硅檢制絨應(yīng)知應(yīng)會(huì)

1、 硅檢制絨應(yīng)知應(yīng)會(huì) CIB-B 郝宗海硅檢簡介硅檢操作流程硅檢過程注意事項(xiàng)硅檢工序SOP制絨簡介制絨工序操作流程制絨工序SOP制絨間化學(xué)品的危害及預(yù)防方法硅檢目的硅檢目的檢測不良檢測不良不良分不良分類類電阻電阻率率少子少子壽命壽命厚度厚度TTV尺寸尺寸PN型型崩崩邊邊崩崩點(diǎn)點(diǎn)油油污污線線痕痕臺(tái)達(dá)硅檢機(jī)全貌臺(tái)達(dá)分選主控機(jī)界面檢測模組介紹圖一圖三圖二圖一為APV（左）和LPV（右）模組主要檢測尺寸、缺角和油污、崩點(diǎn)圖二為SM模組主要檢測線痕，圖三為UC模組主要檢測隱裂及雜質(zhì)。Semilab模組硅檢流程硅檢流程拆盒拆盒上料上料下料下料填寫填寫流程流程單單退庫手插手插片片硅檢注意事硅檢注意事項(xiàng)項(xiàng)線痕線

2、痕 如圖2，機(jī)械手抓料后，硅片在行走臂上的線痕方向與行走臂垂直。圖2如圖3、4，硅片插入小花籃時(shí)線痕方向是平行的（小花籃豎直放置）。圖3圖4小花籃小花籃硅檢操作注意事項(xiàng)硅檢操作注意事項(xiàng)取原材料硅片盒時(shí)，雙手最多抱兩盒。 取、放承片盒時(shí)，注意雙手抱對角線位置、輕拿輕放。 陷光原理：當(dāng)光入射到一定角度的斜面，光會(huì)反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，從而增加吸收率。制絨原理制絨原理利用低濃度堿溶液對晶體硅在不同晶體取向上具有不同腐蝕速率的各向異性腐蝕特性，在硅片表面腐蝕形成角錐體密布的表面形貌 ，就稱為表面織構(gòu)化。角錐體四面全是由111面包圍形成。 反應(yīng)式為： Si+2NaOH+H2O Na

3、2SiO3 +2H2 制絨原理制絨原理(100)(110)(111)制絨原理制絨原理制絨原理制絨原理顯微鏡下圖像放大后圖像金字塔實(shí)貌NaOH溶液濃度反應(yīng)溫度制絨的根本IPA濃度NaSiO3濃度提高溶液濃稠度，控制反應(yīng)速度硅片表面原始狀態(tài)硅片表面原始狀態(tài)氫氣泡密度及大小以及在硅片表面停留的時(shí)間決定金字塔形貌 攪拌攪拌提高反應(yīng)物疏運(yùn)速度，提高氫氣泡脫附作用 氫氣泡作用各個(gè)因素的作用制絨工藝流程制絨工藝流程1槽槽清洗清洗2槽槽漂洗漂洗3槽槽粗粗拋拋4槽槽漂洗漂洗5.6.8.9.10制絨制絨槽槽7.11槽槽漂洗漂洗12槽槽酸堿過酸堿過渡渡13槽槽酸洗酸洗14槽槽漂洗漂洗15槽槽酸洗酸洗16槽槽漂洗漂洗

4、17槽槽慢提慢提拉拉制絨機(jī)制絨機(jī)慢提拉慢提拉制絨作業(yè)注意事項(xiàng)上料 注意小花籃中是否有少片.雙片及崩邊小缺口的硅片 要輕拿輕放，避免人為碎片加液 加液時(shí)手離制絨液面至少30cm以免溶液濺到手上 攪拌時(shí)動(dòng)作要輕，避免溶液飛濺到身上下料 下料時(shí)若出現(xiàn)雨點(diǎn).發(fā)白.拋光等制絨不良時(shí)要告知組長和加液人員 搬動(dòng)大花籃時(shí)要注意不要碰到傳遞窗邊緣以免撞斷大花籃抓手制絨操作注意事項(xiàng)制絨操作注意事項(xiàng) 配制溶液時(shí)，嚴(yán)禁容器在半空中倒液。加酸時(shí)，防護(hù)用具穿戴齊全，缺一不可。上壓條上壓條制絨間化學(xué)品的危害及現(xiàn)場急救措施I 危害：強(qiáng)腐蝕性.強(qiáng)刺激性.可致人體灼傷 急救措施：立即脫去污染的衣著并用大量流動(dòng)清水沖洗至少15分鐘鹽酸 危害：腐蝕性強(qiáng)，對牙、骨損害較嚴(yán)重 急救措施：立即用大量流水作長時(shí)間徹底沖洗.盡快地稀釋和沖去氫氟酸或使用中和法如氫氟酸灼傷治療液(5氯化鈣20ml、2利多卡因20ml、地塞米松5mg)浸泡或濕敷氫氟酸 危害：爆炸性強(qiáng)氧化劑過氧化氫本身不燃，但能與可燃物反應(yīng)放出大量熱量和氧氣而引起著火爆炸 急救措施：若不慎與眼睛接觸可用大量清水長時(shí)間沖洗過氧化氫制絨間化學(xué)品的危害及現(xiàn)場急救措施II 危害：極易揮發(fā)，易燃 急救措施：若不慎皮膚接觸應(yīng)立刻脫去污染的衣著用流動(dòng)清水沖洗無水乙醇 危害：觸及皮膚有強(qiáng)烈刺激作用而造成灼傷有強(qiáng)腐蝕性 急救措施：立即脫去所污染的衣服，用大量流動(dòng)清水沖洗至少15