模擬式位移檢測(cè)

1、2022-3-161機(jī)械量包括：長(zhǎng)度、位移、速度、轉(zhuǎn)角、機(jī)械量包括：長(zhǎng)度、位移、速度、轉(zhuǎn)角、轉(zhuǎn)速、力、力矩、振動(dòng)等參數(shù)。其中位轉(zhuǎn)速、力、力矩、振動(dòng)等參數(shù)。其中位移和力的大小是機(jī)械量檢測(cè)的主要任務(wù)。移和力的大小是機(jī)械量檢測(cè)的主要任務(wù)。按機(jī)械量檢測(cè)原理分類：見表按機(jī)械量檢測(cè)原理分類：見表8-1 機(jī)械式機(jī)械式 電氣電子式電氣電子式 光學(xué)式光學(xué)式2022-3-1622022-3-163電容式位移檢測(cè)、電容式位移檢測(cè)、電感式位移檢測(cè)（自感、互電感式位移檢測(cè)（自感、互感、電渦流）、霍爾傳感器感、電渦流）、霍爾傳感器、光纖式、光纖式光柵標(biāo)尺、莫爾條紋標(biāo)尺光柵標(biāo)尺、莫爾條紋標(biāo)尺離心力檢測(cè)法、離心力檢測(cè)法、光電

2、碼盤轉(zhuǎn)速檢測(cè)法光電碼盤轉(zhuǎn)速檢測(cè)法金屬應(yīng)變?cè)雽?dǎo)體應(yīng)變?cè)?、壓電元件、壓金屬?yīng)變?cè)?、半?dǎo)體應(yīng)變?cè)弘娫?、壓敏?dǎo)電橡膠敏導(dǎo)電橡膠加速度檢測(cè)原理、動(dòng)電型振動(dòng)檢測(cè)方法、微加速度檢測(cè)原理、動(dòng)電型振動(dòng)檢測(cè)方法、微機(jī)械加速度傳感元件機(jī)械加速度傳感元件2022-3-164一、電容式位移檢測(cè)方法一、電容式位移檢測(cè)方法8.1 8.1 模擬式位移檢測(cè)模擬式位移檢測(cè)Analog displacement detecting：平行板電容器的電容值為平行板電容器的電容值為：使用時(shí)保持三個(gè)參數(shù)中的：使用時(shí)保持三個(gè)參數(shù)中的兩個(gè)不變而改變另一個(gè)參數(shù)使電兩個(gè)不變而改變另一個(gè)參數(shù)使電容量發(fā)生變化，故其可分成三類：容量發(fā)

3、生變化，故其可分成三類：變極距式變極距式d、變面積式變面積式ab和和變介電變介電常數(shù)式常數(shù)式。2022-3-165變面積式電容傳感器變面積式電容傳感器 電容：電容： xdbCdxabC0 x0bCCCxddbxCK 電容增量：電容增量：測(cè)量靈敏度：測(cè)量靈敏度：2022-3-166變面積式電容傳感器的派生形式：變面積式電容傳感器的派生形式：xCC00CCdACa）b）dxabnCdxbnCdbnK2022-3-167變間隙式電容傳感器變間隙式電容傳感器xdAC0 xdAC2222200011)()(dxdxxddxdCxdxdxddCxddCdx 顯然，顯然， 時(shí)，時(shí)， ，于是，于是022dxd

4、xCC102022-3-168變介電常數(shù)式電容器變介電常數(shù)式電容器 xBACCC相當(dāng)于兩電容并聯(lián)：相當(dāng)于兩電容并聯(lián)：2211ddbxCA其中：其中：121)(ddxlbCB2110ddblC取取x=0時(shí)時(shí)電容為電容為C0，有有2022-3-169 電容與電容與x的關(guān)系推導(dǎo)如下：的關(guān)系推導(dǎo)如下：12102211ddbxCddbxCCCBAxddlCC212121001結(jié)論：電容與位移結(jié)論：電容與位移x x之間呈線性關(guān)系。之間呈線性關(guān)系。2022-3-1610電容式傳感器測(cè)量電路電容式傳感器測(cè)量電路一、普通交流電橋一、普通交流電橋二、緊耦合電感臂電橋二、緊耦合電感臂電橋三、變壓器電橋三、變壓器電橋

5、四、雙四、雙T T電橋電橋五、運(yùn)算放大器式測(cè)量電路五、運(yùn)算放大器式測(cè)量電路六、脈沖調(diào)制電路六、脈沖調(diào)制電路七、調(diào)頻電路七、調(diào)頻電路 2022-3-1611普通交流電橋普通交流電橋電容電容變化變化交流交流電壓電壓變化變化初始初始電電橋橋平平衡衡交流交流電壓電壓放大放大檢出檢出直流直流電壓電壓濾掉濾掉交流交流分量分量直流直流電電壓壓輸輸出出Z Zi iZ ZiZZZZZZZUZZU)(2112102022-3-1612緊耦合電感臂電橋緊耦合電感臂電橋LZKZZKZZZKZZKZZKZUZZU)1 ()1 ()1 (211)1 (1 )1 (1 12121212120CjZ12CjCZLjZ12Lj

6、MLjK)(1Z ZZ ZL LLjZ122022-3-1613變壓器電橋變壓器電橋111CjZ221CjZ1Z2ZI21ZZUI21212112221202222CCCCUZZZZUUZZZUUUUC2022-3-1614ddUCCCCUU2221210ddAC1ddAC2如果變壓器電橋的如果變壓器電橋的Z1、Z2采用兩個(gè)變間隙電容，有采用兩個(gè)變間隙電容，有2022-3-1615雙雙T T電橋電橋雙雙T電橋電路電橋電路負(fù)半周：負(fù)半周：C2充電，充電，C1放電放電如果如果C1=C2，R1=R2=R，則正、負(fù)半周對(duì)稱則正、負(fù)半周對(duì)稱VU000U正正半周：半周：C1充電，充電，C2放電放電2022

7、-3-1616VU00 如果如果C1 C2 正半周：正半周：C1充電電充電電量增多量增多 ，C2放電情況放電情況不變。輸出正電壓情況不變。輸出正電壓情況不變。不變。 負(fù)半周：負(fù)半周：C2充電情充電情況不變況不變，C1放電電流放電電流增大增大 。輸出負(fù)電壓變。輸出負(fù)電壓變小。小。2022-3-1617 結(jié)論：如果結(jié)論：如果C1、C2電容有一個(gè)發(fā)生改變，則正、電容有一個(gè)發(fā)生改變，則正、負(fù)半周電流將不再對(duì)稱，會(huì)出現(xiàn)一個(gè)半周大、另一個(gè)半負(fù)半周電流將不再對(duì)稱，會(huì)出現(xiàn)一個(gè)半周大、另一個(gè)半周小的情況，輸出電壓平均值將取決于電容的差：周小的情況，輸出電壓平均值將取決于電容的差：)()()2(2120CCfUR

