ESD基礎(chǔ)知識(shí)培訓(xùn)(2011.11.14)

1、ESD基礎(chǔ)知識(shí)培訓(xùn)基礎(chǔ)知識(shí)培訓(xùn)“Reprice”“Acceptable”“Attractive”“Grow”Chinfon RiskYieldLowHighLowHigh講師：徐基蘭講師：徐基蘭培訓(xùn)時(shí)間：培訓(xùn)時(shí)間： 2011.11.15培訓(xùn)時(shí)數(shù)：培訓(xùn)時(shí)數(shù)： 1.5 HExtremitychallengeExtremitychallenge靜電環(huán)靜電環(huán)/ /靜電鞋的檢測(cè)靜電鞋的檢測(cè) EPA簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介 ESD簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介公司公司ESD管理體系簡(jiǎn)介管理體系簡(jiǎn)介Extremitychallenge有可能進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員或有可能接觸靜電敏感器件的人員都應(yīng)接受防靜電知識(shí)培訓(xùn)，這既是對(duì)每位員工的基本要求，也

2、是減少靜電危害的根本方法和途徑之一。本次培訓(xùn)對(duì)象：本公司直接與間接員工本次培訓(xùn)對(duì)象：本公司直接與間接員工 說(shuō)說(shuō) 明明Extremitychallengen什么是什么是ESD?n靜電產(chǎn)生的原理靜電產(chǎn)生的原理n靜電有哪些危害靜電有哪些危害n靜電放電模型靜電放電模型n靜電防護(hù)的基本原則靜電防護(hù)的基本原則 ESD簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介ExtremitychallengeESD簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介靜電：處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷。靜電：處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷。ESD(Electro Static Discharge) ：靜電放電靜電放電干燥的冬天，晚上脫毛衣時(shí)，黑暗中常聽到噼啪的聲響，而且伴有光干燥的冬天，晚上脫毛衣時(shí)，黑暗中常聽到噼啪的聲

3、響，而且伴有光 見面握手時(shí)，手指剛一接觸到對(duì)方，會(huì)突然感到指尖針刺般刺痛見面握手時(shí)，手指剛一接觸到對(duì)方，會(huì)突然感到指尖針刺般刺痛 早上起來(lái)梳頭時(shí)，頭發(fā)會(huì)經(jīng)常早上起來(lái)梳頭時(shí)，頭發(fā)會(huì)經(jīng)常“飄飄”起來(lái)，越理越亂起來(lái)，越理越亂 拉門把手、開水龍頭有時(shí)會(huì)感覺拉門把手、開水龍頭有時(shí)會(huì)感覺“觸電觸電” Extremitychallenge靜電產(chǎn)生的原理：靜電產(chǎn)生的原理：1.接觸分離（最常見的摩擦）接觸分離（最常見的摩擦）任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸后再分離，即可產(chǎn)生靜電現(xiàn)象。后再分離，即可產(chǎn)生靜電現(xiàn)象。+ + + + +- - - - -未摩擦前未摩擦前摩擦起電摩擦起電分離分離+ +

4、 + + +- - - - -ESD簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallenge靜電產(chǎn)生的原理：靜電產(chǎn)生的原理：2.感應(yīng)起電感應(yīng)起電 當(dāng)帶電物體接近不帶電物體時(shí)會(huì)在不帶電的當(dāng)帶電物體接近不帶電物體時(shí)會(huì)在不帶電的 導(dǎo)體的兩端分別感應(yīng)出負(fù)電和正電。導(dǎo)體的兩端分別感應(yīng)出負(fù)電和正電。感應(yīng)前感應(yīng)前感應(yīng)后感應(yīng)后ESD簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallenge靜電產(chǎn)生的原理：靜電產(chǎn)生的原理：3.接觸帶電體接觸帶電體+ + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + +

5、 + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + +接觸前接觸前接觸中接觸中接觸后接觸后ESD簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallenge產(chǎn)生方法產(chǎn)生方法10%-20%相對(duì)濕度相對(duì)濕度65%-90%相對(duì)濕度相對(duì)濕度走過(guò)地毯35,000伏1,500伏在聚乙烯塑料地板上行走12,000伏250伏工作臺(tái)旁操作的工人6,000伏100伏拿出塑料條中的DIP芯片2,000伏200伏翻動(dòng)聚乙烯膜封皮的說(shuō)明書7000伏600伏有尿胺泡沫墊的工作椅子18,000伏1,500伏*本表節(jié)錄自

