北航傳感器技術(shù)及應(yīng)用課件

1、傳感器技術(shù)及應(yīng)用第1部分：緒 論第2部分：傳感器的輸入輸出特性第3部分：傳感器敏感結(jié)構(gòu)的力學(xué)特性第4部分：幾種典型的模擬式傳感器第5部分：諧振式傳感器第6部分：發(fā)展中的傳感器新技術(shù)第7部分：總 結(jié)課 程 內(nèi) 容4.1 概 述4.2 電位器式傳感器4.3 應(yīng)變式傳感器4.4 壓阻式傳感器4.5 熱電式傳感器4.6 電容式傳感器4.7 變磁路傳感器4.8 壓電式傳感器第4部分：幾種典型的模擬式傳感器4.4 壓阻式傳感器4.4.1 壓阻式變換原理4.4.2 擴(kuò)散電阻的阻值與幾何參數(shù)的確定4.4.3 壓阻式傳感器溫度漂移的補(bǔ)償4.4.4 典型的壓阻式傳感器壓阻系數(shù)縱向壓阻系數(shù)橫向壓阻系數(shù)縱向應(yīng)力橫向應(yīng)

2、力4.4.1 壓阻式變換原理壓阻系數(shù)矩陣壓阻系數(shù)4.4.1 壓阻式變換原理P型硅：N型硅：可忽略，可忽略，壓阻系數(shù)矩陣壓阻系數(shù)4.4.1 壓阻式變換原理壓阻系數(shù)P 方向在標(biāo)準(zhǔn)的立方晶格坐標(biāo)系中的方向余弦 任意晶向的壓阻系數(shù)Q 方向在標(biāo)準(zhǔn)的立方晶格坐標(biāo)系中的方向余弦 4.4.1 壓阻式變換原理(1) 計(jì)算(001)面上晶向的縱向、橫向壓阻系數(shù) 計(jì)算實(shí)例壓阻系數(shù)任意晶向的壓阻系數(shù)4.4.1 壓阻式變換原理(1) 計(jì)算(001)面上晶向的縱向、橫向壓阻系數(shù) 計(jì)算實(shí)例(2) 計(jì)算(100)面上晶向的縱向、橫向壓阻系數(shù) 壓阻系數(shù)任意晶向的壓阻系數(shù)4.4.1 壓阻式變換原理(1) 計(jì)算(001)面上晶向的

3、縱向、橫向壓阻系數(shù) 計(jì)算實(shí)例(2) 計(jì)算(100)面上晶向的縱向、橫向壓阻系數(shù) 壓阻系數(shù)任意晶向的壓阻系數(shù)4.4.1 壓阻式變換原理(1) 計(jì)算(001)面上晶向的縱向、橫向壓阻系數(shù) 計(jì)算實(shí)例(2) 計(jì)算(100)面上晶向的縱向、橫向壓阻系數(shù) (3) 繪出P型硅(001)面內(nèi)的縱向和橫向壓阻系數(shù)的分布圖 壓阻系數(shù)任意晶向的壓阻系數(shù)4.4.1 壓阻式變換原理計(jì)算實(shí)例(3) 繪出P型硅(001)面內(nèi)的縱向和橫向壓阻系數(shù)的分布圖 壓阻系數(shù)任意晶向的壓阻系數(shù)4.4.1 壓阻式變換原理計(jì)算實(shí)例(3) 繪出P型硅(001)面內(nèi)的縱向和橫向壓阻系數(shù)的分布圖 壓阻系數(shù)任意晶向的壓阻系數(shù)4.4.1 壓阻式變換原