8、RRRRRULLLCfUKU0或：或： 雙雙T T電橋特點(diǎn)：電路有一個(gè)公共接地點(diǎn)；二極管工作電橋特點(diǎn)：電路有一個(gè)公共接地點(diǎn)；二極管工作于線性工作段；輸出電壓高；測(cè)量靈敏度與電源頻率有于線性工作段；輸出電壓高；測(cè)量靈敏度與電源頻率有關(guān)；可以用于動(dòng)態(tài)測(cè)量。關(guān)；可以用于動(dòng)態(tài)測(cè)量。2022-3-1618運(yùn)算放大器式測(cè)量電路運(yùn)算放大器式測(cè)量電路xxiCCCjCjUU00011dACxAdCuCCuuixi0002022-3-1619脈沖調(diào)制電路脈沖調(diào)制電路ru原原1 1充電充電原原0 0升壓升壓變變1 10 01 1初始初始C1=C2，M、N等間隔等間隔0、1翻轉(zhuǎn)，翻轉(zhuǎn)， 輸出平均電壓為輸出平均電壓為0

9、。如果如果C1、C2不等，不等，M、N翻轉(zhuǎn)將不再等間翻轉(zhuǎn)將不再等間隔，輸出平均電壓會(huì)向正（或負(fù)）偏離：隔，輸出平均電壓會(huì)向正（或負(fù)）偏離：121210UCCCCU1U輸出限幅輸出限幅2022-3-16202022-3-1621)(21010CCCCLf初始振蕩頻率：初始振蕩頻率：電容改變電容改變C C后的振蕩頻率：后的振蕩頻率：)(2101CCCCCLff調(diào)頻電路調(diào)頻電路振蕩電感振蕩電感固定電容固定電容傳感器電容傳感器電容電纜分布電容電纜分布電容振蕩頻率振蕩頻率變化變化電壓電壓變化變化2022-3-1622電容耦合型位移傳感器電容耦合型位移傳感器 利用利用ICIC制造技術(shù)可以制作超小型電容式位

10、移傳感器。圖制造技術(shù)可以制作超小型電容式位移傳感器。圖8-28-2為電容耦合型位移傳感器結(jié)構(gòu)圖。為電容耦合型位移傳感器結(jié)構(gòu)圖。2022-3-1623二、電感式位移檢測(cè)方法二、電感式位移檢測(cè)方法:根據(jù)轉(zhuǎn)換原理分為根據(jù)轉(zhuǎn)換原理分為自感式自感式、互感式和電渦流式互感式和電渦流式；按結(jié)構(gòu)；按結(jié)構(gòu)形式分為形式分為變間隙式變間隙式、變面積式變面積式、螺管式、差動(dòng)式螺管式、差動(dòng)式。自感式自感式組成：線圈、鐵芯和銜鐵組成：線圈、鐵芯和銜鐵222,:mmmNlLRRSNNSLRllS所以：其中磁路長(zhǎng)度；磁導(dǎo)率；截面積。2022-3-1624自感式自感式電感傳感器的工作原理電感傳感器的工作原理 （一）（一）變間隙

11、型電感傳感器變間隙型電感傳感器 AAlAlRm022112AAlAlNRNLm02211222 磁路總磁阻：磁路總磁阻：故：故：1200 考慮鐵磁材料的磁阻相對(duì)很小，則：考慮鐵磁材料的磁阻相對(duì)很小，則：220202ANANL特點(diǎn)：靈敏、線特點(diǎn)：靈敏、線性差、裝配難性差、裝配難2022-3-1625（二）（二）變面積型電感傳感器變面積型電感傳感器220202ANANL仍有：仍有：兩種傳感器的特性曲線兩種傳感器的特性曲線特點(diǎn)：靈敏稍特點(diǎn)：靈敏稍差、線性較好、差、線性較好、量程大。量程大。2022-3-1626（三）（三）螺線管型電感式傳感器螺線管型電感式傳感器線圈線圈銜鐵銜鐵0mal22202(1

12、)maaNLlrlrl 總長(zhǎng)總長(zhǎng)線圈半徑線圈半徑插入長(zhǎng)度插入長(zhǎng)度銜鐵半徑銜鐵半徑特點(diǎn)：靈敏稍差、線性好、特點(diǎn)：靈敏稍差、線性好、量程大、易批量生產(chǎn)。量程大、易批量生產(chǎn)。2022-3-1627222002(1)()maaNLLLrlxl rl 220202(1)11 ()() ()1maaaamNLrxlLxlrllr 2022-3-1628增大銜鐵半徑可增加靈敏度。為提高靈敏度和線性度，多采用差動(dòng)螺管式自感傳感器。3. 線圈的靈敏度：實(shí)際單線圈螺管型自感傳感器的輸出特性并非線性。而差動(dòng)螺管型自感傳感器較單線圈螺管型的非線性有所改善。02/1111 ()() ()1aaamL LSlrxllr2

13、022-3-1629 通過以上三種形式的自感式傳感器的分析，可以得出以下幾點(diǎn)結(jié)論:1. 變間隙型靈敏度較高，但非線性誤差較大，且制作裝配比較困難。2. 變面積型靈敏度較前者小，且線性較好，量程較大，使用比較廣泛。3. 螺管型靈敏度較低，但量程大且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易于制作和批量生產(chǎn)，是使用最廣泛的一種電感式傳感器。結(jié)論2022-3-1630（四）（四）差動(dòng)式自感傳感器差動(dòng)式自感傳感器 結(jié)構(gòu)：兩個(gè)線圈幾何尺寸完全相同結(jié)構(gòu)：兩個(gè)線圈幾何尺寸完全相同 鐵心安裝完全對(duì)稱。鐵心安裝完全對(duì)稱。 特點(diǎn)：提高靈敏度、改善線性度、對(duì)溫度變化、易于補(bǔ)特點(diǎn)：提高靈敏度、改善線性度、對(duì)溫度變化、易于補(bǔ)償電源頻率變化影響。償電源

