刻蝕工序作業(yè)指導(dǎo)書簡述

1、 . . 16/16 HYPERLINK :/ HYPERLINK :/ 職責工藝工程師編制刻蝕工序作業(yè)指導(dǎo)書，并培訓(xùn)和指導(dǎo)操作員工進行操作。生產(chǎn)部操作員工按照作業(yè)指導(dǎo)書的要求進行操作。容刻蝕崗位上料前作業(yè)指導(dǎo)書，見2/17頁?？涛g崗位上料作業(yè)指導(dǎo)書，見4/17頁。刻蝕崗位下料作業(yè)指導(dǎo)書，見6/17頁?？涛g崗位下料后作業(yè)指導(dǎo)書，見8/17頁?？涛g崗位方塊電阻測試作業(yè)指導(dǎo)書，見9/17頁。減薄量測試作業(yè)指導(dǎo)書，見11/17頁?？掏ㄐЧ麥y試作業(yè)指導(dǎo)書，見12/17頁。防護品使用與交接作業(yè)指導(dǎo)書，見13/17頁。集中供液換液作業(yè)指導(dǎo)書，見15/17頁。記錄7.1 電池生產(chǎn)記錄表 SH-QM3-Eng

2、003-F01支持性文件8.1 各工序返工片和碎片處理作業(yè)指導(dǎo)書SH-QM3-Eng008附錄無 刻蝕崗位上料前作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：無操作提示：戴好帽子和口罩，雙手戴汗布手套，乳膠手套。下料左手加戴一次性手套（乳膠手套2小時更換一次，一次性手套300片換一次）備注：接觸刻蝕后硅片雙手均戴一次性手套。相關(guān)夾具：無操作提示：禁止傳遞窗兩側(cè)同時開啟。1.操作準備2.打開傳遞窗相關(guān)夾具：承載盒操作提示：雙手握承載盒由傳遞窗最多一盒相關(guān)夾具：承載盒操作提示：承載盒連同流程單按順序輕放于上料工作臺上擺放整齊，切勿震碎硅片。3.傳遞窗取片4.放片于上料工作臺相關(guān)夾具：承載盒操作提示：關(guān)閉傳遞窗。然后檢查硅片

3、是否有新的配料單，如果有新的配料單，檢查配料單上硅片阻值大小，如是低阻硅片（0.51.5/sqr）請先通知工藝技術(shù)員確認。相關(guān)夾具：承載盒操作提示：雙手輕握住硅片,取出后豎放于層壓皮上，檢查是否有缺角或損壞硅片。檢查擴散面外觀，是否有不良片.挑出不良片（層壓皮每班使用前用酒精棉布擦拭）。5.關(guān)閉傳遞窗6. 檢查硅片相關(guān)夾具：卸片盒操作提示：不良片放于指定位置相關(guān)夾具：卸片盒操作提示：每五單子抽測一次，每次取一單的不連續(xù)的5片，測試刻前重量與方阻。 7. 不良片放于指定位置8.取測試片相關(guān)夾具：電子天平操作提示：參照減薄量測試作業(yè)指導(dǎo)書見11/17頁相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示：參照刻蝕崗位方

4、阻測試作業(yè)指導(dǎo)書 見9/17頁9.刻前硅片重量測試10.刻前方阻測試相關(guān)夾具：操作提示：記錄刻前重量與方阻并提交與MES系統(tǒng)中。相關(guān)夾具：操作提示：投片前確認設(shè)備狀態(tài)，設(shè)備處于自動模式運行，且設(shè)備運行燈顯示綠色，確認工藝文件正確，并使上料計數(shù)歸零。11.數(shù)據(jù)記錄12.設(shè)備狀態(tài)確與計數(shù)歸零刻蝕崗位上料作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：承載盒操作提示：取一單的大約1/3，準備上料相關(guān)夾具：承載盒操作提示：左手捏住片子一側(cè)的中間部位，拇指輕推將片子捻開，捻片動作要輕，柔。1.取片2上料捻片相關(guān)夾具：承載盒操作提示：擴散間出來的片子為一正一反放置，所以一定確認擴散面。顏色深為擴散面，擴散面朝上放置。相關(guān)夾具：無操作

