四探針方法測電阻率

1、四探針方法測量不規(guī)則半導體四探針方法測量不規(guī)則半導體的電阻率的電阻率一一實驗目的實驗目的二二實驗原理實驗原理三三實驗步驟實驗步驟四四注意事項注意事項五五心得體會心得體會 實驗目的實驗目的1、測量不規(guī)則半導體電阻率2、驗證四探針法修正公式 理想情況下，四根探針位于樣品中央，電流從探針1流入，從探針4流出，則可將1和4探針認為是點電流源。2、3探針的電位差為： 半無窮大樣品點電流源的半球等位面 實驗原理實驗原理由此可得出樣品的電阻率為： 簿片電阻率測量 簿片樣品因為其厚度與探針間距比較，不能忽略，測量時要提供樣品的厚度形狀和測量位置的修正系數(shù)。 下面考慮一般情況下的修正：)(2ln210SdDSW

2、當圓形硅片的厚度滿足W/S0.5時，電阻率為： 這就是我們實驗時用到的公式下面通過實驗數(shù)據(jù)驗證該修正公式的正確性： 實驗步驟實驗步驟1、測試準備：電源開關置于斷開位置，工作選擇置于“短路”，電流開關處于彈出切斷位置。將測試樣品放在樣品架上，調節(jié)高度手輪，使探針能與其表面保持良好接觸。 2、打開電源并預熱小時。3、極性開關置于上方，工作狀態(tài)選擇開關置于“短路”，撥動電流和電壓量程開關，置于樣品測量所合適的電流、電壓量程范圍。調節(jié)電壓表的粗調細調調零，使顯示為零。1.顯示板 2、單位顯示燈 3、電流量程開關 4、工作選擇開關（短路、測量、調節(jié)、自校選擇）5、電壓量程開關6、輸入插座7、調零細調8、

3、調零粗調9、電流調節(jié)10、電源開關11、電流選擇開關 12、極性開關6、工作狀態(tài)選擇開關置于“測量”，按下電流開關輸出恒定電流，即可由數(shù)字顯示板和單位顯示燈直接讀出測量值。再將極性開關撥至下方（負極性），按下電流開，讀出測量值，將兩次測量值取平均，即為樣品在該處的電阻率值。關如果“”極性發(fā)出閃爍信號，則測量數(shù)值已超過此電壓量程，應將電壓量程開關撥到更高檔，讀數(shù)后 退出電流開關，數(shù)字顯示恢復到零位.實驗數(shù)據(jù)通過修正公式修正后，得到：與實驗預期結果相吻合，因此該驗證公式較為理想。 注意事項注意事項1、電流量程開關與電壓量程開關必須放在下表所列的任一組對應的量程電壓量程2V200mV20mV 2mV0.2mV電流量程100mA10mA 1mA100A10A 2、 電阻（V/I）測量，用四端測量夾換下回探針測試架，按下圖接好樣品，選擇合適的電壓電流量程，電流值調到10.00數(shù)值，讀出數(shù)值為實際測量的電阻值。3、方塊電阻測量，電流調節(jié)在4.53時，讀出數(shù)值10倍為實際的方塊電阻值。4、薄片電阻率測量：當薄片厚度0.5mm時，按公式（3）進行；當薄片厚度0.5mm時，按公式（4）進行。 5、儀器在中斷測量時應將工作選擇開 關置于“短路”；電流開關置于彈出 斷開位置。 心得體會心得體會一、通過對四探針法的研究，我們探索到了測電阻率時需要的修正函數(shù)（厚度修正函數(shù)以及形狀和測量位置的修正函數(shù)