材料分析與表征緒論

1、12材料科學(xué)的主要任務(wù)是研究材料材料科學(xué)的主要任務(wù)是研究材料研究的內(nèi)容：研究的內(nèi)容： 組成組成 結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu) 性能性能材料設(shè)計(jì)材料設(shè)計(jì)材料的性能決定于：材料的性能決定于： 組成組成 結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)3是關(guān)于材料組成和結(jié)構(gòu)（包括材料整體分析、是關(guān)于材料組成和結(jié)構(gòu)（包括材料整體分析、表面與界面分析、微區(qū)分析、形貌分析等）表面與界面分析、微區(qū)分析、形貌分析等）的現(xiàn)代分析、測(cè)試技術(shù)及其有關(guān)理論基礎(chǔ)的的現(xiàn)代分析、測(cè)試技術(shù)及其有關(guān)理論基礎(chǔ)的科學(xué)科學(xué)4l測(cè)量信號(hào)（或特征信息）與材料組成、結(jié)測(cè)量信號(hào)（或特征信息）與材料組成、結(jié)構(gòu)等的特征關(guān)系。構(gòu)等的特征關(guān)系。l 測(cè)量信號(hào)與材料的物理化學(xué)性質(zhì)測(cè)量信號(hào)與材料的物理化學(xué)性質(zhì)及其

2、變化有關(guān)及其變化有關(guān)l采用不同的測(cè)量信號(hào)（相應(yīng)地具有與材料采用不同的測(cè)量信號(hào)（相應(yīng)地具有與材料的不同特征關(guān)系）形成了各種不同的材料的不同特征關(guān)系）形成了各種不同的材料分析方法。分析方法。5信號(hào)發(fā)生信號(hào)發(fā)生信號(hào)檢測(cè)信號(hào)檢測(cè)信號(hào)讀出信號(hào)讀出信號(hào)處理信號(hào)處理（信號(hào)發(fā)生器）（信號(hào)發(fā)生器）（信號(hào)檢測(cè)器）（信號(hào)檢測(cè)器）（信號(hào)處理器）（信號(hào)處理器）（信號(hào)讀出裝置）（信號(hào)讀出裝置）61 電磁輻射與物質(zhì)波電磁輻射與物質(zhì)波 1. 電磁輻射電磁輻射 2. 電磁波譜電磁波譜 3. 物質(zhì)波物質(zhì)波一、信號(hào)（電磁輻射與物質(zhì)波）一、信號(hào)（電磁輻射與物質(zhì)波）71. 電磁輻射與波粒二象性電磁輻射與波粒二象性l電磁輻射是指在空間傳

3、播的交變電磁場(chǎng)。電磁輻射也可稱為電磁輻射是指在空間傳播的交變電磁場(chǎng)。電磁輻射也可稱為電磁波（有時(shí)也將部分譜域的電磁波泛稱為光）。電磁波（有時(shí)也將部分譜域的電磁波泛稱為光）。l根據(jù)量子理論，電磁波具有波粒二象性。根據(jù)量子理論，電磁波具有波粒二象性。l描述電磁波波動(dòng)性的主要物理參數(shù)有：波長(zhǎng)（描述電磁波波動(dòng)性的主要物理參數(shù)有：波長(zhǎng)（）或波數(shù)）或波數(shù)（或或K）、頻率（）、頻率（）及相位（）及相位（）等。）等。l =c l微粒性：電磁波是由光子所組成的光子流。微粒性：電磁波是由光子所組成的光子流。l電磁波波動(dòng)性與微粒性的關(guān)系是電磁波波動(dòng)性與微粒性的關(guān)系是lE=hlP=h/ l l 電磁波微粒性電磁波微粒

4、性 波動(dòng)性波動(dòng)性82. 電磁波譜電磁波譜 9電磁波譜的分區(qū)電磁波譜的分區(qū)長(zhǎng)波部分（低能部分），包括射頻波（無(wú)線電長(zhǎng)波部分（低能部分），包括射頻波（無(wú)線電波）與微波，有時(shí)習(xí)慣上稱此部分為波譜。波）與微波，有時(shí)習(xí)慣上稱此部分為波譜。中間部分，包括紫外線、可見光和紅外線，統(tǒng)中間部分，包括紫外線、可見光和紅外線，統(tǒng)稱為光學(xué)光譜，一般所謂光譜僅指此部分而言。稱為光學(xué)光譜，一般所謂光譜僅指此部分而言。短波部分（高能部分），包括短波部分（高能部分），包括X射線和射線和射線射線（以及宇宙射線），此部分可稱射線譜，是能（以及宇宙射線），此部分可稱射線譜，是能量高的譜域。量高的譜域。103. 物質(zhì)波物質(zhì)波 l運(yùn)動(dòng)