14、頻率變化影響。+L-L螺線管型螺線管型變間隙型變間隙型變面積型變面積型+L-L+L-L2022-3-1631自感式自感式電感傳感器的測(cè)量電路電感傳感器的測(cè)量電路 -交流電橋交流電橋（一）（一）電阻平衡臂電橋電阻平衡臂電橋 LZ考慮：考慮：輸出對(duì)稱電橋，單臂測(cè)量時(shí)：輸出對(duì)稱電橋，單臂測(cè)量時(shí)：ZZUU40雙臂差動(dòng)測(cè)量時(shí)：雙臂差動(dòng)測(cè)量時(shí)：LLUZZUU220+L-L2022-3-1632（二）（二）變壓器式電橋變壓器式電橋220UUUZ21122ZZZZU2221UZZZU+Z-Z當(dāng)銜鐵上移，使當(dāng)銜鐵上移，使Z1=Z+Z，Z2=Z-Z時(shí)，時(shí)，02UZUZ2022-3-1633* * 一種帶有相敏整流

15、的交流電橋一種帶有相敏整流的交流電橋電壓表讀數(shù)大小反映銜鐵電壓表讀數(shù)大小反映銜鐵的位移；電壓表極性反映的位移；電壓表極性反映移動(dòng)方向。移動(dòng)方向。+L-L交交流流電電源源電電源源指指示示 銜鐵在中間位置時(shí)銜鐵在中間位置時(shí),無(wú)論無(wú)論正負(fù)半周，正負(fù)半周，C、D兩點(diǎn)等電位，兩點(diǎn)等電位，電橋平衡，輸出電橋平衡，輸出UCD=0V。2022-3-1634當(dāng)銜鐵上移，當(dāng)銜鐵上移，D D點(diǎn)將比點(diǎn)將比C C點(diǎn)電位高，認(rèn)為電壓表正偏。點(diǎn)電位高，認(rèn)為電壓表正偏。24221111CCABCCABDBCBCDZRZZUZRZZUUUU+ +- -Z1Z2電源正半周電源正半周電路分析電路分析當(dāng)銜鐵上移當(dāng)銜鐵上移+L-L20

16、22-3-1635當(dāng)銜鐵上移，負(fù)半周當(dāng)銜鐵上移，負(fù)半周D D也比也比C C點(diǎn)電位高，電壓表仍正偏。：點(diǎn)電位高，電壓表仍正偏。：+L-L+ +- -Z1Z2電源負(fù)半周電源負(fù)半周電路分析電路分析當(dāng)銜鐵上移當(dāng)銜鐵上移22111322ZRZZUZRZZUUUUCCBACCBABCBDCD2022-3-1636結(jié)論：無(wú)論正負(fù)半周，只要銜鐵上移，電壓表頭就正轉(zhuǎn)。結(jié)論：無(wú)論正負(fù)半周，只要銜鐵上移，電壓表頭就正轉(zhuǎn)。 位移越多，指針偏轉(zhuǎn)越大。位移越多，指針偏轉(zhuǎn)越大。同理：無(wú)論正負(fù)半周，只要銜鐵下移，電壓表頭就反轉(zhuǎn)。同理：無(wú)論正負(fù)半周，只要銜鐵下移，電壓表頭就反轉(zhuǎn)。 位移越多，指針偏轉(zhuǎn)越大。位移越多，指針偏轉(zhuǎn)越大

17、。（三）（三）緊耦合電感臂電橋緊耦合電感臂電橋該電路理論分析略。該電路理論分析略。2022-3-1637差動(dòng)變壓器差動(dòng)變壓器一、工作原理一、工作原理22212EEE當(dāng)鐵心位于正中，當(dāng)鐵心位于正中，02E當(dāng)鐵心左移，當(dāng)鐵心左移，E E2 2增大增大原邊原邊副邊副邊1 1副邊副邊2 2* * * *+ + +- - -注意同名端注意同名端當(dāng)鐵心右移，當(dāng)鐵心右移，E E2 2減小減小因兩個(gè)副邊反向串聯(lián)因兩個(gè)副邊反向串聯(lián)原邊原邊副邊副邊1 1副邊副邊2 2鐵心鐵心2022-3-163821211212)()(LRUMMEE E2 2的計(jì)算：的計(jì)算： 差動(dòng)變壓器的輸出特性曲線：差動(dòng)變壓器的輸出特性曲線：

18、 差動(dòng)變壓差動(dòng)變壓器運(yùn)行中存在器運(yùn)行中存在的問題：的問題： 零點(diǎn)殘余零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)電動(dòng)勢(shì) 由于差動(dòng)由于差動(dòng)變壓器無(wú)法做變壓器無(wú)法做到兩個(gè)副邊的到兩個(gè)副邊的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)完感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)完全對(duì)稱，所以全對(duì)稱，所以即使沒有位移即使沒有位移輸入，電路也輸入，電路也會(huì)輸出一定的會(huì)輸出一定的電動(dòng)勢(shì)電動(dòng)勢(shì)E0E0。2022-3-1639減小零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)的方法：減小零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)的方法：1.1.從制造工藝上減小殘余電動(dòng)勢(shì)。從制造工藝上減小殘余電動(dòng)勢(shì)。2.2.選擇利于消除殘余電動(dòng)勢(shì)的測(cè)量電路。選擇利于消除殘余電動(dòng)勢(shì)的測(cè)量電路。3.3.采用補(bǔ)償電路采用補(bǔ)償電路, ,調(diào)整元件參數(shù)調(diào)整元件參數(shù), ,消除殘余電動(dòng)勢(shì)。消除殘

19、余電動(dòng)勢(shì)。減小殘余電動(dòng)勢(shì)的減小殘余電動(dòng)勢(shì)的補(bǔ)償電路補(bǔ)償電路2022-3-1640差動(dòng)變壓器的測(cè)量電路差動(dòng)變壓器的測(cè)量電路（一）（一）差動(dòng)相敏檢波電路差動(dòng)相敏檢波電路交交流流電電源源同相或反相（設(shè)同相同相或反相（設(shè)同相）輸出輸出 當(dāng)鐵心位于正中時(shí)，電路當(dāng)鐵心位于正中時(shí)，電路對(duì)稱，輸出交流，平均為對(duì)稱，輸出交流，平均為0 0。2022-3-1641電壓輸出：電壓輸出：EUU20EU一般來說：一般來說：電源正半周電路分析電源正半周電路分析當(dāng)銜鐵下移當(dāng)銜鐵下移E2+ +- -EEee- -+ + + +- - -2022-3-1642電壓輸出：電壓輸出：EUU20平均為負(fù)。平均為負(fù)。結(jié)論：結(jié)論：銜鐵下

