雷尼紹干涉儀使用方法ML-80

1、、本次我們主要研究：如何檢測機床的螺距誤差。因此我們主要的任務(wù)在于.應(yīng)該使用什么儀器進行測量.怎么使用測量儀器.怎么進行數(shù)據(jù)分析.怎么將測量所得的數(shù)據(jù)輸入對應(yīng)的數(shù)控系統(tǒng)二、根據(jù)第一點的要求，我們選擇的儀器為：Renishaw激光器測量系統(tǒng)，此儀器 檢測的范圍包括：.線性測量.角度測量.平面度測量.直線度測量.垂直度測量.平行度測量線性測量:是激光器最常見的一種測量。激光器系統(tǒng)會比較軸位置數(shù)顯上的讀數(shù)位置與激 光器系統(tǒng)測量的實際位置，以測量線性定位精度及重復(fù)性。三、根據(jù)第二點的解釋，線性測量正符合我們檢測螺距誤差的要求。因此，我們 此次使用的檢測方法一一線性測量?？偨Y(jié)以上我們的核心在于：如何操作

2、Renishaw激光器測量系統(tǒng)結(jié)合線性測量的 方法進行檢 測，之后將檢測得到的數(shù)據(jù)進行分析，最后將分析得到的數(shù)據(jù)存放到數(shù) 控系統(tǒng)中。這樣做的目的在 于一一提高機床的精度。第二章、基礎(chǔ)知識什么是螺距誤差？開環(huán)和半閉環(huán)數(shù)控機床的定位精度主要取決于高精度的滾珠絲杠。但絲杠總有 一定螺距誤差，因此在加工過程中會造成零件的外形輪廓偏差。由上面的原因可以得知：螺距誤差是指由螺距累積誤差引起的常值系統(tǒng)性定位誤差。為什么要檢測螺距誤差？根據(jù)2.1節(jié)，檢測螺距誤差是為了減少加工過程中造成零件的外形輪廓偏差，即提高機床的精度。怎么檢測螺距誤差？裝高精度位移檢測裝置。制簡單的程序，在整個行程中順序定位于一些位置點上

3、。所選點的數(shù)目及 距離則受數(shù) 控系統(tǒng)的限制。錄運動到這些點的實際精確位置。各點處的誤差標(biāo)出，形成不同指令位置處的誤差表。次測量，取平均值。該表輸入數(shù)控系統(tǒng)，數(shù)控系統(tǒng)將按此表進行補償。么是增量型誤差、絕對型誤差？增量型誤差增量型誤差是指：以被補償軸上相鄰兩個補償點間的誤差差值為依據(jù)來進行補償絕對型誤差絕對型是誤差是指：以被補償軸上各個補償點的絕對誤差值為依據(jù)來進行補償距誤差補償?shù)脑硎鞘裁?？螺距誤差補償?shù)幕驹砭褪菍?shù)控機床某軸上的指令位置與高精度位置測量 系統(tǒng)所測得的 實際位置相比較，計算出在數(shù)控加工全行程上的誤差分布曲線，再將 誤差以表格的形式輸入數(shù)控系統(tǒng)中。這樣數(shù)控系統(tǒng)在控制該軸的運動時

4、，會自動考 慮到誤差值，并加以補償。采用螺距誤差補償功能應(yīng)注意：螺距誤差補償功能的實現(xiàn)方法又有增量型和絕 對型之分。所謂補償就是指通過特定方法對機床的控制參數(shù)進行調(diào)整，其參數(shù)調(diào)整 方法也依各數(shù)控系統(tǒng)不同而各有差異。第三章、認(rèn)識激光干涉儀-2 -本次試驗我們使用的儀器為：Renishaw激光器測量系統(tǒng)激光干涉儀是由什么硬件組成什么是硬件？硬件:硬件就是我們看到的一堆由金屬、塑料等材料堆成的被稱之為？Renishaw激光干涉儀？勺東西中實上，它是由一些機殼和電路板等物構(gòu)成。因為是一些看 得見、摸得著的東西，又因為都是？?1所以被人們形象地稱為？件?。具體硬件名稱以及各自的用途是什么？、本次使用激光

5、檢測儀主要檢測螺距誤差，因此我們主要使用到以下的儀器(1 ML10激光器Renishaw ML10 Gold Standard 激光器-3 -以上四個圖案為激光罩在不同的狀態(tài)下的作用A無光束射出B縮小橫截面光束及目標(biāo) C最答光束及目標(biāo)D標(biāo)準(zhǔn)測量位置射出最大光來的橫截面以及反射光束的探測器孔Renishaw ML10Gold Standard激光器：ML10是一種單頻HeNe激光器，內(nèi)含對輸出激光束穩(wěn)頻的電子線路及對由測量 光學(xué)鏡產(chǎn)生的干涉條紋進行細分和計數(shù)處理。其主要作用簡單概括為：發(fā)射紅外線以及返收紅外線供特定的軟件做分析，記錄 相關(guān)的數(shù)據(jù)(2三腳架三腳架及云臺可用來安裝 ML10激光器，將

