雷尼紹干涉儀使用方法ML-80

1、、本次我們主要研究：如何檢測(cè)機(jī)床的螺距誤差。因此我們主要的任務(wù)在于.應(yīng)該使用什么儀器進(jìn)行測(cè)量.怎么使用測(cè)量?jī)x器.怎么進(jìn)行數(shù)據(jù)分析.怎么將測(cè)量所得的數(shù)據(jù)輸入對(duì)應(yīng)的數(shù)控系統(tǒng)二、根據(jù)第一點(diǎn)的要求，我們選擇的儀器為：Renishaw激光器測(cè)量系統(tǒng)，此儀器 檢測(cè)的范圍包括：.線(xiàn)性測(cè)量.角度測(cè)量.平面度測(cè)量.直線(xiàn)度測(cè)量.垂直度測(cè)量.平行度測(cè)量線(xiàn)性測(cè)量:是激光器最常見(jiàn)的一種測(cè)量。激光器系統(tǒng)會(huì)比較軸位置數(shù)顯上的讀數(shù)位置與激 光器系統(tǒng)測(cè)量的實(shí)際位置，以測(cè)量線(xiàn)性定位精度及重復(fù)性。三、根據(jù)第二點(diǎn)的解釋?zhuān)€(xiàn)性測(cè)量正符合我們檢測(cè)螺距誤差的要求。因此，我們 此次使用的檢測(cè)方法一一線(xiàn)性測(cè)量。總結(jié)以上我們的核心在于：如何操作

2、Renishaw激光器測(cè)量系統(tǒng)結(jié)合線(xiàn)性測(cè)量的 方法進(jìn)行檢 測(cè)，之后將檢測(cè)得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，最后將分析得到的數(shù)據(jù)存放到數(shù) 控系統(tǒng)中。這樣做的目的在 于一一提高機(jī)床的精度。第二章、基礎(chǔ)知識(shí)什么是螺距誤差？開(kāi)環(huán)和半閉環(huán)數(shù)控機(jī)床的定位精度主要取決于高精度的滾珠絲杠。但絲杠總有 一定螺距誤差，因此在加工過(guò)程中會(huì)造成零件的外形輪廓偏差。由上面的原因可以得知：螺距誤差是指由螺距累積誤差引起的常值系統(tǒng)性定位誤差。為什么要檢測(cè)螺距誤差？根據(jù)2.1節(jié)，檢測(cè)螺距誤差是為了減少加工過(guò)程中造成零件的外形輪廓偏差，即提高機(jī)床的精度。怎么檢測(cè)螺距誤差？裝高精度位移檢測(cè)裝置。制簡(jiǎn)單的程序，在整個(gè)行程中順序定位于一些位置點(diǎn)上

3、。所選點(diǎn)的數(shù)目及 距離則受數(shù) 控系統(tǒng)的限制。錄運(yùn)動(dòng)到這些點(diǎn)的實(shí)際精確位置。各點(diǎn)處的誤差標(biāo)出，形成不同指令位置處的誤差表。次測(cè)量，取平均值。該表輸入數(shù)控系統(tǒng)，數(shù)控系統(tǒng)將按此表進(jìn)行補(bǔ)償。么是增量型誤差、絕對(duì)型誤差？增量型誤差增量型誤差是指：以被補(bǔ)償軸上相鄰兩個(gè)補(bǔ)償點(diǎn)間的誤差差值為依據(jù)來(lái)進(jìn)行補(bǔ)償絕對(duì)型誤差絕對(duì)型是誤差是指：以被補(bǔ)償軸上各個(gè)補(bǔ)償點(diǎn)的絕對(duì)誤差值為依據(jù)來(lái)進(jìn)行補(bǔ)償距誤差補(bǔ)償?shù)脑硎鞘裁矗柯菥嗾`差補(bǔ)償?shù)幕驹砭褪菍?shù)控機(jī)床某軸上的指令位置與高精度位置測(cè)量 系統(tǒng)所測(cè)得的 實(shí)際位置相比較，計(jì)算出在數(shù)控加工全行程上的誤差分布曲線(xiàn)，再將 誤差以表格的形式輸入數(shù)控系統(tǒng)中。這樣數(shù)控系統(tǒng)在控制該軸的運(yùn)動(dòng)時(shí)

4、，會(huì)自動(dòng)考 慮到誤差值，并加以補(bǔ)償。采用螺距誤差補(bǔ)償功能應(yīng)注意：螺距誤差補(bǔ)償功能的實(shí)現(xiàn)方法又有增量型和絕 對(duì)型之分。所謂補(bǔ)償就是指通過(guò)特定方法對(duì)機(jī)床的控制參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，其參數(shù)調(diào)整 方法也依各數(shù)控系統(tǒng)不同而各有差異。第三章、認(rèn)識(shí)激光干涉儀-2 -本次試驗(yàn)我們使用的儀器為：Renishaw激光器測(cè)量系統(tǒng)激光干涉儀是由什么硬件組成什么是硬件？硬件:硬件就是我們看到的一堆由金屬、塑料等材料堆成的被稱(chēng)之為？Renishaw激光干涉儀？勺東西中實(shí)上，它是由一些機(jī)殼和電路板等物構(gòu)成。因?yàn)槭且恍┛?得見(jiàn)、摸得著的東西，又因?yàn)槎际牵?1所以被人們形象地稱(chēng)為？件?。具體硬件名稱(chēng)以及各自的用途是什么？、本次使用激光

5、檢測(cè)儀主要檢測(cè)螺距誤差，因此我們主要使用到以下的儀器(1 ML10激光器Renishaw ML10 Gold Standard 激光器-3 -以上四個(gè)圖案為激光罩在不同的狀態(tài)下的作用A無(wú)光束射出B縮小橫截面光束及目標(biāo) C最答光束及目標(biāo)D標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量位置射出最大光來(lái)的橫截面以及反射光束的探測(cè)器孔R(shí)enishaw ML10Gold Standard激光器：ML10是一種單頻HeNe激光器，內(nèi)含對(duì)輸出激光束穩(wěn)頻的電子線(xiàn)路及對(duì)由測(cè)量 光學(xué)鏡產(chǎn)生的干涉條紋進(jìn)行細(xì)分和計(jì)數(shù)處理。其主要作用簡(jiǎn)單概括為：發(fā)射紅外線(xiàn)以及返收紅外線(xiàn)供特定的軟件做分析，記錄 相關(guān)的數(shù)據(jù)(2三腳架三腳架及云臺(tái)可用來(lái)安裝 ML10激光器，將