20、移，平均輸出為負(fù)；銜鐵上移，平均輸出為正！銜鐵下移，平均輸出為負(fù)；銜鐵上移，平均輸出為正！電源負(fù)半周電路分析電源負(fù)半周電路分析當(dāng)銜鐵下移當(dāng)銜鐵下移eeE2EE2/U2/U+ +- -+ + +- - -2022-3-1643電渦流式傳感器電渦流式傳感器利用渦流效應(yīng)原理制造的傳感器。利用渦流效應(yīng)原理制造的傳感器。電渦流式傳感器的復(fù)阻抗電渦流式傳感器的復(fù)阻抗222222212222222111)()(LLRMLjRLRMRIUZZ等效電阻等效電阻R R等效電感等效電感L L原理圖原理圖等效電路等效電路等效等效阻抗阻抗距離距離 互感互感M M 2022-3-1644 當(dāng)電渦流當(dāng)電渦流線圈與金屬板線圈

21、與金屬板的距離的距離x 減小減小時(shí)，電渦流線時(shí)，電渦流線圈的圈的等效電感等效電感L 減小減小，等效電等效電阻阻R 增大增大，流，流過電渦流線圈過電渦流線圈的的電流電流 i1 增大增大。 2022-3-1645高頻反射式電渦流傳感器高頻反射式電渦流傳感器金金屬屬物物體體 高頻反射式電渦流傳感器利用線圈與金屬導(dǎo)體高頻反射式電渦流傳感器利用線圈與金屬導(dǎo)體之間的磁性耦合程度的變化測(cè)量距離。之間的磁性耦合程度的變化測(cè)量距離。 金屬物體的電導(dǎo)率越高，測(cè)量靈敏度越高。金屬物體的電導(dǎo)率越高，測(cè)量靈敏度越高。線圈線圈框架框架框架框架襯套襯套固定螺母固定螺母電纜電纜2022-3-1646低頻透射式電渦流傳感器低頻

22、透射式電渦流傳感器接收線圈接收線圈發(fā)射線圈發(fā)射線圈渦流及渦流及磁場(chǎng)磁場(chǎng) 金屬板越厚，接收側(cè)磁場(chǎng)越弱，接收線圈的感應(yīng)電壓金屬板越厚，接收側(cè)磁場(chǎng)越弱，接收線圈的感應(yīng)電壓u u2 2 越小。發(fā)射線圈的電源頻率取越小。發(fā)射線圈的電源頻率取1kHz1kHz左右。左右。發(fā)射發(fā)射磁場(chǎng)磁場(chǎng)接收側(cè)接收側(cè)磁場(chǎng)磁場(chǎng)teu2)(ft2022-3-1647測(cè)量電路測(cè)量電路電橋電路電橋電路ZZ兩個(gè)差動(dòng)兩個(gè)差動(dòng)渦流線圈渦流線圈2022-3-1648諧振法測(cè)量電路諧振法測(cè)量電路LCf210CRLZ0并聯(lián)諧振的諧振頻率：并聯(lián)諧振的諧振頻率：并聯(lián)諧振時(shí)的阻抗最大：并聯(lián)諧振時(shí)的阻抗最大： 線圈電感的變化，會(huì)引起（線圈電感的變化，會(huì)

23、引起（1 1）振蕩電路阻抗變化；）振蕩電路阻抗變化； （2 2）諧振頻率變化。）諧振頻率變化。因此，測(cè)量這兩種的任一種都可以測(cè)出電感量的變化。因此，測(cè)量這兩種的任一種都可以測(cè)出電感量的變化。（1 1）調(diào)幅式測(cè)量電路）調(diào)幅式測(cè)量電路（L ZL Z變化變化 輸出變化輸出變化）2022-3-1649（2 2）調(diào)頻式測(cè)量電路）調(diào)頻式測(cè)量電路（L L 振蕩頻率變化）振蕩頻率變化）分布分布電容電容2022-3-1650電渦流式傳感器的應(yīng)用電渦流式傳感器的應(yīng)用（一）（一）測(cè)量位移測(cè)量位移被測(cè)被測(cè)零件零件渦流傳感器渦流傳感器被測(cè)被測(cè)零件零件渦流傳感器渦流傳感器渦流傳感器渦流傳感器機(jī)械軸機(jī)械軸振形圖振形圖測(cè)量測(cè)

24、量機(jī)械軸機(jī)械軸（二）（二）測(cè)量振動(dòng)測(cè)量振動(dòng)動(dòng)態(tài)位移動(dòng)態(tài)位移測(cè)量測(cè)量2022-3-1651（三）（三）測(cè)量轉(zhuǎn)速測(cè)量轉(zhuǎn)速被被測(cè)測(cè)零件零件渦流渦流傳感器傳感器被被測(cè)測(cè)零件零件渦流渦流傳感器傳感器60Nfn 設(shè)測(cè)出脈沖頻率為設(shè)測(cè)出脈沖頻率為f f（HzHz），），被測(cè)零件齒數(shù)被測(cè)零件齒數(shù)為為N N，則軸的轉(zhuǎn)速為：則軸的轉(zhuǎn)速為：（轉(zhuǎn)（轉(zhuǎn)/ /分）分）2022-3-1652（四）（四）測(cè)量厚度測(cè)量厚度渦流渦流傳感器傳感器1 1渦流渦流傳感器傳感器2 2測(cè)出距離測(cè)出距離x x1 1測(cè)出距離測(cè)出距離x x2 2預(yù)置距離預(yù)置距離D D)(21xxDd2022-3-1653（五）（五）測(cè)量溫度測(cè)量溫度（六）（六）

25、其他測(cè)量其他測(cè)量測(cè)出等效電感變化測(cè)出等效電感變化溫度變化溫度變化 變化變化 電感變化電感變化 諧振頻率變化諧振頻率變化 測(cè)出諧振頻率變化測(cè)出諧振頻率變化接近開關(guān)、計(jì)數(shù)、尺寸檢測(cè)等。接近開關(guān)、計(jì)數(shù)、尺寸檢測(cè)等。2022-3-1654三、霍爾式傳感器三、霍爾式傳感器 霍爾式傳感器是基于霍爾效應(yīng)而將被測(cè)量轉(zhuǎn)換成電動(dòng)勢(shì)霍爾式傳感器是基于霍爾效應(yīng)而將被測(cè)量轉(zhuǎn)換成電動(dòng)勢(shì)輸出的一種傳感器。輸出的一種傳感器。 霍爾元件是霍爾傳感器的核心部分霍爾元件是霍爾傳感器的核心部分，是它的敏感和轉(zhuǎn)換，是它的敏感和轉(zhuǎn)換元件，而霍爾元件是利用某些半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)原元件，而霍爾元件是利用某些半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)原理制成的。

