ESD管理規(guī)則1

1、福建捷聯(lián)電子有限公司液晶模組事業(yè)部文件編號版本質量體系第三層文件QI-BLU-00主題：ESD管理規(guī)則編制部門：技術部分發(fā)號碼：發(fā)布日期：2006年11月30日文件管制：起草者：林宏勇日期：06年11月30日審查：日期：年月日核準：日期：年月日分發(fā)部門RDDIYBL5QAPCGACSPE文件更改記錄本程序根據(jù)實際需要作如下更改，已經(jīng)相關部門會簽并呈報核準BLU槽管制申請單由總務課保存。序次條款頁次修改內(nèi)容紀要序核準更改日期更改單號1全版更新00黃際2006-11-281 .目的：建立一套全面的靜電放電控制系統(tǒng)，防止ESDt感元器件在測試、存儲、制造、轉運、維修過程中因靜電放電而損壞，保證產(chǎn)品品

2、質，減少公司損失，降低生產(chǎn)成本。以保護廠內(nèi)的人員、廠品、設備等。2 .范圍：ESD敏感元器件在測試、存儲、制造、轉運、維修過程中所處的區(qū)域。3 .定義：3.1 靜電electrostatics:物體表面過?；虿蛔愕撵o止電荷。3.2 靜電放電electrostaticdischarge（ESD:靜電放電指兩個具有不同靜電電位的物體，由于直接接觸或靜電場感應引起的兩物體間的靜電電荷的轉移。3.3 靜電敏感度electrostaticsusceptivity:元器件所能承受的靜電放電電壓值。3.4 靜電敏感器staticsensitivitydevice（SSD:對靜電放電敏感的器件。3.5 ESD

3、敏感材料：指對ESD的承受能力低，在日常操作、存儲、傳遞和測試過程中容易因靜電放電引起損傷的器件稱為靜電敏感材料。包括IC、PCB及加工組件。3.6 泄放leakage：將靜電電荷安全傳導到地。3.7 中和neutralization:利用導性電荷使靜電消失。3.8 防靜電材料：包括靜電導電材料（表面電阻值小于10e5Q）,靜電耗散材料（表面電阻值大于或等于10e5Q但小于10e12Q）。靜電導體electrostaticconductor:表面電阻在10e5Q10e8Q范圍內(nèi)的物體。3.9 防靜電接地：通過連接至大地的導體而將防靜電材料上的靜電導走，分為硬接地與軟接地。所謂“硬接地”是指通過

4、導體接地，該導體是電壓測試中的零點；“軟接地”指通過限流電阻接地，若偶爾接觸到電源，可將通過人體的電流限制在一個安全的范圍內(nèi)。3.10 ESD安全工作站：指符合靜電控制標準有利于靜電敏感材料進行搬運、操作、測試、的站別稱為靜電安全工作站。3.11 ESD防護工作區(qū)：ESD防護工作區(qū)是由各種ESDS施、器材及有明確定義的區(qū)域界限形成的工作場地。能抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生，并能安全、迅速、有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷，原則上要求區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的靜電壓小于100V。如：LC雌。3.12 第三條導線交流設備接地：指交流設備動力系統(tǒng)接地，除零線和火線外的接地導線。3.13 靜電敏感區(qū)等級：根據(jù)公司實際情況

5、，并參照國標GJB1469-93附件A劃分。一級防靜電區(qū)：ESD防護重要區(qū)域，即LCM線、老化房二級防靜電區(qū)：ESD防護一般區(qū)域，B/L線、燈管加工等三級防靜電區(qū)：非靜電敏感元件作業(yè)站，無需防靜電，但需做好接地安全工作。3.14 接地電阻測量儀（ZC29B:測量接地系統(tǒng)阻抗。3.15 鉗式接地電阻測試儀（ETCR2000:利用歐姆定理測量接地回路電阻值。3.16 帶電平面監(jiān)視儀（SSDH0601:測量靜電消除器的除靜電效果和靜電水平。3.17 防靜電手環(huán)測試儀：檢測防靜電手腕帶的接地阻抗是否在規(guī)格內(nèi)。3.18 靜電手環(huán)監(jiān)控儀：安裝在設備上實時監(jiān)控人員及靜電手環(huán)的接地狀況之儀器。3.19 靜電量