6、美國(guó)國(guó)防部,軍規(guī)手冊(cè)263.1980 表2靜電就在我們周圍，無(wú)處不在、無(wú)時(shí)靜電就在我們周圍，無(wú)處不在、無(wú)時(shí)不在。不在。人體能感覺到的靜電壓在人體能感覺到的靜電壓在2000V以上。以上。ESD簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallenge靜電的危害：靜電的危害： 1.損壞器件損壞器件 2.損傷器件損傷器件(潛在損壞潛在損壞) 3.輻射電磁場(chǎng)輻射電磁場(chǎng)(EMI) 4.著火爆炸著火爆炸 5.人體電擊人體電擊ESD簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallenge各類器件抗靜電能力：各類器件抗靜電能力：器件類型器件類型靜電破壞電壓（靜電破壞電壓（V）器件類型器件類型靜電破壞電壓（靜電破壞電壓（V）VMOS30

7、1800OP-AMP1902500M0SFET100200JEFT1401000GaAsFET100300SCL6801000PROM100STTL3002500CMOS2502000DTL3807000HMOS50500肖特基二極管肖特基二極管 3003000E/DMOS2001000雙極型晶體管雙極型晶體管3807000ECL3002500石英壓晶體管石英壓晶體管10000ESD簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallenge靜電放電模型：靜電放電模型：1.HBM（Human Body Model）人體模型）人體模型2.MM（Machine Model）機(jī)器模型）機(jī)器模型3.CDM（Charg

8、ed Device Model）帶電器件模型）帶電器件模型ESD簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallenge靜電防護(hù)的基本原則：靜電防護(hù)的基本原則：1.減少靜電的產(chǎn)生減少靜電的產(chǎn)生2.疏導(dǎo)或中和產(chǎn)生的靜電疏導(dǎo)或中和產(chǎn)生的靜電3.屏蔽靜電場(chǎng)屏蔽靜電場(chǎng)ESD簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallengen什么是什么是EPA?nEPA區(qū)域的標(biāo)準(zhǔn)配置區(qū)域的標(biāo)準(zhǔn)配置n進(jìn)出進(jìn)出EPA區(qū)域的流程區(qū)域的流程nEPA區(qū)域不應(yīng)出現(xiàn)的問(wèn)題舉例區(qū)域不應(yīng)出現(xiàn)的問(wèn)題舉例 EPA簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallenge防靜電保護(hù)區(qū)。防靜電保護(hù)區(qū)。配備各種防靜電設(shè)備和器材，能限制靜電電位，具有明確的區(qū)域界配備各種防靜電設(shè)備

9、和器材，能限制靜電電位，具有明確的區(qū)域界限和專門標(biāo)記的適于從事靜電防護(hù)操作的工作場(chǎng)地。限和專門標(biāo)記的適于從事靜電防護(hù)操作的工作場(chǎng)地。EPA簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallenge1 臺(tái)車接地輪臺(tái)車接地輪/接地鏈接地鏈2 接地桌面接地桌面(靜電桌墊靜電桌墊)3 靜電環(huán)測(cè)試儀靜電環(huán)測(cè)試儀(應(yīng)設(shè)在應(yīng)設(shè)在EPA外外) 4 靜電鞋測(cè)試靜電鞋測(cè)試(應(yīng)設(shè)在應(yīng)設(shè)在EPA外外)5 靜電鞋測(cè)試踏板靜電鞋測(cè)試踏板6 靜電環(huán)靜電環(huán)7 EPA靜電線接地靜電線接地8 EPA接地點(diǎn)接地點(diǎn)(接地總點(diǎn)接地總點(diǎn))9 接地點(diǎn)接地點(diǎn)(報(bào)警盒報(bào)警盒) EPA簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介 -標(biāo)準(zhǔn)配置標(biāo)準(zhǔn)配置Extremitychallenge13 工作

