晶體缺陷檢測工作

1、晶體缺陷檢測工作二、晶體缺陷檢測二、晶體缺陷檢測（一）晶體缺陷檢測的重要性（一）晶體缺陷檢測的重要性（二）晶體缺陷的種類（二）晶體缺陷的種類點缺陷點缺陷空位、間隙雜質原子空位、間隙雜質原子 （主要）（主要）線缺陷線缺陷位錯位錯 （主要）（主要）面缺陷面缺陷堆垛層錯、攣晶界、晶界等堆垛層錯、攣晶界、晶界等體缺陷體缺陷孔洞、夾雜物等孔洞、夾雜物等半導體加工過程中的二次缺陷半導體加工過程中的二次缺陷（1）點缺陷）點缺陷G 晶格中點缺陷常常是外來原子或雜質原子造成的。晶格中點缺陷常常是外來原子或雜質原子造成的。 單晶硅中點缺陷包括：單晶硅中點缺陷包括：l有意摻入電活性雜質有意摻入電活性雜質（如（如P，

2、B) 控制電導率和導電類型l 氧，碳，硼雜質氧，碳，硼雜質 來源于氣態(tài)生長、化學試劑、石英玻璃 成為硅體內自間隙原子，并誘生出位錯 和層錯等缺陷，影響晶體整體完整性、載流子濃度 以及少子壽命，并容易導致器件漏電。l 重金屬雜質（重金屬雜質（Fe,Cu,Ni,Au,Al,Co等等) 來源于硅片生長、加工（不銹鋼）、 清洗、金屬電極制作過程 影響載流子濃度和少子壽命，導致器件失效。（2）線缺陷）線缺陷位錯位錯 G 位錯是半導體中最主要的缺陷。位錯是半導體中最主要的缺陷。位錯產生的根本原因是晶體內部應力的存在，例如在晶體制備、后熱處理等過程中，由于不均勻的加熱或冷卻，晶體內部存在應力就可產生位錯。除

3、此之外，雜質原子引起位錯。刃型位錯后發(fā)生滑移。 刃形位錯形成示意圖刃形位錯形成示意圖滑移面滑移面位錯線位錯線刃型位錯后發(fā)生滑移刃型位錯后發(fā)生滑移附加的原子或者附加的原子或者受熱不均受熱不均位錯形成的一系列透射電子顯微鏡照片（3）面缺陷）面缺陷 a. 堆垛層錯：堆垛層錯：由位錯的相關原子組成的多余原子面。 螺型位錯后發(fā)生堆垛螺型位錯后發(fā)生堆垛 堆垛層錯通常在外延生長層中觀察到外延生長層中觀察到。一般要求外延層中的層錯密度小于102/cm2。 b. 攣晶：攣晶：從同一個界面生長出兩種不同方向晶體從同一個界面生長出兩種不同方向晶體 c. 晶界：晶界：具有很大取向差別的晶塊結合時產生具有很大取向差別的

4、晶塊結合時產生一個硅圓柱錠的晶界一個硅圓柱錠的晶界攣晶攣晶（三）晶體缺陷檢測方法（三）晶體缺陷檢測方法1、點缺陷的檢測、點缺陷的檢測 u電學性能測量電學性能測量有意摻雜原子濃度的確定有意摻雜原子濃度的確定 如：電阻率測量，霍爾效應測量， 對應N型或P型摻雜濃度 u 少子壽命測試少子壽命測試金屬雜質分析金屬雜質分析u 二次離子質譜二次離子質譜金屬雜質分析金屬雜質分析u 原子吸收光譜原子吸收光譜金屬雜質分析金屬雜質分析u紅外光譜吸收法紅外光譜吸收法碳、氧雜質碳、氧雜質 紅外光譜紅外光譜：測量C、O、N雜質含量利用利用SIMS進行器件失效分析進行器件失效分析 雜質雜質C（替位）的最強紅外吸收峰波長（