6、ML10激光器設(shè)谿在不同的高度，并 充分控制ML10激光束的準(zhǔn)直。 對于大多數(shù)機床校準(zhǔn)設(shè)谿，建議將ML10激光器安 裝在三腳架和云臺上。三腳架、安裝云臺和 ML10激光器三合一體，可為ML10光束準(zhǔn)直提供下列調(diào) 整：淌度調(diào)整冰平平移調(diào)整的度偏轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)調(diào)整的度俯仰調(diào)整其中高度調(diào)整是由圖9上顯示的高度曲柄控制的，水平平移是由圖2上顯示的 平移控制旋鈕控 制，角度偏轉(zhuǎn)偏移是由圖2上顯示的旋轉(zhuǎn)微調(diào)旋鈕控制。圖2后的兩個示意圖為水平平移和角度偏 移的使用方法。(3 EC10環(huán)境補償裝谿-11 -EC10環(huán)境補償裝置可以補償激光器光束波長在氣溫、氣壓、及相對濕度影響之下的變化。大多數(shù)機床會隨著溫度變化膨脹或

7、收縮，可能導(dǎo)致校準(zhǔn)發(fā)生誤差，為了避免校準(zhǔn) 誤差，線性測量軟件納入一種稱為熱膨脹補償或歸一化”的數(shù)學(xué)修正，應(yīng)用在線性激光讀數(shù)上。軟件使用膨脹系數(shù)將測量加以歸一(膨脹系數(shù)需手動輸入，并使用 EC10來測量平均機床溫度。 修正的目的是要評估在20 C (68 F的溫度下執(zhí)行校 準(zhǔn)時應(yīng)得的激光器校準(zhǔn)結(jié)果。(4線性測量鏡組線性測量鏡組可用于測量線性定位精度。線性測量鏡組組件包括下列要件，如 圖1所示：分光鏡兩個線性反射鏡兩個光靶以助于光學(xué)準(zhǔn)直-12 -注：當(dāng)您組合一個分光鏡和線性反射鏡后，便成為一個線性干涉鏡。(5用于將鏡組安裝到機床機床上的安裝組件鏡組安裝組件是用來將Renishaw測量鏡組安裝到CM

8、M或機床上。本系統(tǒng)的 設(shè)計可以輕易 地交換不同的測量鏡組，無需重新準(zhǔn)直激光器。組件包括：展個安裝桿（安裝桿有M8螺絲釘可擰上底板、標(biāo)準(zhǔn)磁基或其它 Renishaw裝谿1M8適配器（可連接標(biāo)準(zhǔn)磁基或 Renishaw的CMM探頭曬個底板曬個安裝塊和安裝螺釘（可將光學(xué)元件連接至安裝桿鏡組安裝組件不包括任何可將安裝的鏡組夾上待測機床的元件，要這么做需視 不同的機床 而異。一種通用的方式是用磁性安裝塊直接將鋼制底板或 /和安裝桿 裝上機床。安裝組件的安裝桿和底板都是磁性不銹鋼所制，因此可以用磁性安裝塊來加以 牢固。3.2激光干涉儀是由哪些軟件組成3.1.2什么是軟件？軟件:是人們?yōu)榱烁嬖V電腦要做什么事

9、而編寫的，電腦能夠理解的一串指令，有時 也叫代碼、程序。3.2.2具體的軟件名稱以及各自的用途是什么？(1 Renishaw Laser101配套Renishaw激光器測量系統(tǒng)的軟件，此軟件的資源管 理器窗口 ：-13 -這里面包括該儀器所有功能的配套軟件，其中線性測長是我們本次研究的軟 件。(2線性測量軟件-14 -卜列各表列出各種菜單選項的功能選項/次選項功能|新建自動設(shè)置指導(dǎo)用戶通過有關(guān)數(shù)據(jù)采集設(shè)置程序,顯示口標(biāo)生成，采集初始1隨機設(shè)置和自動數(shù)據(jù)采集對話框.倘若您已在會話中定義了目標(biāo)，就可以手動設(shè)置群創(chuàng)建新目標(biāo)或者修改既tr的目標(biāo).會顯示打開對話框，容許您在其中為上,次數(shù)據(jù)采集會話施國另

10、存為會顯示力存為對話框，容許您聘數(shù)據(jù)用一個新文件名保存或保存另一個目錄|屬性|容許您輸入或把看節(jié)前的數(shù)據(jù)采集會話的機床標(biāo)題信息口|最近會話容許您從最近的數(shù)據(jù)采集會話列表內(nèi)選擇并打開數(shù)據(jù)文件.退出退出數(shù)據(jù)采集軟件R選項/次選項功能按運行編輯按目標(biāo)位置編輯會顯小數(shù)據(jù)編輯對話框，容許您在其中編輯在句一個目標(biāo)按運行E 按目標(biāo)位置所記錄的誤差值口分析啟動Benishaw LaserlO分析軟件.依據(jù)JL通以/次選球技運行編國，技II H位時興卅會曉小數(shù)初編羯對話短，春詐堆在箕中罷輯花恥十H稼推運打或 假日驚忡胃所記呆的試審葩；）折.|氐已二工二：;, Imam 1 如 lt，| *XA筮4/ga項姍附加