10、臺(tái)工作臺(tái)(需有靜電桌墊和需有靜電桌墊和接地線接地線) 14 靜電椅靜電椅15 導(dǎo)電地板導(dǎo)電地板16 靜電服靜電服17 接地架接地架(需有接地需有接地)18 接地盒接地盒(防靜電料盒防靜電料盒)19 EPA標(biāo)示牌標(biāo)示牌20 機(jī)器機(jī)器(儀器設(shè)備儀器設(shè)備)21 ESD斑瑪線斑瑪線10 手推車接地點(diǎn)手推車接地點(diǎn)11 ESD防護(hù)鞋防護(hù)鞋(靜電鞋靜電鞋)12 離子風(fēng)扇離子風(fēng)扇EPA簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介 -標(biāo)準(zhǔn)配置標(biāo)準(zhǔn)配置Extremitychallenge進(jìn)入進(jìn)入EPA區(qū)域前流程區(qū)域前流程 更換靜電鞋/更換靜電服/戴帽子檢測(cè)靜電環(huán)/靜電鞋進(jìn)入EPAEPA簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallenge進(jìn)入進(jìn)入EPA后流程

11、：后流程： 檢查檢查EPA區(qū)域各區(qū)域各 ESD防護(hù)設(shè)施防護(hù)設(shè)施 靜電環(huán)接地靜電環(huán)接地 操作操作EPA簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallenge離開離開EPA流程：流程： 放下放下ESD敏感敏感 元器件元器件 靜電環(huán)從報(bào)靜電環(huán)從報(bào) 警盒取下警盒取下 離開離開EPA簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallenge下列物品是沒(méi)有防靜電效果的材料，應(yīng)避免出現(xiàn)在下列物品是沒(méi)有防靜電效果的材料，應(yīng)避免出現(xiàn)在EPA區(qū)域區(qū)域透明膠帶EPE/保麗龍塑料袋普通泡棉紙/筆紙箱EPA簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介ExtremitychallengeEPA內(nèi)臺(tái)面嚴(yán)禁出現(xiàn)下列現(xiàn)象內(nèi)臺(tái)面嚴(yán)禁出現(xiàn)下列現(xiàn)象注意：靜電桌墊上貼膠帶或鋪設(shè)紙板等，摩擦?xí)r會(huì)

12、產(chǎn)生很強(qiáng)的靜電，注意：靜電桌墊上貼膠帶或鋪設(shè)紙板等，摩擦?xí)r會(huì)產(chǎn)生很強(qiáng)的靜電， 同時(shí)靜電不會(huì)被釋放到大地，反而會(huì)存儲(chǔ)大量靜電。所以請(qǐng)移除它們！同時(shí)靜電不會(huì)被釋放到大地，反而會(huì)存儲(chǔ)大量靜電。所以請(qǐng)移除它們！EPA簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介ExtremitychallengeEPA內(nèi)嚴(yán)禁出現(xiàn)下列現(xiàn)象內(nèi)嚴(yán)禁出現(xiàn)下列現(xiàn)象EPA簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介Extremitychallengen靜電環(huán)的佩戴方法靜電環(huán)的佩戴方法n靜電環(huán)靜電環(huán)/靜電鞋檢測(cè)時(shí)機(jī)靜電鞋檢測(cè)時(shí)機(jī)n靜電環(huán)的檢測(cè)方法靜電環(huán)的檢測(cè)方法n靜電鞋的檢測(cè)方法靜電鞋的檢測(cè)方法靜電環(huán)靜電環(huán)/ /靜電鞋的檢測(cè)方法靜電鞋的檢測(cè)方法Extremitychallenge1.靜電環(huán)佩戴方法：靜電

13、環(huán)佩戴方法： 靜電環(huán)佩戴時(shí)應(yīng)保證腕帶金屬部分緊貼皮膚。靜電環(huán)佩戴時(shí)應(yīng)保證腕帶金屬部分緊貼皮膚。靜電環(huán)靜電環(huán)/靜電鞋的檢測(cè)靜電鞋的檢測(cè)Extremitychallenge2.靜電環(huán)、靜電鞋檢測(cè)時(shí)機(jī)靜電環(huán)、靜電鞋檢測(cè)時(shí)機(jī)直接員工直接員工:每天上班進(jìn)入每天上班進(jìn)入EPA區(qū)域前區(qū)域前用餐后進(jìn)入用餐后進(jìn)入EPA區(qū)域前區(qū)域前靜電環(huán)腕帶有脫離皮膚時(shí)靜電環(huán)腕帶有脫離皮膚時(shí) 檢測(cè)后記錄檢測(cè)時(shí)間和結(jié)果檢測(cè)后記錄檢測(cè)時(shí)間和結(jié)果.間接員工間接員工:若需要進(jìn)入若需要進(jìn)入EPA區(qū)域接觸敏感區(qū)域接觸敏感零器件前，必須檢測(cè)靜電環(huán)零器件前，必須檢測(cè)靜電環(huán)/靜電鞋靜電鞋,并注明檢測(cè)時(shí)間和結(jié)并注明檢測(cè)時(shí)間和結(jié)果果.靜電環(huán)靜電環(huán)/靜