5、提示：擴散面朝上，硅片上輕放于傳動軌道上，且要放正，放穩(wěn),并且從第一根滾輪開始放非擴散面 擴散面3. 區(qū)分正反面4.上料相關(guān)夾具：無操作提示：上料過程中觀察是否有不良片，放于工作臺指定卸片盒。如缺角，裂紋做報廢處理；針孔退庫，色斑，吸筆印，水紋印，盒邊印，手指印做返工處理。相關(guān)夾具：操作提示：上料時從1-5道的順序依次放置，硅片斜線前進5上料檢查硅片6.按1-5道順序投放硅片相關(guān)夾具：無操作提示：兩片之間的間距大于5-7cm備注： 至少間隔一個滾輪。相關(guān)夾具：無操作提示：抽測減薄量與方阻的硅片投放時要與前后投放的硅片區(qū)別開，5片并列放齊。（測試片允許用手推齊）7.放片間距8.抽測硅片的投放相關(guān)

6、夾具：操作提示：一流程單投完后確認數(shù)目。相關(guān)夾具：操作提示：一流程單投完后確認數(shù)目。準確，完整填寫上料數(shù)據(jù)于電池生產(chǎn)記錄表SH-QM3-Eng003-F01。9.上料卡數(shù)10.表單填寫上料不良片類型缺角（報廢）對角裂紋（報廢）中間裂紋（報廢）針孔（退庫）白點手指印吸筆印盒子印水紋片備注： 除有標報廢與退庫的，其余為上料返工片。色斑色斑刻蝕崗位下料作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：承載盒 吸筆操作提示：下料承載盒放置開口端朝下，閉口端朝上。限放5盒。相關(guān)夾具：汗布手套 乳膠手套 一次性手套操作提示：下料人員要先依次戴好汗布手套和乳膠手套。最后再在雙手最外層戴上一次性手套。1.空承載盒放于下料臺2 戴好一次性手

7、套 相關(guān)夾具：承載盒操作提示：右手輕輕拿起下料處硅片，靠近承載盒最底部的左右兩邊慢慢平行插入。相關(guān)夾具：承載盒 吸筆操作提示：從插第二片硅片開始沿著第一片的平行推進插入，將硅片的3/4插到承載盒并留1/4長度在外面。一盒插滿后用手背將盒中硅片全部輕推進承載盒底部。3. 插入第一片4.下料插片相關(guān)夾具：承載盒操作提示：滿一盒把承載盒豎成45角，讓硅片輕輕滑下。相關(guān)夾具：承載盒 小推車操作提示：硅片整齊，輕放于小推車。小推車車底墊泡沫板，泡沫板鋪墊整齊。5. 插滿后抬起承載盒6.放于小推車相關(guān)夾具：電子天平操作提示：參照減薄量測試作業(yè)指導(dǎo)書見11/17頁。 備注： 刻蝕后加戴一次性手套測試。相關(guān)夾

8、具：四探針測試儀操作提示：參照刻蝕崗位方阻測試作業(yè)指導(dǎo)書見9/17頁。 備注： 刻蝕后加戴一次性手套測試。7.測試片刻后稱重8.測試片刻后方阻測試相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：每單子測試5片（1-5道）。測試參照刻通效果測試作業(yè)指導(dǎo)書見12/17頁。 備注： 刻蝕后加戴一次性手套測試。相關(guān)夾具：承載盒操作提示：下料完一單后，核實流出數(shù)目。9.確認是否刻通10.下料核實數(shù)目備注1：生產(chǎn)過程中，生產(chǎn)人員查看片子走動情況不得打開窗戶。備注2：每次間隔一段時間重新投料時，上料人員通知下料人員或測試人員，下料人員或測試人員從上料端巡查到下料端，觀察片子走動情況，是否有卡片等異常出現(xiàn)，尤其關(guān)注風刀、水