5、實(shí)物粒子也具有波粒二象性，稱為物質(zhì)波或德布羅運(yùn)動(dòng)實(shí)物粒子也具有波粒二象性，稱為物質(zhì)波或德布羅意波，如電子波、中子波等。意波，如電子波、中子波等。l德布羅意關(guān)系式德布羅意關(guān)系式l(=h/p)=h/mv l對(duì)于高速運(yùn)動(dòng)的粒子，對(duì)于高速運(yùn)動(dòng)的粒子，m為相對(duì)論質(zhì)量，有為相對(duì)論質(zhì)量，有 l l 當(dāng)當(dāng)v c時(shí)，時(shí)，m m0。 20)(1cvmm11電子波（運(yùn)動(dòng)電子束）波長(zhǎng)電子波（運(yùn)動(dòng)電子束）波長(zhǎng) l將電子電荷將電子電荷e1.6010-29C、電子質(zhì)量、電子質(zhì)量mm0=9.1110-31kg及及h值代入上式，得值代入上式，得 l 式中，式中，以以nm為單位，為單位，V以以V單位。單位。 eVmv221meV

6、v2emVh2V225. 112不同加速電壓下電子波的波長(zhǎng)（經(jīng)相對(duì)論校正）不同加速電壓下電子波的波長(zhǎng)（經(jīng)相對(duì)論校正） 13射線射線X射線射線紫外線紫外線可見光可見光紅外線紅外線微波微波射頻射頻吸收吸收發(fā)射發(fā)射散射散射光電離光電離物質(zhì)物質(zhì)電磁輻射電磁輻射相互作用類型相互作用類型二、電磁輻射與材料的相互作用二、電磁輻射與材料的相互作用14l輻射的吸收是指輻射通過(guò)物質(zhì)時(shí)，其中某些頻率的輻射被組輻射的吸收是指輻射通過(guò)物質(zhì)時(shí)，其中某些頻率的輻射被組成物質(zhì)的粒子（原子、離子或分子等）選擇性地吸收，從而成物質(zhì)的粒子（原子、離子或分子等）選擇性地吸收，從而使輻射強(qiáng)度減弱的現(xiàn)象。使輻射強(qiáng)度減弱的現(xiàn)象。l實(shí)質(zhì)：輻

7、射使物質(zhì)粒子發(fā)生由低能級(jí)實(shí)質(zhì)：輻射使物質(zhì)粒子發(fā)生由低能級(jí)(一般為基態(tài)一般為基態(tài))向高能級(jí)向高能級(jí)(激發(fā)態(tài)激發(fā)態(tài))的能級(jí)躍遷。的能級(jí)躍遷。l被選擇性吸收的輻射光子能量應(yīng)為躍遷后與躍遷前兩個(gè)能級(jí)被選擇性吸收的輻射光子能量應(yīng)為躍遷后與躍遷前兩個(gè)能級(jí)間的能量差，即間的能量差，即 l 式中：式中：E2與與E1高能級(jí)與低能級(jí)能量。高能級(jí)與低能級(jí)能量。l輻射輻射(能量能量)被吸收的程度被吸收的程度(一般用吸光度一般用吸光度)與與或或的關(guān)系的關(guān)系(曲曲線線)，即輻射被吸收程度對(duì)，即輻射被吸收程度對(duì)或或的分布稱為吸收光譜。的分布稱為吸收光譜。15l輻射的發(fā)射是指物質(zhì)吸收能量后產(chǎn)生電磁輻射的現(xiàn)象。輻射的發(fā)射是指物