26、理制成的。 霍爾式傳感器可以將許多非電、非磁的物理量例如霍爾式傳感器可以將許多非電、非磁的物理量例如力、力、力矩、壓力、應(yīng)力、位置、位移、速度、加速度、角度、力矩、壓力、應(yīng)力、位置、位移、速度、加速度、角度、角速度、轉(zhuǎn)數(shù)、轉(zhuǎn)速角速度、轉(zhuǎn)數(shù)、轉(zhuǎn)速以及工作狀態(tài)發(fā)生變化的時(shí)間等，以及工作狀態(tài)發(fā)生變化的時(shí)間等，轉(zhuǎn)變成電量來進(jìn)行檢測(cè)和控制。轉(zhuǎn)變成電量來進(jìn)行檢測(cè)和控制。 霍爾傳感器可以實(shí)現(xiàn)霍爾傳感器可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量非接觸測(cè)量，在很多情況下，可采，在很多情況下，可采用永久磁鐵來產(chǎn)生磁場(chǎng)，不需附加能源。廣泛應(yīng)用于自用永久磁鐵來產(chǎn)生磁場(chǎng)，不需附加能源。廣泛應(yīng)用于自動(dòng)控制和電磁檢測(cè)等各個(gè)領(lǐng)域。動(dòng)控制和電磁檢測(cè)等

27、各個(gè)領(lǐng)域。2022-3-16551. 工作原理工作原理霍爾效應(yīng)霍爾效應(yīng): : 金屬和半導(dǎo)體置于金屬和半導(dǎo)體置于磁感應(yīng)強(qiáng)度為磁感應(yīng)強(qiáng)度為B B 的磁場(chǎng)中，磁場(chǎng)方向垂直的磁場(chǎng)中，磁場(chǎng)方向垂直于薄片，當(dāng)有電流于薄片，當(dāng)有電流I I 流過薄片時(shí)，在垂直于電流和磁場(chǎng)的方流過薄片時(shí)，在垂直于電流和磁場(chǎng)的方向上將產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)，即霍爾電勢(shì)。向上將產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)，即霍爾電勢(shì)。2022-3-1656霍爾電勢(shì)霍爾電勢(shì): (: (以以N型型半導(dǎo)體為例半導(dǎo)體為例) ) In bdv q1HIIBUbBnbdqnq d又因?yàn)橛忠驗(yàn)槁鍌惼澚Γ郝鍌惼澚Γ?F=qvB霍爾電場(chǎng)霍爾電場(chǎng)平衡狀態(tài)平衡狀態(tài)bUEHHbUqqEFHHH霍爾電

28、勢(shì)：霍爾電勢(shì)：HUbvB則則1. 工作原理工作原理2022-3-1657霍爾電勢(shì)霍爾電勢(shì): : 兩個(gè)系數(shù)兩個(gè)系數(shù) 可以推出，霍爾電動(dòng)勢(shì)可以推出，霍爾電動(dòng)勢(shì)UH的大小為：的大小為： HHUk IB1. 霍爾系數(shù)霍爾系數(shù)RH1/(nq)，由材料物理性質(zhì)所決定，由材料物理性質(zhì)所決定，q為電子為電子電荷量電荷量 ；n為材料中的電子濃度為材料中的電子濃度2. 靈敏度系數(shù)靈敏度系數(shù) kH ，kH= RH/d，表示在單位磁感應(yīng)強(qiáng)度和單，表示在單位磁感應(yīng)強(qiáng)度和單位控制電流時(shí)的霍爾電動(dòng)勢(shì)的大小位控制電流時(shí)的霍爾電動(dòng)勢(shì)的大小,與材料的物理特性與材料的物理特性（霍爾系數(shù)）和幾何尺寸（霍爾系數(shù)）和幾何尺寸d有關(guān)有關(guān)。

29、結(jié)論：結(jié)論：霍爾電勢(shì)與輸入電流霍爾電勢(shì)與輸入電流I I、磁感應(yīng)強(qiáng)度磁感應(yīng)強(qiáng)度B B成正比，且當(dāng)成正比，且當(dāng)B B的方向改變時(shí)，霍爾電勢(shì)的方向也隨之改變。如果所施的方向改變時(shí)，霍爾電勢(shì)的方向也隨之改變。如果所施加的磁場(chǎng)為交變磁場(chǎng)，則霍爾電勢(shì)為同頻率的交變電勢(shì)。加的磁場(chǎng)為交變磁場(chǎng)，則霍爾電勢(shì)為同頻率的交變電勢(shì)。 1. 工作原理工作原理2022-3-1658dIBRIBKUHHH由上式可看出以下三點(diǎn)：由上式可看出以下三點(diǎn)：1. 霍爾電壓霍爾電壓UH大小與大小與材料的性質(zhì)材料的性質(zhì)有關(guān)。有關(guān)。 金屬材料中的自由電子濃度金屬材料中的自由電子濃度n很高，因此很高，因此RH（=1/(nq) ）很小，不宜作）

30、很小，不宜作霍爾元件?；魻栐；魻栐嘤幂d流子遷移率大的霍爾元件多用載流子遷移率大的N型半導(dǎo)體材料制作型半導(dǎo)體材料制作。2. 霍爾電壓霍爾電壓UH大小大小與元件的尺寸與元件的尺寸有關(guān)。有關(guān)。 霍爾元件越薄霍爾元件越薄(d越小越小)，kH就越大，所以通?；魻栐驾^薄。薄膜霍就越大，所以通?；魻栐驾^薄。薄膜霍爾元件的厚度只有爾元件的厚度只有1m左右。左右。3. 霍爾電壓霍爾電壓UH大小與大小與控制電流及磁場(chǎng)強(qiáng)度控制電流及磁場(chǎng)強(qiáng)度有關(guān)。有關(guān)。 當(dāng)控制電流或磁場(chǎng)方向換向時(shí)，霍爾電動(dòng)勢(shì)方向也隨之換向。若電流當(dāng)控制電流或磁場(chǎng)方向換向時(shí)，霍爾電動(dòng)勢(shì)方向也隨之換向。若電流和磁場(chǎng)同時(shí)改變方向時(shí)，霍爾電