9、刀部位。備注3：如下料發(fā)現(xiàn)某道未有片子走出，請立即與上料人員核實情況，如是卡片，停止上料，迅速巡查并確定位置，并通知工藝和設(shè)備人員。注: 查看生產(chǎn)中片子走動下料返工類型沒刻通（圖片為硅片背面）正面滾輪印過刻（刻蝕印大于1.5mm）注：另外下料測試不合格硅片（減薄量不合格，冷熱探針測試30mV，方阻提升異常）均要返工，詳細見6.5-6.7測試環(huán)節(jié)?？涛g崗位下料后作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：無操作提示：填寫生產(chǎn)數(shù)據(jù)與生產(chǎn)記錄表，包括流出數(shù)目，碎片等。參看表格電池生產(chǎn)記錄表：SH-QM3-Eng003-F01相關(guān)夾具：承載盒 小推車操作提示：下料硅片滿一單，由小推車推到PECVD，硅片和小推車一起留在PEC

10、VD間1.表單填寫2.推至PECVD相關(guān)夾具：承載盒 小推車操作提示：把載有空盒的小推車推回刻蝕間相關(guān)夾具：電腦操作提示：MES系統(tǒng)提交流程單3.空盒返回4.系統(tǒng)提交流程單相關(guān)夾具：承載盒 吸筆操作提示：每生產(chǎn)完一流程單硅片留一段間隔后繼續(xù)投下一流程單硅片。相關(guān)夾具：無操作提示：當班生產(chǎn)結(jié)束后，整理小推車碎片，并將本班碎片與返工片包好，按各工序返工片和碎片處理作業(yè)指導(dǎo)書要求處理（碎片送至統(tǒng)計差異處登記，返工片送回返工工序登記返工）。5.持續(xù)生產(chǎn)6.碎片、返工片處理刻蝕崗位方塊電阻測試作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：無操作提示：打開電源開關(guān)，初次測量時，要先預(yù)熱15min。相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示：使

11、“R”“I”各個指示燈亮。電流檔位是0.1MA。1. 操作準備2. 檢查指示燈相關(guān)夾具：無操作提示：把電流檔位從0.1MA調(diào)至10MA。相關(guān)夾具：承載盒、吸筆操作提示：測試刻蝕前方阻如圖，任意取5片（注意顏色深為擴散面）。 3.調(diào)節(jié)電流檔位4.準備硅片相關(guān)夾具：無操作提示：擴散面向上,把硅片放到測試臺上,片子輕輕靠住定位塊,確保了測試點正好是硅片的中心點。相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示：用手按下“下降”按鈕使針頭平壓在硅片上。6.放置硅片7.按“下降”按鈕相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示用手輕輕旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)按鈕，用手旋轉(zhuǎn)粗調(diào)旋鈕“Rough”或者細調(diào)旋鈕“Fine”。相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示用

12、手輕輕旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)按鈕使電流值4.530MA（單晶電流校對值）8.校準電流9.電流顯示相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示：把“I”的指示燈切換至R/P相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示：待R數(shù)值穩(wěn)定時讀取數(shù)值。方阻提升2-8正常，異常通知工藝。備注：通?？糖胺阶璨桓哂?0，刻蝕不高于55，異常聯(lián)系工藝。10.切換指示燈11.顯示數(shù)值相關(guān)夾具：吸筆操作提示：按下“上升”按鈕，取出測試好的硅片。相關(guān)夾具：無操作提示：將R的測試數(shù)值記錄在電池生產(chǎn)數(shù)據(jù)記錄表上，見“電池生產(chǎn)記錄表” SH-QM3-Eng003-F01，并MES系統(tǒng)提交數(shù)據(jù)。14.按“上升”按鈕15. 記錄數(shù)值減薄量測試作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：電子天平

