光電子能譜儀

1、光電子能譜儀光電子能譜儀成員成員:劉明，馬睿，孫瑩，劉明，馬睿，孫瑩，宮宮智超，張新月智超，張新月光電子能譜儀光電子能譜儀l一.工作原理l二.相關(guān)公司簡(jiǎn)介l三.主要品牌l四.儀器功能l五.應(yīng)用領(lǐng)域一一.工作原理工作原理1、設(shè)備組成光電子能譜儀主要由激發(fā)源、電子能量分析器、探測(cè)電子的監(jiān)測(cè)器和真空系統(tǒng)等幾個(gè)部分組成。PHI 5800 ESCA 系統(tǒng)系統(tǒng)能量分析器能量分析器真空泵組真空泵組X X射線(xiàn)光源射線(xiàn)光源計(jì)算機(jī)處理計(jì)算機(jī)處理樣品腔樣品腔工作原理工作原理2、基本原理、基本原理EK=h-Eb-sp （Eb：電子結(jié)合能; sp：譜儀的功函數(shù)，一般為常數(shù); EK：電子動(dòng)能，可實(shí)驗(yàn)測(cè)得; h：X射線(xiàn)能量

2、） 2、基本原理、基本原理可見(jiàn)，當(dāng)入射X射線(xiàn)能量一定，測(cè)出功函數(shù)和電子的動(dòng)能，即可求出電子的結(jié)合能。由于每種元素的電子結(jié)構(gòu)是獨(dú)特的，計(jì)算出Eb就可以判定元素的類(lèi)型,由于只有表面處的光電子才能從固體中逸出，因而測(cè)得的電子結(jié)合能必然反應(yīng)表面化學(xué)成份的情況。 由激發(fā)源發(fā)出的具有一定能量的由激發(fā)源發(fā)出的具有一定能量的X射線(xiàn)，電子束，紫外射線(xiàn)，電子束，紫外光，離子束或中子束作用于樣品表面時(shí)，可將樣品表面原光，離子束或中子束作用于樣品表面時(shí)，可將樣品表面原子中不同能級(jí)的電子激發(fā)出來(lái)，產(chǎn)生光電子或俄歇電子子中不同能級(jí)的電子激發(fā)出來(lái)，產(chǎn)生光電子或俄歇電子等這些自由電子帶有樣品表面信息，并具有特征動(dòng)等這些自由電

3、子帶有樣品表面信息，并具有特征動(dòng)能通過(guò)能量分析器收集和研究它們的能量分布，經(jīng)檢測(cè)能通過(guò)能量分析器收集和研究它們的能量分布，經(jīng)檢測(cè)紀(jì)錄電子信號(hào)強(qiáng)度與電子能量的關(guān)系曲線(xiàn)即為光電子能紀(jì)錄電子信號(hào)強(qiáng)度與電子能量的關(guān)系曲線(xiàn)即為光電子能譜譜 光源（X-ray）樣品電離放出光電子能量分析器檢測(cè)器工作原理工作原理掃描和記錄系統(tǒng)3、工作流程、工作流程二二.公司簡(jiǎn)介公司簡(jiǎn)介l1.賽默飛世爾科技公司l2.島津公司l3.鉑悅儀器（上海）有限公司1.賽默飛世爾科技公司賽默飛世爾科技公司賽默飛世爾科技公司賽默飛世爾科技公司 賽默飛世爾科技進(jìn)入中國(guó)已30年，在上海設(shè)立中國(guó)區(qū)總部，并在北京、廣州、香港、臺(tái)灣、成都、沈陽(yáng)、西安

4、、南京、武漢等地設(shè)立了分公司，員工人數(shù)3800 名。賽默飛在北京和上海共設(shè)立了6個(gè)應(yīng)用開(kāi)發(fā)中心，將世界級(jí)的前沿技術(shù)和產(chǎn)品帶給國(guó)內(nèi)客戶(hù)，并提供應(yīng)用開(kāi)發(fā)與培訓(xùn)等多項(xiàng)服務(wù)；位于上海的中國(guó)創(chuàng)新中心結(jié)合國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的需求和國(guó)外先進(jìn)技術(shù)，研發(fā)適合中國(guó)的技術(shù)和產(chǎn)品；賽默飛擁有遍布全國(guó)的維修服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)和特別成立的中國(guó)技術(shù)培訓(xùn)團(tuán)隊(duì)，在全國(guó)有2000 名工程師提供售后服務(wù)。賽默飛的企業(yè)精神是建立更健康、更清潔、更安全的世界。2.島津公司島津公司AXIS-ULTRA DLD x射線(xiàn)光電子能譜儀島津公司島津公司 島津公司在1956年參加了在中國(guó)北京和上海舉辦的日本商品展覽會(huì)，自此開(kāi)始了與中國(guó)的交往。1980年，島津公司在中

5、國(guó)北京正式設(shè)立第一個(gè)辦事處。在接下來(lái)的二十年間，島津在中國(guó)迅速發(fā)展業(yè)務(wù)，在各大主要城市均設(shè)立了辦事處并且業(yè)務(wù)廣泛地深入到了各個(gè)相關(guān)領(lǐng)域和行業(yè)。 至今，島津公司在中國(guó)已經(jīng)走過(guò)了半個(gè)世紀(jì)的歷程，并且在中國(guó)共設(shè)立了八個(gè)有獨(dú)立法人的公司。3.鉑悅儀器（上海）有限公司鉑悅儀器（上海）有限公司ESCALAB 250Xi XPS 光電子能譜儀光電子能譜儀鉑悅儀器（上海）有限公司鉑悅儀器（上海）有限公司l 鉑悅儀器自2004年成立以來(lái)，憑借與世界各大知名儀器品牌的戰(zhàn)略合作關(guān)系，以及不斷優(yōu)化公司自身經(jīng)營(yíng)管理，提高服務(wù)質(zhì)量，成為中國(guó)國(guó)內(nèi)知名的儀器供應(yīng)商。其所提供的產(chǎn)品均屬于高科技行業(yè)，產(chǎn)品包括高精度的分析儀器、檢