6、測儀（STATIRON-DZ3：實時測量被測物體表面的靜電水平。3.20 表面阻抗測試儀：測試與產(chǎn)品接觸的物品表面阻抗。3.21 現(xiàn)場單位：BM-5IQC、OQCIPQGRMA3.22 ESDX程師：具有專業(yè)的技術知識，且通過國家（地區(qū)）防靜電委員會的培訓，取得合格證書，負責公司ESDB制執(zhí)行的人員。4 .權責:技術課主任負責審核防靜電管理規(guī)則。工程部經(jīng)理負責核準本規(guī)則的實施。4.1 【ESDJ、組】：由各相關單位成員組成，負責統(tǒng)籌全廠ESDT理工作的規(guī)劃、稽核和系統(tǒng)完善、接地檢查等；4.2 【ESDE程師】：負責項目推展規(guī)劃、會議的召開。其中包括教育訓練教材、需求等規(guī)劃的提出；SPCT制項目

7、提出；ESD目關資料的收集；ESDT理規(guī)范的系統(tǒng)制訂；各制程ESD勺風險評估分析；4.3 【工務組】：防靜電地線、線體地線；線體接地、設備接地、工（治）具接地的鋪設維護；定期對設備、工作桌和系統(tǒng)接地測試，為ESDJ、組核心協(xié)助單位；4.4 【儀校組】：ESD*測儀器設備的校驗和MS的析。4.5 【品保部門】：負責給予ESD?理項目推展質量系統(tǒng)面的支持；ESD?理項目SPCT制；相關ESD規(guī)則執(zhí)行狀況之稽核。（各種材料的允收標準不是Q也制定的）4.6 【品?；藛T】：負責稽核、抽測生產(chǎn)線儀器、儀表接地與生產(chǎn)線防靜電狀況并記錄；并監(jiān)督本規(guī)則的執(zhí)行。（刪除Ig行，IPQCR負責相關ES網(wǎng)則執(zhí)行狀況之

8、稽核）4.7 【總務課培訓組】：負責教育訓練課程計劃、實施及記錄。4.8 【RD材料組】：負責防靜電材料的防靜電性能的驗收及認證。4.9 【現(xiàn)場單位】：負責設備、人員的點檢和異常回饋。5 .作業(yè)流程:5.1 ESDI理作業(yè)流程。流程權責單位相關說明相關表單設備系統(tǒng)接地/設備ESD$護設施工程/現(xiàn)場單位設備驗收單設備驗收Checklist設備外殼接地/工作桌接地工務/現(xiàn)場單位設備治具接地電阻測試SOP接地電阻測試記錄表人員ESD&護接地工務/現(xiàn)場單位設備治具接地電阻測試SOP靜電手環(huán)點檢表靜電消除器點檢表設備/產(chǎn)品ES昉護工務/現(xiàn)場單位設備治具接地電阻測試SOP表面阻抗測試SOP靜電消除

9、器效果確認記錄表/靜電消除器點檢表/通箱表面阻抗值點檢表EStDJ護SP雷制品保SPM定異常反饋、處理、確認工務/工程/品保/現(xiàn)場單位設備治具接地電阻測試SOP表面阻抗測試SOPES第常處理表5.2 ESD推動框架人：ESDT理初級、高級培訓，以增強ES昉護意識和技能。機：ES物護功能必須實施在設備設計、制作、使用中。料：使用之材料必須符合靜電防護標準。法：制訂有效的ES物護作業(yè)指導書，SPOT制。環(huán)：廠房設計、施工中ESD&護系統(tǒng)（設備、人員ES限地系統(tǒng)、抗靜電地板等）ESD管理廠房ESD防護設計設備ESD防護設計現(xiàn)場設備/工作桌ESD防護人員ESD防護產(chǎn)品ESD防護設計人員教育訓練

10、及認證各制程ESD水平評估ESD管理規(guī)范文件化RSD檢測/管制及異常反饋處理5.3ESD組織架構:6.防靜電標準:6.1防靜電操作標準：6.1.1靜電地線與線體地線、防雷地線、工頻電源中線、地線要分開拉設，其接地電阻值04Q。（電子元器件制造防靜電技術要求SJ/T10630-19966.2.6A）4Q。1.1.2 保護區(qū)內(nèi)的線體、儀器、設備、工具應接地，具接地電阻值01.1.3 靜電手環(huán)、防靜電臺墊、防靜電地墊均應通過限流電阻接到防靜電地線，限流電阻值為1M。10MQ。（電子元器件制造防靜電技術要求SJ/T10630-19966.2.6）1.1.4 防靜電臺墊的表面電阻值為10e6Q10e9Q