11、功曜，弱地周轉(zhuǎn)施力忖雄k是 斗雌皿叫F人時將地修故搬,工件治損力已理腹 司泰X件.也書秋ft H九詰君中IWVR力1|0付 時塞泮盤中湎， 一節(jié).附如功修/轉(zhuǎn)投敷甥文件塔 小D鳴打序程，再可從震佻的散命中去輯斜率。它 電睫悻翔能應(yīng)皤舫案爨的費掘群加0江相1阿加功噩網(wǎng)（瓢擢文件轉(zhuǎn)摸為業(yè) 廣世描個 欣出實用內(nèi)年.可將就燃文件從眥rdshs 汽格 式制題為Lalusi 123也廣入附.誦郎式也傀用 Micrrsofi Ej匚呼】才取.附加功值,環(huán)境斷拄軟件/儂喳陽理序，河里爾用料濕度，坦， 收并以電FK牌校郴找記錄出心器故括25LdU 123 it!熟尚夜E件鼓中時.會加費小取件短作，可陽席青光鹿歌

12、、謀 L:坤姐進即：中故網(wǎng)以電廠比以女比FI酊式IXfF.現(xiàn) 演救生果菜軟科內(nèi)是菜到中敦甄點時,他會史戲族數(shù)-16 -配置選項,次選項功能數(shù)據(jù)文件目錄容許您定義保存Renishaw數(shù)據(jù)文件的默認(rèn)I I錄.環(huán)境設(shè)置會顯示環(huán)境設(shè)置通話框，容許您定義默認(rèn)的膨脹系數(shù) 以及用來顯示環(huán)境參數(shù)的單位.0測量單位會顯示單位設(shè)置對話框，容許您定義單位類型（英制 公制），以及用來顯示激光測盤值及誤差值讀數(shù)的分 率d1例/H1上_ ,_”二子1，r 一匚lrhi-篷博餐西斗范得，兼造理wUK tn ii.言訃恥E懂力JbnL內(nèi)儲伽金胖的武氏1 .4之U期飛R4對J F .華；少定飛酬認(rèn)叮旦J l奈隹 以及即款注小林

13、施給故陰溜憧.|匍用4&且并N復(fù)增WMiA.京例3值英型1弟4國即春顯不死El&lfti”耀的分牌 率.和！IN f-以電噂他/據(jù)靖捏武病4淅也J J，：“ . .!：，_ I I：端U工所UHt收H曲的TM用尊r i卡會是于 個劉話機.容寸啟力苴中羽口 1 AF晌酊戲.婷町隊中輒閾而售井蹙廉匕門的E示尊芹安簾盤檸 RriiLUwir KLO yi. EL。粼 NLI ： P JO-N1 IQ j. rc 體” itiiln IN Ek& W Frdirtl GliX*一壽耽群許惠工齊計寬ILL庸苴依或叟恨的括LlftttiM*熱顯麻口地扯土 ：門.：；，律睥齡洋苴具M譚L 的gu卜仃近曜口虺

14、母.II依限量HKn升船T戒&的，歌樸曾 值&女伴CJPRiUT.二;1，：社；的遙戊日唱/汗射濡flu法語痣國R中從日三先前例 if的史n：中唐舞-十配者.： , ,.;： -r i,;K, KMSIPMI til .戈班汗保貨CVRHDIT.RC7文件機網(wǎng)的-17 -18 -幫助選項/次選項功能關(guān)PC10設(shè)箱 K干自動采集 關(guān)于采集會顯示一個小窗口，提供關(guān)于接口設(shè)備、自動采集或采 集軟件的循短說明.顯示的信息包括軟件版本號以及至 Renishaw網(wǎng)站的跳接.幫助會單獨顯示一個幫助窗111中包含人Renishaw Laser 10校法系統(tǒng)川戶手冊的信息庫.語音選擇1潼選項容許能用不同的語肅，

15、如諜語，英語.法鉛、J& 1 大利沿，城杷班牙洛,上顯小靈忙對話和及狀態(tài)指 示燈中的文字-窗口 一選邛!/次選邛1功能標(biāo)題1層看排列圖標(biāo)這些選項用T，控制窗口的排列方式.您可以將它們并 排叨平鋪”或稈是彼此“層疊,默認(rèn)的選獨提“古 典林.用熊要算普副況下最好的用法.幫助選項/次選項功能關(guān)于PC10設(shè)備 關(guān)于自動采集 關(guān)于采集會顯示一個小窗口，提供關(guān)于接口設(shè)備、自動采集或J 集軟件的簡短說明。顯示的信息包括軟件版本號以及 Renishflw網(wǎng)站的鏈接口幫助J1會單獨顯示一個幫助窗口,其中包含本Renishaw LaserlO校準(zhǔn)系統(tǒng)用戶手冊的信息咋.以下為工具欄功能：自動設(shè)置，逐步指導(dǎo)您完成自動

16、目標(biāo)設(shè)置、采集初始化以及自動數(shù)據(jù)采集設(shè)置 對話框并自動開始數(shù)據(jù)采集程序會顯示打開對話框，容許您在其中為先前的數(shù)據(jù)采集會話加載參數(shù)。會顯示另存為對話框，容許您保存采集的數(shù)據(jù)-19 -定標(biāo)激光器將一個預(yù)置值應(yīng)用至激光讀數(shù)在所顯示的激光讀數(shù)方向之間切換。在毫米及英寸間來回切換顯示單位。在角度測量模式中，單位將會在度數(shù)、毫弧度及弧秒間來回切換。在毫米及英寸間切換誤差單位。在角度測量模式中，單位將會在弧秒及毫弧度來回切換會顯示分辨率對話框，容許您在其中設(shè)置顯示在小數(shù)點后的數(shù)字位數(shù)切換平均開啟/關(guān)閉功能選擇長期平均。選擇短期平均。啟動Renishaw Laserl網(wǎng)析軟件。會顯示一個幫助窗口，其中包含本R

