擴散爐的安裝調(diào)整

1、擴散爐的安裝調(diào)整（擴散爐的安裝調(diào)整（4）擴散爐的背灰區(qū)服務(wù)面擴散爐背面的尾氣箱。為保證頂部抽風(fēng)排除微量漏出的尾氣的作用，平時尾氣箱門必須關(guān)閉。調(diào)整碳化硅槳的位置調(diào)整碳化硅槳的仰角和左右水平調(diào)整不銹鋼門的位置碳化硅槳和不銹鋼爐門位置的調(diào)整碳化硅槳和不銹鋼爐門位置的調(diào)整不銹鋼收集槽舌頭要保證滴下的偏磷酸全被收集到不銹鋼和石英收集槽中偏磷酸的收集不銹鋼排毒箱 不銹鋼爐門 不銹鋼舌頭 石英收集槽 不銹鋼收集槽 我們的擴散爐是以密封爐蓋的加壓工作方式保證爐蓋的密封是保證擴散工藝重復(fù)性的基礎(chǔ)。保證尾管接口和爐蓋的密封也是為安全和設(shè)備壽命所必需的。擴散爐的尾氣管是我們檢查爐管密封的地方當(dāng)爐蓋密封不好時，尾氣

2、從爐口泄露而出，從尾氣管流出的尾氣減少，因而尾氣管的溫度下降。因此，在每班應(yīng)檢查每個爐子尾氣管的溫度，及時發(fā)現(xiàn)漏氣，及時調(diào)整爐門密封。用手觸摸尾管來感知尾管的溫度。注意不要燙傷手指。石英爐蓋與石英爐口的密封爐蓋與爐口的密封可用一個橡皮圈實現(xiàn)。但橡皮圈不能承受超過一千度的高溫，而且橡皮圈也不能保證爐口密封的效果。然而，實踐中發(fā)現(xiàn)，沒有橡皮圈也可以達到密封的效果。但要保證爐口沒有碎硅片或磷源的干塊等物體。爐管口的清潔維持爐管口要保持清潔。要經(jīng)常觀察爐口的狀態(tài)，用手觸摸橡皮圈以發(fā)現(xiàn)缺口或硬塊，損壞的橡皮圈要及時更換，完好的橡皮圈要經(jīng)常清理。清理時爐溫要降到200-300度，硬塊、碎硅片用石英片刮除。

3、再用超凈布打濕去離子水擦干凈。同時擦凈橡皮圈和爐門其它部分的干源塊。 （利用10天一次的半天設(shè)備維修時間，降溫2小時，清洗1小時，升溫后以正常擴散條件作一次飽和，在進行擴散）。爐門的壓力密封機構(gòu)爐門的密封機構(gòu)必須將壓力均勻地、適度地施加在爐門上，才能保證爐門的密封。3個壓腳4個小彈簧壓腳長短調(diào)節(jié)壓腳壓力調(diào)節(jié)壓力固定螺母4個爐門小彈簧的調(diào)整原來設(shè)計的 Teflon 爐門密封環(huán)的力量不夠，在受熱下還會軟化、變形。因此才改進設(shè)計，采用了4個小彈簧來加強 Teflon 密封環(huán)。不銹鋼壓力環(huán)必須接觸爐門彈簧螺桿的固定螺母小彈簧的固定螺桿4個爐門小彈簧的調(diào)整小彈簧的螺桿要在爐門關(guān)閉時與碳化硅板分離1到2毫

4、米小彈簧的螺桿要用兩個螺母相互咬死爐門安裝的檢查爐門的密封機構(gòu)安裝完畢后，或發(fā)現(xiàn)冷尾管、對爐門調(diào)整之后，要對爐門的安裝作如下的檢查。3個壓腳的壓力要合適、壓力要均勻。大壓環(huán)要全面接觸石英門。壓腳要接觸石英門兩個螺母相互咬緊，前一個螺母接觸碳化硅盤。固定螺母要擰緊爐門向前傾斜約2毫米爐門安裝的檢查對上一照片的補充：壓腳的位置調(diào)整后要用螺母固定這一機構(gòu)要朝向觀察窗口松開此螺絲后可轉(zhuǎn)動壓角桿的方向試車前要將爐門向外微調(diào)試車前要將爐門向外微調(diào) 5 5 毫米毫米松開此螺絲可調(diào)節(jié)爐門定位傳感器的位置以確保爐門不會對爐以確保爐門不會對爐管施加過大的壓力管施加過大的壓力二級爐門限位接觸傳感器，一般不需調(diào)節(jié)爐門