13、操作提示：稱量前調(diào)試天平顯示為0相關(guān)夾具：電子天平操作提示：推開右側(cè)窗口1. 電子天枰調(diào)試2.推開窗口相關(guān)夾具：電子天平操作提示：硅片輕輕平放，然后并關(guān)閉右側(cè)窗口，讀取數(shù)據(jù)?？涛g后稱重加戴一次性手套。相關(guān)夾具：電子天平操作提示：依次稱量硅片。3. 輕放于天枰上4.按順序稱量相關(guān)夾具：無操作提示：按順序記錄硅片重量與生產(chǎn)記錄表，參看文件SH-QM3-Eng003-F01，并提交于MES系統(tǒng)。減薄量圍0.035g-0.075g（125S）正常，異常通知工藝。相關(guān)夾具：無 操作提示：歸還給上下料人員。5.按順序記錄數(shù)據(jù)6.硅片歸還刻通效果測試作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：按POWER鍵

14、打開電源相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：調(diào)節(jié)量程為200MV1打開電源2.調(diào)節(jié)量程相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：左手拿硅片，使硅片一側(cè)接觸冷熱兩個探針，右手拿有黑線的筆并接觸熱探針。四條邊都要測。相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：顯示數(shù)值大于等于30MV，為刻通，小于30MV通知工藝人員3.硅片放置4.數(shù)據(jù)顯示相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：按POWER鍵關(guān)閉電源。相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：硅片交換給下料人員。5.關(guān)閉電源6硅片交還防護品使用與交接作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：乳膠手套、PH試紙操作提示：戴好乳膠手套檢查防酸手套上外部與部有無水跡。（如有：用PH測試紙檢測，確認后使用）如

15、有異常通知領(lǐng)班與時更換。相關(guān)夾具：氣槍、防酸手套操作提示：將手套中吹入空氣，握緊手套口，檢查是否有漏氣想象。如有異常通知領(lǐng)班與時更換。1防酸手套2防酸手套有無破損相關(guān)夾具：PH試紙操作提示：檢查過濾罐使用期限，防毒面具外部與部是否有水跡，（如有：用PH測試紙檢測，確認后使用）。如有異常通知領(lǐng)班與時更換。相關(guān)夾具：防毒面具操作提示：戴好防毒面具，向外吹氣，檢查透氣性是否良好。面具鏡片上是否有水珠與霧狀。呼吸時是否有異味。如有異常通知領(lǐng)班與時更換。3防毒面具檢查4檢查防毒面具密封性相關(guān)夾具：PH試紙操作提示：檢查外部與部是否有水跡，（如有：用PH測試紙檢測，確認后使用）檢查是否有破損現(xiàn)象。帽子系帶

16、是否完好。上衣紐扣是否完好。如有異常通知領(lǐng)班與時更換。相關(guān)夾具：PH試紙操作提示：檢查外部與部是否有水跡，（如有：用PH測試紙檢測，確認）檢查是否有破損現(xiàn)象。帶是否完好。如有異常通知領(lǐng)班與時更換。5防護服6防護褲相關(guān)夾具：無操作提示：防酸手套至少戴二層以上層乳膠手套。相關(guān)夾具：無操作提示：穿戴好防護用品后，兩個換液人員相互檢查佩戴防護用品是否合格。7正確穿戴8確認檢查相關(guān)夾具：無操作提示：戴著防酸手套用流水將手套沖洗2分鐘。相關(guān)夾具：無操作提示：再將防酸手套脫下用水沖洗。再將手套用氣槍吹干。放在指定的線別區(qū)域。9防酸手套一10防酸手套二相關(guān)夾具：無操作提示：將防毒面具摘下。相關(guān)夾具：無操作提示