17、enishaw Laser10校準(zhǔn)系統(tǒng)用戶手冊的信息庫。結(jié)束數(shù)據(jù)采集軟件。以下為軟件本體上的一些功能：圖1顯示當(dāng)前檢測到的實際位置，其中有紅色背景和灰色背景的區(qū)分，紅色代表 當(dāng)前檢測過程-20 -中激光的返回光點偏移或光源受阻擋，灰色表正常。圖2主要是顯示當(dāng)前ML10與EC10的工作狀態(tài)，并且顯示了當(dāng)前使用的單位標(biāo)準(zhǔn)、測量方式、數(shù)據(jù)采集的方式。圖3主要記錄檢測到的實際數(shù)據(jù)并且以圖形的形式顯示出來。圖4顯示為當(dāng)前激光返回信號的強度，其實我們也可以使用此信號的顯示情況 判斷當(dāng)前光線是否準(zhǔn)直，即鏡子的安裝是否正確。圖4第四章、使用激光干涉儀器前應(yīng)該注意什么問題 ？.搞清楚為什么要對光點，最終是為了什

18、么？.如何知道現(xiàn)在儀器檢測到的信號強弱如何 ？.對光的時候應(yīng)該注意什么？是否有訣竅？.搞清楚如何安裝儀器即儀器之間的信號線和電源線之間的關(guān)系是怎么樣的 ， 繪圖說明。.搞清楚三腳架的使用方法，四個主要的旋鈕的名稱是什么？各自的作用是什么？.搞清楚什么是增量誤差和什么是絕對誤差，應(yīng)該怎么輸入到系統(tǒng)中。.在檢測之前應(yīng)該生成一個檢測程序給數(shù)控系統(tǒng)，這個程序應(yīng)該怎么生成？.對光的時候發(fā)現(xiàn)兩平行線之間的光點不重合并且不能試用微調(diào)適合的軸向時 應(yīng)該怎么辦？（提示:調(diào)鏡子的方向第五章、安裝激光干涉儀連接硬件部分連接硬件時必備知識？.安裝ML10:一、激光安全-切勿凝視光束根據(jù)EN60825-1以及美國標(biāo)準(zhǔn)

19、ANSI 2136, RENISHAW ML10激光器屬II級激 光,因而不需要佩戴護目鏡（正常條件下人會自然地眨動眼睛并轉(zhuǎn)移目光以避免傷 害。切勿直接凝視光束 或照射他人的眼睛。 注視漫射光束不會造成傷害。呂 口.主電源導(dǎo)線是一根三股的電纜線。地線（接地的電源部分需有效接地。.零線沒有熔接保險絲。將裝谿接上電源時，務(wù)必留心將正確的電線連接火線三、接口介紹ML10的后面板包括一個激光器狀態(tài)燈、ON/OFF電源開關(guān)、電源連接、數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)插座、以及角 度俯仰調(diào)整。注：請返回3.1.2觀看ML10后面面板（圖激光器狀態(tài)燈可表示激光器是否已達到穩(wěn)定的狀態(tài)。ON/OFF開關(guān)控制ML10激光器的電源輸入。電

20、源插座就在此開關(guān)旁邊，可插入提供的電源導(dǎo) 線上壓模的標(biāo)準(zhǔn)IEC接頭。.安裝EC10一、重要注意事項應(yīng)先連接EC10的氣溫及材料溫度傳感器電源，再開啟EC10電源。一旦EC10 檢測到其中一個傳感器通道尚未接通，將不會再度探測該通道。當(dāng)使用少于三個材 料溫度傳感器時，需按照從右到左的順序使用插座。注:請返回3.1.2第一大點的第三小點中的圖三 即EC10后視圖EC10數(shù)據(jù)鏈接EC10機架后部有電源插座、電源開關(guān)（on/off、一個狀態(tài)燈、以及數(shù)據(jù)鏈接電 纜插座，可將EC10裝谿連接PC10或PCM20接口卡。二 絲4呂 口EC10的原廠設(shè)谿應(yīng)已符合您所在國家的電壓及頻率規(guī)格。不過，在您使用EC1

21、0前，特別是在國外使用EC10或在非標(biāo)準(zhǔn)電源的場所使用時，請先確定將電源 設(shè)定在適當(dāng)?shù)碾妷骸?請檢查 裝谿下部的開關(guān)設(shè)谿，如下圖5所示：電壓選擇開關(guān)應(yīng)設(shè)谿為:100伏、120伏則EC10設(shè)定為：120伏；220伏、240 伏則EC10設(shè)定為：240伏如下改變電壓設(shè)定：.確定先將電源開關(guān)關(guān)閉。.用一枚硬幣或一把大型的平頭螺絲起子或類似工具將開關(guān)轉(zhuǎn)到正確的設(shè)定。.打開開關(guān)。現(xiàn)在即可安全使用裝谿。EC10機架后部的電源插座旁邊的收放式托盤中，有一根T級保險絲管防護火 線（通電輸入。該托盤也有備用保險絲的放谿槽。工作的保險絲放在內(nèi)側(cè)。三、安裝三腳架安裝三腳架的時候要注意水平的問題，水平的調(diào)節(jié)在三只腳的