8、質(zhì)吸收能量后產(chǎn)生電磁輻射的現(xiàn)象。l輻射發(fā)射的實(shí)質(zhì)在于輻射躍遷，即當(dāng)物質(zhì)的粒子吸收能量輻射發(fā)射的實(shí)質(zhì)在于輻射躍遷，即當(dāng)物質(zhì)的粒子吸收能量被激發(fā)至高能態(tài)被激發(fā)至高能態(tài)(E2)后，瞬間返回基態(tài)或低能態(tài)后，瞬間返回基態(tài)或低能態(tài)(E1)，多余，多余的能量以電磁輻射的形式釋放出來(lái)。的能量以電磁輻射的形式釋放出來(lái)。l發(fā)射的電磁輻射頻率取決于輻射前后兩個(gè)能級(jí)的能量發(fā)射的電磁輻射頻率取決于輻射前后兩個(gè)能級(jí)的能量(E2與與E1)之差，即之差，即l輻射的發(fā)射，前提是使物質(zhì)吸收能量即激發(fā)。輻射的發(fā)射，前提是使物質(zhì)吸收能量即激發(fā)。16非電磁輻射激發(fā)非電磁輻射激發(fā)(非光激發(fā)非光激發(fā))電磁輻射激發(fā)電磁輻射激發(fā)(光激發(fā)光激發(fā)

9、)激發(fā)激發(fā)熱激發(fā)熱激發(fā)電激發(fā)電激發(fā)光致發(fā)光光致發(fā)光熒光熒光磷光磷光l物質(zhì)粒子發(fā)射輻射的強(qiáng)度物質(zhì)粒子發(fā)射輻射的強(qiáng)度(能量能量)對(duì)對(duì)或或的分布稱為發(fā)的分布稱為發(fā)射光譜。射光譜。l不同物質(zhì)粒子也具有各自的特征發(fā)射光譜。不同物質(zhì)粒子也具有各自的特征發(fā)射光譜。 17吸收與發(fā)射光譜分類吸收與發(fā)射光譜分類 1819輻射的散射輻射的散射 l輻射的散射指電磁輻射輻射的散射指電磁輻射(與物質(zhì)發(fā)生相互作用與物質(zhì)發(fā)生相互作用)部分偏離部分偏離原入射方向而分散傳播的現(xiàn)象。原入射方向而分散傳播的現(xiàn)象。l物質(zhì)中與入射的輻射即入射線相互作用而致其散射的物質(zhì)中與入射的輻射即入射線相互作用而致其散射的基本單元可稱散射基元?；締?/p>

10、元可稱散射基元。l散射基元是實(shí)物粒子，可能是分子、原子中的電子等，散射基元是實(shí)物粒子，可能是分子、原子中的電子等，取決于物質(zhì)結(jié)構(gòu)及入射線波長(zhǎng)大小等因素。取決于物質(zhì)結(jié)構(gòu)及入射線波長(zhǎng)大小等因素。 20分子散射分子散射 瑞利散射瑞利散射分子散射分子散射 反斯托克斯線反斯托克斯線 拉曼散射拉曼散射 斯托克斯線斯托克斯線 瑞利散射是指入射線光子與分子發(fā)生彈性碰撞作用，僅光瑞利散射是指入射線光子與分子發(fā)生彈性碰撞作用，僅光子運(yùn)動(dòng)方向改變而子運(yùn)動(dòng)方向改變而 沒(méi)有能量變化的散射。瑞利散射線與入沒(méi)有能量變化的散射。瑞利散射線與入射線波長(zhǎng)相同，不含有物質(zhì)特征信息。射線波長(zhǎng)相同，不含有物質(zhì)特征信息。拉曼散射是指入射

11、線光子（單色光）與分子發(fā)生非彈性碰拉曼散射是指入射線光子（單色光）與分子發(fā)生非彈性碰撞作用，光子運(yùn)動(dòng)方向改變同時(shí)有能量的增加或損失的散撞作用，光子運(yùn)動(dòng)方向改變同時(shí)有能量的增加或損失的散失失拉曼散射線與入射線波長(zhǎng)稍有不同，波長(zhǎng)短于入射線者稱拉曼散射線與入射線波長(zhǎng)稍有不同，波長(zhǎng)短于入射線者稱為反斯托克斯線，反之稱為斯托克斯線。為反斯托克斯線，反之稱為斯托克斯線。在光譜上斯托克斯線和反斯托克斯線出現(xiàn)在入射光譜線附在光譜上斯托克斯線和反斯托克斯線出現(xiàn)在入射光譜線附近，稱為拉曼散射譜。近，稱為拉曼散射譜。21l拉曼散射產(chǎn)生的實(shí)質(zhì)在于入射光子與分子作用拉曼散射產(chǎn)生的實(shí)質(zhì)在于入射光子與分子作用時(shí)分子的振動(dòng)能