17、：用干凈的抹布將防毒面具擦拭干凈，再將過濾罐的蓋子蓋好。放在指定的線別區(qū)域。將使用過的擦拭布丟入酸性廢棄物垃圾桶11防毒面具12防毒面具相關(guān)夾具：無操作提示：將防護服脫下。相關(guān)夾具：無操作提示：防護褲脫用干凈的抹布擦拭干凈，放在指定的線別區(qū)域。將使用過的擦拭布丟入酸性廢棄物垃圾桶。13防護服14防護褲相關(guān)夾具：無操作提示：按照線別標整齊擺放好防護用品。相關(guān)夾具：無操作提示：交接班按線別分開交接。15擺放16. 交接班集中供液換液作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：無操作提示：防護用具包括：防護服、防毒面具、防酸手套、防護鞋。未佩戴防護用具的人員不可以進行任何換液操作流程。換液必須雙人操作，工序長或領(lǐng)班、主管監(jiān)

18、督確認每一步操作流程。相關(guān)夾具：無操作提示：換液人員檢查確認集中操作屏畫面所需換的化學(xué)品。1佩戴好防護用具2集中供液機操作屏相關(guān)夾具：無操作提示：用于打開化學(xué)桶的回液口的蓋子。在穿戴防護用品前必須檢查防護用品并在防護用品使用檢查記錄表上簽名后，進行換液操作。相關(guān)夾具：無操作提示：使用清洗間集中供液換液專用的升格叉車。3工具、防護用品檢查4準備升格叉車相關(guān)夾具：無操作提示：液壓車操作員與換液操作員佩戴好防護用品后，將化學(xué)品桶的抽液口與回流口正確放置,使其在回流管與抽液管正下方.相關(guān)夾具：無操作提示：液壓車操作員檢查化學(xué)桶上的標簽，是否為所需要更換的化學(xué)品。5準備化學(xué)品6核對化學(xué)品相關(guān)夾具：無操作

19、提示：換液操作員在操作顯示屏上點擊“起用”，將“起用”狀態(tài)切換為“停止”狀態(tài).相關(guān)夾具：無操作提示：檢查操作顯示屏上是否為停止狀態(tài)，顯示為停止狀態(tài)時才可以進行換液操作。7集中供液機操作8集中供液機操作相關(guān)夾具：無操作提示：換液操作員關(guān)閉回流管與抽液管球閥以與需要更換化學(xué)桶的抽液閥。相關(guān)夾具：無操作提示：將回流與抽液管接口慢慢擰松0.53圈（先擰松0.5圈，如殘液不回流，再擰松半圈，依次類推直至殘液回流），讓管殘液回流至化學(xué)桶。切勿完全擰開，否則會造成污染和傷害。9關(guān)閉回流與抽液閥10稍稍擰松接口至殘夜回流相關(guān)夾具：無操作提示：將回流管取下，擰下抽液管與桶的連接閥。注意回流與抽液管接頭密封膠圈。將空桶桶蓋裝好并擰緊。相關(guān)夾具：無操作提示：雙人操作取下空桶,(換液操作員扶住化學(xué)桶，液壓車操作員拉升格叉車將換下的空化學(xué)桶按標簽放置在專用區(qū)域)并將桶上“滿桶”標簽撕下。11松下回流與抽液管12取下空桶相關(guān)夾具：吸液棉操作提示：用吸液棉將空桶上的殘留化學(xué)品清理干凈。將使用過的吸液棉丟入酸性廢棄垃圾桶。相關(guān)夾具：纏繞膜操作提示：使用纏繞膜將空桶包好后放于指定位子。13清理殘液14包裝空桶相關(guān)夾具：無操作提示：雙人操作，化學(xué)品名稱雙人確認，將新的化學(xué)桶鏟上叉車,送至換液處。換液操作員再進行化學(xué)品標簽確認。過程中一定要小心,切勿將化學(xué)品桶弄翻.（注：地