5、替位）的最強紅外吸收峰波長:16.4m 雜質雜質O （間隙）的紅外吸收峰波長：（間隙）的紅外吸收峰波長：9.1mC吸收最強吸收次強2、位錯和層錯的檢測、位錯和層錯的檢測u 腐蝕金相顯微鏡觀測腐蝕金相顯微鏡觀測（簡單常用的方法）（簡單常用的方法）u X X射線衍射法射線衍射法 （精確的方法）（精確的方法） u 電子顯微鏡電子顯微鏡 （1）檢測基本原理）檢測基本原理 在適宜的腐蝕劑中，晶體表面靠近位錯附近的區(qū)域其腐在適宜的腐蝕劑中，晶體表面靠近位錯附近的區(qū)域其腐蝕速度要比其它區(qū)域大，腐蝕一定時間后就會形成凹下的坑，蝕速度要比其它區(qū)域大，腐蝕一定時間后就會形成凹下的坑，即所謂腐蝕坑即所謂腐蝕坑，利用

6、這個特性可進行位錯和層錯的顯示。2.12.1 腐蝕金相觀察法腐蝕金相觀察法 由于位錯是一種線缺陷，晶格畸變是沿著一條線延伸下來的，貫穿于整個晶體，終止在表面或形成閉環(huán)，因此在表面的交點是一個點狀在表面的交點是一個點狀小區(qū)域小區(qū)域.(100)硅片表面的位錯(111)硅片表面的位錯 （111）面）面 （100）面）面 （110）面）面 蝕坑是一倒置正四面體（三角錐體）蝕坑是一倒置四棱錐體，從表面看呈實心正方形蝕坑為兩個對頂三角錐體（2）位錯與層錯的腐蝕坑觀察）位錯與層錯的腐蝕坑觀察 位錯密度位錯密度 是垂直于位錯線單位截面積中穿過的位錯線數。 多點平均法。 圖2.21 五點平均 圖2.22 分區(qū)標

7、圖法 （3）層錯、位錯密度的測量）層錯、位錯密度的測量2.22.2 X X射線衍射法（射線衍射法（XRDXRD） 在近完整晶體中，缺陷、畸變等體現(xiàn)在X射線譜中只有幾十弧秒，而半導體材料進行外延生長要求晶格失配要達到10-4或更小。這樣精細的要求使雙晶X射線衍射技術成為近代光電子材料及器件研制的必備測量儀器，以雙晶衍射技術為基礎而發(fā)展起來的四晶及五晶衍射技術（亦稱為雙晶衍射），已成為近代X射線衍射技術取得突出成就的標志。純譜線的形狀和寬度由試樣的平均晶粒尺寸、尺寸分布以及晶體點陣中的主要缺陷決定，故對線形作適當分析，原則上可以得到上述影響因素的性質和尺度等方面的信息。檢測基本原理檢測基本原理 當

8、電子束照到晶體上，除了產生透射束（零級衍射）外，還會產生各級衍射束，經物鏡聚集后，在其后焦面形成電子衍射譜像。電子衍射原電子衍射原理與理與X 射線衍射原理相同，遵循布拉格衍射定律，但電子能量高，波長射線衍射原理相同，遵循布拉格衍射定律，但電子能量高，波長非常短（非常短（電子能量越大，電子波長越短。當加速電壓為100 kV時，電子的波長僅為0.0037nm ；當 E = 30KeV 時, 0.007nm），衍射角小，），衍射角小，因此電子衍射是對晶體二維倒易點陣結構的放大顯示，因此電子衍射是對晶體二維倒易點陣結構的放大顯示，根據顯示圖形可以鑒定所觀察晶體的種類、結構、晶格常數等。 2.32.3

9、電子顯微鏡法電子顯微鏡法1937年諾貝爾物理學獎：電子衍射年諾貝爾物理學獎：電子衍射戴維森戴維森 G .P .湯姆孫湯姆孫 背景：20世紀20年代中期物理學發(fā)展的關鍵時期。波動力學已經由薛定諤在德布羅意的物質波假設的基礎上建立起來，和海森伯從不同的途徑創(chuàng)立的矩陣力學，共同形成微觀體系的基本理論。這一巨大變革的實驗基礎自然成了人們關切的課題，這就激勵了許多物理學家致力于證實粒子的波動性。直到1927年，才由美國的戴維森和英國的G .P .湯姆孫分別作出電子衍射實驗。雖然這時量子力學已得到廣泛的運用，但電子衍射實驗成功引起了世人的注意。貝爾 實驗室英國倫敦大學最簡單的電子衍射裝置。最簡單的電子衍射