12、級(jí)或轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)躍遷，因而拉曼時(shí)分子的振動(dòng)能級(jí)或轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)躍遷，因而拉曼散射譜譜線的多少、強(qiáng)度與波長(zhǎng)等均與分子的散射譜譜線的多少、強(qiáng)度與波長(zhǎng)等均與分子的振動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)結(jié)構(gòu)密切相關(guān)，因而拉曼散射振動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)結(jié)構(gòu)密切相關(guān)，因而拉曼散射譜是特征光譜譜是特征光譜l拉曼位移（散射光與入射光頻率之差）與分子拉曼位移（散射光與入射光頻率之差）與分子的振動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)有關(guān)。的振動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)有關(guān)。l 以拉曼位移為橫坐標(biāo)，以散射光強(qiáng)度為縱以拉曼位移為橫坐標(biāo)，以散射光強(qiáng)度為縱坐標(biāo)得到拉曼光譜坐標(biāo)得到拉曼光譜22l用量子理論解釋分子散射用量子理論解釋分子散射23電子散射電子散射 當(dāng)當(dāng)X X射線等譜域的輻射照射晶體時(shí)，電子射線等譜域

13、的輻射照射晶體時(shí)，電子是散射基元。晶體中的電子散射包括相干是散射基元。晶體中的電子散射包括相干散射和非相干散射散射和非相干散射相干散射：入射線光子與原子內(nèi)層電子發(fā)相干散射：入射線光子與原子內(nèi)層電子發(fā)生彈性碰撞作用，僅其運(yùn)動(dòng)方向改變而無(wú)生彈性碰撞作用，僅其運(yùn)動(dòng)方向改變而無(wú)能量變化的散射，又稱彈性散射，或經(jīng)典能量變化的散射，又稱彈性散射，或經(jīng)典散射、湯姆遜散射散射、湯姆遜散射 相長(zhǎng)干涉散射線衍射：相長(zhǎng)干涉散射線衍射：X X射線衍射射線衍射的基礎(chǔ)。的基礎(chǔ)。 非相干散射：入射線光子與原子外層電非相干散射：入射線光子與原子外層電子或晶體中自由電子發(fā)生非彈性碰撞作用，子或晶體中自由電子發(fā)生非彈性碰撞作用，

14、光子運(yùn)動(dòng)方向改變同時(shí)有能量損失的散射，光子運(yùn)動(dòng)方向改變同時(shí)有能量損失的散射，又稱非彈性散射，或康普頓散射、康普頓又稱非彈性散射，或康普頓散射、康普頓- -吳有訓(xùn)效應(yīng)，量子散射。吳有訓(xùn)效應(yīng)，量子散射。24光電離光電離 l光電離是指入射光子能量光電離是指入射光子能量(h)足夠大時(shí)，使原子或足夠大時(shí)，使原子或分子產(chǎn)生電離的現(xiàn)象，其過(guò)程可表示為分子產(chǎn)生電離的現(xiàn)象，其過(guò)程可表示為l M+hM+e l 式中：式中：M原子或分子；原子或分子；l M+離子；離子；l e自由電子。自由電子。l物質(zhì)在光照射下釋放電子物質(zhì)在光照射下釋放電子(稱光電子稱光電子)的現(xiàn)象又稱光電的現(xiàn)象又稱光電效應(yīng)。效應(yīng)。l光電子產(chǎn)額隨入

