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1、TiXXE真實(shí)值真實(shí)值測量值測量值%100TXERE%14. 0%1002902. 00004. 00004. 02902. 02898. 0REEXiXXXdi%100XdRddnXXdn1iidR%100XddR%89. 0%10082.1514. 014. 0407. 021. 013. 015. 082.15489.1503.1669.1567.15dRdX10,24. 04 . 0, 3 . 0, 3 . 0, 3 . 0, 2 . 0, 2 . 0, 0 . 0, 1 . 0, 2 . 04 . 0nd甲,10,24. 07 . 02 . 02 . 01 . 00 . 00 . 0

2、1 . 0, 1 . 01 . 0, 9 . 0nd乙,nXn1i2i 1/11i1i2i2i1i2innXXnXXSnnnX28. 01104 . 02 . 04 . 0222甲S40. 01107 . 01 . 09 . 0222乙S%100XSRSDn21,XXXXSXSnSSXXnX1-泵體;2-旋片;3-轉(zhuǎn)子; 4-彈簧;5-排氣閥 64 64 66 68 70 74化學(xué)吸附是靠固體表面原子與氣體分子間形成吸附化學(xué)鍵實(shí)現(xiàn)的,與發(fā)生化學(xué)反應(yīng)相類似,同物理吸附相比,化學(xué)吸附的特點(diǎn)是吸附強(qiáng),吸附熱大,穩(wěn)定不易脫附,吸附有選擇性,溫度較高時發(fā)生化學(xué)吸附的氣體分子增多,只能緊貼表面形成單層吸附

3、(在化學(xué)吸附的分子上面還能形成物理吸附),濺射離子泵和電子管中吸氣劑的吸氣作用就包括化學(xué)吸附。壓縮器框圖膨脹器框圖NiSiNoSoSNIR nnnnn21)2(fqIIDC21)2(fqIId21222)41)(4(ffqIIengn上式中I是流過探測器的平均電流,是載流子平均壽命, e是載流子在器件兩極間的平均漂移時間,f是電流調(diào)制頻率,f是測量電路帶寬2224f21)(4fqIIeng自相關(guān)函數(shù)如果f(t)不包含周期性分量,自相關(guān)函數(shù)從0的最大值,隨增大而單調(diào)下降, 趨于無窮大時,它趨于f(t)平均值的平方TTTxxdttftfTR)()(21lim如果兩個隨機(jī)過程的發(fā)生完全沒有關(guān)系,其互

4、相關(guān)函數(shù)是一個常數(shù),等于兩隨機(jī)函數(shù)的平均值之積,當(dāng)其中之一的平均值為零,其互相關(guān)函數(shù)處處為o。TTTxydttgtfTR)()(21lim)()()()()()(21lim)(nnnssnssTTiTRRRRdttftfTRHznV5mVKHzHznV6 . 110001005HznV510001005HzHznV10001005HzHznV100001. 05HzHznV100001. 05HzHznV)cos(21)cos(21)sin)sin(LrefsigLrLsigrefsigLrLsigrefLsigrsigpsdtVVtVVtVtVV()cos(21refsigLsigpsdVVV)(refsig)(refsig)90sin(refLLtVsin)sin(2122sigpsdrefsigLsi

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