10、裝置。從陰極K發(fā)出的電子被加速后經過陽極A的光闌孔和透鏡L到達試樣S上，被試樣衍射后在熒光屏或照相底板P上形成電子衍射圖樣。由于物質（包括空氣）對電子的吸收很強，故上述各部分均置于真空中。電子的加速電壓一般為數萬伏至十萬伏左右，稱高能電子衍射透射。 為了研究表面結構，電子加速電壓也可低達數千甚至數十伏，這種裝置稱低能電子衍射裝置，稱反射電子衍射（RHEED）。 自從60年代以來，商品透射電子顯微鏡都具有電子衍射功能（見電子顯商品透射電子顯微鏡都具有電子衍射功能（見電子顯微鏡），微鏡），而且可以利用試樣后面的透鏡，選擇小至1微米的區(qū)域進行衍射觀察，稱為選區(qū)電子衍射。 （a）非晶）非晶 （b）單晶

11、）單晶 （c）多晶）多晶 （d）會聚束）會聚束 硅單晶硅單晶圖圖6.16 典型電子衍射圖典型電子衍射圖l 在位錯存在的區(qū)域附近，晶格發(fā)生了畸變，因此衍射強度亦將隨之變化，于是位錯附近區(qū)域所成的像便會與周位錯附近區(qū)域所成的像便會與周圍區(qū)域形成襯度反差，這就是用圍區(qū)域形成襯度反差，這就是用TEM觀察位錯的基本原觀察位錯的基本原理，理，因上述原因造成的襯度差稱為衍射襯度衍射襯度。l 電子衍射作用遠比X射線與物質的交互作用強烈，因而在金屬和合金的微觀分析中特別適用于對含少量原子的樣品，如薄膜、微粒、表面等進行結構分析。薄膜、微粒、表面等進行結構分析。半導體異質結構中的位錯半導體異質結構中的位錯位錯的透

12、射電子顯微鏡照片位錯的透射電子顯微鏡照片中間稍亮區(qū)域（晶粒）里的暗線就是所觀察到位錯的像。光學顯微鏡（助教內容）光學顯微鏡（助教內容）u 結構和原理結構和原理u 光學顯微鏡的性能參數光學顯微鏡的性能參數u 光學顯微鏡的使用光學顯微鏡的使用1、顯微鏡的構造、顯微鏡的構造光學系統(tǒng)光學系統(tǒng):物鏡物鏡,目鏡目鏡,反光鏡反光鏡,聚光器聚光器,虹虹彩光圈彩光圈.機械系統(tǒng)機械系統(tǒng):鏡座鏡座,鏡柱鏡柱,鏡壁鏡壁,鏡筒鏡筒,物鏡轉物鏡轉換器換器,載物臺載物臺,調焦螺旋調焦螺旋,聚光聚光器調節(jié)螺旋器調節(jié)螺旋2、顯微鏡的性能參數、顯微鏡的性能參數 放大倍數放大倍數 幾何光學的缺陷幾何光學的缺陷 顯微鏡的分辨率顯微鏡

13、的分辨率 顯微鏡的景深顯微鏡的景深 物鏡和目鏡的測微尺物鏡和目鏡的測微尺 金相顯微鏡，金相顯微鏡，是專門用于觀察金屬和礦物等不透明不透明物體金相組織的顯微鏡，即反射式顯微鏡物體金相組織的顯微鏡，即反射式顯微鏡。它是鑒別和分析各種金屬和合金的組織結構及缺陷的專業(yè)儀器。放放大倍率大倍率10010015001500倍。倍。3、金相顯微鏡、金相顯微鏡電子顯微鏡種類電子顯微鏡種類(自學）自學）u 透射電子顯微鏡透射電子顯微鏡 (TEM)u 掃描電子顯微鏡掃描電子顯微鏡(SEM)u 掃描隧道電子顯微鏡掃描隧道電子顯微鏡(STM)u 原于力電子顯微鏡原于力電子顯微鏡(AFM) 真真空空系系統(tǒng)統(tǒng)光學顯微鏡光學