31、勢(shì)并不改變?cè)瓉淼姆较?。和磁?chǎng)同時(shí)改變方向時(shí)，霍爾電勢(shì)并不改變?cè)瓉淼姆较??；魻栯妱?shì)霍爾電勢(shì): :1. 工作原理工作原理2022-3-1659 霍爾元件的結(jié)構(gòu)很簡(jiǎn)單霍爾元件的結(jié)構(gòu)很簡(jiǎn)單, , 它由霍爾片、它由霍爾片、 引線和殼體引線和殼體組成組成, , 如圖如圖(a)(a)所示。所示。 霍霍爾片是一塊矩形半導(dǎo)體單爾片是一塊矩形半導(dǎo)體單晶薄片，晶薄片， 引出四個(gè)引線：引出四個(gè)引線：1 1、11兩根引線加兩根引線加 控制電控制電流，稱為控制電極；流，稱為控制電極； 2 2、22電極用于引出霍爾電電極用于引出霍爾電動(dòng)勢(shì)，稱為霍爾電動(dòng)勢(shì)輸動(dòng)勢(shì)，稱為霍爾電動(dòng)勢(shì)輸出電極。出電極。 霍爾元件殼體由非導(dǎo)磁金霍爾元

32、件殼體由非導(dǎo)磁金屬、陶瓷或環(huán)氧樹脂等封屬、陶瓷或環(huán)氧樹脂等封裝而成。裝而成。 在電路中霍爾元在電路中霍爾元件可用兩種符號(hào)表示，如件可用兩種符號(hào)表示，如圖圖(b)(b)所示所示2. 霍爾傳感器符號(hào)和結(jié)構(gòu)霍爾傳感器符號(hào)和結(jié)構(gòu)2022-3-1660 霍爾電極位于基片長(zhǎng)度的中間，霍爾電極位于基片長(zhǎng)度的中間，其寬度遠(yuǎn)小于基片的長(zhǎng)度。如其寬度遠(yuǎn)小于基片的長(zhǎng)度。如圖圖c所示。所示。 霍爾元件的基本測(cè)量電路如圖霍爾元件的基本測(cè)量電路如圖d所示，控制電流所示，控制電流I由電壓源供給，由電壓源供給，其大小由可變電阻調(diào)節(jié)?；魻柶浯笮∮煽勺冸娮枵{(diào)節(jié)。霍爾電動(dòng)勢(shì)電動(dòng)勢(shì)UH加在負(fù)載電阻加在負(fù)載電阻RL上，上，RL代表測(cè)量

33、電路放大器的輸入代表測(cè)量電路放大器的輸入電阻。電阻。3. 霍爾傳感器測(cè)量電路霍爾傳感器測(cè)量電路2022-3-1661(1) 輸入電阻和輸出電阻輸入電阻和輸出電阻 輸入電阻：輸入電阻：控制電極之間的電阻控制電極之間的電阻 輸出電阻：輸出電阻：霍爾電極之間的電阻霍爾電極之間的電阻(2) 額定控制電流和最大允許控制電流額定控制電流和最大允許控制電流 額定控制電流：額定控制電流：當(dāng)霍爾元件有控制電流使其本身在當(dāng)霍爾元件有控制電流使其本身在 空氣中產(chǎn)生空氣中產(chǎn)生10溫升時(shí)，對(duì)應(yīng)的控制電流值溫升時(shí)，對(duì)應(yīng)的控制電流值 最大允許控制電流：最大允許控制電流：滿足一定散熱條件下，霍爾元滿足一定散熱條件下，霍爾元

34、件允許通過的最大控制電流件允許通過的最大控制電流4. 4. 霍爾元件主要技術(shù)參數(shù)霍爾元件主要技術(shù)參數(shù)2022-3-1662(3)不等位電勢(shì)不等位電勢(shì) 當(dāng)霍爾元件的控制電流為額定值時(shí)，若元件所處位置的當(dāng)霍爾元件的控制電流為額定值時(shí)，若元件所處位置的磁感應(yīng)強(qiáng)度為零，測(cè)得的磁感應(yīng)強(qiáng)度為零，測(cè)得的空載霍爾電勢(shì)空載霍爾電勢(shì)。這是由于兩。這是由于兩個(gè)霍爾電極安裝時(shí)不在同一個(gè)電位面上所致。個(gè)霍爾電極安裝時(shí)不在同一個(gè)電位面上所致。00CUrI4. 4. 霍爾元件主要技術(shù)參數(shù)霍爾元件主要技術(shù)參數(shù) 不等位電勢(shì)是由霍爾電極不等位電勢(shì)是由霍爾電極2與與2之間的電阻之間的電阻r0決定的，決定的，r 0稱稱不等位電阻不等

35、位電阻，即不等位電勢(shì)即不等位電勢(shì)U0與額定控制電流與額定控制電流Ic之比之比稱為不等位電阻稱為不等位電阻 2022-3-1663(4) 寄生直流電勢(shì)寄生直流電勢(shì) 是霍爾元件零位誤差的一部分，當(dāng)沒有外加磁場(chǎng)，霍是霍爾元件零位誤差的一部分，當(dāng)沒有外加磁場(chǎng)，霍爾元件用交流控制電流時(shí)，霍爾電極的輸出有一個(gè)直流電爾元件用交流控制電流時(shí)，霍爾電極的輸出有一個(gè)直流電勢(shì)?？刂齐姌O和霍爾電極與基片的連接是非完全歐姆接觸勢(shì)?？刂齐姌O和霍爾電極與基片的連接是非完全歐姆接觸時(shí)，會(huì)產(chǎn)生整流效應(yīng)。時(shí)，會(huì)產(chǎn)生整流效應(yīng)。 兩個(gè)霍爾電極焊點(diǎn)的不一致，引起兩電極溫度不同，兩個(gè)霍爾電極焊點(diǎn)的不一致，引起兩電極溫度不同，產(chǎn)生溫差電勢(shì)