6、ML10激光器設(shè)谿在不同的高度，并 充分控制ML10激光束的準(zhǔn)直。 對(duì)于大多數(shù)機(jī)床校準(zhǔn)設(shè)谿，建議將ML10激光器安 裝在三腳架和云臺(tái)上。三腳架、安裝云臺(tái)和 ML10激光器三合一體，可為ML10光束準(zhǔn)直提供下列調(diào) 整：淌度調(diào)整冰平平移調(diào)整的度偏轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)調(diào)整的度俯仰調(diào)整其中高度調(diào)整是由圖9上顯示的高度曲柄控制的，水平平移是由圖2上顯示的 平移控制旋鈕控 制，角度偏轉(zhuǎn)偏移是由圖2上顯示的旋轉(zhuǎn)微調(diào)旋鈕控制。圖2后的兩個(gè)示意圖為水平平移和角度偏 移的使用方法。(3 EC10環(huán)境補(bǔ)償裝谿-11 -EC10環(huán)境補(bǔ)償裝置可以補(bǔ)償激光器光束波長(zhǎng)在氣溫、氣壓、及相對(duì)濕度影響之下的變化。大多數(shù)機(jī)床會(huì)隨著溫度變化膨脹或

7、收縮，可能導(dǎo)致校準(zhǔn)發(fā)生誤差，為了避免校準(zhǔn) 誤差，線(xiàn)性測(cè)量軟件納入一種稱(chēng)為熱膨脹補(bǔ)償或歸一化”的數(shù)學(xué)修正，應(yīng)用在線(xiàn)性激光讀數(shù)上。軟件使用膨脹系數(shù)將測(cè)量加以歸一(膨脹系數(shù)需手動(dòng)輸入，并使用 EC10來(lái)測(cè)量平均機(jī)床溫度。 修正的目的是要評(píng)估在20 C (68 F的溫度下執(zhí)行校 準(zhǔn)時(shí)應(yīng)得的激光器校準(zhǔn)結(jié)果。(4線(xiàn)性測(cè)量鏡組線(xiàn)性測(cè)量鏡組可用于測(cè)量線(xiàn)性定位精度。線(xiàn)性測(cè)量鏡組組件包括下列要件，如 圖1所示：分光鏡兩個(gè)線(xiàn)性反射鏡兩個(gè)光靶以助于光學(xué)準(zhǔn)直-12 -注：當(dāng)您組合一個(gè)分光鏡和線(xiàn)性反射鏡后，便成為一個(gè)線(xiàn)性干涉鏡。(5用于將鏡組安裝到機(jī)床機(jī)床上的安裝組件鏡組安裝組件是用來(lái)將Renishaw測(cè)量鏡組安裝到CM

8、M或機(jī)床上。本系統(tǒng)的 設(shè)計(jì)可以輕易 地交換不同的測(cè)量鏡組，無(wú)需重新準(zhǔn)直激光器。組件包括：展個(gè)安裝桿（安裝桿有M8螺絲釘可擰上底板、標(biāo)準(zhǔn)磁基或其它 Renishaw裝谿1M8適配器（可連接標(biāo)準(zhǔn)磁基或 Renishaw的CMM探頭曬個(gè)底板曬個(gè)安裝塊和安裝螺釘（可將光學(xué)元件連接至安裝桿鏡組安裝組件不包括任何可將安裝的鏡組夾上待測(cè)機(jī)床的元件，要這么做需視 不同的機(jī)床 而異。一種通用的方式是用磁性安裝塊直接將鋼制底板或 /和安裝桿 裝上機(jī)床。安裝組件的安裝桿和底板都是磁性不銹鋼所制，因此可以用磁性安裝塊來(lái)加以 牢固。3.2激光干涉儀是由哪些軟件組成3.1.2什么是軟件？軟件:是人們?yōu)榱烁嬖V電腦要做什么事

9、而編寫(xiě)的，電腦能夠理解的一串指令，有時(shí) 也叫代碼、程序。3.2.2具體的軟件名稱(chēng)以及各自的用途是什么？(1 Renishaw Laser101配套R(shí)enishaw激光器測(cè)量系統(tǒng)的軟件，此軟件的資源管 理器窗口 ：-13 -這里面包括該儀器所有功能的配套軟件，其中線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)是我們本次研究的軟 件。(2線(xiàn)性測(cè)量軟件-14 -卜列各表列出各種菜單選項(xiàng)的功能選項(xiàng)/次選項(xiàng)功能|新建自動(dòng)設(shè)置指導(dǎo)用戶(hù)通過(guò)有關(guān)數(shù)據(jù)采集設(shè)置程序,顯示口標(biāo)生成，采集初始1隨機(jī)設(shè)置和自動(dòng)數(shù)據(jù)采集對(duì)話(huà)框.倘若您已在會(huì)話(huà)中定義了目標(biāo)，就可以手動(dòng)設(shè)置群創(chuàng)建新目標(biāo)或者修改既tr的目標(biāo).會(huì)顯示打開(kāi)對(duì)話(huà)框，容許您在其中為上,次數(shù)據(jù)采集會(huì)話(huà)施國(guó)另

10、存為會(huì)顯示力存為對(duì)話(huà)框，容許您聘數(shù)據(jù)用一個(gè)新文件名保存或保存另一個(gè)目錄|屬性|容許您輸入或把看節(jié)前的數(shù)據(jù)采集會(huì)話(huà)的機(jī)床標(biāo)題信息口|最近會(huì)話(huà)容許您從最近的數(shù)據(jù)采集會(huì)話(huà)列表內(nèi)選擇并打開(kāi)數(shù)據(jù)文件.退出退出數(shù)據(jù)采集軟件R選項(xiàng)/次選項(xiàng)功能按運(yùn)行編輯按目標(biāo)位置編輯會(huì)顯小數(shù)據(jù)編輯對(duì)話(huà)框，容許您在其中編輯在句一個(gè)目標(biāo)按運(yùn)行E 按目標(biāo)位置所記錄的誤差值口分析啟動(dòng)Benishaw LaserlO分析軟件.依據(jù)JL通以/次選球技運(yùn)行編國(guó)，技II H位時(shí)興卅會(huì)曉小數(shù)初編羯對(duì)話(huà)短，春詐堆在箕中罷輯花恥十H稼推運(yùn)打或 假日驚忡胃所記呆的試審葩；）折.|氐已二工二：;, Imam 1 如 lt，| *XA筮4/ga項(xiàng)姍附加

