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文檔簡介

(ECR-CVD)09微電2什么是電子回旋共振(ECR)？ 在875GS（高斯）的磁場中，電子受洛倫茲力發(fā)生回旋運(yùn)動，同時，在此區(qū)域內(nèi)存在2.45GHZ的微波，電子的回旋運(yùn)動和微波就會發(fā)生共振現(xiàn)象。什么是等離子體？ 等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。等離子體是一種很好的導(dǎo)電體，利用經(jīng)過巧妙設(shè)計(jì)的磁場可以捕捉、移動和加速等離子體。 so science fictional! 沉積過程 電子在微波電場中將被不斷同步、無碰撞加速而獲得的能量大于離子獲得的能量，如果在兩次碰撞之間電子共振吸收微波的能量大于氣體粒子的電離能、 分子離解能或某一狀態(tài)的 激發(fā)能，那么將產(chǎn)生碰撞電離、分子離解和粒子激活，從而實(shí)現(xiàn)等離子體放電和獲得活性反 應(yīng)粒子，形成高密度的 ECR 低溫等離子體。 ECR-CVD machine 優(yōu)點(diǎn) 降低CVD成膜溫度 獲得高質(zhì)量的導(dǎo)電薄膜 獲得各種其他薄膜，如絕緣介質(zhì)薄膜，合金薄膜等

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