11、。（中國航天工業(yè)行業(yè)標準QJ2846-963.7.2.3）1.1.5 防靜電元件盒和防靜電周轉箱的表面電阻值為10e6Q10e11Q。1.1.6 防靜電珍珠紙的表面電阻值為10e6Q10e11Q。1.1.7 防靜電鞋的表面電阻值為10e6Q-10e8Qo1.1.8 防靜電手指套表面電阻10e6Q10e11Q。1.1.9 防靜電手套表面電阻10e6Q10e11Q。1.1.10 防靜電地板的表面電阻值為10e6Q10e9Q。1.1.11 防靜電袋的表面電阻值為10e6Q10e11Q。1.1.12 防靜電服的表面電阻值小于10e9Q（參照靜電防護技術手冊4.8.3）。1.1.13 離子風機的離子平衡

12、度在土50d間為正常。6.2 防靜電操作要求：6.2.1 全部操作過程應在ESD&護工彳區(qū)或ESDe全工作站內(nèi)進彳T,工序間周轉ES端件與組件時，應放置于防靜電保護袋或周轉箱內(nèi)。6.2.2 ESD工作區(qū)內(nèi)的操作人員應接受ESDE制和保護知識的培訓，上班前穿戴好靜電防護用品，靜電手環(huán)及防靜電鞋須進行測試并記錄測試結果，測試合格方可作業(yè)。6.2.3 流動人員在非走動情況下拿零部件，要佩戴有線靜電手環(huán)，且靜電手環(huán)要接地；在走動情況下拿零部件，零部件要放在防靜電珍珠紙上或防靜電托盤內(nèi)，手持珍珠紙或托盤。6.2.4 防靜電安全工作臺鋪防靜電臺墊，防靜電臺墊通過泄漏電阻接在靜電地線上。6.2.5

13、防靜電材料要接地良好，且采取并聯(lián)接地方式，不得相互用接。6.2.6 廠內(nèi)所有推車、置物架要安裝觸地鐵鏈。6.2.7 ESD工作區(qū)內(nèi)的儀器、設備、工具均應接地良好（使用三芯電源線或通過外接地線接地）。6.2.8 防靜電工作區(qū)1m®離內(nèi)不得有易產(chǎn)生靜電的材料大量堆放。6.2.9 靜電手環(huán)、靜電鞋的測試儀器須符合儀器校驗程序的規(guī)定。6.2.10 一級防靜電區(qū)要求：一級防靜電區(qū)為公司重要的靜電防護區(qū)域，靜電防護應全面有效。區(qū)域內(nèi)的工作人員佩戴有線靜電手環(huán)，穿防靜電衣服及防靜電鞋（根據(jù)實際情況確定是否使用防靜電衣或防靜電鞋），防靜電工作臺按國標QJ2177-91防靜電安全工作臺技術要求建設；工

14、作區(qū)域貼警示標簽來提醒工作人員注意防靜電，無靜電防護人員不得入內(nèi)；區(qū)域內(nèi)的儀器、工具、設備須接地良好，加工元件及加工組件周轉、暫存、發(fā)料必須用防靜電材料包裝。6.2.11 二級防靜電區(qū)要求：區(qū)域內(nèi)的工作人員佩戴有線靜電手環(huán)，儀器、工具、設備均要接地良好；半導體零件及加工組件在周轉、存放機時須用防靜電材料包裝。6.2.12 在操作靜電敏感元件時，作業(yè)人員要佩戴有線靜電手環(huán)作業(yè)。6.2.13 所有碰觸基座板的作業(yè)標識、治具等要用防靜電材料制作或用防靜電材料封裝。6.3 防靜電標志6.3.1 防靜電周轉箱、防靜電托盤貼有如下圖所示或類似的防靜電警示標識。4W6.3.2 一級防靜電區(qū)內(nèi)貼有靜電警示標識

15、。6.3.3 內(nèi)裝有靜電敏感材料的包裝外應貼（ER）防靜電警示標識，必須在ESD護區(qū)或ES區(qū)全工作站內(nèi)，才能打開取出元件。6.4 包裝6.4.1 所有的ES瞅感材料（包括維修后更換的不良品），及其裝配品、成品必須放在防靜電周轉箱、防靜電包裝袋中或用其它防靜電材料包裝。6.4.2 易產(chǎn)生靜電的材料不得與ES瞅感材料、及其裝配品、成品一同置于防靜電保護包裝內(nèi)。6.4.3 供應商須使用我司認可的防靜電包裝材料，否則須提供防靜電專業(yè)檢測機構的檢測報告證明該材料能有效防止ES電害。若供應商無法提供相應證明材料，則原則上對該元件予以拒收7.防靜電系統(tǒng)培訓：7.1 ESD培訓計劃：7.1.1 ESD管理初級