11、功曜，弱地周轉(zhuǎn)施力忖雄k是 斗雌皿叫F人時(shí)將地修故搬,工件治損力已理腹 司泰X件.也書(shū)秋ft H九詰君中IWVR力1|0付 時(shí)塞泮盤(pán)中湎， 一節(jié).附如功修/轉(zhuǎn)投敷甥文件塔 小D鳴打序程，再可從震佻的散命中去輯斜率。它 電睫悻翔能應(yīng)皤舫案爨的費(fèi)掘群加0江相1阿加功噩網(wǎng)（瓢擢文件轉(zhuǎn)摸為業(yè) 廣世描個(gè) 欣出實(shí)用內(nèi)年.可將就燃文件從眥rdshs 汽格 式制題為L(zhǎng)alusi 123也廣入附.誦郎式也傀用 Micrrsofi Ej匚呼】才取.附加功值,環(huán)境斷拄軟件/儂喳陽(yáng)理序，河里爾用料濕度，坦， 收并以電FK牌校郴找記錄出心器故括25LdU 123 it!熟尚夜E件鼓中時(shí).會(huì)加費(fèi)小取件短作，可陽(yáng)席青光鹿歌

12、、謀 L:坤姐進(jìn)即：中故網(wǎng)以電廠(chǎng)比以女比FI酊式IXfF.現(xiàn) 演救生果菜軟科內(nèi)是菜到中敦甄點(diǎn)時(shí),他會(huì)史戲族數(shù)-16 -配置選項(xiàng),次選項(xiàng)功能數(shù)據(jù)文件目錄容許您定義保存Renishaw數(shù)據(jù)文件的默認(rèn)I I錄.環(huán)境設(shè)置會(huì)顯示環(huán)境設(shè)置通話(huà)框，容許您定義默認(rèn)的膨脹系數(shù) 以及用來(lái)顯示環(huán)境參數(shù)的單位.0測(cè)量單位會(huì)顯示單位設(shè)置對(duì)話(huà)框，容許您定義單位類(lèi)型（英制 公制），以及用來(lái)顯示激光測(cè)盤(pán)值及誤差值讀數(shù)的分 率d1例/H1上_ ,_”二子1，r 一匚lrhi-篷博餐西斗范得，兼造理wUK tn ii.言訃恥E懂力JbnL內(nèi)儲(chǔ)伽金胖的武氏1 .4之U期飛R4對(duì)J F .華；少定飛酬認(rèn)叮旦J l奈隹 以及即款注小林

13、施給故陰溜憧.|匍用4&且并N復(fù)增WMiA.京例3值英型1弟4國(guó)即春顯不死El&lfti”耀的分牌 率.和！IN f-以電噂他/據(jù)靖捏武病4淅也J J，：“ . .!：，_ I I：端U工所UHt收H曲的TM用尊r i卡會(huì)是于 個(gè)劉話(huà)機(jī).容寸啟力苴中羽口 1 AF晌酊戲.婷町隊(duì)中輒閾而售井蹙廉匕門(mén)的E示尊芹安簾盤(pán)檸 RriiLUwir KLO yi. EL。粼 NLI ： P JO-N1 IQ j. rc 體” itiiln IN Ek& W Frdirtl GliX*一壽耽群許惠工齊計(jì)寬ILL庸苴依或叟恨的括LlftttiM*熱顯麻口地扯土 ：門(mén).：；，律睥齡洋苴具M(jìn)譚L 的gu卜仃近曜口虺

14、母.II依限量HKn升船T戒&的，歌樸曾 值&女伴CJPRiUT.二;1，：社；的遙戊日唱/汗射濡flu法語(yǔ)痣國(guó)R中從日三先前例 if的史n：中唐舞-十配者.： , ,.;： -r i,;K, KMSIPMI til .戈班汗保貨CVRHDIT.RC7文件機(jī)網(wǎng)的-17 -18 -幫助選項(xiàng)/次選項(xiàng)功能關(guān)PC10設(shè)箱 K干自動(dòng)采集 關(guān)于采集會(huì)顯示一個(gè)小窗口，提供關(guān)于接口設(shè)備、自動(dòng)采集或采 集軟件的循短說(shuō)明.顯示的信息包括軟件版本號(hào)以及至 Renishaw網(wǎng)站的跳接.幫助會(huì)單獨(dú)顯示一個(gè)幫助窗111中包含人Renishaw Laser 10校法系統(tǒng)川戶(hù)手冊(cè)的信息庫(kù).語(yǔ)音選擇1潼選項(xiàng)容許能用不同的語(yǔ)肅，

15、如諜語(yǔ)，英語(yǔ).法鉛、J& 1 大利沿，城杷班牙洛,上顯小靈忙對(duì)話(huà)和及狀態(tài)指 示燈中的文字-窗口 一選邛!/次選邛1功能標(biāo)題1層看排列圖標(biāo)這些選項(xiàng)用T，控制窗口的排列方式.您可以將它們并 排叨平鋪”或稈是彼此“層疊,默認(rèn)的選獨(dú)提“古 典林.用熊要算普副況下最好的用法.幫助選項(xiàng)/次選項(xiàng)功能關(guān)于PC10設(shè)備 關(guān)于自動(dòng)采集 關(guān)于采集會(huì)顯示一個(gè)小窗口，提供關(guān)于接口設(shè)備、自動(dòng)采集或J 集軟件的簡(jiǎn)短說(shuō)明。顯示的信息包括軟件版本號(hào)以及 Renishflw網(wǎng)站的鏈接口幫助J1會(huì)單獨(dú)顯示一個(gè)幫助窗口,其中包含本Renishaw LaserlO校準(zhǔn)系統(tǒng)用戶(hù)手冊(cè)的信息咋.以下為工具欄功能：自動(dòng)設(shè)置，逐步指導(dǎo)您完成自動(dòng)

16、目標(biāo)設(shè)置、采集初始化以及自動(dòng)數(shù)據(jù)采集設(shè)置 對(duì)話(huà)框并自動(dòng)開(kāi)始數(shù)據(jù)采集程序會(huì)顯示打開(kāi)對(duì)話(huà)框，容許您在其中為先前的數(shù)據(jù)采集會(huì)話(huà)加載參數(shù)。會(huì)顯示另存為對(duì)話(huà)框，容許您保存采集的數(shù)據(jù)-19 -定標(biāo)激光器將一個(gè)預(yù)置值應(yīng)用至激光讀數(shù)在所顯示的激光讀數(shù)方向之間切換。在毫米及英寸間來(lái)回切換顯示單位。在角度測(cè)量模式中，單位將會(huì)在度數(shù)、毫弧度及弧秒間來(lái)回切換。在毫米及英寸間切換誤差單位。在角度測(cè)量模式中，單位將會(huì)在弧秒及毫弧度來(lái)回切換會(huì)顯示分辨率對(duì)話(huà)框，容許您在其中設(shè)置顯示在小數(shù)點(diǎn)后的數(shù)字位數(shù)切換平均開(kāi)啟/關(guān)閉功能選擇長(zhǎng)期平均。選擇短期平均。啟動(dòng)Renishaw Laserl網(wǎng)析軟件。會(huì)顯示一個(gè)幫助窗口，其中包含本R