4、理計(jì)算實(shí)例(3) 繪出P型硅(001)面內(nèi)的縱向和橫向壓阻系數(shù)的分布圖 壓阻系數(shù)任意晶向的壓阻系數(shù)4.4.1 壓阻式變換原理4.4 壓阻式傳感器4.4.1 壓阻式變換原理4.4.2 擴(kuò)散電阻的阻值與幾何參數(shù)的確定4.4.3 壓阻式傳感器溫度漂移的補(bǔ)償4.4.4 典型的壓阻式傳感器自 學(xué)壓阻式壓力傳感器壓阻式加速度傳感器4.4.4 典型的壓阻式傳感器壓阻式壓力傳感器 敏感結(jié)構(gòu)硅杯：周邊固支圓膜片4.4.4 典型的壓阻式傳感器壓力：周邊固支圓膜片應(yīng)力壓敏電阻的變化電橋輸出p 框圖？壓敏電阻的變化4.4.4 典型的壓阻式傳感器壓阻式壓力傳感器工作機(jī)理 特性方程P型硅(001)面內(nèi)4.4.4 典型的壓

5、阻式傳感器壓阻式壓力傳感器P型硅(001)面內(nèi)選取選取徑向環(huán)向4.4.4 典型的壓阻式傳感器 特性方程壓阻式壓力傳感器P型硅(001)面內(nèi)4.4.4 典型的壓阻式傳感器 特性方程壓阻式壓力傳感器4.4.4 典型的壓阻式傳感器 特性方程壓阻式壓力傳感器4.4.4 典型的壓阻式傳感器 特性方程壓阻式壓力傳感器 測(cè)量誤差(溫度誤差) 改進(jìn)措施(溫度誤差)4.4.4 典型的壓阻式傳感器壓阻式壓力傳感器壓阻式壓力傳感器 應(yīng)用特點(diǎn) 集成式傳感器 先進(jìn)的傳感器 微機(jī)械傳感器 智能化傳感器4.4.4 典型的壓阻式傳感器壓阻式壓力傳感器 工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域 能源、石油化工 航空航天地面測(cè)試4.4.4 典型的壓阻式傳

6、感器典型應(yīng)用 框圖？4.4.4 典型的壓阻式傳感器壓阻式壓力傳感器壓阻式加速度傳感器4.4 壓阻式傳感器(小結(jié))4.4.1 壓阻式變換原理4.4.2 擴(kuò)散電阻的阻值與幾何參數(shù)的確定4.4.3 壓阻式傳感器溫度漂移的補(bǔ)償4.4.4 典型的壓阻式傳感器壓阻效應(yīng)的“綜合性”作 業(yè)：P177，前7題任選3題，后面的任選4題 預(yù) 習(xí)第7章 熱電式傳感器4.1 概 述4.2 電位器式傳感器4.3 應(yīng)變式傳感器4.4 壓阻式傳感器4.5 熱電式傳感器4.6 電容式傳感器4.7 變磁路傳感器4.8 壓電式傳感器第4部分：幾種典型的模擬式傳感器4.5 熱電式傳感器4.5.1 概 述4.5.2 熱電阻測(cè)溫傳感器4

7、.5.3 熱電偶測(cè)溫4.5.4 半導(dǎo)體P-N結(jié)測(cè)溫傳感器4.5.5 其他測(cè)溫系統(tǒng)4.5.6 應(yīng)用實(shí)例溫度的概念溫 標(biāo)溫度標(biāo)準(zhǔn)的傳遞溫度計(jì)的標(biāo)定與校正測(cè)溫方法與測(cè)溫儀器的分類冷熱分子運(yùn)動(dòng)內(nèi)涵量四川富豪提出宇宙相對(duì)論挑戰(zhàn)愛(ài)因斯坦相對(duì)論 ？ 2007.5.16報(bào)道：4.5.1 概 述溫度的概念？馮勁松的實(shí)驗(yàn)是把一塊在15攝氏度的室溫下的普通鐵塊(或其他金屬、陶瓷等)，放到能精確到萬(wàn)分之一克的電子天平上稱重為93.2593克，然后把它放到電爐上加熱到300攝氏度時(shí)，其重量稱得是93.2387克，當(dāng)把它放在冰箱里冷卻到零下18攝氏度時(shí)，發(fā)現(xiàn)其重量為93.3059克。它表明，鐵塊加熱后比室溫狀態(tài)下減輕了0.0206克，冷凍后比室溫狀態(tài)下增加了0.0466