22、調(diào)試上。每次挪 動三腳架后都必 須看三腳架上的水平指示器，判斷時候水平。四、計算機接口DX10接口組件（USBDX10已取代PCM20 （PCMCIA卡，成為ML10和EC10與筆記本電腦通信的標(biāo) 準(zhǔn)接口。它同樣也適用于臺式機，取代了 PC10接口卡（現(xiàn)已停產(chǎn)。DX10是可靠 的高速通信設(shè)備，可以5 kHz的速度將數(shù)據(jù)直接傳輸?shù)絃aser10oDX10與Windows XP、SP1和SP2兼容，但與老版本的 Windows操作系統(tǒng)不兼 容。對于雙軸數(shù)據(jù)采集，只需使用兩個DX10接口,分別插入兩個USB端口或一個單獨的集線器上即可。DX10接口組件（USB包括：DX10 接口 （USB3米USB

23、電纜DX10驅(qū)動程序安裝光盤 5.1.2連接簡略圖5.2啟用軟件5.2.1如何安裝和配置軟件？一、安裝軟件.開啟計算機，等候它在Windows中啟動，然后插入CD-ROM光盤至 光盤驅(qū)動 器。安裝程序現(xiàn)在應(yīng)會自動運行。若安裝程序沒有自動運行，請從計算機的任務(wù)欄中選擇開始/運行，進入運行對 話框。單擊瀏覽按鈕，并由瀏覽對話框來使用安裝CD-ROM光盤上的Setup.exe文 件。選擇Setup.exe然后單擊打開按鈕?，F(xiàn)在,從運行對話框中選擇？確定?以開始 軟件安裝程序。.您現(xiàn)在會看到安裝向?qū)У臍g迎屏幕。該向?qū)且唤M屏幕，可自動指導(dǎo)您逐步完成安裝程序。單擊下一步，進入下一步（會出現(xiàn)選擇目標(biāo)位谿屏

24、幕，或取消退出安裝程序。.選擇目標(biāo)位谿屏幕容許您定義將在其中加載軟件的目錄。建 議您接受C:Program FilesRenishaw LaseU0勺默認(rèn)值，但也可單擊瀏覽按鈕選擇 另一個目錄。單擊下一步以進入下一步，會出現(xiàn)選擇程序文件夾屏幕。.選擇程序文件夾屏幕容許您在程序啟動菜單中選擇用來儲存程序啟動圖標(biāo)的 文件夾。安裝 程序會自動提供默認(rèn)的文件夾 Renishaw LaseU0但您也可從列表中 選擇另一個文件夾或輸入一個 新的文件夾名稱。單擊下一步開始安裝。.在安裝過程中，您會看到一系列的進度表、消息及指示說明。.安裝結(jié)束時，會詢問您是否要更新 HTML幫助。若選擇是,Internet

25、Explorer 瀏覽器提供的HTML幫助程序會更新為使用該幫助所需的標(biāo)準(zhǔn)。 因此建議您選擇 是。.最后，設(shè)谿完成屏幕會出現(xiàn)，詢問您是否要現(xiàn)在重新啟動計算機或稍后再啟 動。選擇適當(dāng) 的選項，單擊完成退出安裝程序。二、配置軟件什么是配谿?配谿就是一種功能，允許您輸入有關(guān)系統(tǒng)中硬件類型以及您希望如何使用軟件 的信息。一旦輸入有關(guān)信息后，軟件就會將它儲存在一個文件中，在每一次啟動軟件 時使用。某部分?jǐn)?shù)據(jù)采集及分析程序的操作是由軟件設(shè)定控制的。您可以根據(jù)需求來配谿這些設(shè)定，如有某一設(shè)定，允許您指定程序一般用來儲存采集的數(shù)據(jù)的默認(rèn)目 錄。要配谿軟件.使用數(shù)據(jù)采集軟件。.從菜單欄上，選擇配谿。會出現(xiàn)配谿菜

26、單注:選項可用與否，取決于選中的數(shù)據(jù)采集類型（如角度、線性或直線度。不可用的選項呈暗淡顯示?？捎玫倪x項有：顏據(jù)文件目錄環(huán)境設(shè)谿?y量單位江具欄處擇設(shè)備（選擇PC10以及PCM20設(shè)備驅(qū)動器處擇接口（設(shè)定PC10以及PCM20卡配谿*己谿文件篇言選擇我們一般在默認(rèn)安裝的情況下，要將選擇設(shè)備里的選項設(shè)置為當(dāng)前使用設(shè)備 的型號，因為我們使 用的是DX10代替PC10以及PCM10所以此選項選擇為:DX10默認(rèn)的環(huán)境參數(shù)單位當(dāng)執(zhí)行了環(huán)境補償時，您將會在一個窗口查看環(huán)境參數(shù)，或在一個對話框內(nèi)將它 們輸入。這些參數(shù)所用的單位取決于為軟件配谿的單位。要更改默認(rèn)值，按照下列步驟進行：1.從配谿菜單中，選擇環(huán)境