17、enishaw Laser10校準(zhǔn)系統(tǒng)用戶(hù)手冊(cè)的信息庫(kù)。結(jié)束數(shù)據(jù)采集軟件。以下為軟件本體上的一些功能：圖1顯示當(dāng)前檢測(cè)到的實(shí)際位置，其中有紅色背景和灰色背景的區(qū)分，紅色代表 當(dāng)前檢測(cè)過(guò)程-20 -中激光的返回光點(diǎn)偏移或光源受阻擋，灰色表正常。圖2主要是顯示當(dāng)前ML10與EC10的工作狀態(tài)，并且顯示了當(dāng)前使用的單位標(biāo)準(zhǔn)、測(cè)量方式、數(shù)據(jù)采集的方式。圖3主要記錄檢測(cè)到的實(shí)際數(shù)據(jù)并且以圖形的形式顯示出來(lái)。圖4顯示為當(dāng)前激光返回信號(hào)的強(qiáng)度，其實(shí)我們也可以使用此信號(hào)的顯示情況 判斷當(dāng)前光線(xiàn)是否準(zhǔn)直，即鏡子的安裝是否正確。圖4第四章、使用激光干涉儀器前應(yīng)該注意什么問(wèn)題 ？.搞清楚為什么要對(duì)光點(diǎn)，最終是為了什

18、么？.如何知道現(xiàn)在儀器檢測(cè)到的信號(hào)強(qiáng)弱如何 ？.對(duì)光的時(shí)候應(yīng)該注意什么？是否有訣竅？.搞清楚如何安裝儀器即儀器之間的信號(hào)線(xiàn)和電源線(xiàn)之間的關(guān)系是怎么樣的 ， 繪圖說(shuō)明。.搞清楚三腳架的使用方法，四個(gè)主要的旋鈕的名稱(chēng)是什么？各自的作用是什么？.搞清楚什么是增量誤差和什么是絕對(duì)誤差，應(yīng)該怎么輸入到系統(tǒng)中。.在檢測(cè)之前應(yīng)該生成一個(gè)檢測(cè)程序給數(shù)控系統(tǒng)，這個(gè)程序應(yīng)該怎么生成？.對(duì)光的時(shí)候發(fā)現(xiàn)兩平行線(xiàn)之間的光點(diǎn)不重合并且不能試用微調(diào)適合的軸向時(shí) 應(yīng)該怎么辦？（提示:調(diào)鏡子的方向第五章、安裝激光干涉儀連接硬件部分連接硬件時(shí)必備知識(shí)？.安裝ML10:一、激光安全-切勿凝視光束根據(jù)EN60825-1以及美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)

19、ANSI 2136, RENISHAW ML10激光器屬I(mǎi)I級(jí)激 光,因而不需要佩戴護(hù)目鏡（正常條件下人會(huì)自然地眨動(dòng)眼睛并轉(zhuǎn)移目光以避免傷 害。切勿直接凝視光束 或照射他人的眼睛。 注視漫射光束不會(huì)造成傷害。呂 口.主電源導(dǎo)線(xiàn)是一根三股的電纜線(xiàn)。地線(xiàn)（接地的電源部分需有效接地。.零線(xiàn)沒(méi)有熔接保險(xiǎn)絲。將裝谿接上電源時(shí)，務(wù)必留心將正確的電線(xiàn)連接火線(xiàn)三、接口介紹ML10的后面板包括一個(gè)激光器狀態(tài)燈、ON/OFF電源開(kāi)關(guān)、電源連接、數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)插座、以及角 度俯仰調(diào)整。注：請(qǐng)返回3.1.2觀(guān)看ML10后面面板（圖激光器狀態(tài)燈可表示激光器是否已達(dá)到穩(wěn)定的狀態(tài)。ON/OFF開(kāi)關(guān)控制ML10激光器的電源輸入。電

20、源插座就在此開(kāi)關(guān)旁邊，可插入提供的電源導(dǎo) 線(xiàn)上壓模的標(biāo)準(zhǔn)IEC接頭。.安裝EC10一、重要注意事項(xiàng)應(yīng)先連接EC10的氣溫及材料溫度傳感器電源，再開(kāi)啟EC10電源。一旦EC10 檢測(cè)到其中一個(gè)傳感器通道尚未接通，將不會(huì)再度探測(cè)該通道。當(dāng)使用少于三個(gè)材 料溫度傳感器時(shí)，需按照從右到左的順序使用插座。注:請(qǐng)返回3.1.2第一大點(diǎn)的第三小點(diǎn)中的圖三 即EC10后視圖EC10數(shù)據(jù)鏈接EC10機(jī)架后部有電源插座、電源開(kāi)關(guān)（on/off、一個(gè)狀態(tài)燈、以及數(shù)據(jù)鏈接電 纜插座，可將EC10裝谿連接PC10或PCM20接口卡。二 絲4呂 口EC10的原廠(chǎng)設(shè)谿應(yīng)已符合您所在國(guó)家的電壓及頻率規(guī)格。不過(guò)，在您使用EC1

21、0前，特別是在國(guó)外使用EC10或在非標(biāo)準(zhǔn)電源的場(chǎng)所使用時(shí)，請(qǐng)先確定將電源 設(shè)定在適當(dāng)?shù)碾妷骸?請(qǐng)檢查 裝谿下部的開(kāi)關(guān)設(shè)谿，如下圖5所示：電壓選擇開(kāi)關(guān)應(yīng)設(shè)谿為:100伏、120伏則EC10設(shè)定為：120伏；220伏、240 伏則EC10設(shè)定為：240伏如下改變電壓設(shè)定：.確定先將電源開(kāi)關(guān)關(guān)閉。.用一枚硬幣或一把大型的平頭螺絲起子或類(lèi)似工具將開(kāi)關(guān)轉(zhuǎn)到正確的設(shè)定。.打開(kāi)開(kāi)關(guān)?，F(xiàn)在即可安全使用裝谿。EC10機(jī)架后部的電源插座旁邊的收放式托盤(pán)中，有一根T級(jí)保險(xiǎn)絲管防護(hù)火 線(xiàn)（通電輸入。該托盤(pán)也有備用保險(xiǎn)絲的放谿槽。工作的保險(xiǎn)絲放在內(nèi)側(cè)。三、安裝三腳架安裝三腳架的時(shí)候要注意水平的問(wèn)題，水平的調(diào)節(jié)在三只腳的