14、顯微鏡 透射電鏡透射電鏡 電電子子光光學學系系統(tǒng)統(tǒng)分辨率分辨率放大倍數放大倍數0.10.2nm106數量級以上。 透射電鏡實物圖片2、掃描電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡(SEM)光學顯微鏡與電子顯微鏡的性能比較光學顯微鏡與電子顯微鏡的性能比較顯微鏡的分辨率：d0.61/（nsin）3、掃描隧道電子顯微鏡、掃描隧道電子顯微鏡(STM) 掃描隧道顯微鏡(STM) 是一種利用量子理論中的隧道利用量子理論中的隧道效應探測物質表面結構的儀器效應探測物質表面結構的儀器。 掃描隧道顯微鏡可以定位單個原子可以定位單個原子，使人類第一次能夠實時地觀察單個原子在物質表面的排列狀態(tài)和與表面電子行為有關的物化性質，在表面

15、科學、材料科學、生命科學等領域的研究中有著重大的意義和廣泛的應用前景，被國際科學界公認為20世紀80年代世界十大科技成就之一。它于1981年由IBM蘇黎世實驗室的兩位研究者發(fā)明，兩位發(fā)明者因此榮獲了1986年諾貝爾物理學獎。 此外，在低溫下（4K）可以利用探針尖端精確操縱原操縱原子子，可以在各種樣品表面上進行直接刻寫、光刻以及誘導淀積和刻蝕等，因此它是納米科技重要的測量工具和加工工具。 用用STM移動氙原子排出的移動氙原子排出的“IBM”圖案圖案 用掃描隧道顯微鏡拍攝到的電子圖像用掃描隧道顯微鏡拍攝到的電子圖像 STM主體的主要部分是極細的探針針尖。工作時，探針針尖和被研究的樣品的表面是兩個電

16、極，使樣品表面與探針針尖非常接近，并給兩個電極加上一定的電壓，就會形成隧道電流，二者的間距不同，隧道電流大小也二者的間距不同，隧道電流大小也不同不同。通過電子反饋電路控制隧道電流大小，探針針尖在計算機控制下對樣品表面掃描，同時記錄下掃描樣品表面的原子排列圖象。 4、原于力顯微鏡、原于力顯微鏡(AFM) 原子力顯微鏡 (Atomic Force Microscopy, AFM)，是由IBM公司的Binnig與史丹佛大學的Quate于1985年所發(fā)明的，其目的是為了使非導體也可以采用掃描探針顯微鏡其目的是為了使非導體也可以采用掃描探針顯微鏡（SPM）進行觀測）進行觀測。 AFM是一種利用原子、分子

17、間的相互作用力利用原子、分子間的相互作用力來觀察物體表面微觀形貌的新型實驗技術，是一個表面仿型(profile)機器，能夠掃描表面的三維圖像。 顯微鏡有一根納米級粗細的探針，被固定在可靈敏操控的微米級彈性懸臂上。當探針很靠近樣品時,其頂端的原子與樣品表面原子間的作用力會使懸臂彎曲，偏離原來的位置。根據掃描樣品時探針的偏離量或振動頻率重建三維圖像，就能間接獲得樣品表面的形貌或原子成分。 如圖所示采用的激光檢測探針懸臂彎曲量的方法。激光器發(fā)出的激光束經過光學系統(tǒng)聚焦在微懸臂背面，并從微懸臂背面反射到光斑位置檢測器。微懸臂將隨樣品表面形貌而彎曲起伏，反射光束也將隨之偏移，因而通過檢測光斑位置的變化，就能獲得被測樣品表面形貌的信息。 AFM的工作原理的工作原理探針探針原子力顯微鏡本章復習題本章復習題(請做請做4、5、6、7、10、11、13序號題序號題)1 1、測定晶向有哪些方法？測定晶向偏離度有哪些方法？、測定晶向有哪些方法？測定晶向偏離度有哪些方法？2 2、畫圖說明光點定向檢測方法的原理。、畫圖說明光點定向檢測方法的原理。3 3、利用、利用X X射線衍射檢測晶向時，是基于什么原理？畫圖說明。射線衍射檢測晶向時，是基于什么原理？畫圖說明。4 4、什么是點