要計算半導(dǎo)體中的導(dǎo)帶電子濃度,必須先要知道導(dǎo)帶中能量間隔內(nèi)有多少個量子態(tài)。n又因為這些量子態(tài)上并不是全部被電子占據(jù),因此還要知道能量為E的量子態(tài)被電子占據(jù)的幾率是多少。n將兩者相乘后除以體積就得到區(qū)間的電子濃度,然后再由導(dǎo)帶底至導(dǎo)帶頂積分就得到了導(dǎo)帶的電子濃度。n導(dǎo)帶電子的分布n價帶空穴的分布 cFn EgE fE 1vFp EgEfE551.3.1半導(dǎo)體中載流子 n0 p0的方程n熱平衡時的電子濃度n0 0 (4.3)cFngE fE dE這里假設(shè)費米能級始終位于禁帶中。積分下限:
19、Ec;積分上限:這里設(shè)為無窮大。 3 2*342- (3.72)nccmgEE Eh1( )1expFFfEEEkT由于EEC; EC-EFkT所以有 E-EFkT( )expFFEEfEkT561.3.1半導(dǎo)體中載流子 n0 p0的方程c3 2*03E42-exp (4.5)nFcmEEnE EdEhkT1 2*3 2ccFnc3E-EE -E(2m )4(E-E ) exp()dEhkTEc引入中間變量 ,得到cEExkT*3 21 2n030(2m kT)4exp() xdxhxcFEEnekT1 20 xxedx為伽馬函數(shù),其值為12571.3.1半導(dǎo)體中載流子 n0 p0的方程3 2
20、CFCFn0C3EEE -E(2 m kT)n2exp()N exp()hkTkT*3 2n32(2 m kT)Nch其中 稱為導(dǎo)帶有效狀態(tài)密度,因此CF0CE -EnN exp() (4.11)kTEv0Vv-p1f(E)g (E)dEN exp() (4.19)vFEEkT*3 2p32(2 m kT)Nhv同理可以得到價帶空穴濃度其中 稱為價帶有效狀態(tài)密度581.3.1半導(dǎo)體中載流子 本征載流子濃度本征半導(dǎo)體:本征激發(fā):不含有任何雜質(zhì)和缺陷。導(dǎo)帶電子唯一來源于成對地產(chǎn)生電子空穴對因此導(dǎo)帶電子濃度就等于價帶空穴濃度。本征半導(dǎo)體的電中性條件是qp0-qn0=0 即 n0=p0=ni本征載流子
21、濃度本征半導(dǎo)體的費米能級稱為本征費米能級,EF=EFi。CFi0CE -EnN exp() (4.20)kTin0pexp() (4.21)vFiiivEEpnNkT591.3.1半導(dǎo)體中載流子 本征載流子濃度上兩式相乘有:2CFicE -EN exp()exp()kTvFiivEEnNkTcNexp()cvvEENkTcNexp() (4.23)gvENkTn任何平衡態(tài)半導(dǎo)體載流子濃度積n0p0 等于本征載流子濃度ni2。n對確定的半導(dǎo)體材料,受式中Nc和Nv、尤其是指數(shù)項exp(-Eg/kT)的影響,本征載流子濃度ni隨溫度的升高顯著上升。n平衡態(tài)半導(dǎo)體n0p0積與EF無關(guān); n對確定半導(dǎo)
22、體,mn*、mp*和Eg確定,n0p0積只與溫度有關(guān),與是否摻雜及雜質(zhì)多少無關(guān);n一定溫度下,材料不同則 mn*、mp*和Eg各不相同,其n0p0積也不相同。601.3.1半導(dǎo)體中載流子 本征載流子濃度 公認值會與上式計算得到的ni值有一定誤差:n有效質(zhì)量為低溫下進行的回旋共振實驗測定值,此參數(shù)可能與溫度有關(guān);n狀態(tài)密度函數(shù)由理論推導(dǎo)得到,有可能與實驗結(jié)果不十分吻合。611.3.2摻雜原子與能級 施主雜質(zhì)n由于以磷為代表的族元素在Si中能夠施放導(dǎo)電電子,稱V族元素為施主雜質(zhì)或n型雜質(zhì),用Nd表示。n電子脫離施主雜質(zhì)的束縛成為導(dǎo)電電子的過程稱為施主電離,所需要的能量ED稱為施主雜質(zhì)電離能。ED的