6、測(cè)儀器和生產(chǎn)儀器，以及成套的耗材和配件，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于工業(yè)、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、生物、能源、電子、石化等各個(gè)領(lǐng)域并服務(wù)于各大院校、研究所、檢測(cè)機(jī)構(gòu)、及政府部門(mén)等。l 鉑悅儀器不僅擁有高品質(zhì)的產(chǎn)品，更培養(yǎng)了專(zhuān)業(yè)的銷(xiāo)售、技術(shù)和售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，本著客戶(hù)至上的原則，從客戶(hù)的實(shí)際需求出發(fā)，鉑悅儀器為每一位客戶(hù)量身訂制最適合的綜合解決方案，并提供持續(xù)而良好的售后服務(wù)，由此也獲得了廣大客戶(hù)的信任與認(rèn)可。賽默飛世爾科技公司Thermo Scientific K-AlphaApplied BiosystemsInvitrogenGibcoIon Torrent三三.主要品牌主要品牌島津公司AXIS

7、-ULTRA DLD光電子能譜儀kratos-ultra DLD鉑悅儀器（上海）有限公司ESCALAB 250Xi XPS 光電子能譜儀供應(yīng)X-Supreme8000 X射線(xiàn)熒光光譜儀四四.功能模塊功能模塊 Thermo Scientific K-Alpha，一體化結(jié)構(gòu)的X射線(xiàn)光電子能譜儀（XPS），是一款完全集成的單色化小光斑X射線(xiàn)光電子能譜（XPS）系統(tǒng)。它性能卓越，易用性提高和尺寸緊湊使得K-Alpha成為許多現(xiàn)有以及新研發(fā)的表面分析應(yīng)用領(lǐng)域理想解決方案。K-Alpha是專(zhuān)為多用戶(hù)環(huán)境推出的第一款XPS工具，從樣品進(jìn)入到報(bào)告生成完全實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化工作流程。最新版K-Alpha平臺(tái)特征光譜性能

8、顯著提高，提供更高計(jì)數(shù)率和更快分析時(shí)間，改善化學(xué)探測(cè)能力。分析選配件包括一個(gè)角分辨XPS傾斜模塊和一個(gè)循環(huán)惰性氣體手套箱，用于轉(zhuǎn)移空氣敏感樣品。強(qiáng)大的性能強(qiáng)大的性能可選區(qū)域光譜深度剖析刻蝕微聚集單色器快照采集高分辯率化學(xué)態(tài)光絕緣樣品分析定量化學(xué)成像 儀器主要功能儀器主要功能 利用光電效應(yīng)的原理，測(cè)量輻射源（光子、電子、離子等）從樣品上打出來(lái)的光電子的動(dòng)能、強(qiáng)度及其角分布，從而研究原子、分子、聚集相，尤其是固體表面的電子結(jié)構(gòu)等。主要功能主要功能l1 常規(guī)XPS，鑒別樣品表面的元素種類(lèi)、化學(xué)價(jià)態(tài)以及相對(duì)含量。雙陽(yáng)極XPS，更適合用于不同的特殊過(guò)渡金屬元素的研究，如催化領(lǐng)域。l2 深度剖析XPS，結(jié)

9、合離子刻蝕技術(shù)對(duì)樣品（如薄膜等）進(jìn)行成分深度分布分析。通過(guò)角分辨XPS還可以進(jìn)行非損傷成分深度分布分析。l3 XPS成像，可以對(duì)元素或化學(xué)態(tài)進(jìn)行表面分布分析，使一些分析結(jié)果更直觀。l4 離子能量損失譜ISS，可實(shí)現(xiàn)樣品表面元素信息的檢測(cè)l5 紫外光電子能譜（UPS），可以獲得樣品價(jià)帶譜信息，對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體的能帶、帶隙等分析提供主要數(shù)據(jù)。還可以分析樣品逸出功等。五、應(yīng)用領(lǐng)域五、應(yīng)用領(lǐng)域Thermo Scientific K-Alpha 氧化石墨烯的物理化學(xué)變化測(cè)控、半導(dǎo)體晶片上的超薄薄膜結(jié)構(gòu)分析、分層太陽(yáng)能電池、觸摸屏復(fù)合涂層的檢測(cè)評(píng)估、等離子表面改性、鋼鐵表面鈍化工藝. 主要用于各種有機(jī)和無(wú)機(jī)固體材料的表面元素和其價(jià)態(tài)的定性、定量分析，表面元素的化學(xué)成像及深度剖析?？捎糜诟g、摩擦、浸潤(rùn)、粘接、催化、包覆、氧化等表面和界面過(guò)程的研究。AXIS-ULTRA DLD x射線(xiàn)射線(xiàn)光電子能譜儀光電子能譜儀ESCALAB 250Xi XPS 光電子能譜儀光電子能譜儀 它可以用于研究各種