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1、電子工業(yè)制取水用超純水設(shè)備技術(shù)資料來(lái)源于萊特萊德哈爾濱超純水設(shè)備工程公司1工藝簡(jiǎn)介 電子、半導(dǎo)體、液晶顯示、光伏工業(yè)生產(chǎn)在制作過(guò)程中,往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質(zhì)達(dá)不到生產(chǎn)工藝用水的要求或者水質(zhì)不穩(wěn)定的話,會(huì)影響到后續(xù)工藝的處理效果和使用壽命。 2工藝簡(jiǎn)介在光伏行業(yè)電子管生產(chǎn)中,如其中混入雜質(zhì),就會(huì)影響電子的發(fā)射,進(jìn)而影響電子管的放大性能及壽命,在顯像管和陰極射線管生產(chǎn)中,其熒光屏內(nèi)壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質(zhì),如其配制純水中含銅在8ppb以上,就會(huì)引起發(fā)光變色;含鐵在50ppb以上就會(huì)使發(fā)光變色、變暗、閃動(dòng)并會(huì)造成氣泡、條跡、漏光點(diǎn)等廢次品。 3工藝簡(jiǎn)介在黑白顯像管熒光屏

2、生產(chǎn)的12個(gè)工序中,玻殼清洗、沉淀、濕潤(rùn)、洗膜、管頸清洗等5個(gè)工序需使用純水,每生產(chǎn)一個(gè)晶體管需高純水80kg。液晶顯示器的屏面需有純水清洗和用純水配液,如純水中有金屬離子、微生物、微粒等雜質(zhì),就會(huì)使液晶顯示電路發(fā)生故障,影響液晶屏質(zhì)量,導(dǎo)致報(bào)廢、次品。在晶體管、集成電路生產(chǎn)中,純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設(shè)備的冷卻水,配制電鍍液等。 4工藝簡(jiǎn)介集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)成品率關(guān)系很大。水中的堿金屬(K、Na等)會(huì)使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會(huì)使PN結(jié)耐壓降低,III族元素(B、Al、Ga等)會(huì)使N型半導(dǎo)體特性惡化,V族素(P、As、Sb等)會(huì)使P型半導(dǎo)體特性惡化,水中細(xì)菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%50%)會(huì)使P型硅片上的局部區(qū)域變化為N型硅而導(dǎo)致器件性能變壞。 5工藝簡(jiǎn)介水中的顆粒(包括細(xì)菌)如吸附在硅片表面,就會(huì)引起電路短路或特性變差。因此水的質(zhì)量相當(dāng)重要。采用反滲透加EDI的脫鹽工藝,可以達(dá)到超純水標(biāo)準(zhǔn)。6應(yīng)用領(lǐng)域1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品; 2、超純材料和超純化學(xué)試劑; 3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間; 4、汽車、家電表面拋光處理; 7應(yīng)用領(lǐng)域5、光電子產(chǎn)品; 6、微電子產(chǎn)

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