VAT閥參數(shù)設(shè)置、自整定、學(xué)習(xí)

1、VAT閥參數(shù)設(shè)置、蝶閥自整定，學(xué)習(xí)1.進入VAT軟件：VAT通訊線一端接 VAT閥的service端口一端接電腦 RS232串口，當連 接正常后VAT軟件會自動識別，點擊 Enter CPA進入軟件，軟件界面如下圖所示。2.Valve選項中的Setup的設(shè)置：首先切換至 LOCAL模式，點擊Vake中的Setup W ValveSpeed的參數(shù)值設(shè)置為 500,點擊保存按鈕（Save）完成操作，退出即可，軟件界面如下圖 所示。3.Sensor選項中的 Setup的設(shè)置：點擊 Sensor中的Setup將Unit的參數(shù)值設(shè)置為 Pa,Full scale的參數(shù)設(shè)置為1333。點擊保存按鈕（Sav

2、e）完成操作，退出即可，軟件界面如下 圖所示。QEL - Cantri:- -erDrrnyan zr Ar-db|.?r，1 =5d，c貨：口 Hdf4-.| 10 Endmodirivsfrffl sflflkJEpcdkriTUfc由H|IOOfi|teluil pi&ijj? |Pa|j-嘲*eXariir 35 qWQiHei Fflarlwr heEOciy Q $#TM4 SeM Zero Sirmbiioi PresMe Dorr 喊 * 1I0H- Lrk 曰 InEace ahJ5 tfOLt 展 Todt CPA SSltfiE： lxTnjTfceirn 1iw3s S

3、 M*KKflra. #巾w5frni*r，Wup*人qBH山金口小一U-e eip Hj Stl*hOi Ulfi 2m 勿&m_dP4Mr* g*ttf事 11alianTHtfl睡片三女jff im ri4ue-3 link 口醫(yī)儀 OhW AiidUKl I9twiqI 二的西同mMft3tqtiiiLf3 CBk#r gj LxmruHLdJri lace* H$toJ fl二期nodedose口idipbd5lDErtl +為31F用 HJ 匕 Fmm-A- tearipaitfrQ%-曹* x 4如VAT閥自整定、學(xué)習(xí)方法一、1,將各個氣體流量和氣體閥門設(shè)置為工藝時同樣的數(shù)值和狀

4、態(tài)，保持真空泵和主慢抽閥打開狀態(tài)，VAT自身狀態(tài)不用設(shè)置。保持該狀態(tài)直到VAT閥門自整定完成。2.按照以上的方法連接到VAT,切換到Local模式，在左側(cè)菜單欄的 Press Control的子菜單Learn即為自整定界面，各項參數(shù)不用設(shè)置。打開后右下角點擊Learn按鈕，VAT即開始自整定，整定過程中，閥門會自動調(diào)整，不允許人為干預(yù)，整定結(jié)束后會有l(wèi)earn complete 的提示出現(xiàn)，整定完成后，退出軟件即可。c：kis(eiNo clu事二y 士也相team hmit號6mH0.65 /3 edit pre2帥印仃艮忖皿門pre?sui11 ii H- : mr 門一口日亍 iltirne optimised (working porni 1.比卜779605 3人日網(wǎng).ptessuret Pa T,conducldriLe l/t.蝶閥學(xué)習(xí)常用方法二、1、將爐管壓力抽至低壓，設(shè)置 N2