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文檔簡介

1、WALEXWALEX曝光工藝知識曝光工藝知識培訓(xùn)教材培訓(xùn)教材日期:日期:2015.03.26 QS2015.03.26 QS一、前言二、工序制作簡介三、工藝制作流程四、作業(yè)環(huán)境要求五、討論 編寫本教材為圖形轉(zhuǎn)移工藝製作原理,適用於本公司生產(chǎn)參考、及相關(guān)技術(shù)人員的培訓(xùn)等範圍。v圖形轉(zhuǎn)移的定義: 利用油墨的感光性,透過紫外光照射,把板面油墨由單體變成聚合體.這種反應(yīng)過程是由油墨成份中的感光樹脂與光敏劑所產(chǎn)生的光合作用來完成。形成一種抗蝕的護膜圖形,那些未被油墨所保護覆蓋的銅箔屬于的不需要的銅箔,將在隨后的化學(xué)蝕刻工藝中被蝕刻掉,經(jīng)過蝕刻工藝后再褪去抗蝕膜層,得到所需要的裸銅電路圖形。 v圖形轉(zhuǎn)移工

2、序包括:v 外層製作影像、 外層絲印、內(nèi)層製作影像等三種工序,前兩種圖形轉(zhuǎn)移方法屬於我們常用生產(chǎn)工藝。 板面前處理曝光對位菲林制作QC顯影預(yù)烤蝕刻印線路感光油QC印防焊感光油板面中處理后烤對位曝光QC沖板成型1、板面前處理工作原理:清潔、粗化板面,保證線路感光油墨轉(zhuǎn)移至板面的結(jié)合力,并能抗蝕。 印刷感光線路油目的:將已處理合格的基板銅面,通過網(wǎng)印法將感光油墨整板印製在基板上,輔助線路導(dǎo)電圖成型及抗蝕效果。 預(yù)烤基板感光線路油目的:將已印好感光油墨的基板送入烤箱內(nèi)烘烤,以便達到板面油墨不沾菲林及抗蝕之效應(yīng)。 烘烤條件:恒溫75 時間:30分種 黃菲林製作目的:通過原始光繪負片菲林與重氮片正面吻合

3、,放入曝光機內(nèi)並結(jié)合紫外光源給予圖形轉(zhuǎn)移成像。將已曝光成像的黃菲林放入26BE的氨水 桶內(nèi)顯影,以至達到圖形完好成像。 菲林對位目的:將複製好的黃菲林與基板完全吻合,以至達到圖形位置精準無偏移。(菲林三點座標同基板座標完全重合,視為位置無偏移) 曝光原理:將已貼好黃菲林的基板放入曝光機內(nèi),利用油墨的感光性,透過紫外光照射,把板面油墨由單體變成聚合體.這種反應(yīng)過程是由油墨成份中的感光樹脂與光敏劑所產(chǎn)生的光合作用來完成圖形轉(zhuǎn)移之效應(yīng)。光源光源曝光機 紫外光能量 光引發(fā)劑 R 單體 聚合物 自由基傳遞 聚合交聯(lián)反應(yīng) 顯影目的:將未受光聚合部分油墨溶解並通過噴淋方式?jīng)_洗掉,從而使線路圖形顯現(xiàn)出來。顯影

4、液配比:0.81.2%水:碳酸鈉=100:0.81.2顯影機 CO COOH OCH3 CO CO ONa OCH3未聚合之油墨層被Na2CO3溶液沖掉的原理,是形成鈉鹽而被溶解,而已感光部分則不會形成鈉鹽而得以保存。1%Na2CO3項目項目干膜抗蝕劑 干膜抗蝕劑 液態(tài)抗蝕劑 液態(tài)抗蝕劑 解像度3mil1 mil填平性差較好成本比干膜低4060%廢水處理膜厚、處理量大無保護膜、膜薄、處理量小自動化程度可實現(xiàn)自動化生產(chǎn),但要配用自動除干膜保護膜設(shè)備可以實現(xiàn)自動化生產(chǎn)房間:100K級房間:10K級設(shè)備:10K級設(shè)備:1K級適用蝕刻劑 酸性或堿性蝕刻劑酸性或堿性蝕刻劑潔凈房要求注:產(chǎn)品線路結(jié)構(gòu)特性而巽,干膜針對導(dǎo)電線路為精密形及在線寬0.15mm使用。v 曝光室操作環(huán)境環(huán)境控制: 1、溫、濕度要求: 溫度:20 2, 濕度:50 10RH%

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