潔凈室維持正壓、壓差和送排風量關(guān)系

1、潔凈室維持正壓、壓差和送排風量關(guān)系在有關(guān)各種凈化工程潔凈室的設計手冊中， 對于潔凈室漏風原因分析及潔凈室正 壓送風量計算方法都列出了復雜的計算過程公式 ，那么對于那些專業(yè)從事潔凈室 建造的工程師們，專業(yè)凈化工程設計施工而言，是否有更為快速和簡單的計算方 法解決潔凈室漏風原因分析及潔凈室正壓送風量計算方法呢？在過去的38年里發(fā)展中，凈化技術(shù)潔凈室技術(shù)經(jīng)歷了快速的發(fā)展，在汽車工業(yè)，微系統(tǒng)技術(shù)，生物 技術(shù)，表面技術(shù)，制藥醫(yī)療，半導體工業(yè)等許多工業(yè)分支中，都已開發(fā)出了適合 自己的潔凈室技術(shù)。無論何種潔凈室技術(shù)，都有哪些基本的原則和要求是大家所 必須都要遵循的因素，比如說潔凈室漏風原因分析及潔凈室正壓送

2、風量計算方 法。所有的潔凈室，可以有很多不同的標準和要求，但是如果沒有正壓，那么一 切室內(nèi)環(huán)境標準和要求都沒有存在的基礎(chǔ)，沒法達到凈化潔凈室室內(nèi)空氣潔凈度 要求。各種設計手冊中復雜的計算方法并不適合現(xiàn)場施工技術(shù)人員的需求，在潔凈室建造項目中，基本上工程技術(shù)人員都在靠經(jīng)驗估算， 并沒有比較準確而且又簡 單的潔凈室漏風原因分析及潔凈室正壓送風量計算方法 一個密閉性能良好的潔凈室，在使用過程中，主要的漏風途徑有以下四種：?高效送風口的漏風；?高?室內(nèi)門、窗縫隙的漏風；?開門過程中的漏風；?風淋室、傳遞窗各種凈化設備的漏風；?室內(nèi)配套設備的工藝排風1縫隙漏風量計算計算方法一：v=1.29Q P)1/2

3、 V=S*v P:潔凈室內(nèi)外壓力差(Pa)v：從縫隙處流過的風速(m/s)S:縫隙面積(m2)V:通過縫隙的泄漏風量(m3/h)例：假設條件：房間正壓20pa,門縫長度3.6m，窗縫長度40m,假設縫隙寬度0.01m門縫隙面積 S1=0.01*3.6=0.072m2 窗縫隙面積 S2=0.002*40=0.08m2泄漏風量 V=s*v=(S1+S2)*3600*1.29*佇P)1/2=(0.072+0.08)*3600*1.29*(20)1/2=3157m3/hr計算方法二：壓差法計算方式：L=0.827X A X (AP)1/2 X 1.25=1.03375< A X (AP)1/2式

4、中L正壓漏風量(m3/s);0.82L漏風系數(shù)；A總有效漏風面積(m2);AP 壓力差(Pa);1.25-不嚴密處附加系數(shù)2、開門的泄漏風量假設條件：房間正壓 P=20Pa門面積S3=0.9*2.00=1.8m2風速v=1.29Q P)1/2=5.77m/s,開啟次數(shù)n=1次/hr ,開啟時間t=5s泄漏風量 Q=S3*v*t*n=1.8*5.77*5*1*=51.93 m3/h每小時開一次門，開5秒，泄漏空氣量51.93 m3/h3、風淋室與傳遞窗的空氣泄漏量假設條件：風淋室體積15m3,密閉無縫隙開閉順序為(1)開- 關(guān)一(2)開- 關(guān)，如圖1風淋室開閉順序圖L“兒外廠j丿內(nèi)圖1風淋室開閉

5、順序圖分析：以風淋室為例(1) 開時A/S內(nèi)壓力為常壓101325Pa(1關(guān)時A/S內(nèi)壓力為常壓101325Pa保持不變(2) 開時A/S內(nèi)壓力為常壓101325Pa保持不變，但穩(wěn)定后壓力變?yōu)榕c房間內(nèi)同樣壓力101325+20pa(2)關(guān)時A/S內(nèi)壓力為常壓101325+20Pa保 持不變結(jié)論：所以需要補充的空氣量為15m3的空間壓力變化為20Pa時的密閉空間 的補氣量根據(jù)理想氣體方程式PV=mRT, (P氣壓，單位Pa;V體積，單位m3;m氣體質(zhì)量單位kg;R氣體常數(shù)等于287;T氣體開氏溫度，單位K，假設室內(nèi)溫度25C, 開氏溫度為298K)需補充空氣質(zhì)量 m=( P *V)/(R*T)=