36、產(chǎn)生溫差電勢(shì)(5) 霍爾電勢(shì)溫度系數(shù)霍爾電勢(shì)溫度系數(shù) 在一定磁感應(yīng)強(qiáng)度和控制電流下，溫度每變化在一定磁感應(yīng)強(qiáng)度和控制電流下，溫度每變化1C時(shí)，霍時(shí)，霍爾電勢(shì)變化的百分率爾電勢(shì)變化的百分率4. 4. 霍爾元件主要技術(shù)參數(shù)霍爾元件主要技術(shù)參數(shù)2022-3-1664霍爾元件的誤差主要是指霍爾元件的誤差主要是指不等位電勢(shì)誤差和溫度誤差不等位電勢(shì)誤差和溫度誤差不等位電勢(shì)誤差不等位電勢(shì)誤差 不等位電勢(shì)所造成的誤差很大，甚至?xí)^霍爾電動(dòng)勢(shì)。但在實(shí)際應(yīng)用中不等位電勢(shì)所造成的誤差很大，甚至?xí)^霍爾電動(dòng)勢(shì)。但在實(shí)際應(yīng)用中消除不等位電勢(shì)是很困難的，常應(yīng)用消除不等位電勢(shì)是很困難的，常應(yīng)用橋路原理橋路原理對(duì)不等位電

37、勢(shì)進(jìn)行補(bǔ)償對(duì)不等位電勢(shì)進(jìn)行補(bǔ)償。5. 5. 霍爾元件誤差及補(bǔ)償霍爾元件誤差及補(bǔ)償 可以把霍爾元件視為一個(gè)可以把霍爾元件視為一個(gè)四臂電阻電橋四臂電阻電橋，不等位電，不等位電勢(shì)就相當(dāng)于電橋的勢(shì)就相當(dāng)于電橋的初始不初始不平衡輸出電壓平衡輸出電壓。 理想情況理想情況下，不等位電勢(shì)為零，電下，不等位電勢(shì)為零，電橋處于平衡狀態(tài)橋處于平衡狀態(tài) R1=R2=R3=R42022-3-1665不等位電勢(shì)的補(bǔ)償電路不等位電勢(shì)的補(bǔ)償電路 平衡電橋的方法很多，補(bǔ)償不等位電勢(shì)的方法也很多，上平衡電橋的方法很多，補(bǔ)償不等位電勢(shì)的方法也很多，上圖是一種補(bǔ)償電路。特點(diǎn)是：不對(duì)稱電路簡(jiǎn)單，而對(duì)稱補(bǔ)圖是一種補(bǔ)償電路。特點(diǎn)是：不對(duì)稱

38、電路簡(jiǎn)單，而對(duì)稱補(bǔ)償?shù)臏囟确€(wěn)定性要好些償?shù)臏囟确€(wěn)定性要好些 5. 5. 霍爾元件誤差及補(bǔ)償霍爾元件誤差及補(bǔ)償2022-3-1666 產(chǎn)生原因：產(chǎn)生原因： 霍爾元件的基片是半導(dǎo)體材料，因而對(duì)溫度的霍爾元件的基片是半導(dǎo)體材料，因而對(duì)溫度的變化很敏感。其載流子濃度和載流子遷移率、電阻率和霍變化很敏感。其載流子濃度和載流子遷移率、電阻率和霍爾系數(shù)都是溫度的函數(shù)爾系數(shù)都是溫度的函數(shù)當(dāng)溫度變化時(shí)，霍爾元件的一些特性參數(shù)，如霍爾電勢(shì)、當(dāng)溫度變化時(shí)，霍爾元件的一些特性參數(shù)，如霍爾電勢(shì)、輸入電阻和輸出電阻等都要發(fā)生變化，從而使霍爾式傳感輸入電阻和輸出電阻等都要發(fā)生變化，從而使霍爾式傳感器產(chǎn)生溫度誤差。器產(chǎn)生溫度

39、誤差。 減少誤差方法：減少誤差方法： 選用溫度系數(shù)小的元件選用溫度系數(shù)小的元件 采用恒溫措施采用恒溫措施 采用恒流源供電采用恒流源供電 5. 5. 霍爾元件誤差及補(bǔ)償霍爾元件誤差及補(bǔ)償溫度誤差溫度誤差2022-3-1667恒流源溫度補(bǔ)償 )1 (TKKHOH霍爾元件的靈敏系數(shù)是溫度的函數(shù)，它隨溫度的變化引起霍爾電勢(shì)的變霍爾元件的靈敏系數(shù)是溫度的函數(shù)，它隨溫度的變化引起霍爾電勢(shì)的變化，霍爾元件的靈敏系數(shù)與溫度的關(guān)系化，霍爾元件的靈敏系數(shù)與溫度的關(guān)系 大多數(shù)霍爾元件的溫度系數(shù)大多數(shù)霍爾元件的溫度系數(shù)是正值時(shí)，它們的霍爾電勢(shì)隨溫度的升高而是正值時(shí)，它們的霍爾電勢(shì)隨溫度的升高而增加（增加（1+t）倍。

40、如果控制電流）倍。如果控制電流I相應(yīng)地減小，能保持相應(yīng)地減小，能保持KHI不變，就抵消不變，就抵消了靈敏系數(shù)值增加的影響了靈敏系數(shù)值增加的影響 5. 5. 霍爾元件誤差及補(bǔ)償霍爾元件誤差及補(bǔ)償電路中用一個(gè)分流電阻電路中用一個(gè)分流電阻R與霍爾元件的控與霍爾元件的控制電極并聯(lián)。當(dāng)霍爾元件的輸入電阻隨制電極并聯(lián)。當(dāng)霍爾元件的輸入電阻隨溫度升高而增加時(shí)，旁路分流電阻自動(dòng)溫度升高而增加時(shí)，旁路分流電阻自動(dòng)地加強(qiáng)分流，減少了霍爾元件的控制電地加強(qiáng)分流，減少了霍爾元件的控制電流，從而達(dá)到補(bǔ)償?shù)哪康牧?，從而達(dá)到補(bǔ)償?shù)哪康摹?022-3-16686. 應(yīng)用應(yīng)用1. 微位移和壓力的測(cè)量 測(cè)量原理測(cè)量原理：霍爾電勢(shì)