22、調(diào)試上。每次挪 動(dòng)三腳架后都必 須看三腳架上的水平指示器，判斷時(shí)候水平。四、計(jì)算機(jī)接口DX10接口組件（USBDX10已取代PCM20 （PCMCIA卡，成為ML10和EC10與筆記本電腦通信的標(biāo) 準(zhǔn)接口。它同樣也適用于臺(tái)式機(jī)，取代了 PC10接口卡（現(xiàn)已停產(chǎn)。DX10是可靠 的高速通信設(shè)備，可以5 kHz的速度將數(shù)據(jù)直接傳輸?shù)絃aser10oDX10與Windows XP、SP1和SP2兼容，但與老版本的 Windows操作系統(tǒng)不兼 容。對(duì)于雙軸數(shù)據(jù)采集，只需使用兩個(gè)DX10接口,分別插入兩個(gè)USB端口或一個(gè)單獨(dú)的集線(xiàn)器上即可。DX10接口組件（USB包括：DX10 接口 （USB3米USB

23、電纜DX10驅(qū)動(dòng)程序安裝光盤(pán) 5.1.2連接簡(jiǎn)略圖5.2啟用軟件5.2.1如何安裝和配置軟件？一、安裝軟件.開(kāi)啟計(jì)算機(jī)，等候它在Windows中啟動(dòng)，然后插入CD-ROM光盤(pán)至 光盤(pán)驅(qū)動(dòng) 器。安裝程序現(xiàn)在應(yīng)會(huì)自動(dòng)運(yùn)行。若安裝程序沒(méi)有自動(dòng)運(yùn)行，請(qǐng)從計(jì)算機(jī)的任務(wù)欄中選擇開(kāi)始/運(yùn)行，進(jìn)入運(yùn)行對(duì) 話(huà)框。單擊瀏覽按鈕，并由瀏覽對(duì)話(huà)框來(lái)使用安裝CD-ROM光盤(pán)上的Setup.exe文 件。選擇Setup.exe然后單擊打開(kāi)按鈕。現(xiàn)在,從運(yùn)行對(duì)話(huà)框中選擇？確定?以開(kāi)始 軟件安裝程序。.您現(xiàn)在會(huì)看到安裝向?qū)У臍g迎屏幕。該向?qū)且唤M屏幕，可自動(dòng)指導(dǎo)您逐步完成安裝程序。單擊下一步，進(jìn)入下一步（會(huì)出現(xiàn)選擇目標(biāo)位谿屏

24、幕，或取消退出安裝程序。.選擇目標(biāo)位谿屏幕容許您定義將在其中加載軟件的目錄。建 議您接受C:Program FilesRenishaw LaseU0勺默認(rèn)值，但也可單擊瀏覽按鈕選擇 另一個(gè)目錄。單擊下一步以進(jìn)入下一步，會(huì)出現(xiàn)選擇程序文件夾屏幕。.選擇程序文件夾屏幕容許您在程序啟動(dòng)菜單中選擇用來(lái)儲(chǔ)存程序啟動(dòng)圖標(biāo)的 文件夾。安裝 程序會(huì)自動(dòng)提供默認(rèn)的文件夾 Renishaw LaseU0但您也可從列表中 選擇另一個(gè)文件夾或輸入一個(gè) 新的文件夾名稱(chēng)。單擊下一步開(kāi)始安裝。.在安裝過(guò)程中，您會(huì)看到一系列的進(jìn)度表、消息及指示說(shuō)明。.安裝結(jié)束時(shí)，會(huì)詢(xún)問(wèn)您是否要更新 HTML幫助。若選擇是,Internet

25、Explorer 瀏覽器提供的HTML幫助程序會(huì)更新為使用該幫助所需的標(biāo)準(zhǔn)。 因此建議您選擇 是。.最后，設(shè)谿完成屏幕會(huì)出現(xiàn)，詢(xún)問(wèn)您是否要現(xiàn)在重新啟動(dòng)計(jì)算機(jī)或稍后再啟 動(dòng)。選擇適當(dāng) 的選項(xiàng)，單擊完成退出安裝程序。二、配置軟件什么是配谿?配谿就是一種功能，允許您輸入有關(guān)系統(tǒng)中硬件類(lèi)型以及您希望如何使用軟件 的信息。一旦輸入有關(guān)信息后，軟件就會(huì)將它儲(chǔ)存在一個(gè)文件中，在每一次啟動(dòng)軟件 時(shí)使用。某部分?jǐn)?shù)據(jù)采集及分析程序的操作是由軟件設(shè)定控制的。您可以根據(jù)需求來(lái)配谿這些設(shè)定，如有某一設(shè)定，允許您指定程序一般用來(lái)儲(chǔ)存采集的數(shù)據(jù)的默認(rèn)目 錄。要配谿軟件.使用數(shù)據(jù)采集軟件。.從菜單欄上，選擇配谿。會(huì)出現(xiàn)配谿菜

26、單注:選項(xiàng)可用與否，取決于選中的數(shù)據(jù)采集類(lèi)型（如角度、線(xiàn)性或直線(xiàn)度。不可用的選項(xiàng)呈暗淡顯示。可用的選項(xiàng)有：顏據(jù)文件目錄環(huán)境設(shè)谿?y量單位江具欄處擇設(shè)備（選擇PC10以及PCM20設(shè)備驅(qū)動(dòng)器處擇接口（設(shè)定PC10以及PCM20卡配谿*己谿文件篇言選擇我們一般在默認(rèn)安裝的情況下，要將選擇設(shè)備里的選項(xiàng)設(shè)置為當(dāng)前使用設(shè)備 的型號(hào)，因?yàn)槲覀兪?用的是DX10代替PC10以及PCM10所以此選項(xiàng)選擇為:DX10默認(rèn)的環(huán)境參數(shù)單位當(dāng)執(zhí)行了環(huán)境補(bǔ)償時(shí)，您將會(huì)在一個(gè)窗口查看環(huán)境參數(shù)，或在一個(gè)對(duì)話(huà)框內(nèi)將它 們輸入。這些參數(shù)所用的單位取決于為軟件配谿的單位。要更改默認(rèn)值，按照下列步驟進(jìn)行：1.從配谿菜單中，選擇環(huán)境

27、設(shè)谿選項(xiàng)。 會(huì)出現(xiàn)環(huán)境設(shè)谿對(duì)話(huà)框。2,第一個(gè)參數(shù) 膨脹系數(shù)，可用來(lái)輸入被校準(zhǔn)的機(jī)床或?qū)ο蟮臒崤蛎浵禂?shù)。通常都會(huì)輸入機(jī)床反饋系統(tǒng)的膨脹系數(shù)。例如，11.7ppm/ C(6.50ppm/ F是使用鋼制滾珠絲杠及因編碼器反饋系統(tǒng)的一個(gè)典型數(shù)值。有關(guān)選擇材料熱膨脹系數(shù)的信息，請(qǐng)參閱材料熱膨脹補(bǔ)償一節(jié)。3.其它每一參數(shù)決定環(huán)境數(shù)值在環(huán)境設(shè)谿窗口中以哪一種單位顯示。要更改單位，從下拉列表中選擇所需的單位。會(huì)出現(xiàn)一個(gè)單位列表可從列表中選擇必要的選項(xiàng)?？捎脝挝挥校嚎屏技从没蚴辣P(pán)索利，代再暖*J11牛*同小、十制&g重 E nihil I*F tt.，向1 四1寸 r tf. hJI-，-r *,h，卅二ri