27、設(shè)谿選項。 會出現(xiàn)環(huán)境設(shè)谿對話框。2,第一個參數(shù) 膨脹系數(shù)，可用來輸入被校準(zhǔn)的機床或?qū)ο蟮臒崤蛎浵禂?shù)。通常都會輸入機床反饋系統(tǒng)的膨脹系數(shù)。例如，11.7ppm/ C(6.50ppm/ F是使用鋼制滾珠絲杠及因編碼器反饋系統(tǒng)的一個典型數(shù)值。有關(guān)選擇材料熱膨脹系數(shù)的信息，請參閱材料熱膨脹補償一節(jié)。3.其它每一參數(shù)決定環(huán)境數(shù)值在環(huán)境設(shè)谿窗口中以哪一種單位顯示。要更改單位，從下拉列表中選擇所需的單位。會出現(xiàn)一個單位列表可從列表中選擇必要的選項?？捎脝挝挥校嚎屏技从没蚴辣P索利，代再暖*J11牛*同小、十制&g重 E nihil I*F tt.，向1 四1寸 r tf. hJI-，-r *,h，卅二ri

28、母t .一吳i呵八 丁 a t h - - h -.,雄萬身度申亂花默認(rèn)的測量單位.從配谿菜單中，選擇測量單位選項。 會出現(xiàn)單位設(shè)谿對話框2,顯示單位字段會設(shè)谿大型數(shù)字讀數(shù)窗口的單位。它允許您設(shè)定一般在使用軟件時喜歡使用的單位。它可以設(shè)谿為公制（mm或英制（in,或是角度測量時所用的弧秒、度數(shù)或 m/mm誤差單位字段允許您設(shè)谿用來顯示誤差值的單位。注:當(dāng)使用數(shù)據(jù)采集軟件時，您可以隨時來回切換顯示單位，方法是單擊工具欄 上的按鈕或按Ctrl+U鍵。會有一個狀態(tài)燈顯示當(dāng)前設(shè)谿的單位。同樣地，您 可以隨時來回切換誤差單位,方法是單擊工具欄上的按鈕或按Ctrl+E鍵。分析數(shù)據(jù)時，您可以覆蓋這些首選的單

29、位，方法是從數(shù)據(jù)分析主窗口菜單欄選擇繪制圖/單位選項。3.標(biāo)準(zhǔn)小數(shù)位數(shù)選項會決定數(shù)字讀數(shù)以及誤差值讀數(shù)的分辨率。要更改數(shù)字位數(shù)，只需從適當(dāng)?shù)墓苹蛴⒅七x項的下拉列表中選擇所需的數(shù)字即可。每一種測量模式可用的選項如下 線性測量毫米英寸 多配谿文件您可能需要超過一個配谿文件，才能滿足車間內(nèi)各種機床或操作員首選項的特 殊設(shè)谿。.RCF文件中的配谿信息是以ASCII文本格式保存,因此可用如記事本 (Windows 95或NT附帶的程序等文字編輯器來查看及打印。若您想使用您自己先前創(chuàng)建的文件中的一個配谿,請從菜單欄中選擇配谿/加 載配谿文件。會出現(xiàn)打開對話框，允許您從列表中選擇一個文件。語言選擇要更改軟

30、件所顯示及繪制的文本語言，從菜單欄中選擇配谿/語言。會出現(xiàn)一 個子菜單，包含軟件當(dāng)前所支持的所有語言選項。單擊所需的語言選項。會出現(xiàn)一個對話框，要求您確認(rèn)所做的選擇。單擊是確 認(rèn)。軟件會重新自行配谿，并在下一次運行軟件時使用該種語言。5.2.2如何識別軟件指示燈含義？數(shù)據(jù)采集主窗口的狀態(tài)燈窗口包含各個指示燈，能夠提供有關(guān)ML10激光器及 EC10的狀態(tài)信息。狀態(tài)燈在屏幕上按下面的順序排列：測量蜃力平皆程式MLK北育印應(yīng)F無雄口本冊或更建訴MU9ON/ML10 故事/HT PAILUC10手動/日動HC10帶旗需速碟基策牯雅中觸發(fā)MLIP他定/MUO不獨娓測量模式此狀態(tài)燈指出當(dāng)前進行的測量模式（

31、如線性、角度、直線度等。測量單位此狀態(tài)燈指出測量顯示屏上的讀數(shù)單位。單位可從菜單欄選擇配谿/測量單位改變，或使用工具欄 上的按鈕在公制和英制單位間來回切換。當(dāng)顯示的測量讀數(shù)是一個平均值時，此狀態(tài)燈會亮，指出使用的是短期或長期平 均模式。ML10沒有回應(yīng)/無接口卡顯示平均模式的狀態(tài)燈也會顯示 ML10沒有回應(yīng)的消息。 這時：.確定ML10激光器及PC10或PCM20接口卡間的數(shù)據(jù)鏈接已正確連接。.確定已打開ML10激光器的開關(guān)。3.當(dāng)EC10環(huán)境補償裝谿與PC10接口卡已連接時確定已打開其開關(guān)（或是斷 開連接。該狀態(tài)燈也會顯示無接口卡的消息。此消息表示Renishaw接口沒有正確安裝或配谿。要安

32、裝及配谿一個臺式計算機的 PC10接口卡要安裝及配谿一個筆記型計算機的 PCM20接口卡使用DX10的要配谿DX10信號強度過低SIGNAL LOW狀態(tài)燈會發(fā)出警告表示信號強度已降至不到其最大值的 25%。 這可能是由于激光 器和測量鏡組間沒有準(zhǔn)直并可能導(dǎo)致完全喪失信號 ，或可能是由 于余弦誤差所造成的。 信號強度 過低也可能是由于測量鏡組不干凈所造成的。EC10手動/自動當(dāng)一個EC10環(huán)境補償裝谿連接到PC10接口卡并打開時，此狀態(tài)燈會亮。它 會分辨EC10裝谿是在自動或手動模式中運行。此狀態(tài)燈也會顯示EC10 FAULT消息，表示EC10以及PC10接口卡間已建立 的數(shù)據(jù)鏈接已停止 運行。