14、電鞋的檢測(cè)靜電鞋的檢測(cè)Extremitychallenge3.靜電環(huán)的檢測(cè)方法靜電環(huán)的檢測(cè)方法LED指示燈指示燈判定判定LED指示燈指示燈判定判定靜電環(huán)靜電環(huán)/靜電鞋的檢測(cè)靜電鞋的檢測(cè)Extremitychallenge3.靜電環(huán)的檢測(cè)方法靜電環(huán)的檢測(cè)方法LED指示燈指示燈判定判定靜電環(huán)靜電環(huán)/靜電鞋的檢測(cè)靜電鞋的檢測(cè)Extremitychallenge3.靜電環(huán)的檢測(cè)方法靜電環(huán)的檢測(cè)方法靜電環(huán)靜電環(huán)/靜電鞋的檢測(cè)靜電鞋的檢測(cè)Extremitychallenge4.靜電鞋的檢測(cè)靜電鞋的檢測(cè) 兩只靜電鞋都要測(cè)兩只靜電鞋都要測(cè), ,但不能同時(shí)但不能同時(shí)測(cè)測(cè) 先將一腳站于腳踏板上，另一腳先將一腳站于

15、腳踏板上，另一腳抬起，手指按下測(cè)試器的按鈕。抬起，手指按下測(cè)試器的按鈕。 再換另一腳站于踏板上，重復(fù)上再換另一腳站于踏板上，重復(fù)上述動(dòng)作。述動(dòng)作。LEDLED指示燈指示燈判定判定靜電環(huán)靜電環(huán)/靜電鞋的檢測(cè)靜電鞋的檢測(cè)ExtremitychallengenANSI/ESD S20.20nESD管理體系文件架構(gòu)管理體系文件架構(gòu)nESD管理體系推行架構(gòu)管理體系推行架構(gòu)nESD管理體系管理代表管理體系管理代表n公司的公司的EPA區(qū)域區(qū)域n防靜電包裝簡(jiǎn)介防靜電包裝簡(jiǎn)介公司公司ESD管理體系簡(jiǎn)介管理體系簡(jiǎn)介Extremitychallenge1.我司我司ESD體系建立依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)是：體系建立依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)是：美

16、國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) ANSI/ESD.S20.20-2007 靜電放電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)靜電放電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) 建立一個(gè)靜電放電控制方案建立一個(gè)靜電放電控制方案-電氣和電子零件電氣和電子零件，裝備和設(shè)備（不包括電動(dòng)引爆設(shè)備）的保護(hù)。，裝備和設(shè)備（不包括電動(dòng)引爆設(shè)備）的保護(hù)。2. ANSI/ESD.S20.20-2007與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) IEC61340-5-1:2007IEC61340-5-1的標(biāo)準(zhǔn)制定技術(shù)委員會(huì)（的標(biāo)準(zhǔn)制定技術(shù)委員會(huì)（101委員會(huì)）成員大多來(lái)委員會(huì)）成員大多來(lái)自自ESD S20.20的標(biāo)準(zhǔn)編寫人員的標(biāo)準(zhǔn)編寫人員 ，IEC61340-5-1:2007標(biāo)準(zhǔn)是對(duì)標(biāo)準(zhǔn)是對(duì)通過(guò)通過(guò)ESD S2

17、0.20:2007標(biāo)準(zhǔn)更新，兩者沒(méi)有本質(zhì)區(qū)別，最大的區(qū)標(biāo)準(zhǔn)更新，兩者沒(méi)有本質(zhì)區(qū)別，最大的區(qū)別是別是IEC61340是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，而是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，而S20.20是美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，取得是美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，取得ANSI/ESD S20.20認(rèn)證可自由轉(zhuǎn)換申請(qǐng)認(rèn)證可自由轉(zhuǎn)換申請(qǐng)IEC61340-5-1認(rèn)證。認(rèn)證。公司公司ESD體系簡(jiǎn)介體系簡(jiǎn)介 Extremitychallenge一階文件一階文件:ESD控制方案控制方案(ESD1-0001)二階文件二階文件:作業(yè)程序類文件作業(yè)程序類文件(ESD2-XXXX)三階文件三階文件:作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)指導(dǎo)書類文件作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)指導(dǎo)書類文件(ESD3-XXXX) 四階文件四階文件:表單，