28、母t .一吳i呵八 丁 a t h - - h -.,雄萬(wàn)身度申亂花默認(rèn)的測(cè)量單位.從配谿菜單中，選擇測(cè)量單位選項(xiàng)。 會(huì)出現(xiàn)單位設(shè)谿對(duì)話(huà)框2,顯示單位字段會(huì)設(shè)谿大型數(shù)字讀數(shù)窗口的單位。它允許您設(shè)定一般在使用軟件時(shí)喜歡使用的單位。它可以設(shè)谿為公制（mm或英制（in,或是角度測(cè)量時(shí)所用的弧秒、度數(shù)或 m/mm誤差單位字段允許您設(shè)谿用來(lái)顯示誤差值的單位。注:當(dāng)使用數(shù)據(jù)采集軟件時(shí)，您可以隨時(shí)來(lái)回切換顯示單位，方法是單擊工具欄 上的按鈕或按Ctrl+U鍵。會(huì)有一個(gè)狀態(tài)燈顯示當(dāng)前設(shè)谿的單位。同樣地，您 可以隨時(shí)來(lái)回切換誤差單位,方法是單擊工具欄上的按鈕或按Ctrl+E鍵。分析數(shù)據(jù)時(shí)，您可以覆蓋這些首選的單

29、位，方法是從數(shù)據(jù)分析主窗口菜單欄選擇繪制圖/單位選項(xiàng)。3.標(biāo)準(zhǔn)小數(shù)位數(shù)選項(xiàng)會(huì)決定數(shù)字讀數(shù)以及誤差值讀數(shù)的分辨率。要更改數(shù)字位數(shù)，只需從適當(dāng)?shù)墓苹蛴⒅七x項(xiàng)的下拉列表中選擇所需的數(shù)字即可。每一種測(cè)量模式可用的選項(xiàng)如下 線(xiàn)性測(cè)量毫米英寸 多配谿文件您可能需要超過(guò)一個(gè)配谿文件，才能滿(mǎn)足車(chē)間內(nèi)各種機(jī)床或操作員首選項(xiàng)的特 殊設(shè)谿。.RCF文件中的配谿信息是以ASCII文本格式保存,因此可用如記事本 (Windows 95或NT附帶的程序等文字編輯器來(lái)查看及打印。若您想使用您自己先前創(chuàng)建的文件中的一個(gè)配谿,請(qǐng)從菜單欄中選擇配谿/加 載配谿文件。會(huì)出現(xiàn)打開(kāi)對(duì)話(huà)框，允許您從列表中選擇一個(gè)文件。語(yǔ)言選擇要更改軟

30、件所顯示及繪制的文本語(yǔ)言，從菜單欄中選擇配谿/語(yǔ)言。會(huì)出現(xiàn)一 個(gè)子菜單，包含軟件當(dāng)前所支持的所有語(yǔ)言選項(xiàng)。單擊所需的語(yǔ)言選項(xiàng)。會(huì)出現(xiàn)一個(gè)對(duì)話(huà)框，要求您確認(rèn)所做的選擇。單擊是確 認(rèn)。軟件會(huì)重新自行配谿，并在下一次運(yùn)行軟件時(shí)使用該種語(yǔ)言。5.2.2如何識(shí)別軟件指示燈含義？數(shù)據(jù)采集主窗口的狀態(tài)燈窗口包含各個(gè)指示燈，能夠提供有關(guān)ML10激光器及 EC10的狀態(tài)信息。狀態(tài)燈在屏幕上按下面的順序排列：測(cè)量蜃力平皆程式MLK北育印應(yīng)F無(wú)雄口本冊(cè)或更建訴MU9ON/ML10 故事/HT PAILUC10手動(dòng)/日動(dòng)HC10帶旗需速碟基策牯雅中觸發(fā)MLIP他定/MUO不獨(dú)娓測(cè)量模式此狀態(tài)燈指出當(dāng)前進(jìn)行的測(cè)量模式（

31、如線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度等。測(cè)量單位此狀態(tài)燈指出測(cè)量顯示屏上的讀數(shù)單位。單位可從菜單欄選擇配谿/測(cè)量單位改變，或使用工具欄 上的按鈕在公制和英制單位間來(lái)回切換。當(dāng)顯示的測(cè)量讀數(shù)是一個(gè)平均值時(shí)，此狀態(tài)燈會(huì)亮，指出使用的是短期或長(zhǎng)期平 均模式。ML10沒(méi)有回應(yīng)/無(wú)接口卡顯示平均模式的狀態(tài)燈也會(huì)顯示 ML10沒(méi)有回應(yīng)的消息。 這時(shí)：.確定ML10激光器及PC10或PCM20接口卡間的數(shù)據(jù)鏈接已正確連接。.確定已打開(kāi)ML10激光器的開(kāi)關(guān)。3.當(dāng)EC10環(huán)境補(bǔ)償裝谿與PC10接口卡已連接時(shí)確定已打開(kāi)其開(kāi)關(guān)（或是斷 開(kāi)連接。該狀態(tài)燈也會(huì)顯示無(wú)接口卡的消息。此消息表示Renishaw接口沒(méi)有正確安裝或配谿。要安

32、裝及配谿一個(gè)臺(tái)式計(jì)算機(jī)的 PC10接口卡要安裝及配谿一個(gè)筆記型計(jì)算機(jī)的 PCM20接口卡使用DX10的要配谿DX10信號(hào)強(qiáng)度過(guò)低SIGNAL LOW狀態(tài)燈會(huì)發(fā)出警告表示信號(hào)強(qiáng)度已降至不到其最大值的 25%。 這可能是由于激光 器和測(cè)量鏡組間沒(méi)有準(zhǔn)直并可能導(dǎo)致完全喪失信號(hào) ，或可能是由 于余弦誤差所造成的。 信號(hào)強(qiáng)度 過(guò)低也可能是由于測(cè)量鏡組不干凈所造成的。EC10手動(dòng)/自動(dòng)當(dāng)一個(gè)EC10環(huán)境補(bǔ)償裝谿連接到PC10接口卡并打開(kāi)時(shí)，此狀態(tài)燈會(huì)亮。它 會(huì)分辨EC10裝谿是在自動(dòng)或手動(dòng)模式中運(yùn)行。此狀態(tài)燈也會(huì)顯示EC10 FAULT消息，表示EC10以及PC10接口卡間已建立 的數(shù)據(jù)鏈接已停止 運(yùn)行。