6、 (20*15)/(287*298)=0.0035kg=3L相對來說風淋室及傳遞箱的泄漏量較小(密閉良好的情況下)，可忽略不計。4、工藝排風泄漏風量工藝排風泄漏風量即為工藝排風量。以上四種泄漏風量之和即為房間維持正壓所需的送風量。更為快速的計算方法潔凈時正壓換氣次數(shù)（次/時），如表1正壓換氣次數(shù)經(jīng)驗數(shù)據(jù)表，通過此表, 可以更快速的計算正壓送風量，潔凈室漏風原因分析及潔凈室正壓送風量計算方 法。表1正壓換氣次數(shù)經(jīng)驗數(shù)據(jù)表。室內(nèi)正圧值 （卩卻有外氛憲封性稍差 的潔凈室有外宙"密封性較奸 的潔凈室無外會、土建式 潔凈窒50.90.70.6101.51.21152.21.015如3rne&#

7、39;iriBinB'iriB- £ a-rri-r1-11II!« II!2 1253.632.53043.32.7聲4.53B34054232456 74.73.4506 6533.6例，潔凈室要求正壓為20Pa表中第四行），潔凈室體積為100m3,潔凈室是 有外窗、密閉性較好的潔凈室（表中第二列），那么此潔凈室維持正壓所需的送風 量 V 換氣次數(shù)2.5*100m3=250m3不包括工藝排風）為什么有時不能達到理想正壓？1、新風補充量不足：重新計算新風需求量2、泄漏量過大：找出泄漏原因，尋出解決方案3、排風量太大：主要是工藝排風量超標，重新計算4、空調(diào)回風量太大

8、：重新調(diào)節(jié)風量簡單計算法的應用實例一在潔凈室建造中為投資方節(jié)約能源合理的正壓值對潔凈室各項指標的達標及降低運行成本是非常重要的。半導體廠工程設備用電約占全廠用電的 49%,冷動機用電占工程設備用電的 35%,潔凈室空氣處理機組用電占工程設備用電的23%。潔凈室正壓設定值越大，空氣處理機組送風量越大，冷動機負荷越高，降低電力的耗用，即減少資源的消 耗與污染源的制造。所以基于以上分析可知潔凈室內(nèi)的正壓設定直接關(guān)系到廠區(qū) 運行成本，潔凈室漏風原因分析及潔凈室正壓送風量計算方法。以松江九亭高科區(qū)富士金上海松江工廠為例 (FUJIKIN)2002年三月至七月，該廠主要由一個150 m2的1000級潔凈室

9、和一個100m2的1級潔凈室組成， 正壓設定值為50Pa現(xiàn)以其1級潔凈室為例計算所需新風量。計算條件面積100m2,層高3m,高架地板下部空間1m，F(xiàn)FU滿布加高架地板系統(tǒng)。 窗9扇(1m x 1m),門1扇(1mx2.1m，每小時開啟一次，每次持續(xù) 5秒，風淋室 一個，傳遞箱一個(1m3),工藝排風1000CMH,整個潔凈室氣密性良好，正壓設 定為50Pa計算過程1縫隙泄漏風量V=(S1+S2)*3600*1.29*© P)1/2(0.01*1*4*9+0.02*1*2+0.02*2.1*2)*3600*50(1/2)*1.29 = 4642m3/h2開門泄漏風量Q=S3*1.29

10、*Q P)1/2*t* n(2.1*1)*(50 (1/2)*1.29)*5*1 = 109 m3/h3. 風淋室和傳遞窗密閉良好，假設無漏風4. 工藝排風量為1000CMH控制50Pa正壓所需的新風量為 4624+109+1000 = 5733 m3/h若根據(jù)表1經(jīng)驗值估算，控制50Pa正壓所需風量為5.3*100*4+1000=3120m3/h取大值5733 m3/h實際余壓閥顯示正壓為65Pa業(yè)主出于節(jié)能考慮，要求降低正壓至35Pa一、針對FFU風速進行改善改善方式：1、通過中控電腦，調(diào)整 FFU馬達轉(zhuǎn)速降低(original: 1,300 rpm)2、觀察潔凈室壓力值的變化(original: 65 Pa)3、持續(xù)降低轉(zhuǎn)速直至壓力為45 Pa4、記錄FFU最后的轉(zhuǎn)速并觀察潔凈室壓力二、針對(MAU)風速進行改善改善方式：1、 通過中控電腦調(diào)整MAU馬達轉(zhuǎn)速(original:45Hz)2、觀察潔凈室壓力值的變化(original: 45 Pa)3、持續(xù)降低轉(zhuǎn)速直至壓力為35Pa4、記錄MAU最后的轉(zhuǎn)速，并觀察潔凈室壓力三、最終節(jié)能效果1降低FFU轉(zhuǎn)速FFU 轉(zhuǎn)速由 1,300 rpm 降至 1,100 rp