5、密封的觀察爐門密封的觀察窗口窗口爐口密封的觀察窗口在超凈間外面的服務(wù)灰區(qū)內(nèi)。打開爐子的面板，在打開排毒箱側(cè)面的密封面板。爐門壓力密封機構(gòu)的調(diào)節(jié)爐門壓力密封機構(gòu)的調(diào)節(jié)爐門的最終調(diào)節(jié)至關(guān)重要，需要兩人操作。一人將爐門來回移動，開爐門10秒鐘，再關(guān)好爐門，往復(fù)十次。另一人在灰區(qū)觀察，并調(diào)整定位傳感器位置來達到以下要求。觀察此壓腳（X3）是否壓住爐門觀察此壓環(huán)是否全部壓住爐門觀察此定位螺絲(X3)是否后退約3毫米觀察此定位螺絲（X4)是否后退約1-2毫米必要時調(diào)整機械限位塊的位置必要時調(diào)整機械限位塊的位置機械限位塊要留有一、兩毫米的空隙最后再檢查一下開爐行程傳感器的位置最后再檢查一下開爐行程傳感器的位

6、置開爐行程傳感器要保證行走臂不會撞到軌道的盡頭。磷源安裝的檢查對上一照片的補充：粗管細管要觀察源瓶的進氣管位置是否正確以實驗室為例，為保證工作正常和安全，工作氣體壓力定為兩個大氣壓左右車間里的氣體壓力要略高一些。又以實驗室為例，為保證源瓶的安全，源瓶氣體壓力定為一個大氣壓(15psi)。車間里的氣體安裝也應(yīng)考慮同樣的設(shè)置。為保證爐管清潔，在擴散爐不工作時要通保護氮氣。在爐管清洗安裝及使用過程中需要注意的事項1 1。爐體的清潔。爐體的清潔我發(fā)現(xiàn)大部分北京擴散爐的排毒箱內(nèi)都有大量的粉塵，可能是隔熱封裝材料的粉末，還有金屬切割的碎屑。這些都應(yīng)當(dāng)在安裝爐管前后清理干凈。也可在降溫維修時將其清理干凈。偏

7、磷酸石英收集槽和不銹鋼收集槽必須經(jīng)常打掃干凈，防止偏磷酸將排毒箱腐蝕壞。收集偏磷酸的石英槽可在每十天一次的半天設(shè)備維護時，將爐溫下降到200-300度后，用 Teflon 管將石英槽內(nèi)的偏磷酸以虹吸法吸出。2 2。爐管、石英舟的清洗。爐管、石英舟的清洗爐管、石英舟、石英舟托，石英均流板等石英器具，要在稀釋的氫氟酸（HF:H20=1:25)中浸泡 2小時以上。再用去離子水沖洗干凈。然后。用氮氣吹干。不能有殘留的水。由于石英器具是直接進入擴散爐內(nèi)或與進入爐內(nèi)器具相接觸的，因而必須非常干凈。在爐管清洗安裝及使用過程中需要注意的事項3 3。保持爐管、石英舟的清洗液的潔凈。保持爐管、石英舟的清洗液的潔凈干凈石英器具的清洗液只能清洗干凈的石英器具。絕對禁止用它來清洗其它不干凈的工件，包括：各種金屬（不銹鋼）工件，收集偏磷酸的石英槽，以及任何從大車間低溫工藝用過的工件。在爐管清洗安裝及使用過程中需要注意的事項4 4。爐管、石英舟的保持。爐管、石英舟的保持洗好的爐管、石英舟、石英均流板等石英器具要注意保潔。洗好的石英爐管，在安裝前，應(yīng)將爐口和爐尾管用塑料膜或鋁膜包好。如洗凈安裝好的爐管不能及時蓋蓋子通保護氮氣，就應(yīng)將爐口包起來。能通氣時再將包口去掉。暫時不用的石英舟要存儲在超凈柜內(nèi)。存放一天之后的石英舟在使用之前要