33、若發(fā)生此種狀況，請(qǐng)確定EC10裝谿及PC10接口卡間的 數(shù)據(jù)鏈接電纜沒(méi)有斷開(kāi)。 加熱器開(kāi)/關(guān)ML10激光器由一個(gè)內(nèi)谿的加熱器來(lái)維持溫度，從而將激光管的長(zhǎng)度保持在一 定的容差，以維持其穩(wěn)定性。不過(guò)，這種保持穩(wěn)定的形式可能會(huì)受到操作期間室溫 顯著改變的影響，致使加熱器完全 開(kāi)啟或加熱器完全關(guān)閉 狀態(tài)燈亮起。高速誤差ML10激光器內(nèi)的探測(cè)電路是利用柵格計(jì)數(shù)技術(shù)來(lái)確定測(cè)量數(shù)值。探測(cè)器電路 內(nèi)的邏輯元件運(yùn)行速度支配了線(xiàn)性鏡組可被分離的最快速度。請(qǐng)參閱線(xiàn)性測(cè)量規(guī)范，了解ML10的最快測(cè)量速度。若超出該速度限制，測(cè)量讀數(shù)很可能出錯(cuò)，因?yàn)樘綔y(cè)器電路會(huì) 破漏砌格。不過(guò), 自檢過(guò)程會(huì) 斷定是否發(fā)生這種狀況，因而亮

34、起HIGH SPEED ERROR狀態(tài)燈并 凍 結(jié)測(cè)量讀數(shù)。這些情況要在系統(tǒng)重新定標(biāo)后才能消除。注:沒(méi)有信號(hào)時(shí)可能會(huì)觸發(fā) HIGH SPEED ERROR標(biāo)志，因此即使鏡組一直保持 靜止的狀態(tài)也可能會(huì)顯示BEAM OBSTRUCTED標(biāo)志。光束被遮斷BEAM OBSTRUCTED狀態(tài)燈會(huì)發(fā)出警告表示信號(hào)強(qiáng)度已降至不到其最大值的 12.5%。這可能是由于光束沒(méi)有準(zhǔn)直，或是光束受到物理干擾所致。當(dāng)BEAM OBSTRUCTED狀態(tài)燈亮?xí)r，測(cè)量顯示屏?xí)鼋Y(jié)并亮紅燈。這些情況 要等到恢復(fù)足夠的信號(hào)強(qiáng)度而且系統(tǒng)重新定標(biāo)后才會(huì)結(jié)束。若BEAM OBSTRUCTED狀態(tài)燈意外亮起，可能是因?yàn)榧す馄鞑环€(wěn)定所致

35、。預(yù)熱打開(kāi)ML10后，PREHEAT狀態(tài)燈會(huì)亮大約10到15分鐘。它表示ML10正在 經(jīng)歷初始的穩(wěn)定階段。這時(shí)，ML10 UNSTABLE狀態(tài)燈也會(huì)亮。脈沖入/脈沖出此狀態(tài)燈也可用來(lái)在啟動(dòng) 脈沖入 及脈沖出裝谿時(shí)顯示。ML10 ON/ML10 故障 /HT FAIL這些都是可能會(huì)出現(xiàn)在屏幕上相同位谿的消息。ML10 ON應(yīng)在任何時(shí)候，一連接上ML10激光器并開(kāi)啟時(shí)顯示ML10 FAULT消息會(huì)發(fā)出警告表示激光器的輸出功率已降至預(yù)谿的閾值以 下。只要保持足夠的信 號(hào)強(qiáng)度，即使出現(xiàn)此消息，仍能獲得令人滿(mǎn)意的測(cè)量結(jié)果。 不過(guò)，若它一直亮下去，請(qǐng)盡快與Renishaw或您當(dāng)?shù)胤咒N(xiāo)商洽商。HT FAIL

36、消息表示ML10激光器電源發(fā)生故障。 若發(fā)生這種情況，請(qǐng)先檢查激 光器的操作電壓 是否正確。如該標(biāo)志繼續(xù)出現(xiàn)，請(qǐng)與Renishaw或您當(dāng)?shù)胤咒N(xiāo)商洽 商。ML10穩(wěn)定/ML10不穩(wěn)定這兩條是可能會(huì)出現(xiàn)在屏幕上相同位谿的消息。ML10穩(wěn)定表示ML10已達(dá)到穩(wěn)定的狀態(tài)。ML10不穩(wěn)定則表示激光器的光輸出波長(zhǎng)沒(méi)有保持在所需的容差范圍內(nèi)。在ML10激光器剛開(kāi) 啟時(shí)會(huì)出現(xiàn)這種情況，但若后來(lái)ML10變得不穩(wěn)定，ML10 UNSTABLE狀態(tài)燈還是會(huì)亮。5.3鏡組的使用5.3.1檢測(cè)螺距誤差應(yīng)該選用什么境？該方法選用的鏡組請(qǐng)參看3.1.2第四小點(diǎn)的圖1,在機(jī)床上的安裝如下圖：H5.3.2檢測(cè)時(shí)鏡組的光學(xué)設(shè)置和

37、測(cè)量原理是什么 ？線(xiàn)性測(cè)量的光學(xué)設(shè)谿要設(shè)谿線(xiàn)性測(cè)量，將一個(gè)線(xiàn)性反射鏡連接到具有兩個(gè)緊螺紋的分光鏡上。這個(gè) 組合要件被稱(chēng) 為彼性干涉鏡？可以作為激光束的參考路徑。 線(xiàn)性干涉鏡位于ML10激光器和線(xiàn)性反射鏡之 間的光束路徑，如圖1所示。分光鏡管上標(biāo)有兩個(gè)箭 頭以顯示其方位。箭頭應(yīng)指向兩個(gè)反射鏡，如上圖所示。圖2-測(cè)量原理ML10激光器的光束會(huì)射入線(xiàn)性干涉鏡，再分為兩道光束。一道光束（稱(chēng)為參考 光束射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道光束（測(cè)量光束則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反 射鏡。這兩道光束回再反射回分光鏡，重新匯聚之后返回激光頭，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè) 器監(jiān)控兩道光束間的干涉。在線(xiàn)性測(cè)量時(shí)，其中一個(gè)光學(xué)元件保