15、射光子能量的變化關(guān)系稱為物質(zhì)的光光電子產(chǎn)額隨入射光子能量的變化關(guān)系稱為物質(zhì)的光電子能譜。電子能譜。 25入射電子與固體中粒子相互作用包括：入射電子與固體中粒子相互作用包括： 1. 1.入射電子的散射；入射電子的散射； 2. 2.入射電子對(duì)固體的激發(fā)；入射電子對(duì)固體的激發(fā)； 3. 3.受激發(fā)粒子在固體中的傳播受激發(fā)粒子在固體中的傳播電子束電子束離子束離子束粒子束粒子束三、三、 粒子束與材料的相互作用粒子束與材料的相互作用26電子與固體作用產(chǎn)生的信號(hào)電子與固體作用產(chǎn)生的信號(hào)1234527 I0: I0:入射電子流，單位是入射電子流，單位是A A。入射電子流密度。入射電子流密度A/cm2A/cm2

16、強(qiáng)聚焦情況下，強(qiáng)聚焦情況下， I0 I0一般很小，電子束流密度很高一般很小，電子束流密度很高 IR: IR: 背散射電子流，是入射電子與固體作用后又離開固體背散射電子流，是入射電子與固體作用后又離開固體的總電子流。主要包括兩部分：彈性背散射電子和非彈性背的總電子流。主要包括兩部分：彈性背散射電子和非彈性背散射電子。散射電子。 * * 背散射電子的產(chǎn)額隨原子序數(shù)增大而增加，因此背散背散射電子的產(chǎn)額隨原子序數(shù)增大而增加，因此背散射電子像的襯度與樣品上個(gè)微區(qū)的成分密切相關(guān)，顯示相分射電子像的襯度與樣品上個(gè)微區(qū)的成分密切相關(guān)，顯示相分布情況布情況 * * 空間分辨率低，約空間分辨率低，約100nm10

17、0nm * * 背散射電子最大信息深度約為電子最大穿入深度的一半背散射電子最大信息深度約為電子最大穿入深度的一半28lIS:二次電子流，包括入射電子從固體中直接擊出的原子二次電子流，包括入射電子從固體中直接擊出的原子核外電子和激發(fā)態(tài)原子退回基態(tài)時(shí)產(chǎn)生的電子核外電子和激發(fā)態(tài)原子退回基態(tài)時(shí)產(chǎn)生的電子l * 前者稱為（真）二次電子，能量較低，且強(qiáng)度按能量前者稱為（真）二次電子，能量較低，且強(qiáng)度按能量連續(xù)分布；后者稱為特征二次電子（俄歇電子），其能連續(xù)分布；后者稱為特征二次電子（俄歇電子），其能量是量子化的，取決于原子本身的電子結(jié)構(gòu)。量是量子化的，取決于原子本身的電子結(jié)構(gòu)。l * （真）二次電子產(chǎn)額（

18、真）二次電子產(chǎn)額 ：二次電子流與入射電子流的：二次電子流與入射電子流的比值比值I0/IS ，與入射電子能量和入射角有關(guān)，與入射電子能量和入射角有關(guān) （正比于正比于1/cos)l 特點(diǎn)：特點(diǎn)：1.對(duì)樣品形貌敏感對(duì)樣品形貌敏感l(wèi) 2.空間分辨率高空間分辨率高3-6nml 3.信號(hào)收集率高信號(hào)收集率高(能量低，易受電場(chǎng)作用能量低，易受電場(chǎng)作用)293031lIX :表示電子激發(fā)誘導(dǎo)的表示電子激發(fā)誘導(dǎo)的X射線輻射強(qiáng)度射線輻射強(qiáng)度l l 包括三部分包括三部分lIE :表示表面元素發(fā)射的總強(qiáng)度表示表面元素發(fā)射的總強(qiáng)度l * 電子激發(fā)可能引起一些固體的表面原子電離，電子激發(fā)可能引起一些固體的表面原子電離，使

19、表面元素活化乃至解吸，這種現(xiàn)象又稱為電子輻照分使表面元素活化乃至解吸，這種現(xiàn)象又稱為電子輻照分解。解。l * 電子束可引起部分氧化物、多數(shù)氟化物和幾乎電子束可引起部分氧化物、多數(shù)氟化物和幾乎所有的有機(jī)物的輻照分解。所有的有機(jī)物的輻照分解。 連續(xù)連續(xù)X X射線射線特征特征X X射線射線X X射線熒光（二次特征射線熒光（二次特征X X射線）射線）32lIA :表示樣品吸收電流強(qiáng)度。入射電子在固體中傳播時(shí)，表示樣品吸收電流強(qiáng)度。入射電子在固體中傳播時(shí)，能量逐漸減小，最后失去全部動(dòng)能，被樣品能量逐漸減小，最后失去全部動(dòng)能，被樣品“吸收吸收”。l 樣品中背散射電子（包括二次電子）與吸收電子樣品中背散射電