33、若發(fā)生此種狀況，請確定EC10裝谿及PC10接口卡間的 數(shù)據(jù)鏈接電纜沒有斷開。 加熱器開/關(guān)ML10激光器由一個內(nèi)谿的加熱器來維持溫度，從而將激光管的長度保持在一 定的容差，以維持其穩(wěn)定性。不過，這種保持穩(wěn)定的形式可能會受到操作期間室溫 顯著改變的影響，致使加熱器完全 開啟或加熱器完全關(guān)閉 狀態(tài)燈亮起。高速誤差ML10激光器內(nèi)的探測電路是利用柵格計數(shù)技術(shù)來確定測量數(shù)值。探測器電路 內(nèi)的邏輯元件運行速度支配了線性鏡組可被分離的最快速度。請參閱線性測量規(guī)范，了解ML10的最快測量速度。若超出該速度限制，測量讀數(shù)很可能出錯，因為探測器電路會 破漏砌格。不過, 自檢過程會 斷定是否發(fā)生這種狀況，因而亮

34、起HIGH SPEED ERROR狀態(tài)燈并 凍 結(jié)測量讀數(shù)。這些情況要在系統(tǒng)重新定標(biāo)后才能消除。注:沒有信號時可能會觸發(fā) HIGH SPEED ERROR標(biāo)志，因此即使鏡組一直保持 靜止的狀態(tài)也可能會顯示BEAM OBSTRUCTED標(biāo)志。光束被遮斷BEAM OBSTRUCTED狀態(tài)燈會發(fā)出警告表示信號強度已降至不到其最大值的 12.5%。這可能是由于光束沒有準(zhǔn)直，或是光束受到物理干擾所致。當(dāng)BEAM OBSTRUCTED狀態(tài)燈亮?xí)r，測量顯示屏?xí)鼋Y(jié)并亮紅燈。這些情況 要等到恢復(fù)足夠的信號強度而且系統(tǒng)重新定標(biāo)后才會結(jié)束。若BEAM OBSTRUCTED狀態(tài)燈意外亮起，可能是因為激光器不穩(wěn)定所致

35、。預(yù)熱打開ML10后，PREHEAT狀態(tài)燈會亮大約10到15分鐘。它表示ML10正在 經(jīng)歷初始的穩(wěn)定階段。這時，ML10 UNSTABLE狀態(tài)燈也會亮。脈沖入/脈沖出此狀態(tài)燈也可用來在啟動 脈沖入 及脈沖出裝谿時顯示。ML10 ON/ML10 故障 /HT FAIL這些都是可能會出現(xiàn)在屏幕上相同位谿的消息。ML10 ON應(yīng)在任何時候，一連接上ML10激光器并開啟時顯示ML10 FAULT消息會發(fā)出警告表示激光器的輸出功率已降至預(yù)谿的閾值以 下。只要保持足夠的信 號強度，即使出現(xiàn)此消息，仍能獲得令人滿意的測量結(jié)果。 不過，若它一直亮下去，請盡快與Renishaw或您當(dāng)?shù)胤咒N商洽商。HT FAIL

36、消息表示ML10激光器電源發(fā)生故障。 若發(fā)生這種情況，請先檢查激 光器的操作電壓 是否正確。如該標(biāo)志繼續(xù)出現(xiàn)，請與Renishaw或您當(dāng)?shù)胤咒N商洽 商。ML10穩(wěn)定/ML10不穩(wěn)定這兩條是可能會出現(xiàn)在屏幕上相同位谿的消息。ML10穩(wěn)定表示ML10已達到穩(wěn)定的狀態(tài)。ML10不穩(wěn)定則表示激光器的光輸出波長沒有保持在所需的容差范圍內(nèi)。在ML10激光器剛開 啟時會出現(xiàn)這種情況，但若后來ML10變得不穩(wěn)定，ML10 UNSTABLE狀態(tài)燈還是會亮。5.3鏡組的使用5.3.1檢測螺距誤差應(yīng)該選用什么境？該方法選用的鏡組請參看3.1.2第四小點的圖1,在機床上的安裝如下圖：H5.3.2檢測時鏡組的光學(xué)設(shè)置和

37、測量原理是什么 ？線性測量的光學(xué)設(shè)谿要設(shè)谿線性測量，將一個線性反射鏡連接到具有兩個緊螺紋的分光鏡上。這個 組合要件被稱 為彼性干涉鏡？可以作為激光束的參考路徑。 線性干涉鏡位于ML10激光器和線性反射鏡之 間的光束路徑，如圖1所示。分光鏡管上標(biāo)有兩個箭 頭以顯示其方位。箭頭應(yīng)指向兩個反射鏡，如上圖所示。圖2-測量原理ML10激光器的光束會射入線性干涉鏡，再分為兩道光束。一道光束（稱為參考 光束射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道光束（測量光束則通過分光鏡射入第二個反 射鏡。這兩道光束回再反射回分光鏡，重新匯聚之后返回激光頭，其中會有一個探測 器監(jiān)控兩道光束間的干涉。在線性測量時，其中一個光學(xué)元件保