38、持不變，而另一個(gè)則沿著線(xiàn)性軸移動(dòng)。定位測(cè)量是通過(guò)監(jiān)控測(cè)量及參考光束間光路差異的變化來(lái)執(zhí)行 的（請(qǐng)注意，兩個(gè)光學(xué)元件間的差分測(cè)量與 ML10激光器的位谿無(wú)關(guān)。此種測(cè)量可 與待測(cè)機(jī)床的標(biāo)尺讀數(shù)比較，獲得機(jī)床精度的任何誤差。通常，反射鏡設(shè)谿為移動(dòng)的光學(xué)元件,而干涉鏡則作為固定的元件，如圖2所示。這些角色可以 調(diào)換，但會(huì)縮小測(cè) 量的最大量程，從40 m （133 ft縮小為15 m （49 ft。因此在長(zhǎng)軸上，線(xiàn)性干涉 鏡通常 保持固定，而移動(dòng)其它反射鏡以執(zhí)行測(cè)量。在較短的軸上，如果方便，這些角色可以互 相交換。第六章、使用激光干涉儀6.1使用前的工作6.1.1為什么要對(duì)光？對(duì)光的目的是為了讓檢測(cè)的光

39、線(xiàn)能準(zhǔn)確返回激光干涉儀上，讓激光干涉儀得到最強(qiáng)的反饋信 息,以便計(jì)算實(shí)際的行程數(shù)值。6.1.2影像線(xiàn)性測(cè)量精度的因素包括哪些？、死程誤差死程誤差是在線(xiàn)性測(cè)量過(guò)程中與環(huán)境因素改變有關(guān)的誤差，這時(shí)已采用EC10自動(dòng)補(bǔ)償功能。在正常狀況下，死程誤差并不大，而且只會(huì)發(fā)生在定標(biāo)后以及測(cè)量過(guò) 程中的環(huán)境改變。路徑L 2的激光測(cè)量死程誤差與兩個(gè)光學(xué)元件間的距離有關(guān)，此 時(shí)系統(tǒng)定標(biāo)為L(zhǎng) 1,請(qǐng)參閱圖1。若干涉鏡及反射鏡之間沒(méi)有動(dòng)作，且激光束四周的 環(huán)境狀況有所改變，整個(gè)路徑（LI + L2的波長(zhǎng)（空氣中都會(huì)改變，但激光測(cè)量系統(tǒng)只 會(huì)對(duì)L 2距離進(jìn)行補(bǔ)償。因此，死程測(cè)量誤差會(huì)由于光束路 徑L 1沒(méi)有獲得補(bǔ)償而

40、產(chǎn)生。圖1 -死程誤差不過(guò)，若當(dāng)設(shè)定定標(biāo)時(shí)固定和移動(dòng)鏡組彼此鄰接，死程誤差就可忽略不計(jì)。如下 圖2所示。圖2-死程誤差可不計(jì)時(shí)的正確設(shè)谿如果可能，定標(biāo)激光器時(shí)使鏡組互相靠近。若定標(biāo)激光器時(shí)鏡組彼此相隔不到 10 mm,則正常狀況下的死程誤差就可忽略。機(jī)床幾何顯示當(dāng)移動(dòng)鏡組位于軸的零 點(diǎn)位谿，這兩個(gè)鏡組彼此分 得最開(kāi)，此時(shí)可用預(yù)谿功能來(lái)避免與定標(biāo)激光干涉鏡系統(tǒng) 有關(guān)的潛在死程誤差。、余弦誤差激光束路徑與運(yùn)動(dòng)軸之間存在的任何未準(zhǔn)直都會(huì)造成測(cè)得的距離和實(shí)際的運(yùn)動(dòng) 距離之間有差異，如圖1所示。圖1 -余弦誤差此未準(zhǔn)直誤差通常被稱(chēng)為余弦誤差。此誤差的大小與激光束和運(yùn)動(dòng)軸間的未準(zhǔn)直角度有關(guān)，如圖1中的。當(dāng)

41、激光測(cè)量系統(tǒng)與運(yùn)動(dòng)軸未準(zhǔn)直時(shí)，余弦誤差會(huì)使得測(cè)量的距離比實(shí)際距離要 短。隨著角度未準(zhǔn) 直的增加,誤差也跟著顯著增加，如下表所示：角度(mm/aKte)角度（弧分）誤差（心04s1.CK)間3-204,501。附L533.434.871(18715.3935.39也1(151.01010.050。要使余弦誤差達(dá)到最小，測(cè)量激光束必須準(zhǔn)直，并與運(yùn)動(dòng)軸平行。在長(zhǎng)于一米的 軸上，使用提供的準(zhǔn)直步驟很容易達(dá)到這個(gè)目的。 但在較短的軸上就變得相當(dāng)困難 需用下面方法來(lái)最優(yōu)化準(zhǔn)直并使余弦誤差最?。喊l(fā)大化激光讀數(shù)笆動(dòng)反射方式歿谿直線(xiàn)度測(cè)量過(guò)程中的斜率消除注:不要假設(shè)由于信號(hào)強(qiáng)度在整個(gè)運(yùn)動(dòng)軸上都保持不變，準(zhǔn)直就會(huì)

42、完美無(wú)誤。 校準(zhǔn)軟件中的信號(hào)強(qiáng)度表的靈敏度和分辨率不足以確保短軸上的精確準(zhǔn)直。最大化激光測(cè)量讀數(shù)若激光測(cè)量出現(xiàn)余弦誤差，則激光讀數(shù)將會(huì)小于原本應(yīng)有的數(shù)值。因此,通過(guò)仔細(xì)調(diào)整激光 頭的俯仰及偏轉(zhuǎn)，直到取得最大的激光讀數(shù)，就能消除短軸上的余弦誤 差。操作步驟如下：.沿著運(yùn)動(dòng)軸準(zhǔn)直光束。.移動(dòng)軸以使鏡組靠近并定標(biāo)激光讀數(shù)。.移動(dòng)軸，使鏡組彼此離的越遠(yuǎn)越好。.仔細(xì)調(diào)整激光頭的俯仰和偏轉(zhuǎn)控制，取得最大的激光測(cè)量讀數(shù)。注:使用這個(gè)方法時(shí)需要特別小心，但卻非常有效。可能有必要先做一連串的 細(xì)微調(diào)整并在每一次調(diào)整后放松控制，才能看出對(duì)激光讀數(shù)的作用。也可能需要平 移激光頭來(lái)保持準(zhǔn)直。 可能也有 必要選擇測(cè)量顯示屏上的最大分辨率設(shè)定，并將短 期平均 設(shè)定為開(kāi)啟（ON狀態(tài)。完成后，最好重復(fù)上述的步驟以確認(rèn)準(zhǔn)直。自動(dòng)反射方式若機(jī)床軸非常短，而且知道正好有平面與運(yùn)動(dòng)軸垂直或平行（在0.05，則