23、大小與半導(dǎo)體材料和雜質(zhì)種類有關(guān),但遠小于Si和Ge的禁帶寬度。n施主雜質(zhì)未電離時是中性的,稱為束縛態(tài)或中性態(tài),電離后稱為施主離化態(tài)。nSi中摻入施主雜質(zhì)后,通過雜質(zhì)電離增加了導(dǎo)電電子數(shù)量從而增強了半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力。n把主要依靠電子導(dǎo)電的半導(dǎo)體稱為n型半導(dǎo)體。n型半導(dǎo)體中電子稱為多數(shù)載流子,簡稱多子;而空穴稱為少數(shù)載流子,簡稱少子。621.3.2摻雜原子與能級 受主雜質(zhì)n由于以硼原子為代表的族元素在Si、Ge中能夠接受電子而產(chǎn)生導(dǎo)電空穴,稱族元素為受主雜質(zhì)或p型雜質(zhì),用Na表示。 n空穴掙脫受主雜質(zhì)束縛的過程稱為受主電離,而所需要的能量EA稱為受主雜質(zhì)電離能。n不同半導(dǎo)體和不同受主雜質(zhì)其EA也不
24、相同,但EA通常遠小于Si和Ge禁帶寬度。n受主雜質(zhì)未電離時是中性的,稱為束縛態(tài)或中性態(tài),電離后成為負電中心,稱為受主離化態(tài)。nSi中摻入受主雜質(zhì)后,受主電離增加了導(dǎo)電空穴,增強了半導(dǎo)體導(dǎo)電能力,把主要依靠空穴導(dǎo)電的半導(dǎo)體稱作p型半導(dǎo)體。p型半導(dǎo)體中空穴是多子,電子是少子。 631.3.2摻雜原子與能級電離能n常見雜質(zhì)的電離能641.3.2摻雜原子與能級III-V族半導(dǎo)體nGaAs的雜質(zhì)電離能n雙性雜質(zhì)的概念硅替代鎵做施主,替代砷做受主651.3.2摻雜原子與能級 施主能級受主能級n摻入施主雜質(zhì)的半導(dǎo)體,施主能級Ed上的電子獲得能量Ed后由束縛態(tài)躍遷到導(dǎo)帶成為導(dǎo)電電子,因此施主能級Ed位于比導(dǎo)
25、帶底Ec低Ed的禁帶中,且EdEg。n對于摻入族元素的半導(dǎo)體,被受主雜質(zhì)束縛的空穴能量狀態(tài)(稱為受主能級Ea)位于比價帶頂Ev低Ea的禁帶中,Eap0。 光照后的非平衡態(tài)半導(dǎo)體中電子濃度n=n0+n ,空穴濃度p=p0+p ,并且n=p 。 比平衡態(tài)多出來的這部分載流子n和p就稱為過剩載流子。n型半導(dǎo)體中稱n為過剩電子,p為過??昭?.5.1載流子的產(chǎn)生與復(fù)合 過剩載流子2、非平衡載流子的產(chǎn)生:82一般來說:n型半導(dǎo)體中:n n0,p n0。 p型半導(dǎo)體中:n p0,p p0。1.5.1載流子的產(chǎn)生與復(fù)合 過剩載流子n小注入:過剩載流子濃度遠小于平衡態(tài)時的多子濃度 要說明的是即使?jié)M足小注入條件,非平衡少子濃度仍然可以比平衡少子濃度大得多! 因此相對來說非平衡多子的影響輕微,而非平衡少子的影響起重要作用。通常說的非平衡載流子都是指非平衡少子。n大注入:過剩
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 江蘇省江陰市南菁教育集團暨陽校區(qū)2025屆七下生物期末檢測試題含解析
- 安徽省宿州地區(qū)2025屆七下生物期末達標檢測模擬試題含解析
- 2025年江西奉新縣發(fā)展投資集團有限公司招聘筆試參考題庫附帶答案詳解
- 遼寧中考英語試卷單選題100道及答案
- 浙江省溫州市浙南名校聯(lián)盟2023-2024學(xué)年高一下學(xué)期開學(xué)考試語文試題 無答案
- 家長會班主任發(fā)言稿課件
- 家長會教學(xué)課件下載
- 江西高校紅色文化課件制作
- 中小學(xué)生防火安全教育
- 醫(yī)療行業(yè)發(fā)展方向的試題及答案回顧
- 2025年工程管理試題及答案
- GA 1812.2-2024銀行系統(tǒng)反恐怖防范要求第2部分:數(shù)據(jù)中心
- 國家職業(yè)技術(shù)技能標準 6-31-01-03 電工 人社廳發(fā)2018145號
- 2024《整治形式主義為基層減負若干規(guī)定》全文課件
- DZ∕T 0227-2010 地質(zhì)巖心鉆探規(guī)程(正式版)
- 國有企業(yè)合規(guī)管理
- 10t單梁起重機安裝方案
- YY∕T 0953-2020 醫(yī)用羧甲基殼聚糖(高清正版)
- 建筑承包工程中業(yè)主指定分包與承包商內(nèi)部分包的區(qū)別
- 井下工具之一封隔器ppt
- XX市農(nóng)業(yè)局文件材料歸檔范圍及文書檔案保管期限表【模板】
評論
0/150
提交評論