18、記錄表單，記錄(ESDX-XXXX/FMXX)第一階第一階第二階第二階第三階第三階第四階第四階公司公司ESD體系簡(jiǎn)介體系簡(jiǎn)介 Extremitychallenge公司公司ESD體系簡(jiǎn)介體系簡(jiǎn)介 ExtremitychallengeGreen Office/KM系統(tǒng)查詢系統(tǒng)查詢ESD文件操作流程文件操作流程ExtremitychallengeESD體系推行架構(gòu)體系推行架構(gòu)Extremitychallenge公司公司ESD體系簡(jiǎn)介體系簡(jiǎn)介 Extremitychallenge根據(jù)公司產(chǎn)品各元器件的靜電敏感度等級(jí)，將公司根據(jù)公司產(chǎn)品各元器件的靜電敏感度等級(jí)，將公司EPA 靜電靜電敏感度防范要求定為敏

19、感度防范要求定為200V。具體要求為：。具體要求為：1. 靜電敏感度等級(jí)防范要求為靜電敏感度等級(jí)防范要求為200V，應(yīng)盡量避免，應(yīng)盡量避免200V 以上的以上的靜電電荷源進(jìn)入靜電電荷源進(jìn)入EPA，如不能避免，應(yīng)通過(guò)有效方式消除。，如不能避免，應(yīng)通過(guò)有效方式消除。2.采用采用ESD 地標(biāo)線明確劃出地標(biāo)線明確劃出EPA 區(qū)域，未采取有效防靜電措施區(qū)域，未采取有效防靜電措施的人員、設(shè)備、物料、治工具等皆不得入內(nèi)。的人員、設(shè)備、物料、治工具等皆不得入內(nèi)。3.進(jìn)入進(jìn)入EPA 區(qū)域應(yīng)作好人員區(qū)域應(yīng)作好人員ESD 防護(hù)，包括穿靜電服、靜電鞋防護(hù)，包括穿靜電服、靜電鞋或靜電腳腕帶、戴工作帽或靜電帽、必要時(shí)佩戴

20、靜電環(huán)（依或靜電腳腕帶、戴工作帽或靜電帽、必要時(shí)佩戴靜電環(huán)（依SOP 定義），靜電鞋定義），靜電鞋/靜電環(huán)經(jīng)測(cè)試合格后才能進(jìn)入靜電環(huán)經(jīng)測(cè)試合格后才能進(jìn)入EPA。公司公司ESD體系簡(jiǎn)介體系簡(jiǎn)介 ExtremitychallengeIQC-EE:敏感元器件檢驗(yàn)區(qū)、外包敏感元器件檢驗(yàn)區(qū)、外包分析區(qū)、重工區(qū)分析區(qū)、重工區(qū)PQA:內(nèi)檢區(qū)、內(nèi)檢區(qū)、M/B 檢驗(yàn)區(qū)檢驗(yàn)區(qū) PANEL 檢驗(yàn)區(qū)檢驗(yàn)區(qū)QRE:機(jī)臺(tái)拆解區(qū)機(jī)臺(tái)拆解區(qū)W/H:(IC倉(cāng)、倉(cāng)、PCBA 倉(cāng)倉(cāng))的拆封區(qū)的拆封區(qū)PD1:組裝段、維修區(qū)、組裝段、維修區(qū)、Cell Line 、SKD 線、線、 B&O車間車間PD2：組裝段、維修區(qū)、敏感材料組裝段、維修區(qū)、敏感材料散放區(qū)散放區(qū)PE：機(jī)臺(tái)分析區(qū)機(jī)臺(tái)分析區(qū)IE：Minibuild 區(qū)區(qū)RD:機(jī)臺(tái)分析區(qū)機(jī)臺(tái)分析區(qū)IQC（EE/BM）：）：敏感元器件檢驗(yàn)敏感元器件檢驗(yàn)區(qū)區(qū)PQA：OOB內(nèi)檢區(qū)內(nèi)檢區(qū)、Panel檢驗(yàn)檢驗(yàn)區(qū)區(qū)QRE：機(jī)臺(tái)拆解區(qū)機(jī)臺(tái)拆解區(qū)W/H：PCBA倉(cāng)的拆封區(qū)倉(cāng)的拆封區(qū)PD：組裝段、維修站、組裝段、維修站、SKD 線線 、 PC