38、持不變，而另一個則沿著線性軸移動。定位測量是通過監(jiān)控測量及參考光束間光路差異的變化來執(zhí)行 的（請注意，兩個光學(xué)元件間的差分測量與 ML10激光器的位谿無關(guān)。此種測量可 與待測機床的標(biāo)尺讀數(shù)比較，獲得機床精度的任何誤差。通常，反射鏡設(shè)谿為移動的光學(xué)元件,而干涉鏡則作為固定的元件，如圖2所示。這些角色可以 調(diào)換，但會縮小測 量的最大量程，從40 m （133 ft縮小為15 m （49 ft。因此在長軸上，線性干涉 鏡通常 保持固定，而移動其它反射鏡以執(zhí)行測量。在較短的軸上，如果方便，這些角色可以互 相交換。第六章、使用激光干涉儀6.1使用前的工作6.1.1為什么要對光？對光的目的是為了讓檢測的光

39、線能準(zhǔn)確返回激光干涉儀上，讓激光干涉儀得到最強的反饋信 息,以便計算實際的行程數(shù)值。6.1.2影像線性測量精度的因素包括哪些？、死程誤差死程誤差是在線性測量過程中與環(huán)境因素改變有關(guān)的誤差，這時已采用EC10自動補償功能。在正常狀況下，死程誤差并不大，而且只會發(fā)生在定標(biāo)后以及測量過 程中的環(huán)境改變。路徑L 2的激光測量死程誤差與兩個光學(xué)元件間的距離有關(guān)，此 時系統(tǒng)定標(biāo)為L 1,請參閱圖1。若干涉鏡及反射鏡之間沒有動作，且激光束四周的 環(huán)境狀況有所改變，整個路徑（LI + L2的波長（空氣中都會改變，但激光測量系統(tǒng)只 會對L 2距離進行補償。因此，死程測量誤差會由于光束路 徑L 1沒有獲得補償而

40、產(chǎn)生。圖1 -死程誤差不過，若當(dāng)設(shè)定定標(biāo)時固定和移動鏡組彼此鄰接，死程誤差就可忽略不計。如下 圖2所示。圖2-死程誤差可不計時的正確設(shè)谿如果可能，定標(biāo)激光器時使鏡組互相靠近。若定標(biāo)激光器時鏡組彼此相隔不到 10 mm,則正常狀況下的死程誤差就可忽略。機床幾何顯示當(dāng)移動鏡組位于軸的零 點位谿，這兩個鏡組彼此分 得最開，此時可用預(yù)谿功能來避免與定標(biāo)激光干涉鏡系統(tǒng) 有關(guān)的潛在死程誤差。、余弦誤差激光束路徑與運動軸之間存在的任何未準(zhǔn)直都會造成測得的距離和實際的運動 距離之間有差異，如圖1所示。圖1 -余弦誤差此未準(zhǔn)直誤差通常被稱為余弦誤差。此誤差的大小與激光束和運動軸間的未準(zhǔn)直角度有關(guān)，如圖1中的。當(dāng)

41、激光測量系統(tǒng)與運動軸未準(zhǔn)直時，余弦誤差會使得測量的距離比實際距離要 短。隨著角度未準(zhǔn) 直的增加,誤差也跟著顯著增加，如下表所示：角度(mm/aKte)角度（弧分）誤差（心04s1.CK)間3-204,501。附L533.434.871(18715.3935.39也1(151.01010.050。要使余弦誤差達到最小，測量激光束必須準(zhǔn)直，并與運動軸平行。在長于一米的 軸上，使用提供的準(zhǔn)直步驟很容易達到這個目的。 但在較短的軸上就變得相當(dāng)困難 需用下面方法來最優(yōu)化準(zhǔn)直并使余弦誤差最小：發(fā)大化激光讀數(shù)笆動反射方式歿谿直線度測量過程中的斜率消除注:不要假設(shè)由于信號強度在整個運動軸上都保持不變，準(zhǔn)直就會

42、完美無誤。 校準(zhǔn)軟件中的信號強度表的靈敏度和分辨率不足以確保短軸上的精確準(zhǔn)直。最大化激光測量讀數(shù)若激光測量出現(xiàn)余弦誤差，則激光讀數(shù)將會小于原本應(yīng)有的數(shù)值。因此,通過仔細調(diào)整激光 頭的俯仰及偏轉(zhuǎn)，直到取得最大的激光讀數(shù)，就能消除短軸上的余弦誤 差。操作步驟如下：.沿著運動軸準(zhǔn)直光束。.移動軸以使鏡組靠近并定標(biāo)激光讀數(shù)。.移動軸，使鏡組彼此離的越遠越好。.仔細調(diào)整激光頭的俯仰和偏轉(zhuǎn)控制，取得最大的激光測量讀數(shù)。注:使用這個方法時需要特別小心，但卻非常有效?？赡苡斜匾茸鲆贿B串的 細微調(diào)整并在每一次調(diào)整后放松控制，才能看出對激光讀數(shù)的作用。也可能需要平 移激光頭來保持準(zhǔn)直。 可能也有 必要選擇測量顯示屏上的最大分辨率設(shè)定，并將短 期平均 設(shè)定為開啟（ON狀態(tài)。完成后，最好重復(fù)上述的步驟以確認(rèn)準(zhǔn)直。自動反射方式若機床軸非常短，而且知道正好有平面與運動軸垂直或平行（在0.05，則