41、與磁感應(yīng)強(qiáng)度成正比，若磁感應(yīng)強(qiáng)度是位置的函霍爾電勢(shì)與磁感應(yīng)強(qiáng)度成正比，若磁感應(yīng)強(qiáng)度是位置的函數(shù)，則霍爾電勢(shì)的大小就可以用來反映霍爾元件的位置數(shù)，則霍爾電勢(shì)的大小就可以用來反映霍爾元件的位置 應(yīng)用：應(yīng)用：位移測(cè)量、力、壓力、應(yīng)變、機(jī)械振動(dòng)、加速度位移測(cè)量、力、壓力、應(yīng)變、機(jī)械振動(dòng)、加速度 霍爾式微位移傳感器右圖給出了霍爾式位移傳感器的工作原理圖。右圖給出了霍爾式位移傳感器的工作原理圖。 磁場(chǎng)強(qiáng)度相同的兩塊永久磁鐵磁場(chǎng)強(qiáng)度相同的兩塊永久磁鐵, 同極性相對(duì)地同極性相對(duì)地放置放置, 霍爾元件處在兩塊磁鐵的中間。由于磁霍爾元件處在兩塊磁鐵的中間。由于磁鐵中間的磁感應(yīng)強(qiáng)度鐵中間的磁感應(yīng)強(qiáng)度B=0, 因此霍

42、爾元件輸出的因此霍爾元件輸出的霍爾電勢(shì)霍爾電勢(shì)UH也等于零也等于零, 此時(shí)位移此時(shí)位移x=0。若霍爾若霍爾元件在兩磁鐵中產(chǎn)生相對(duì)位移元件在兩磁鐵中產(chǎn)生相對(duì)位移, 霍爾元件感受霍爾元件感受到的磁感應(yīng)強(qiáng)度也隨之改變到的磁感應(yīng)強(qiáng)度也隨之改變, 這時(shí)這時(shí)UH不為零不為零, 其其量值大小反映出霍爾元件與磁鐵之間相對(duì)位置量值大小反映出霍爾元件與磁鐵之間相對(duì)位置的變化量的變化量, 這種結(jié)構(gòu)的傳感器這種結(jié)構(gòu)的傳感器, 其動(dòng)態(tài)范圍可達(dá)其動(dòng)態(tài)范圍可達(dá) 5 mm, 分辨率為分辨率為 0.001mm。2022-3-1669霍爾式壓力傳感器 1.1. 彈簧管彈簧管 2.2. 磁鐵磁鐵 3.3. 霍爾片霍爾片 2022-

43、3-1670 2霍爾接近開關(guān)利用霍爾元件做成的開關(guān)，叫做霍利用霍爾元件做成的開關(guān)，叫做霍爾開關(guān)。當(dāng)磁性物件移近霍爾開關(guān)爾開關(guān)。當(dāng)磁性物件移近霍爾開關(guān)時(shí)，開關(guān)檢測(cè)面上的霍爾元件因產(chǎn)時(shí)，開關(guān)檢測(cè)面上的霍爾元件因產(chǎn)生霍爾效應(yīng)而使開關(guān)內(nèi)部電路狀態(tài)生霍爾效應(yīng)而使開關(guān)內(nèi)部電路狀態(tài)發(fā)生變化，由此識(shí)別附近有磁性物發(fā)生變化，由此識(shí)別附近有磁性物體存在，進(jìn)而控制開關(guān)的通或斷。體存在，進(jìn)而控制開關(guān)的通或斷。這種接近開關(guān)的檢測(cè)對(duì)象必須是磁這種接近開關(guān)的檢測(cè)對(duì)象必須是磁性物體。性物體。 霍爾接近開關(guān)是建立在霍爾開關(guān)元件基礎(chǔ)上的非接觸式傳感器，它霍爾接近開關(guān)是建立在霍爾開關(guān)元件基礎(chǔ)上的非接觸式傳感器，它既有霍爾開關(guān)元件所

44、具有的無(wú)觸點(diǎn)，無(wú)開關(guān)瞬態(tài)抖動(dòng)，高可靠和長(zhǎng)既有霍爾開關(guān)元件所具有的無(wú)觸點(diǎn)，無(wú)開關(guān)瞬態(tài)抖動(dòng)，高可靠和長(zhǎng)壽命等特點(diǎn)，又有很強(qiáng)的負(fù)載能力和廣泛的作用，特別是在惡劣環(huán)壽命等特點(diǎn)，又有很強(qiáng)的負(fù)載能力和廣泛的作用，特別是在惡劣環(huán)境下，它比目前使用的電感式，電容式，光電式等接近開關(guān)具有更境下，它比目前使用的電感式，電容式，光電式等接近開關(guān)具有更強(qiáng)的抗干擾能力。強(qiáng)的抗干擾能力。 6. 應(yīng)用應(yīng)用2022-3-1671應(yīng)用：應(yīng)用： 霍爾計(jì)數(shù)裝置霍爾計(jì)數(shù)裝置霍爾開關(guān)傳感器霍爾開關(guān)傳感器SL3501是具有較高靈敏度的集成霍爾元件是具有較高靈敏度的集成霍爾元件, 能感受到很小能感受到很小的磁場(chǎng)變化的磁場(chǎng)變化, 因而可對(duì)黑

45、色金屬零件進(jìn)行計(jì)數(shù)檢測(cè)。因而可對(duì)黑色金屬零件進(jìn)行計(jì)數(shù)檢測(cè)。 附圖是對(duì)鋼球進(jìn)行計(jì)數(shù)的工作示意圖和電路圖，當(dāng)鋼球通過霍爾開關(guān)傳感附圖是對(duì)鋼球進(jìn)行計(jì)數(shù)的工作示意圖和電路圖，當(dāng)鋼球通過霍爾開關(guān)傳感器時(shí)器時(shí), 傳感器可輸出峰值傳感器可輸出峰值20mV的脈沖電壓的脈沖電壓, 該電壓經(jīng)運(yùn)算放大器該電壓經(jīng)運(yùn)算放大器A（A741）放大后放大后, 驅(qū)動(dòng)半導(dǎo)體三極管驅(qū)動(dòng)半導(dǎo)體三極管VT（2N5812）工作工作, VT輸出端便可接計(jì)數(shù)器進(jìn)輸出端便可接計(jì)數(shù)器進(jìn)行計(jì)數(shù)行計(jì)數(shù), 并由顯示器顯示檢測(cè)數(shù)值。并由顯示器顯示檢測(cè)數(shù)值。2022-3-1672 3霍爾傳感器測(cè)速 當(dāng)當(dāng)齒齒對(duì)準(zhǔn)霍爾元件時(shí)，磁力線集中穿過霍爾元件，可產(chǎn)對(duì)準(zhǔn)霍爾元件時(shí)，磁力線集中穿過霍爾元件，可產(chǎn)生較大的霍爾電動(dòng)勢(shì)，放大、整形后輸出高電平；反之，生較大的霍爾電動(dòng)勢(shì)，放大、整形后輸出高電平；反之，當(dāng)齒輪的空擋對(duì)準(zhǔn)霍爾元件