16、：（1）受訓對象：技術員（含）以上（生產(chǎn)、工程、品保、研發(fā)、工務、總務）及ESD小組成員。（2）課程概要：靜電基本概念、靜電防護、靜電量測儀器介紹等。7.1.2 ESD管理高級：（1）受訓對象：助工/專（含）以上（生產(chǎn)、工程、品保、研發(fā)、工務）以及ESD小組成員。7.1.3 概要：靜電管理方案、靜電危害原因分析、靜電防護、靜電檢測及標準等。7.2 上崗培訓管理：7.2.1 對于所有操作、裝配ES瞅感材料、產(chǎn)品或是進入ESD制區(qū)的人員土§應接受控制ES電害方面的培訓。ES曲訓應針對所有人員以減少工作改變或調(diào)整所造成的延誤。7.2.2 每個操作ES瞰感材料、組件、或其成品的人員均需在上崗

17、證上注明ES曲訓項目。否則不得進行作業(yè)7.2.3 對于臨時新進操作ES瞰感材料的人員，主管須對其進行最低的ESDI制要求培訓(如示范及講解)，獲得此培訓的人員在2周內(nèi)必須在上崗證上注明ES曲訓項目。7.2.4 上崗證上無注明ES解訓項目、培訓過期的人員不得操作靜電敏感材料。7.3 培訓內(nèi)容、時間及考核要求。7.3.1 上崗培訓內(nèi)容應包括：現(xiàn)場作業(yè)注意事項、靜電產(chǎn)生原理和靜電危害、靜電敏感元件分類、主要靜電發(fā)生材料與靜電防護材料(工具)、靜電控制措施、標識等。7.3.2 M5培訓組負責對作業(yè)員進行培訓、考核；制造部工程師負責對生產(chǎn)線領班進行培訓。7.3.3 培訓每年進行一次，但最長間隔時間不超過

18、16個月。7.3.4 培訓考核成績不得低于80分，不合格者必須重新培訓考核，以使其達到要求在員工培訓考核合格后的一周內(nèi)由各單位將培訓記錄、考核成績表交至總務課課培訓組存檔，并由M5t訓組在員工上崗證上注明培訓內(nèi)容和蓋章確認。7.4 人員靜電防護：7.4.1 人員接地要求：(1)所有接觸ESD1感物的人員應與接地點或專用接地點相連接。(2)當?shù)谌龡l交流設備接地導線不能用到或不適用時，工作人員應該通過腕帶或其它接地系統(tǒng)與靜電放電敏感對象的一個導電性組件相連，以保證所有組件在同樣電位。7.4.2 靜電保護區(qū)(EPA)管理規(guī)范：(1) EPA范圍：涵蓋搬運、處理ESDT組件的地區(qū)及需要接地的所有導電/

19、靜電消散材料(含人員)等區(qū)域，包含：進料檢驗區(qū)、倉庫、生產(chǎn)線、測試及檢驗區(qū)、實驗室、潔凈室。(2)所有LCMR其部件的操作都必須在靜電安全工作臺上進行。(3)進入防靜電工作區(qū)的所有電子元器件都被視為SSD寸待。(4)儲存、運輸LCM及其部件時，應妥善進行防靜電包裝。(5)拒絕接受未包裝在靜電防護容器里的SSD(6)重要裂耦工位上應配備靜電手環(huán)監(jiān)控器，以隨時監(jiān)視腕帶是否處于正常狀態(tài)。如組立制程。(7)拿取LCM及cell時，應避免接觸其引線，如IC引腳、PanelITO引腳、PW前組件。(8)操作時應盡量減少對panel及其部件的接觸次數(shù)。(9)為了更有效的防護ESD寸產(chǎn)品的損傷，設備、工作站等

20、需要配備靜電消除器。(10)生產(chǎn)過程中，相關設備和工作站上靜電消除器必須處于開啟狀態(tài)。7.4.3 無塵室為防靜電工作區(qū)，為了能清晰可見的告知同仁，需要在同仁進入無塵室的入口張貼防靜電標志。710cm(見圖19)防靜電工作區(qū)域標志為黃黑相間或黃白相間的斜條紋，線條寬度為圖19(2)防靜電包裝應有防靜電標志(圖20,21),且標志張貼在工作人員進入保護區(qū)域的入口之前，并能清晰可見，且不易受到磨損的地方。如：無塵室入口。8.防靜電、接地檢查與記錄8.1 儀器保管8.1.1 所有防靜電力測設備由ESD工程師保管。8.1.2 現(xiàn)場單位要使用檢測設備時向ESD工程師借用并妥善保管，按時歸還。8.2 檢測頻