20、子（包括二次電子）與吸收電子在數(shù)量上存在互補(bǔ)關(guān)系。隨原子序數(shù)增加，背散射電子在數(shù)量上存在互補(bǔ)關(guān)系。隨原子序數(shù)增加，背散射電子增多，吸收電子減少。因此用吸收電流成像，也可以得增多，吸收電子減少。因此用吸收電流成像，也可以得到樣品各元素分布情況，但圖像襯度相反。到樣品各元素分布情況，但圖像襯度相反。lIT :表示透射電流總強(qiáng)度。當(dāng)樣品的厚度小于入射電子表示透射電流總強(qiáng)度。當(dāng)樣品的厚度小于入射電子的平均穿入深度時(shí)，一部分入射電子穿過(guò)樣品，在樣品的平均穿入深度時(shí)，一部分入射電子穿過(guò)樣品，在樣品的背面被接受或檢測(cè)。的背面被接受或檢測(cè)。33l所有這些發(fā)射信號(hào)的強(qiáng)度均與固體材料的結(jié)構(gòu)、成分、所有這些發(fā)射信號(hào)

21、的強(qiáng)度均與固體材料的結(jié)構(gòu)、成分、表面狀態(tài)等性質(zhì)有關(guān)，并受入射電子的能量和入射角表面狀態(tài)等性質(zhì)有關(guān)，并受入射電子的能量和入射角的影響。的影響。l 對(duì)導(dǎo)電樣品：對(duì)導(dǎo)電樣品：l l (忽略透射方向的二次電子發(fā)射和表面元素脫附忽略透射方向的二次電子發(fā)射和表面元素脫附對(duì)樣品總電荷量的影響對(duì)樣品總電荷量的影響)34l電子與固體的作用區(qū)：彈性散射使電子偏離原來(lái)電子與固體的作用區(qū)：彈性散射使電子偏離原來(lái)的方向而擴(kuò)散，非彈性散射使電子的能量逐漸減的方向而擴(kuò)散，非彈性散射使電子的能量逐漸減小，直至被固體吸收，從而限制了電子在固體中小，直至被固體吸收，從而限制了電子在固體中的擴(kuò)散范圍的擴(kuò)散范圍（信息深度和廣度）（信

22、息深度和廣度）35信息深度和廣度：信息深度和廣度：363. 3. 電子能譜電子能譜 電子發(fā)射強(qiáng)度按能量的分布電子發(fā)射強(qiáng)度按能量的分布 37二次電子用于掃描電子顯微鏡的表面形貌觀測(cè)二次電子用于掃描電子顯微鏡的表面形貌觀測(cè)特點(diǎn)：特點(diǎn)：1.對(duì)樣品形貌敏感；對(duì)樣品形貌敏感； 2.空間分辨率高空間分辨率高3-6nm 3.信號(hào)收集率高信號(hào)收集率高(能量低，易受電場(chǎng)作用能量低，易受電場(chǎng)作用)38l俄歇電子能譜（俄歇電子能譜（AESAES）l 適于輕元素適于輕元素( (如如C,Al)C,Al)及表面薄層（及表面薄層（1nm1nm）分析）分析l彈性背散射電子用于材料電子衍射分析方法彈性背散射電子用于材料電子衍射分析方法l電子能量損失譜（電子能量損失譜（EELSEELS）l 39電磁輻射及電磁輻射及運(yùn)動(dòng)粒子束運(yùn)動(dòng)粒子束與物質(zhì)相互與物質(zhì)相互作用作用 光譜分析光譜分析(組成組成): 紫外、紅外、拉曼、熒光、核磁共振紫外、紅外、拉曼、熒光、核磁共振 衍射分析衍射分析(組成組成)： X射線衍射，電子衍射射線衍射，電子衍射 電子能譜分析電子能譜分析(表面成份表面成份):XPS, UPS, AES 電子顯微分析電子顯微分析(形貌形貌)：TEM, SEM, STM, AFM 熱分析熱分析(熱性能熱性能):