21、度：7.4.3防靜電工作區(qū)ESD&護測試周期：(1)臺式離子產(chǎn)生器。a)由現(xiàn)場單位做擺放位置、外觀清潔點檢，周期1次/日；b)由現(xiàn)場單位負責除靜電效果檢測，周期1次/月；c)由現(xiàn)場單位負責離子產(chǎn)生器放電針清潔，周期1次/日，清潔方式：用每臺設備的放電針輕輕來回刷過即可，然后用無塵布把離子產(chǎn)生器表面其他部位擦拭干凈；(3)運輸輔助工具托盤、TRAY、通箱等的防靜電測試。a)托盤、面板Tray盤、模組通箱抗靜電阻抗值測量由生產(chǎn)實施抽檢作業(yè)，周期：通箱在各制程抽檢70PCS欣*月，其他則抽檢20PCS次*月。(4)IPQC定期黑占橫各槿段借及材料是否符合襟津，周期：2次/月。(IPQC只負責

22、監(jiān)督)6.1.1 靜電地線與線體地線、防雷地線、工頻電源中線、地線要分開拉設，其接地電阻值04Q0（電子元器件制造防靜電技術要求SJ/T10630-19966.2.6A）6.1.2 保護區(qū)內(nèi)的線體、儀器、設備、工具應接地，具接地電阻值04Q06.1.3 靜電手環(huán)、防靜電臺墊、防靜電地墊均應通過限流電阻接到防靜電地線，限流電阻值為1MQ10MQ。（電子元器件制造防靜電技術要求SJ/T10630-19966.2.6）6.1.4 防靜電臺墊的表面電阻值為10e6Q10e9Q。（中國航天工業(yè)行業(yè)標準QJ2846-963.7.2.3）6.1.5 防靜電元件盒和防靜電周轉箱的表面電阻值為10e6Q10e1

23、1Q。6.1.6 防靜電珍珠紙的表面電阻值為10e6Q10e11Q。6.1.7 防靜電鞋的表面電阻值為10e6Q-10e8Qo6.1.8 防靜電手指套表面電阻10e6Q10e11Q。6.1.9 防靜電手套表面電阻10e6Q10e11Q。6.1.10 防靜電地板的表面電阻值為10e6Q10e9Q。6.1.11 防靜電袋的表面電阻值為10e6Q10e11Q。6.1.12 防靜電服的表面電阻值小于10e9Q（參照靜電防護技術手冊4.8.3）。6.1.13 離子風機的離子平衡度在土50d間為正常。所有防靜電測試項目的測試方法與測試儀器必須列入該項目的作業(yè)指導書。8.2 儀器接地、及防靜電事項由PE防靜

24、電、接地專員每日進行一次抽查，發(fā)現(xiàn)不良立即維修，并記錄在防靜電、接地檢查及專案記錄表中。8.3 生產(chǎn)部各單位安排人員每班測試本線相關的防靜電、接地狀況，并作好記錄。如有不良，立即維修或知會相關單位處理。8.4 上班前所有當班使用的靜電手環(huán)、防靜電鞋由使用人員進行測試并將測試結果記錄在靜電手環(huán)測試記錄表中，如有不良知會領班進行更換，并查找原因，給予對策。8.6 產(chǎn)線靜電消除器由設備課每季度保養(yǎng)一次，并記錄在靜電消除器保養(yǎng)記錄卡中。8.7 設備工程師每日檢查防靜電接地監(jiān)控儀的運行狀況并記錄，每周檢查生產(chǎn)線線體地線與防靜電地線并記錄。8.8 QA（QC）稽核員對生產(chǎn)部接地狀況進行不定時Audit并反饋相關部門。7.5異常處理流程:測試中發(fā)現(xiàn)接地阻值大于標準阻值時處理如下做出相應處理注：工務同仁在檢測異常時，無法判定異常點時，必須尋找另一個正常接地點重新將被測物接地,同時需上報單位主管，或聯(lián)系廠商對策異常點。9 .參考文件:9.1 業(yè)界標準ANSI/ESDS20.209.2 國家標準SJ/T10633-949.3 靜電手環(huán)/鞋點檢作業(yè)